JP2021032722A - 検査方法、補正方法、および検査装置 - Google Patents

検査方法、補正方法、および検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】三次元レーザスキャナの検査を簡便に実行できるようにする。
【解決手段】検査装置の第１領域にレーザ光を照射することにより、第１領域においてレーザ光が照射された第１空間位置を測定するステップと、検査装置が第１領域においてレーザ光が照射された第１照射位置を測定するステップと、検査装置の第２領域にレーザ光を照射することにより、第２領域においてレーザ光が照射された第２空間位置を測定するステップと、検査装置が第２領域においてレーザ光が照射された第２照射位置を測定するステップと、第１空間位置および第２空間位置の測定結果と、第１照射位置および第２照射位置の測定結果とを比較するステップとを備える、検査方法、補正方法、および検査装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査方法、補正方法、および検査装置に関する。
工業製品、構造物等の三次元形状データを取得する測定装置として、測定対象物にレーザ光を照射して反射光を検出する三次元レーザスキャナが知られている。このような三次元レーザスキャナに類似の機能および機構を有する測定装置として、レーザトラッカが知られており、レーザトラッカの検査方法も知られている（例えば、非特許文献１を参照）。
ＩＳＯ１０３６０−１０ ＡｎｎｅｘＢ
レーザトラッカは、三次元レーザスキャナとは異なり、例えば、ターゲットとなるレトロリフレクタを測定対象物に配置し、レトロリフレクタの照射位置にレーザ光を常に照射するように制御（トラッキング）することで、測定対象物までの距離および方向等を測定する。既知のレーザトラッカの検査方法は、このようなレトロリフレクタを用いていた。しかしながら、三次元レーザスキャナは、レトロリフレクタを有さないので、同様の検査をすることができない。したがって、三次元レーザスキャナの検査を簡便に実行できるようにすることが望まれていた。
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、三次元レーザスキャナの検査を簡便に実行できるようにすることを目的とする。
本発明の第１の態様においては、測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査方法であって、検査装置の第１領域に前記レーザ光を照射することにより、前記第１領域において前記レーザ光が照射された第１空間位置を測定するステップと、前記検査装置が前記第１領域において前記レーザ光が照射された第１照射位置を測定するステップと、前記検査装置の前記第１領域とは異なる第２領域に前記レーザ光を照射することにより、前記第２領域において前記レーザ光が照射された第２空間位置を測定するステップと、前記検査装置が前記第２領域において前記レーザ光が照射された第２照射位置を測定するステップと、前記三次元レーザスキャナによる前記第１空間位置および前記第２空間位置の測定結果と、前記検査装置による前記第１照射位置および前記第２照射位置の測定結果とを比較するステップとを備える、検査方法を提供する。
前記検査装置は、前記第１領域に設けられた第１センサと、前記第２領域に設けられ、前記第１センサから予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２センサとを備え、前記第１空間位置を測定するステップは、前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第１空間位置を測定し、前記第１照射位置を測定するステップは、前記第１センサにより前記第１照射位置を測定し、前記第２空間位置を測定するステップは、前記第２センサに前記レーザ光を照射して前記第２空間位置を測定し、前記第２照射位置を測定するステップは、前記第２センサにより前記第２照射位置を測定してもよい。
前記検査装置は、前記第１領域から前記第２領域までを移動可能に設けられた第１センサを備え、前記第１空間位置を測定するステップは、前記第１領域に配置させた前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第１空間位置を測定し、前記第１照射位置を測定するステップは、前記第１領域に配置させた前記第１センサにより前記第１照射位置を測定し、前記第２空間位置を測定するステップは、前記第１領域から前記第２領域に移動させて配置させた前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第２空間位置を測定し、前記第２照射位置を測定するステップは、前記第２領域に配置させた前記第１センサにより前記第２照射位置を測定してもよい。
前記第２空間位置を測定するステップは、前記第１領域に配置された前記第１センサを、予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ移動させて前記第２領域に配置するステップを含んでもよい。
前記検査装置は、前記第１センサが取り付けられ、前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域までを移動可能とする位置決め装置を有してもよい。
前記第１空間位置を測定するステップは、前記位置決め装置に取り付けられている前記第１センサを前記位置決め装置を用いて前記第１領域内に位置決めするステップを更に有し、前記第１照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第１照射位置を測定し、前記第２空間位置を測定するステップは、前記位置決め装置により前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域に移動させて前記第２領域内に位置決めするステップを更に有し、前記第２照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第２照射位置を測定してもよい。
