JP2021039087A - 光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダー - Google Patents

光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダー Download PDF

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Abstract

【課題】光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供する。
【解決手段】光学反射部品２０は、本体２１と、光学パターン２３と、第１取付部材２４と、第２取付部材２６とを備える。本体２１は、中心軸Ｃ２と反射面２２とを有する。中心軸Ｃ２と反射面２２とが互いに垂直する。光学パターン２３は、中心軸Ｃ２を中心として反射面２２に環状に設けられる。。第１取付部材２４は、本体２１の中心軸Ｃ２を中心として、本体２１から中心軸Ｃ２と平行な方向に延びる。第１取付部材２４は、回転軸１０の外周縁部と連結する内側面を有する。本体２１の中心軸Ｃ２は、回転軸１０の軸心と一致する。第２取付部材２６は、中心軸Ｃ２に垂直する平面であり、且つ内側面と連結し、回転軸１０の軸基準面と連結するようにもうけられる。本体２１、第１取付部材２４および第２取付部材２６は、金属材料で構成され、且つ光学パターン２３と一体に形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学反射部品に関し、特に一体化された光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーに関する。
先行技術
反射型光学エンコーダーは、軸の角度位置または軸の動きをアナログまたはデジタル出力信号に変換する電気機械装置であり、機械システムの監視または制御に広く使用されている。
反射型光学エンコーダーは、光源と光検出器を備える光学読み取りモジュールを利用して、光学反射部品のける光学パターンの位置変化を検知する。光源と光検出器とが光学パターンの同じ側にあり、光学パターンは、反射パターンと吸収パターンとが交互に配置して構成される。光源の位置を特定することにより、光源からの光が反射パターンにより反射されると、光検出器においてイメージングすることができる。
従来の光学反射アセンブリでは、フォトレジストのコーティング、露光、現像、エッチング、フォトレジスト除去など、多くの複雑なステップで光学パターンを形成する必要がある。また、光学パターンはガラス上に形成され、ガラスは付属部材を介してモーターの回転軸に固定されることが多い。しかし、光学パターンを有するガラス構造は壊れやすく、付属部材を介して回転軸に固定することは困難である。また、従来の光学反射部品の製造過程は複雑であり、生産効率を向上することは容易ではない。
先行技術の欠陥に対処するために、一体化された光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供することが望ましい。
本発明の目的は、光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供することである。光学反射部品と光学エンコーダーの回転軸は、実際の応用に応じて、取付方式を調整することができる。回転軸は、さらに導線が貫通するための中空部を提供することができる。光学反射部品と光学エンコーダーの回転軸との半径（ｒ）および接線（ｔ）平面の位置決め、軸（ｚ）合わせが完了すると、光学反射部品の中心軸と回転軸の軸心とを同軸にさせることができ、光学読み取りモジュールが中心軸と垂直する光学パターンを正確に読み取ることができる。
本発明のもう一つの目的は、光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供することである。光学反射部品は、金属材料で一体化に形成され、光学反射部品における光学パターンは、レーザースクライビングにより形成される。一体化に形成される光学反射部品によって、加工工程において、例えば自動光学検査（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ、 ＡＯＩ）を利用して、光学反射部品の基準円を取得し、中心軸の位置を決め、光学反射部品に中心軸と同軸の光学パターンをスクライビングすることができる。
本発明のもう一つの目的は、光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供することである。光学反射部品の光学パターンは、レーザースクライビングにより、複数の等線幅の縞模様を中心軸と垂直する反射面に凹設し、同心環状分布を形成するために円周方向に円対称に配置される。反射面は、鏡面、研磨面および旋削加工面であり、レーザースクライビングにより形成される光学パターンは、光学低反射率、散乱反射、または拡散反射の特性を有する。さらに、等線幅の縞模様がレーザースクライビングにより形成されることによって、光学パターンの一致性を維持しながら、加工時間を短縮することができる。