前記検査装置は、第１センサと、前記第１センサが取り付けられ、前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域までを移動可能とする位置決め装置とを備え、前記第１空間位置を測定するステップは、前記第１領域に照射された前記レーザ光を前記第１センサが受光できるように、前記第１センサを前記位置決め装置を用いて移動させて位置決めするステップと、位置決めされた前記第１センサに照射された前記レーザ光の前記第１空間位置を測定するステップとを有し、前記第１照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた前記第１領域内の位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第１照射位置を測定し、前記第２空間位置を測定するステップは、前記第２領域に照射された前記レーザ光を前記第１センサが受光できるように、前記第１センサを前記位置決め装置を用いて移動させて位置決めするステップと、位置決めされた前記第１センサに照射された前記レーザ光の前記第２空間位置を測定するステップとを有し、前記第２照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた前記第２領域内の位置と、移動後の前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第２照射位置を測定してもよい。
前記位置決め装置は、三次元測定機であってもよい。前記比較するステップは、前記第１空間位置の座標と前記第１照射位置の座標とを比較するステップと、前記第２空間位置の座標と前記第２照射位置の座標とを比較するステップとを有してもよい。
前記比較するステップは、前記第１空間位置および前記第２空間位置に基づき、前記第１領域および前記第２領域の前記レーザ光が照射された位置の間の第１測定距離を算出するステップと、前記第１照射位置および前記第２照射位置に基づき、前記第１領域および前記第２領域の前記レーザ光が照射された位置の間の第２測定距離を算出するステップと、前記第１測定距離と前記第２測定距離とを比較するステップとを有してもよい。
本発明の第２の態様においては、第１の態様の検査方法によって前記三次元レーザスキャナを検査した後に、検査結果に基づき、前記三次元レーザスキャナの前記空間位置の測定結果を補正するための補正値を算出するステップを更に備える、前記三次元レーザスキャナの補正方法を提供する。
本発明の第３の態様においては、測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより、前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査に用いる検査装置であって、筐体と、前記筐体の第１領域に設けられている第１センサと、前記第１センサから予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域に設けられている第２センサとを備える、検査装置を提供する。
本発明の第４の態様においては、測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査に用いる検査装置であって、筐体と、第１センサと、前記筐体の予め定められた第１領域から予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域まで、前記第１センサを移動させる移動部とを備える、検査装置を提供する。
前記移動部は、位置決め装置であり、前記第１センサは、前記位置決め装置に取り付けられていてもよい。前記第１センサの光を受光する面は、入力する光の少なくとも一部を乱反射または再帰反射させる加工領域を有してもよい。
本発明によれば、三次元レーザスキャナの検査を簡便に実行できるという効果を奏する。
本実施形態に係る検査システムＳの第１構成例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第１例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの第２構成例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第２例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの第３構成例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第３例を示す。 本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第４例を示す。
＜検査システムＳの第１構成例＞
図１は、本実施形態に係る検査システムＳの第１構成例を示す。検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０を検査する。このような検査は、例えば、三次元レーザスキャナ１０の出荷段階における良品および不良品の判定、測定精度の確認、継時変化の測定、装置内部の調整、校正等に用いられる。検査システムＳは、検査対象の三次元レーザスキャナ１０と、検査装置２０とを備える。
三次元レーザスキャナ１０は、測定対象に向けてレーザ光を照射して測定対象からの反射光を受光することにより、測定対象にレーザ光が照射された位置である空間位置を測定する。三次元レーザスキャナ１０が測定する空間位置は、例えば、当該三次元レーザスキャナ１０から測定対象までの距離と測定対象の座標とを含む。また、三次元レーザスキャナ１０は、レーザ光を照射した位置の反射強度、反射率、カラー情報等の情報を測定してもよい。
三次元レーザスキャナ１０は、レーザ光を照射してから反射光が戻ってくるまでの時間に基づき、測定対象におけるレーザ光を照射した位置までの距離を測定する。また、三次元レーザスキャナ１０は、レーザ光を照射する方向に基づき、レーザ光が照射した位置の座標を測定する。三次元レーザスキャナ１０は、測定対象の異なる複数の位置にレーザ光を照射して、複数の位置までの距離および／または座標を測定して、当該測定対象の形状を解析してもよい。
三次元レーザスキャナ１０は、例えば、異なる２つの軸を中心として回転可能に設けられたミラー等を含む光学系を有し、レーザ光の照射方向を異なる２つの方向に走査（スキャン）する。また、三次元レーザスキャナ１０は、例えば、ミラーの回転角度を測定するロータリーエンコーダ等を有し、レーザ光の照射方向および反射して戻ってくる方向を計算する機能を有する。
なお、三次元レーザスキャナ１０が有する光学系は、例えば、焦点距離が可変のレンズを有し、測定対象の表面に焦点位置を自動で合わせる機能を有する。また、当該光学系は、測定対象の表面から反射されたレーザ光を集光して光検出素子等で受光できるように構成されている。このような三次元レーザスキャナ１０の構成は既知であり、ここでは詳細な説明を省略する。