前記の目的を達成するために、本発明は光学反射部品を提供しており、前記光学反射部品は、本体と光学パターンと第１取付部材と第２取付部材とを備える。本体は中心軸と反射面とを有し、中心軸と反射面とが互いに垂直する。光学パターンは、前記中心軸を中心として、前記反射面に環状に周設される。前記第１取付部材は、前記本体の前記中心軸を中心として、前記本体から前記中心軸に平行な方向に延びる。前記第１取付部材は内側面を有する。前記第１取付部材は内側面を有し、前記第２取付部材は、前記中心軸に垂直する平面であり、且つ前記第１取付部材の少なくとも１つ弧面に連結される。前記本体と前記第１取付部材と前記第２取付部材とが金属材料で構成され、且つ本体と前記第１取付部材と前記第２取付部材と前記光学パターンとが一体化に成形される。
好ましくは、第１取付部材は、回転軸の外周縁部に連結するように設けられ、前記本体の前記中心軸を前記回転軸の軸心に一致させ、前記第２取付部材は、前記回転軸の軸基準面に連結するように設けられる。
好ましくは、光学パターンは、複数の等線幅の縞模様を備え、前記複数の等線幅の縞模様は、前記本体の前記中心軸に向けられる。
好ましくは、複数の等線幅の縞模様がレーザースクライビングにより形成される。
好ましくは、複数の等線幅の縞模様が本体の反射面に凹設される。
好ましくは、光学パターンは、本体の中心軸として円対称に配置される。
好ましくは、光学反射部品は、本体を貫通し且つ本体の中心軸と一致する係止孔を備え、回転軸は係止孔を貫通して光学反射部品を回転軸に固定するための係止部材を備える。
好ましくは、第１取付部材の内側面は、弧面、内側環状面、またはテーパー面を備える。
好ましくは、光学反射部品は、第１取付部材を貫通する係止孔を備え、回転軸は、係止孔を貫通して光学反射部品を回転軸に固定するための係止部材を備える。
好ましくは、反射面は、鏡面、研磨面および旋削加工面からなる群から選ばれる１種である。
前記の目的を達成するために、本発明は光学エンコーダーを提供しており、前記光学エンコーダーは、回転軸と光学反射部品と光学読み取りモジュールとを備える。回転軸は、軸心と外周縁部と軸基準面とを有し、軸基準面が軸心に垂直する。光学反射部品は、回転軸に連結され、且つ本体と光学パターンと第１取付部材と第２取付部材とを備える。本体は、中心軸と反射面とを有し、中心軸と反射面とが互いに垂直する。光学パターンは、中心軸を中心とし、反射面に環状に周設される。第１取付部材は、本体の中心軸を中心として、本体から中心軸に平行な方向に延びる。第１取付部材は、回転軸の外周縁部に連結するように設けられる内側面を有し、本体の中心軸を回転軸の軸心に一致させる。第２取付部材は、中心軸と垂直する平面であり、第１取付部材の内側面と連結され、平面が回転軸の軸基準面と一致される。本体、第１取付部材および第２取付部材は、金属材料で構成され、且つ本体、第１取付部材、第２取付部材および光学パターンは、一体化に形成される。光学読み取りモジュールは、空間的に反射面の光学パターンに対向するように設けられ、回転軸が光学反射部品の回転を駆動すると、光学パターンを読み取る。
好ましくは、光学パターンは、複数の等線幅の縞模様を備え、複数の等線幅の縞模様は、本体の中心軸に向かれる。
好ましくは、複数の等線幅の縞模様は、レーザースクライビングにより形成される。
好ましくは、複数の等線幅の縞模様は、本体の反射面に凹設される。
好ましくは、光学パターンは、本体の中心軸を中心とし、円対称に配置される。
好ましくは、光学反射部品は、本体を貫通し且つ本体の中心軸と一致する係止孔を備え、回転軸は、係止孔を貫通して光学反射部品を回転軸に固定するための係止部材を備える。
好ましくは、光学反射部品は、第１取付部材を貫通する係止孔を備え、回転軸は、係止孔を貫通して光学反射部品を回転軸に固定するための係止部材を備える。
好ましくは、反射面は、鏡面、研磨面および旋削加工面からなる群から選ばれる１種である。
好ましくは、回転軸は、軸心に沿って設けられる中空部を備える。
好ましくは、光学読み取りモジュールは、回路基板に固定され、回路基板は開口を有し、回転軸が開口を貫通する。
好ましくは、第１取付部材の内側面は、弧面、内側環状面、またはテーパー面を備える。
本発明の第１実施形態の光学エンコーダーの断面図である。 本発明の第１実施形態の光学反射部品の立体構造を示す図である。 本発明の第１実施形態の光学反射部品を別の角度で見た立体構造を示す図である。 本発明の第１実施形態の光学反射部品の断面を示す構造概念図である。 本発明の第１実施形態の光学反射部品の平面図である。 本発明の光学反射部品の光学パターンの一つの実施形態を示す図である。 本発明の光学反射部品の光学パターンのもう一つの実施形態を示す図である。 本発明の光学反射部品の第１実施形態の反射面の半径および軸平面における光学特性を示す図である。 本発明の光学反射部品の第２実施形態反射面の半径および軸平面における光学特性を示す図である。 本発明の光学反射部品の第２実施形態反射面の接線および軸平面における光学特性を示す図である。 本発明の光学反射部品の第３実施形態の反射面の半径および軸平面における光学特性を示す図である。 本発明の光学反射部品の第３実施形態の反射面の接線および軸平面における光学特性を示す図である。 本発明の第２実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。 本発明の第３実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。 本発明の第３実施形態の光学反射部品を示す断面図である。 本発明の第４実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。
本発明の特徴および利点を具現化するいくつかの例示的な実施形態は、以下の説明において詳細に説明する。本発明は、本発明の様々な態様において様々な変更が可能であり、明細書および図面は例示的であり、限定的ではないことを理解されたい。
図１は、本発明の第１実施形態における光学エンコーダーの断面図を示している。図２は、本発明の第１実施形態における光学反射部品の立体構造を示す図である。図３は、本発明の第１実施形態における光学反射部品を他の角度から見た斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態における光学反射部品の断面構造を示す図である。図５は、本発明の第１実施形態における光学反射部品の平面図である。本実施形態では、光学エンコーダー１は、回転軸１０、光学反射部品２０および光学読み取りモジュール３０を備える。回転軸１０、例えば、モーターまたは駆動モジュールの回転軸であり、軸心Ｃ１、外周縁部１１および軸基準面１２を有する。ここでは、軸基準面１２は、軸心Ｃ１に垂直し、例えば、回転軸１０の上端面に設けられる。本実施形態では、光学反射部品２０は、本体２１、光学パターン２３、第１取付部材２４および第２取付部材２６を備える。本体２１は、例えば、円盤状であり、中心軸Ｃ２および反射面２２を有する。ここでは、中心軸Ｃ２と反射面２２とが互いに垂直である。光学パターン２３は、例えば、複数の等線幅の縞模様で構成され、かつ、本体２１の中心軸Ｃ２を中心として反射面２２に周設される。なお、本発明はこれに限定されない。他の実施形態では、光学パターン２３は、田例えば、等線幅でない縞模様で構成されても良い。本実施形態において、光学パターン２３の複数の等線幅の縞模様は、レーザースクライビングによって形成され、光学パターン２３の複数の等線幅の縞模様が本体２１の反射面２２に凹設される。これによって、光学パターン２３の複数の等線幅の縞模様は、中心軸Ｃ２の周りに放射状に延び、且つ同心環状分布を形成するように円周方向に円対称配置される。光学パターン２３が反射面２２に凹設されるため、光学パターン２３の光学低反射率、散乱反射または拡散反射の特性は、反射面よりも優れる。本実施形態では、第１取付部材２４は、本体２１の中心軸Ｃ２を中心として、本体２１から中心軸Ｃ２に平行な方向（例えば、下方）に沿って延びる。第１取付部材２４の内側には、本体２１の中心軸Ｃ２が回転軸１０の軸心Ｃ１と一致するように、回転軸１０の外周縁部１１に連結された弧面２５が設けられている。他の実施形態では、第１取付部材２４の内側面は内側環状面、またはテーパー面を備える、本発明はこれに限定されない。
また、第２取付部材２６は、本体２１の中心軸Ｃ２に垂直する平面であり、且つ第１取付部材２４の弧面２５と連結され、回転軸１０の軸基準面１２に結合されるように設けられている。本体２１、第１取付部材２４および第２取付部材２６は、金属材料で構成され、かつ、本体２１、第１取付部材２４、第２取付部材２６および光学パターン２３は、一体化に成形されている。
本体２１および第１取付部材２４は、例えば機械加工プロセスによって形成することができ、その結果、本体２１および第１取付部材２４は良好な同軸性を有する、すなわち、光学反射部品２０の中心軸Ｃ２を形成する。第１取付部材２４の弧面２５が回転軸１０の外周縁部１１に連結されることによって、光学反射部品２０と回転軸１０の軸心Ｃ１とを同軸に配置させることができる、すなわち、半径（ｒ）と接線（ｔ）平面とが位置決められる。また、第２取付部材２６の平面は、例えば、中心軸Ｃ２に垂直する円形または環状の平面であり、反射面２２および光学パターン２３の反対側に、または同じ側に位置されるが、本発明はこれに限定されない。第２取付部材２６が回転軸１０の軸基準面１２に結合されることによって、光学反射部品２０と回転軸１０との軸方向（ｚ）での位置を決めることができる。本実施形態では、光学反射部品２０は、本体２１を貫通し、且つ本体２１の中心軸Ｃ２と整合する係止孔２７をさらに備える。回転軸１０は、係止部材１４を有し、前記係止孔２７により、光学反射部品２０を回転軸１０に固定することができる。これによって、回転軸１０は、光学反射部品２０が軸心Ｃ１を中心として回転するように駆動することができる。本実施形態では、光学読み取りモジュール３０は、空間的に、反射面２２における光学パターン２３に対応して設けられ、例えば、回路基板３１の底部かつ反射面２２および光学パターン２３に対向して設けられる。回転軸１０が光学反射部品２０の回転を駆動する時、光学読み取りモジュール３０は光学パターン２３の情報を読み取ることができる。