検査装置２０は、三次元レーザスキャナ１０の検査に用いられる。検査装置２０は、三次元レーザスキャナ１０による検査装置２０の空間位置の測定結果を取得し、取得した測定結果と当該検査装置２０によるレーザ光の照射位置の測定結果とに基づき、三次元レーザスキャナ１０を検査する。検査装置２０は、筐体１００と、制御装置２００とを有する。筐体１００には、第１センサ１１０と、第２センサ１２０とが設けられている。制御装置２００は、取得部１３０と、記憶部１４０と、比較部１５０と、制御部１６０と、表示部１７０とを有する。制御装置２００は例えばコンピュータであり、プログラムを実行することにより、取得部１３０、比較部１５０及び制御部１６０として機能する。
筐体１００は、三次元レーザスキャナ１０からレーザ光が照射される。筐体１００は、温度変化、経年変化等による変形が少ない材質で形成されていることが望ましい。筐体１００は、例えば、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ：Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）、セラミック等の材質を含む。また、筐体１００は、金属等で形成されていてもよい。
筐体１００は、レーザ光が照射される第１領域１０１および第２領域１０２を有する。第１領域１０１および第２領域１０２には、レーザ光を検出するための光センサが設けられている。第１領域１０１および第２領域１０２は、光センサが光を検出可能とする受光領域と同程度の大きさの領域であることが望ましい。図１は、光センサとして、第１センサ１１０および第２センサ１２０が筐体１００に設けられている例を示す。
第１センサ１１０は、第１領域１０１に設けられている。第２センサ１２０は、第２領域１０２に設けられている。第１センサ１１０および第２センサ１２０は、複数の光検出素子を有する。光検出素子は、入力する光強度レベルに応じた大きさの電流または電圧を出力する素子である。光検出素子は、例えば、フォトダイオード、ＣＣＤ等である。
第１センサ１１０は、第１領域１０１にレーザ光が照射した場合、第１領域１０１において当該レーザ光が照射した位置を検出可能な光センサである。ここで、第１センサ１１０が検出するレーザ光の照射位置を第１照射位置とする。第１照射位置は、例えば、第１センサ１１０の受光面における予め定められた位置からの距離または座標である。第１センサ１１０を構成する複数の光検出素子の受光領域は、第１領域１０１内に設けられている。
第２センサ１２０は、第１センサ１１０と同様に、第２領域１０２にレーザ光が照射した場合、第２領域１０２において当該レーザ光が照射した位置を検出可能な光センサである。ここで、第２センサ１２０が検出するレーザ光の照射位置を第２照射位置とする。第２照射位置は、例えば、第２センサ１２０の受光面における予め定められた位置からの距離または座標である。
第１センサ１１０および第２センサ１２０は、例えば、分割型フォトダイオード、光位置センサ（ＰＳＤ：Ｐｈｏｔｏ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）、ＣＣＤ等のように、受光領域のうち光が照射された二次元位置を検出可能な光センサである。図１は、第１センサ１１０および第２センサ１２０が４つの光検出器を有する４分割フォトダイオードである例を示す。
４分割フォトダイオードは、４つのフォトダイオードに入射する光の照射面積に応じて、入射した光の二次元座標を出力する素子である。また、４分割フォトダイオードには、例えば、隣り合うフォトダイオードの間、光を検出することができない不感帯となるギャップ領域を有する。そして、ギャップ領域の幅は、レーザ光のビーム径よりも小さくなるように設けられている。
例えば、第１センサ１１０の受光面の中心に不感帯となるターゲット領域１１５が、第２センサ１２０の受光面の中心に不感帯となるターゲット領域１２５が、それぞれ設けられている。これにより、第１領域１０１にレーザ光が照射され、出力レベルが略ゼロとなった場合、当該レーザ光が第１領域１０１の中心であるターゲット領域１１５に照射されたことを検出できる。同様に、例えば、第２領域１０２にレーザ光が照射され、出力レベルが略ゼロとなった場合、当該レーザ光が第２領域１０２の中心であるターゲット領域１２５に照射されたことを検出できる。
なお、三次元レーザスキャナ１０が、このような第１センサ１１０および第２センサ１２０の空間位置を容易に検出できるように、第１センサ１１０および第２センサ１２０の表面は、入力する光のうち正反射する成分を低減させるように加工されていることが好ましい。
例えば、第１センサ１１０および第２センサ１２０の光を受光する面の少なくとも一部は、入力する光の少なくとも一部を乱反射または再帰反射させる加工領域を有する。加工領域は、例えば、表面を粗面とする加工が施されてよく、これに代えて、レンズとして機能する微小な高屈折ガラスビーズが反射材として略均一に複数配置されていてもよい。
以上の第１センサ１１０および第２センサ１２０は、筐体１００の予め定められた位置に配置される。例えば、第２センサ１２０は、第１センサ１１０が設けられている第１領域１０１から予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域に設けられている。図１は、筐体１００の三次元レーザスキャナ１０を向く面において、第１センサ１１０の中心位置と第２センサ１２０の中心位置とが基準間隔ＬＲＥＦだけ離隔されて設けられている例を示す。これにより、三次元レーザスキャナ１０が第１センサ１１０の中心位置と第２センサ１２０の中心位置とにレーザ光を照射して中心間の距離を測定した場合、理想的な測定結果は基準間隔ＬＲＥＦと一致することになる。
取得部１３０は、第１センサ１１０および第２センサ１２０の検出結果を検査装置２０の測定結果として取得する。また、取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の測定結果を取得する。三次元レーザスキャナ１０の測定結果は、当該三次元レーザスキャナ１０が筐体１００の第１領域１０１にレーザを照射することにより、第１領域１０１においてレーザ光が照射された位置である第１空間位置を測定した結果を含む。また、三次元レーザスキャナ１０の測定結果は、当該三次元レーザスキャナ１０が筐体１００の第２領域１０２にレーザを照射することにより、第２領域１０２においてレーザ光が照射された位置である第２空間位置を測定した結果を含む。
記憶部１４０は、取得部１３０が取得した測定結果の情報を記憶する。記憶部１４０は、検査装置２０が動作の過程で生成する（または利用する）中間データ、算出結果、閾値、およびパラメータ等をそれぞれ記憶してもよい。また、記憶部１４０は、制御部１６０の要求等に応じて、記憶したデータを制御部１６０または制御部１６０の指示した供給先に供給してもよい。
比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０による空間位置の測定結果と、検査装置２０による照射位置の測定結果とを比較する。比較部１５０は、比較した結果を検査結果として出力する。また、比較部１５０は、比較結果に対応する検査結果を出力してもよい。