本発明の光学反射部品２０の光学パターン２３は、例えば、放電スクライビングにより反射面２２に凹設される。加工工程においては、例えば、自動光学検査（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ、 ＡＯＩ）を利用して本体２１の基準円部分（例えば、外円部）を取得し、中心軸Ｃ２の位置を定義することにより、中心軸Ｃ２の位置に基づいて、反射面２２に中心軸Ｃ２と同軸の光学パターン２３を形成することができる。また、レーザースクライビングの加工平面におけるレーザースポットのサイズが一定されるため、等線幅のパターン加工方式により、スクライビング加工の表面特定の一致性を得ることができる。図６は、本発明の光学反射部品の光学パターンの一例を示している。本実施形態では、光学パターン２３の複数の等線幅の縞模様の幅は、レーザースポット２３ａの直径と等しいため、レーザースクライビングにより一致性に優れる光学パターン２３を得ることができる。これにより、レーザースポットが局所的に不均一に重なり合うことが発生せず、レーザースクライビングの時間を効果的に短縮することができる。図７は、本発明の光学反射部品の光学パターンの他の例を示している。本実施形態では、光学パターン２３は、比較的に広い線幅の縞模様を有する。この時、レーザースクライビングは、複数のレーザーの並列方式により形成することができる。例えば、光学パターン２３の複数の等線幅の縞模様の幅がレーザースポット２３ｂの直径の２倍である場合、各等線幅の縞模様は、並行に並べた２つのレーザーにより形成することができ、これにより、一致性に優れる光学パターン２３を得ることができる。なお、他の実施形態では、光学パターン２３は、複数の等線幅でない縞模様で構成されるが、本発明はこれに限定されない。
本発明の光学反射部品２０の反射面２２は、光学パターン２３と比較して良好な反射率を有する。反射面２２は、例えば、鏡面、研磨面、および旋削加工面からなる群から選ばれる１種である。図８は、本発明の光学反射部品の第１実施形態の反射面の半径および軸平面における光学特性を示す図である。本実施形態では、反射面２２ａは、例えば、旋削加工面、すなわち金属精密加工面により形成されている。このとき、旋削加工面で構成される反射面２２ａは、中心軸Ｃ２と同軸の同心円の加工痕跡（図示せず）、半径（ｒ）−軸（ｚ）平面において、入射光λ１１が、反射面２２ａにより散乱させて、あらゆる方向に反射光λ１２を反射する（いわゆる拡散反射Ｄｉｆｆｕｓｅ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）。半径（ｒ）−軸（ｚ）平面での反射面２２ａの反射特性は、光学読み取りモジュール３０が反射面２２ａから光学パターン２３を正確に読み取ることができるように、光学パターン２３と区別するのに十分である。
図９は、本発明の光学反射部品の第２実施形態の反射面の半径および軸平面の光学特性を示している。本実施形態では、反射面２２ｂは、例えば、研磨面で構成され、すなわち研磨、電解研磨、コーディング研磨処理により形成される。この時、研磨面により構成される反射面２２ｂは、光沢反射（Ｇｌｏｓｓｙ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）特性を有し、半径（ｒ）−軸（ｚ）平面において、入射光λ２１が反射面２２ｂを通過したあと。反射光λ２２が光沢反射する（Ｇｌｏｓｓｙ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）。反射面２２ｂの半径（ｒ）−軸（ｚ）平面における反射特性は、光学読み取りモジュール３０が反射面２２ｂから光学パターン２３を正確に読み取ることができるように、光学パターン２３と区別するのに十分である。
図１０は、本発明の光学反射部品の第２実施形態の反射面の接線および軸平面における光学特性を示している。本実施形態では、反射面２２ｂは、例えば、研磨面で構成され、すなわち研磨、電解研磨、コーディング研磨処理により形成される。このとき、研磨面で構成される反射面２２ｂは、光沢反射（Ｇｌｏｓｓｙ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）特性を有し、接線 （ｔ）−軸（ｚ）平面において、入射光λ２３が反射面２２ｂを通過した後、反射光λ２４が光沢反射する（Ｇｌｏｓｓｙ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）。反射面２２ｂの接線（ｔ）−軸（ｚ）平面における反射特性は、光学読み取りモジュール３０が反射面２２ｂから光学パターン２３を正確に読み取ることができるように、光学パターン２３と区別するのに十分である。
図１１は、本発明の光学反射部品の第３実施形態の反射面の半径および軸平面における光学特性を示している。本実施形態では、反射面２２ｃは、例えば、鏡面で構成され、鏡面反射（Ｓｐｅｃｕｌａｒ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）特性を有し、半径（ｒ）−軸（ｚ）平面において、入射光λ３１が反射面２２ｃを通過した後、反射光λ３２が鏡面反射する（Ｓｐｅｃｕｌａｒ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）。反射面２２ｃの半径（ｒ）−軸（ｚ）平面における反射特性は、光学読み取りモジュール３０が反射面２２ｃから光学パターン２３を読み取ることができるように、光学パターン２３と区別するのに十分である。