制御部１６０は、検査装置２０および三次元レーザスキャナ１０の動作を制御して、三次元レーザスキャナ１０を検査する。制御部１６０は、表示部１７０に検査結果を表示させてもよく、プリンタ等により、検査結果を印字して出力してもよい。また、制御部１６０は、検査結果を記憶部１４０に記憶してもよく、これに代えて、またはこれに加えて、検査結果を外部のデータベース等に記憶してもよい。この場合、制御部１６０は、ネットワーク等に接続されていることが好ましい。
表示部１７０は、ディスプレイ等を有し、検査装置２０の測定結果を表示する。また、表示部１７０は、制御部１６０の制御動作の状態および経過等を表示してもよい。表示部１７０は、ユーザ等からの制御の指示等を受け付けて、制御部１６０に供給してもよい。
以上の検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０の測定結果と検査装置２０の測定結果とに基づき、三次元レーザスキャナ１０を検査する。従来、三次元レーザスキャナ１０を検査する特定な方法は確立されておらず、例えば、予め定められた距離に配置された複数の対象物にレーザ光を照射して対象物の間の距離等を測定して検査していた。しかしながら、対象物に実際にレーザが照射している位置を精度よく確認すること、実際に三次元レーザスキャナ１０が測定した距離を把握すること等は、複雑な装置および複雑な手順等が必要になってしまうことがあった。そこで、本実施形態に係る検査システムＳは、光センサを備えた簡便な構成の検査装置２０を用いることで、効率的に三次元レーザスキャナ１０を検査できる。このような検査システムＳの動作について次に説明する。
＜検査システムＳの動作フローの第１例＞
図２は、本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第１例を示す。検査システムＳは、Ｓ２１０からＳ２８０の動作を実行することにより、三次元レーザスキャナ１０を検査する。検査システムＳは、例えば、工場出荷段階の製品検査としてＳ２１０からＳ２８０の動作を実行してもよく、また、継時変化の確認として当該動作を実行してもよい。
まず、三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０を配置する（Ｓ２１０）。検査装置２０は、三次元レーザスキャナ１０の測定可能な範囲に配置される。例えば、検査装置２０の第１センサ１１０および第２センサ１２０が設けられている面を、三次元レーザスキャナ１０がレーザ光を出力する部位に対向するように、三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０を配置する。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１にレーザ光を照射する（Ｓ２２０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第１領域１０１においてレーザ光が照射された第１空間位置を測定する（Ｓ２３０）。第１領域１０１には第１センサ１１０が設けられているので、三次元レーザスキャナ１０は、第１センサ１１０にレーザ光を照射して第１空間位置を測定することになる。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第１空間位置の測定結果を取得する。
次に、検査装置２０は、第１領域１０１においてレーザ光が照射された第１照射位置を測定する（Ｓ２４０）。検査装置２０は、第１センサ１１０により第１照射位置を測定する。なお、第１照射位置は、第１センサ１１０が検出する２次元座標とする。取得部１３０は、検査装置２０の第１照射位置の測定結果を取得する。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１とは異なる第２領域１０２にレーザ光を照射する（Ｓ２５０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第２領域１０２においてレーザ光が照射された第２空間位置を測定する（Ｓ２６０）。第２領域１０２には第２センサ１２０が設けられているので、三次元レーザスキャナ１０は、第２センサ１２０にレーザ光を照射して第２空間位置を測定することになる。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第２空間位置の測定結果を取得する。
次に、検査装置２０は、第２領域１０２においてレーザ光が照射された第２照射位置を測定する（Ｓ２７０）。検査装置２０は、第２センサ１２０により第２照射位置を測定する。なお、第２照射位置は、第２センサ１２０が検出する２次元座標とする。取得部１３０は、検査装置２０の第２照射位置の測定結果を取得する。
次に、比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０による第１空間位置および第２空間位置の測定結果と、検査装置２０による第１照射位置および第２照射位置の測定結果とを比較する（Ｓ２８０）。比較部１５０は、例えば、第１空間位置および第２空間位置に基づき、第１領域１０１および第２領域１０２のレーザ光が照射された位置の間の第１測定距離ＬＭＥＡＳを算出する。この場合、比較部１５０は、一例として、第１空間位置に含まれている座標と、第２空間位置に含まれている座標とから、第１測定距離を算出する。
また、比較部１５０は、第１照射位置および第２照射位置に基づき、第１領域および第２領域のレーザ光が照射された位置の間の第２測定距離を算出する。比較部１５０は、例えば、基準間隔ＬＲＥＦに第１照射位置および第２照射位置の値を考慮して第２測定距離を算出する。例えば、第１照射位置および第２照射位置の値を、第１センサ１１０および第２センサ１２０の中心間を結ぶ線分の方向への射影を算出し、算出した射影の値を基準間隔ＬＲＥＦに加算して第２測定距離を算出する。
そして、比較部１５０は、算出した第１測定距離と第２測定距離とを比較する。比較部１５０は、例えば、第１測定距離および第２測定距離が、予め定められた第１範囲内で一致する場合、三次元レーザスキャナ１０を良品と判定する。また、比較部１５０は、第１測定距離および第２測定距離の差分が、予め定められた第１範囲を超え、かつ、あらかじめ定められた第２範囲内の場合、三次元レーザスキャナ１０の調整が必要と判定する。さらに、比較部１５０は、第１測定距離および第２測定距離の差分が、予め定められた第２範囲を超えた場合、三次元レーザスキャナ１０を不良品と判定する。これに代えて、比較部１５０は、第１測定距離および第２測定距離の差分を、検査結果として出力してもよい。
制御部１６０は、比較部１５０の検査結果を表示部１７０に出力する。制御部１６０は、ネットワーク等を介して検査結果を出力してもよい。以上のように、本実施形態にかかる評価システムＳは、三次元レーザスキャナ１０による第１センサ１１０および第２センサ１２０の間の測定結果である第１測定距離と、検査装置２０による第１センサ１１０および第２センサ１２０の間の測定結果である第２測定距離とを比較して、三次元レーザスキャナ１０を検査する。
以上のように、検査装置２０には、第１領域１０１に第１センサ１１０が第２領域１０２に第２センサ１２０が基準間隔だけ離れて設けられている。したがって、三次元レーザスキャナ１０が第１領域１０１および第２領域１０２の間の第１測定距離を測定すると、検査装置２０は、三次元レーザスキャナ１０から出力されるレーザ光の受光を第１センサ１１０および第２センサ１２０により確認できる。また、第１センサ１１０および第２センサ１２０は、レーザが照射された二次元位置を検出できるので、レーザ光の受光を確認しつつ、第２測定距離を測定することができる。したがって、検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０に検査装置２０の第１測定距離を測定させることで、第１測定距離と第２測定距離とを取得して比較できるので、三次元レーザスキャナ１０を簡便に検査することができる。
また、第１センサ１１０および第２センサ１２０が複数の光検出素子を有するので、レーザの照射位置を正確に検出することができる。これにより、検査装置２０は、精度よく第２測定距離を測定することができる。
以上の本実施形態に係る検査装置２０において、第１センサ１１０および第２センサ１２０といった２つの光センサが筐体１００に設けられている例を説明したが、これに限定されることはない。検査装置２０の筐体１００には、３以上の光センサが設けられていてもよい。また、複数の光センサは、１つの方向に配列されてもよく、これに代えて、２以上の異なる方向に配列されてもよい。これにより、検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０に検査装置２０の各方向の基準間隔を測定させることで、各方向における三次元レーザスキャナ１０の検査を効率的に実行できる。
また、以上の本実施形態に係る検査システムＳの動作において、三次元レーザスキャナ１０が検査装置２０の第１測定距離を１回だけ測定する例を説明したが、これに限定されることはない。検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０に第１測定距離の測定を複数回実行させて、複数回の測定結果に基づいて検査結果を出力してもよい。この場合、三次元レーザスキャナ１０および筐体１００の相対的な位置を変更しつつ、第１測定距離の測定を繰り返してもよい。
以上の本実施形態に係る検査装置２０において、第１センサ１１０および第２センサ１２０といった光センサが固定されている例を説明したが、これに限定されることはない。検査装置２０には、少なくとも１つの光センサが移動可能に設けられていてもよい。このような検査装置２０を備えた検査システムＳについて、次に説明する。
＜検査システムＳの第２構成例＞
図３は、本実施形態に係る検査システムＳの第２構成例を示す。第２構成例の検査システムＳにおいて、図１に示された本実施形態に係る検査システムＳの動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第２構成例の検査システムＳは、移動部２１０と測長部２２０とを更に備える。
移動部２１０は、筐体１００の予め定められた第１領域１０１から予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域１０２まで、第１センサ１１０を移動させる。移動部２１０は、例えば、モータ等のアクチュエータを有し、一方向に第１センサ１１０を移動する。図３は、移動部２１０が、レール２１１と、レール２１１上を移動するキャリッジ２１２とを有する例を示す。そして、第１センサ１１０がキャリッジ２１２に設けられている例を示す。移動部２１０は、例えば、制御部１６０の制御信号に応じて、第１センサ１１０を基準間隔ＬＲＥＦだけ移動させる。
測長部２２０は、移動部２１０が第１センサ１１０を移動させた距離を測定する。測長部２２０は、例えば、レーザ干渉計である。測長部２２０は、第１センサ１１０またはキャリッジ２１２にレーザ光を照射して、反射されたレーザ光を受光して移動部２１０の移動距離を測定する。これに代えて、測長部２２０は、リニアエンコーダ等でもよい。また、測長部２２０は、レール２１１上に設けられている位置検出センサであってもよい。
また、例えば、レール２１１上の一端に、第１センサ１１０が第１領域１０１に重なるようにキャリッジ２１２を位置決めするためのストッパ２１３が設けられていることが好ましい。これにより、移動部２１０が第１センサ１１０を第２領域１０２まで移動させた後に、再び第１領域１０１へと容易に戻すことができる。また、レール２１１上の一端とは反対側の他端に、第１センサ１１０が第２領域１０２に重なるようにキャリッジ２１２を位置決めするためのストッパ２１４が設けられていてもよい。更に、ストッパ２１３およびストッパ２１４の位置決め精度が第２測定距離の測定精度を満たす場合、測長部２２０は無くてもよい。
＜検査システムＳの動作フローの第２例＞
図４は、本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第２例を示す。まず、三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０を配置する（Ｓ４１０）。三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０の配置については、図２で説明したので、ここでは説明を省略する。次に、第１センサ１１０を第１領域１０１に配置する（Ｓ４２０）。制御部１６０は、例えば、移動部２１０を初期位置に移動させる。なお、測長部２２０を用いて、第１センサ１１０の位置を測定して、第１センサ１１０が第１領域１０１に配置されていることを確認してもよい。また、移動部２１０がキャリッジ２１２をストッパ２１３に接触するまで移動させてもよい。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１にレーザ光を照射する（Ｓ４３０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第１領域１０１に配置させた第１センサ１１０にレーザ光を照射して第１空間位置を測定する（Ｓ４４０）。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第１空間位置の測定結果を取得する。次に、検査装置２０は、第１領域１０１に配置させた第１センサ１１０により第１照射位置を測定する（Ｓ４５０）。取得部１３０は、検査装置２０の第１照射位置の測定結果を取得する。