図１２は、本発明の光学反射部品の第３実施形態の反射面の接線および軸平面における光学特性を示している。本実施形態では、反射面２２ｃは、例えば、鏡面で構成され、鏡面反射（Ｓｐｅｃｕｌａｒ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）特性を有し、接線 （ｔ）−軸（ｚ）平面において、入射光λ３３が反射面２２ｃを通過した後、反射光λ３４が鏡面反射する（Ｓｐｅｃｕｌａｒ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）。反射面２２ｃの接線 （ｔ）−軸（ｚ）平面における反射特性は、光学読み取りモジュール３０が反射面２２ｃから光学パターン２３を正確に読み取ることができるように、光学パターン２３と区別するのに十分である。
なお、本発明は、反射面２２の光学反射特性を限定しない。反射面２２と比較して、レーザースクライビングによる光学パターン２３はより優れる光学低反射率、散乱反射または拡散反射特性を有するため、回転軸１０が光学反射部品２０の回転を駆動すると、光学読み取りモジュール３０が反射面２２から光学パターン２３を正確に読み取ることができる。
図１３は、本発明の第２実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。本実施形態では、光学エンコーダー１ａは、図１に示す光学エンコーダー１と同様であり、同一の構成要素、構造、機能を同一の符号で示し、詳細の説明を省略する。図１に示す光学エンコーダー１との相違点は、本実施形態において、第２取付部材２６ａは、第１取付部材２４の少なくとも１つの弧面２５の下端と接続する環状面である。回転軸１０ａの軸基準面１２ａは、第２取付部材２６ａの環状面に対向する段付き環状面である。係止部材１４が係止孔２７を貫通して光学反射部品２０ａを回転軸１０ａに固定すると、光学反射部品２０ａと回転軸１０ａとの半径（ｒ）および接線（ｔ）平面に位置決め、軸（ｚ）合わせを完了することができる。これによって、光学読み取りモジュール３０は、回転軸１０ａが光学反射部品２０ａの回転を駆動することにより、光学パターン２３の情報を読み取ることができる。
図１４は、本発明の第３実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。図１５は、本発明の第３実施形態の光学反射部品を示す断面図である。本実施形態では、光学エンコーダー１ｂは、図１に示す光学エンコーダー１と同様であり、一の構成要素、構造、機能を同一の符号で示し、詳細の説明を省略する。図１に示す光学エンコーダー１との相違点は、本実施形態において、光学反射部品２０ｂの係止孔２７ａが第１取付部材２４を貫通する。回転軸１０ｂは、係止孔２７ａを貫通して光学反射部品２０ｂを回転軸１０ｂに固定するための係止部材１４ａを備える。本実施形態では、第２取付部材２６ａは、第１取付部材２４の少なくとも１つの弧面２５の下端と接続する段付き環状面である。回転軸１０ｂの軸基準面１２ａは、第２取付部材２６ａの環状面に対向する段付き環状面である。係止部材１４ａが係止孔２７ａを貫通して光学反射部品２０ｂを回転軸１０ｂに固定すると、光学反射部品２０ｂと回転軸１０ｂとの半径（ｒ）および接線（ｔ）平面の位置決め、軸（ｚ）合わせを完了することができる。これによって、光学読み取りモジュール３０は、回転軸１０ｂが光学反射部品２０ｂの回転を駆動すると、光学パターン２３の情報を素早く読み取ることができる。本実施形態では、回転軸１０ｂは、軸心Ｃ１の方向に沿って配置される中空部１３をさらに備える。光学読み取りモジュール３０は、回路基板３１に固定され、回路基板３１は開口３２を備え、回転軸１０ｂが開口３２を貫通している。これによって、回転軸１０ｂの中空部１３は、導線を収容する機能を果たすことができる。なお、本発明はこれに限定されない。
図１６は、本発明の第４実施形態の光学エンコーダーを示す断面図である。本実施形態では、光学エンコーダー１ｃは、図１に示された光学エンコーダー１と同様であり、一の構成要素、構造、機能を同一の符号で示し、詳細の説明を省略する。図１に示す光学エンコーダー１との相違点は、本実施形態において、第１取付部材２４ａの内側面は、テーパー面２５ａであり、前記テーパー面２５ａは、第１取付部２４ａの内側から中心軸Ｃ２までの距離が異なるように形成され、且つ、第１取付部材２４ａの内側テーパー面と中心軸Ｃ２との距離は、内側から外側に向かって徐々に増大する。これにより、第１取付部材２４ａの内側の中心孔は、外側に向かって拡がっている。本実施形態では、第１取付部材２４ａの内側面をテーパー面に設計することによって、回転軸１０ｃの軸基準面１２ｃは、第２取付部材２６ａに当接する必要なく、テーパー面２４ａに直接当接するだけで、光学反射部品２０ｃと対応のモータまたは駆動モジュールの回転軸１０ｃとを同時に同心同軸に位置決めすることができ、且つその位置決めは精確である。係止部材１４は、係止孔２７を介して、学反射部品２０ｃを回転軸１０ｃに固定すると、光学反射部品２０ｃと回転軸１０ｃとの半径（ｒ）および接線（ｔ）平面の位置決め、軸（ｚ）合わせを完了することができる。これによって、光学読み取りモジュール３０は、回転軸１０ｃが光学反射部品２０ｃの回転を駆動すると、光学パターン２３の情報を素早く読み取ることができる。
上述したように、本発明は、光学反射部品およびそれを適用した光学エンコーダーを提供する。光学反射部品と光学エンコーダーの回転軸との係止は、実際の使用に応じて調整することができる。回転軸は、電気的な導線を通すための中空部を提供することができる。光学反射部品と光学エンコーダーの回転軸とが半径（ｒ）および接線（ｔ）平面の位置決め、並びに軸方向（ｚ）での位置を決めるように取り付けられることによって、光学反射部品の中心軸と回転軸の軸心とを同軸にすることができ、且つ光学読み取りモジュールが中心軸に垂直となる光学パターンを正確に読み取ることができる。また、光学反射部品は、金属材料で一体化に成形され、光学反射部品における光学パターンがレーザースクライビングにて形成される。一体化された光学反射部品によって、加工過程においては、例えば、自動光学検査（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ、 ＡＯＩ）を使用して光学反射部品の基準円の位置決めおよび中心軸の位置を決めることができ、光学反射部品に中心軸と同軸の光学パターンを正確に形成することができる。光学反射部品の光学パターンは、例えば、レーザースクライビングにより形成された複数の等線幅の縞模様が中心軸と垂直する反射面に形成され、同心環状分布を形成するために円周方向に円対称に配置される。反射面は、鏡面、研磨面および旋削加工面であり、レーザースクライビングにより形成された光学パターンは、光学低反射率、散乱反射率、または拡散反射の特性を有する。なお、等線幅の縞模様がレーザースクライビングにより形成されることで、光学パターンの一致性を維持しながら、加工時間を短縮することができる。
本発明は、当業者によって修正・変更が可能であるが、修正・変更されたものは、いずれも本発明特許請求の範囲に含まれていることを留意されたい。
１、１ａ、１ｂ、１ｃ：光学エンコーダー
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ：回転軸
１１：外周縁部
１２、１２ａ、１２ｂ：軸基準面
１３：中空部
１４、１４ａ：係止部材
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ：光学反射部品
２１：本体
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ：反射面
２３：光学パターン
２３ａ、２３ｂ：レーザースポット
２４、２４ａ：第１取付部材
２５：弧面
２５ａ：テーパー面
２６、２６ａ、２６ｂ：第２取付部材
２７：係止孔
３０：光学読み取りモジュール
３１：回路基板
３２：開口
Ｃ１：軸心
Ｃ２：中心軸
λ１１、λ２１、λ２３、λ３１、λ３３：入射光
λ１２、λ２２、λ２４、λ３２、λ３４：反射光

Claims (12)

  1. 光学反射部品であって、本体と光学パターンと第１取付部材と第２取付部材とを備え、
    前記本体は、中心軸と反射面とを有し、前記中心軸と前記反射面とが互いに垂直し、
    前記光学パターンは、前記中心軸を中心として、前記反射面に環状に周設され、
    前記第１取付部材は、前記本体の前記中心軸を中心として、前記本体から前記中心軸に平行な方向に延び、前記第１取付部材は内側面を有し、
    前記第２取付部材は、前記中心軸に垂直する平面であり、且つ前記第１取付部材の前記内側面に接続され、前記本体と前記第１取付部材と前記第２取付部材とが金属材料で構成され、且つ本体と前記第１取付部材と前記第２取付部材と前記光学パターンとが一体化に成形される、ことを特徴とする光学反射部品。
  2. 前記第１取付部材は、回転軸の外周縁部に連結するように設けられ、前記本体の前記中心軸を前記回転軸の軸心に一致させ、前記第２取付部材は、前記回転軸の軸基準面に連結するように設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の光学反射部品。
  3. 前記光学パターンは、複数の等線幅の縞模様を備え、前記複数の等線幅の縞模様は、前記本体の前記中心軸に向けられ、且つ前記複数の等線幅の縞模様がレーザースクライビングにより前記本体の前記反射面に凹設される、ことを特徴とする請求項１に記載の光学反射部品。
  4. 前記本体を貫通し且つ前記本体の前記中心軸と一致する係止孔を備え、前記回転軸は、前記係止孔を貫通して前記光学反射部品を前記回転軸に固定するための係止部材を備える、ことを特徴とする請求項２に記載の光学反射部品。
  5. 前記第１取付部材を貫通する係止孔を備え、前記回転軸は、前記係止孔を貫通して前記光学反射部品を前記回転軸に固定するための係止部材を備える、ことを特徴とする請求項２に記載の光学反射部品。
  6. 前記第１取付部材の内側面は、弧面、内側環状面、またはテーパー面を備える、ことを特徴とする請求項１に記載の光学反射部品。
  7. 光学エンコーダーであって、回転軸と光学反射部品と光学読み取りモジュールとを備え、