次に、第１領域１０１に配置された第１センサ１１０を、予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ移動させて第２領域１０２に配置する（Ｓ４６０）。制御部１６０は、移動部２１０を制御して、第１センサ１１０を移動する。制御部１６０は、例えば、予め定められた距離だけ第１センサ１１０を移動して、第２領域１０２に第１センサ１１０を配置する。そして、測長部２２０は、移動部２１０が第１センサ１１０を移動させた距離を測定する。ここで、測長部２２０の測定結果を基準間隔ＬＲＥＦとする。これに代えて、移動部２１０がキャリッジ２１２をストッパ２１４に接触するまで移動させ、ストッパ２１３およびストッパ２１４の間の距離に基づく間隔を基準間隔ＬＲＥＦとしてもよい。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１とは異なる第２領域１０２にレーザ光を照射する（Ｓ４７０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第２領域１０２においてレーザ光が照射された第２空間位置を測定する（Ｓ４８０）。これにより、三次元レーザスキャナ１０は、第１領域１０１から第２領域１０２に移動させて配置させた第１センサ１１０にレーザ光を照射して、第２空間位置を測定することになる。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第２空間位置の測定結果を取得する。
次に、検査装置２０は、第２領域１０２に配置させた第１センサ１１０により第２照射位置を測定する（Ｓ４９０）。取得部１３０は、検査装置２０の第２照射位置の測定結果を取得する。次に、比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０による第１空間位置および第２空間位置の測定結果と、検査装置２０による第１照射位置および第２照射位置の測定結果とを比較する（Ｓ５００）。比較部１５０による比較動作については、図２で説明したので、ここでは説明を省略する。
以上のように、第２構成例の検査装置２０は、第１領域１０１から第２領域１０２までを移動可能に設けられた第１センサ１１０を備え、第１構成例の検査装置２０と同様の測定結果を出力する。これにより、検査装置２０は、光センサの数を低減させることができる。また、検査装置２０は、異なる複数の位置に第１センサ１１０を移動させてもよい。これにより第２構成例の検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０の検査を容易に複数の位置毎に実行できる。
以上の第２構成例の検査システムＳにおいて、第１センサ１１０を一方向に移動させる例を説明したが、これに限定されることはない。検査システムＳは、第１センサ１１０を複数の方向、入力された方向、任意の方向等に移動させてもよい。このような検査システムＳについて次に説明する。
＜検査システムＳの第３構成例＞
図５は、本実施形態に係る検査システムＳの第３構成例を示す。第３構成例の検査システムＳにおいて、図１及び図３に示された本実施形態に係る検査システムＳの動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。第３構成例の検査システムＳは、移動部２１０が位置決め装置であり、第１センサ１１０は、位置決め装置に取り付けられている。このように、検査装置２０は、第１センサ１１０が取り付けられ、第１センサ１１０を第１領域１０１から第２領域１０２までを移動可能とする位置決め装置を有する。
位置決め装置は、例えば、立体の三次元形状を計測するために用いられ、三次元位置を測定できる。位置決め装置は、例えば、三次元測定機である。三次元測定機は、三次元の位置を測定可能なプローブを有し、このようなプローブに第１センサ１１０が取り付けられている。このような移動部２１０は、第１センサ１１０を三次元的に移動させることができ、また、移動させた第１センサ１１０の位置を測定して位置決めすることができる。したがって、第３構成例の検査システムＳは、第２構成例の検査システムＳで説明したように、第１センサ１１０の位置を測長部２２０等で測定しなくてもよい。
＜検査システムＳの動作フローの第３例＞
図６は、本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第３例を示す。まず、三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０を配置する（Ｓ６１０）。次に、第１センサ１１０を第１領域１０１に配置して位置決めする（Ｓ６２０）。制御部１６０は、例えば、移動部２１０に第１センサ１１０の移動を指示する。移動部２１０である位置決め装置は、例えば、予め定められた第１領域１０１に第１センサ１１０を移動して位置決めする。位置決め装置は、ユーザ等に指定された第１領域１０１に第１センサ１１０を移動して位置決めしてもよい。このように、位置決め装置に取り付けられている第１センサ１１０を位置決め装置を用いて第１領域内１０１に位置決めする。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１にレーザ光を照射する（Ｓ６３０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第１領域１０１に配置させた第１センサ１１０にレーザ光を照射して第１空間位置を測定する（Ｓ６４０）。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第１空間位置の測定結果を取得する。
次に、検査装置２０は、位置決め装置によって位置決めされた位置と、第１センサ１１０による検出位置とに基づき、第１照射位置を測定する（Ｓ６５０）。例えば、取得部１３０は、位置決め装置が位置決めした座標と、第１センサ１１０によるレーザの照射位置の検出結果とを取得する。比較部１５０は、位置決め装置が位置決めした座標に、第１センサ１１０によるレーザの照射位置の検出結果を加算して、第１照射位置を算出する。なお、第１照射位置は、制御部１６０が算出してもよい。この場合、制御部１６０は算出した第１照射位置を記憶部１４０に記憶することが好ましい。