    前記回転軸は、軸心と外周縁部と軸基準面とを備え、前記軸基準面が前記軸心に垂直し、
    前記光学反射部品は、前記回転軸と有し、且つ本体と光学パターンと第１取付部材と第２取付部材とを備え、
    前記本体は中心軸と反射面とを有し、前記中心軸と前記反射面とが互いに垂直し、
    前記光学パターンは、前記中心軸を中心とし、前記反射面に環状に周設され、
    前記第１取付部材は、前記本体の前記中心軸を中心として、前記本体から前記中心軸に平行な方向に延び、前記第１取付部材は、前記回転軸の前記外周縁部に連結するように設けられる内側面を有し、前記本体の前記中心軸を前記回転軸の前記軸心に一致させ、
    前記第２取付部材は、前記中心軸と垂直する平面であり、前記第１取付部材の前記内側面と連結され、前記本体、前記第１取付部材および前記第２取付部材は、金属材料で構成され、前記本体、前記第１取付部材、前記第２取付部材および前記光学パターンは、一体化に形成され、
    前記光学読み取りモジュールは、空間的に前記反射面の前記光学パターンに対向するように設けられ、前記回転軸が前記光学反射部品の回転を駆動すると、前記光学パターンを読み取る光学エンコーダー。
  8. 前記光学パターンは複数の等線幅の縞模様を備え、前記複数の等線幅の縞模様は、前記本体の前記中心に向けられ、且つ前記複数の等線幅の縞模様がレーザースクライビングにより前記本体の前記反射面に凹設される、ことを特徴とする請求項６に記載の光学エンコーダー。
  9. 前記光学反射部品は、前記本体を貫通し且つ前記本体の前記中心軸と一致する係止孔を備え、前記回転軸は、前記係止孔を貫通して光学反射部品を前記回転軸に固定するための係止部材を備える、ことを特徴とする請求項６に記載の光学エンコーダー。
  10. 前記光学反射部品は、前記第１取付部材を貫通する係止孔を備え、前記回転軸は、前記係止孔を貫通して前記光学反射部品を前記回転軸に固定するための係止部材を備える、ことを特徴とする請求項６に記載の光学エンコーダー。
  11. 前記回転軸は、前記軸心の方向に沿って設けられる中空部を備える、ことを特徴とする請求項６に記載の光学エンコーダー。
  12. 前記第１取付部材の内側面は、弧面、内側環状面、またはテーパー面を備える、ことを特徴とする請求項７に記載の光学反射部品。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004077214A (ja) * 2002-08-13 2004-03-11 Canon Inc 回転角度検出装置及びその回転ディスク
JP2004151076A (ja) * 2002-09-04 2004-05-27 Kenseidou Kagaku Kogyo Kk ハブ一体型反射型光学式エンコーダー用回転部品
JP2008002970A (ja) * 2006-06-22 2008-01-10 Sendai Nikon:Kk ロータリーエンコーダの接着方法と、これを用いたロータリーエンコーダ
JP2009121958A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Mitsuba Corp ロータリエンコーダ、およびブラシレスモータ
JP2011252783A (ja) * 2010-06-02 2011-12-15 Nikon Corp 光学式エンコーダ用反射板の製造方法
JP2016183983A (ja) * 2011-12-28 2016-10-20 株式会社ニコン エンコーダ用スケールの製造方法及びエンコーダの製造方法
JP2018520339A (ja) * 2015-04-30 2018-07-26 パーキンエルマー・ヘルス・サイエンシーズ・インコーポレイテッドＰｅｒｋｉｎｅｌｍｅｒ Ｈｅａｌｔｈ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ， Ｉｎｃ． エンコーダ、コード化方法、ならびにそれらを用いたシステム及び装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0625673B2 (ja) 1986-11-27 1994-04-06 フアナツク株式会社 モ−タ組込型パルスエンコ−ダの取付方法
JP2543156B2 (ja) 1988-10-25 1996-10-16 松下電器産業株式会社 光反射式ロ―タリ―エンコ―ダ―
US5073710A (en) 1989-09-21 1991-12-17 Copal Company Limited Optical displacement detector including a displacement member's surface having a diffractive pattern and a holographic lens pattern
US5667335A (en) 1995-05-19 1997-09-16 Minnesota Mining And Manufacturing Commpany Fiber reinforced raised pavement marker and method of making
JPH11287671A (ja) 1998-04-01 1999-10-19 Fanuc Ltd 光学式エンコーダ
JP3639827B2 (ja) * 2002-09-19 2005-04-20 三菱電機株式会社 光学式エンコーダ付モータシステム及び光学式エンコーダ
JP2008241243A (ja) 2005-06-30 2008-10-09 Mitsubishi Electric Corp 光学式エンコーダ
JP2007202382A (ja) 2005-12-28 2007-08-09 Mabuchi Motor Co Ltd 小型モータの光学式エンコーダ装置及びその製造方法
IL177367A0 (en) * 2006-08-08 2006-12-10 Yaskawa Europ Technology Ltd Optical encoder
WO2009031608A1 (ja) 2007-09-05 2009-03-12 Nikon Corporation 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ
JP5132398B2 (ja) 2008-04-10 2013-01-30 株式会社リコー パルスコードホイールの製造方法、パルスコードホイール、ロータリーエンコーダ、回転制御装置、ベルト搬送装置、及び画像形成装置
CN201680850U (zh) 2010-05-04 2010-12-22 成都雷奥风电传感器有限公司 一种反射式绝对值光电旋转编码器
JP2013534318A (ja) 2010-08-19 2013-09-02 エレスタ・リレイズ・ゲーエムベーハー センサヘッドホルダ
WO2012176911A1 (ja) * 2011-06-23 2012-12-27 株式会社ニコン エンコーダ、エンコーダの取付方法、エンコーダの交換方法、及びモータ装置
TWI446045B (zh) * 2011-10-05 2014-07-21 Nat Applied Res Laboratories 光學元件調整機構
TWI457542B (zh) 2011-11-29 2014-10-21 Univ Nat Kaohsiung Applied Sci Optical encoder
JP6227242B2 (ja) 2012-11-22 2017-11-08 ミネベアミツミ株式会社 光学式エンコーダ、光学式エンコーダ付きモータおよびその製造方法
WO2015050109A1 (ja) * 2013-10-02 2015-04-09 株式会社ニコン エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置
WO2016092599A1 (ja) * 2014-12-11 2016-06-16 東京コスモス電機株式会社 光学式ロータリーエンコーダ
FR3030724A1 (fr) 2014-12-17 2016-06-24 Thales Sa Codeur optique robuste
JP6932983B2 (ja) * 2017-05-01 2021-09-08 セイコーエプソン株式会社 エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボットおよびプリンター
CN108332116A (zh) 2018-03-27 2018-07-27 欧普照明股份有限公司 一体式配光组件、光源模组和照明装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004077214A (ja) * 2002-08-13 2004-03-11 Canon Inc 回転角度検出装置及びその回転ディスク
JP2004151076A (ja) * 2002-09-04 2004-05-27 Kenseidou Kagaku Kogyo Kk ハブ一体型反射型光学式エンコーダー用回転部品
JP2008002970A (ja) * 2006-06-22 2008-01-10 Sendai Nikon:Kk ロータリーエンコーダの接着方法と、これを用いたロータリーエンコーダ
JP2009121958A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Mitsuba Corp ロータリエンコーダ、およびブラシレスモータ
JP2011252783A (ja) * 2010-06-02 2011-12-15 Nikon Corp 光学式エンコーダ用反射板の製造方法
JP2016183983A (ja) * 2011-12-28 2016-10-20 株式会社ニコン エンコーダ用スケールの製造方法及びエンコーダの製造方法
JP2018520339A (ja) * 2015-04-30 2018-07-26 パーキンエルマー・ヘルス・サイエンシーズ・インコーポレイテッドＰｅｒｋｉｎｅｌｍｅｒ Ｈｅａｌｔｈ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ， Ｉｎｃ． エンコーダ、コード化方法、ならびにそれらを用いたシステム及び装置

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