次に、位置決め装置により、第１センサ１１０を第１領域１０１から第２領域１０２に移動させて第２領域１０２内に配置して位置決めする（Ｓ６６０）。制御部１６０は、例えば、移動部２１０に第１センサ１１０の移動を指示する。位置決め装置は、例えば、予め定められた距離だけ第１センサ１１０を移動して、第２領域１０２に第１センサ１１０を位置決めする。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１とは異なる第２領域１０２にレーザ光を照射する（Ｓ６７０）。そして、三次元レーザスキャナ１０は、第２領域１０２においてレーザ光が照射された第２空間位置を測定する（Ｓ６８０）。取得部１３０は、三次元レーザスキャナ１０の第２空間位置の測定結果を取得する。
次に、検査装置２０は、位置決め装置によって位置決めされた位置と、第１センサ１１０による検出位置とに基づき、第２照射位置を測定する（Ｓ６９０）。例えば、取得部１３０は、位置決め装置が位置決めした座標と、第１センサ１１０によるレーザの照射位置の検出結果とを取得する。比較部１５０または制御部１６０は、位置決め装置が位置決めした座標に、第１センサ１１０によるレーザの照射位置の検出結果を加算して、第２照射位置を算出する。
次に、比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０による第１空間位置および第２空間位置の測定結果と、検査装置２０による第１照射位置および第２照射位置の測定結果とを比較する（Ｓ７００）。比較部１５０は、例えば、図２で説明したように、第１測定距離および第２測定距離を算出してから比較する。この場合、一例として、第１空間位置および第２空間位置の間の距離を第１測定距離とし、第１照射位置および第２照射位置の間の距離を第２測定距離とする。
これに代えて、比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０が測定した座標と、検査装置２０が測定した座標とを比較してもよい。この場合、比較部１５０は、第１空間位置の座標と前記第１照射位置の座標とを比較し、第２空間位置の座標と第２照射位置の座標とを比較する。
比較部１５０は、例えば、空間位置および照射位置の座標間の距離が、予め定められた第１範囲内で全て一致する場合、三次元レーザスキャナ１０を良品と判定する。また、比較部１５０は、当該座標間の距離の少なくとも１つが、予め定められた第１範囲を超え、かつ、あらかじめ定められた第２範囲内の場合、三次元レーザスキャナ１０の調整が必要と判定する。さらに、比較部１５０は、当該座標間の距離の少なくとも１つが、予め定められた第２範囲を超えた場合、三次元レーザスキャナ１０を不良品と判定する。これに代えて、比較部１５０は、空間位置および照射位置の座標間の距離を検査結果として出力してもよい。
制御部１６０は、比較部１５０の検査結果を表示部１７０に出力する。以上のように、第３構成例の検査装置２０は、位置決め装置を有し、第１センサ１１０を移動させつつ、第１センサ１１０の位置を予め定められた領域に位置決めする。これにより、検査システムＳは、光センサの位置を容易に取得することができ、三次元レーザスキャナ１０の検査を簡便に実行できる。
検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０に３以上の複数の領域における測定を複数回実行させて、複数回の測定結果に基づいて検査結果を出力することが望ましい。検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０の検査を簡便に実行できるので、複数回の測定に対するスループットを向上できる。また、複数個所の測定により、三次元レーザスキャナ１０の検査を確実に行うことができる。
以上のように、第３構成例の検査装置２０は、位置決め装置を有し、第１センサ１１０の位置を予め定められた領域に位置決めする例を説明したが、これに限定されることはない。位置決め装置は、レーザ光が照射された位置に移動して位置決めしてもよい。このような検査システムＳの動作について次に説明する。
＜検査システムＳの動作フローの第４例＞
図７は、本実施形態に係る検査システムＳの動作フローの第４例を示す。まず、三次元レーザスキャナ１０および検査装置２０を配置する（Ｓ７１０）。次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１にレーザ光を照射する（Ｓ７２０）。
そして、第１センサ１１０を第１領域１０１に移動して位置決めする（Ｓ７３０）。制御部１６０は、例えば、移動部２１０に第１センサ１１０の移動を指示する。移動部２１０である位置決め装置は、第１領域１０１に照射されたレーザ光を第１センサ１１０が受光できるように、第１センサ１１０を移動させて位置決めする。制御部１６０は、一例として、第１センサ１１０の受光強度が予め定められた強度レベルの範囲となるように、位置決め装置の移動先を指示する。そして、第１センサ１１０がレーザ光を受光したことに応じて、位置決め装置は、第１センサ１１０の移動を停止して位置決めする。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、第１センサ１１０に照射された第１空間位置を測定する（Ｓ７４０）。また、検査装置２０は、位置決め装置によって位置決めされた第１領域１０１内の位置と、第１センサ１１０による検出位置とに基づき、第１照射位置を測定する（Ｓ７５０）。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、検査装置２０の第１領域１０１とは異なる第２領域１０２にレーザ光を照射する（Ｓ７６０）。次に、第２領域１０２に第１センサ１１０を移動して位置決めする（Ｓ７７０）。位置決め装置は、第２領域１０２に照射されたレーザ光を第１センサ１１０が受光できるように、第１センサ１１０を移動させて位置決めする。制御部１６０は、例えば、第１領域１０１における位置決めと同様に、位置決め装置の移動先を指示して、第１センサ１１０を位置決めする。
次に、制御部１６０は、三次元レーザスキャナ１０を制御して、第１センサ１１０に照射されたレーザ光の第２空間位置を測定する（Ｓ７８０）。また、検査装置２０は、位置決め装置によって位置決めされた第２領域１０２内の位置と、第１センサ１１０による検出位置とに基づき、第２照射位置を測定する（Ｓ７９０）。
次に、比較部１５０は、三次元レーザスキャナ１０による第１空間位置および第２空間位置の測定結果と、検査装置２０による第１照射位置および第２照射位置の測定結果とを比較する（Ｓ８００）。比較部１５０による比較動作は、既に説明したのでここでは説明を省略する。
以上の第４例の動作フローのように、第３構成例の検査装置２０は、第１センサ１１０と、第１センサ１１０が取り付けられ、第１センサ１１０を第１領域１０１から第２領域１０２までを移動可能とする位置決め装置とを備え、レーザ光を受光できるように第１センサ１１０の位置を移動して位置決めする。この場合においても、検査システムＳは、光センサの位置を容易に取得することができ、三次元レーザスキャナ１０の検査を簡便に実行できる。
以上の本実施形態に係る検査システムＳの動作において、三次元レーザスキャナ１０による空間位置の測定の後に、検査装置２０が第２照射位置を測定する例を説明したが、これに限定されることはない。検査装置２０による第２照射位置の測定の後に、三次元レーザスキャナ１０が空間位置を測定してもよい。また、三次元レーザスキャナ１０による空間位置の測定と、検査装置２０による第２照射位置の測定とを、並列に動作させてもよい。
以上の本実施形態に係る検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０を検査する例を説明したが、これに限定されることはない。検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０を検査した後に、検査結果に基づき、三次元レーザスキャナ１０の空間位置の測定結果を補正するための補正値を算出してもよい。
検査システムＳは、三次元レーザスキャナ１０による光センサの位置の測定値と、実際のレーザ光の照射位置の測定結果とを取得できるので、当該三次元レーザスキャナ１０の測定誤差を把握することができる。そこで、例えば、制御部１６０は、測定誤差を低減させるように、三次元レーザスキャナ１０の測定結果を補正する補正値を算出して三次元レーザスキャナ１０に供給する。これにより、三次元レーザスキャナ１０は、このような補正値を用いることにより、より正確な測定結果を出力することができる。
以上の本実施形態に係る制御装置２００の少なくとも一部は、例えば、集積回路等で構成されている。この場合、取得部１３０、記憶部１４０、比較部１５０、および制御部１６０の少なくとも一部は、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、および／またはＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む。
記憶部１４０は、例えば、コンピュータ等が取得部１３０、比較部１５０、および制御部１６０として機能する場合、コンピュータ等を機能させるＯＳ（Operating System）、およびプログラム等の情報を格納してもよい。また、記憶部１４０は、当該プログラムの実行時に参照されるデータベースを含む種々の情報を格納してもよい。例えば、コンピュータは、記憶部１４０に記憶されたプログラムを実行することによって、取得部１３０、記憶部１４０、比較部１５０、制御部１６０、および表示部１７０の少なくとも一部として機能する。
記憶部１４０は、例えば、コンピュータ等のＢＩＯＳ（Basic Input Output System）等を格納するＲＯＭ（Read Only Memory）、および作業領域となるＲＡＭ（Random Access Memory）を含む。また、記憶部１４０は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）および／またはＳＳＤ（Solid State Drive）等の大容量記憶装置を含んでもよい。また、コンピュータは、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）等を更に備えてもよい。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。
１０ 三次元レーザスキャナ
２０ 検査装置
１００ 筐体
１０１ 第１領域
１０２ 第２領域
１１０ 第１センサ
１１５ ターゲット領域
１２０ 第２センサ
１２５ ターゲット領域
１３０ 取得部
１４０ 記憶部
１５０ 比較部
１６０ 制御部
１７０ 表示部
２００ 制御装置
２１０ 移動部
２１１ レール
２１２ キャリッジ
２１３ ストッパ
２１４ ストッパ
２２０ 測長部

Claims (15)

  1. 測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査方法であって、
    検査装置の第１領域に前記レーザ光を照射することにより、前記第１領域において前記レーザ光が照射された第１空間位置を測定するステップと、
    前記検査装置が前記第１領域において前記レーザ光が照射された第１照射位置を測定するステップと、
    前記検査装置の前記第１領域とは異なる第２領域に前記レーザ光を照射することにより、前記第２領域において前記レーザ光が照射された第２空間位置を測定するステップと、
    前記検査装置が前記第２領域において前記レーザ光が照射された第２照射位置を測定するステップと、
    前記三次元レーザスキャナによる前記第１空間位置および前記第２空間位置の測定結果と、前記検査装置による前記第１照射位置および前記第２照射位置の測定結果とを比較するステップと
    を備える、検査方法。
  2. 前記検査装置は、
    前記第１領域に設けられた第１センサと、
    前記第２領域に設けられ、前記第１センサから予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２センサと
    を備え、
    前記第１空間位置を測定するステップは、前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第１空間位置を測定し、
    前記第１照射位置を測定するステップは、前記第１センサにより前記第１照射位置を測定し、
    前記第２空間位置を測定するステップは、前記第２センサに前記レーザ光を照射して前記第２空間位置を測定し、
    前記第２照射位置を測定するステップは、前記第２センサにより前記第２照射位置を測定する、
    請求項１に記載の検査方法。
  3. 前記検査装置は、前記第１領域から前記第２領域までを移動可能に設けられた第１センサを備え、
    前記第１空間位置を測定するステップは、前記第１領域に配置させた前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第１空間位置を測定し、
    前記第１照射位置を測定するステップは、前記第１領域に配置させた前記第１センサにより前記第１照射位置を測定し、
    前記第２空間位置を測定するステップは、前記第１領域から前記第２領域に移動させて配置させた前記第１センサに前記レーザ光を照射して前記第２空間位置を測定し、
    前記第２照射位置を測定するステップは、前記第２領域に配置させた前記第１センサにより前記第２照射位置を測定する、
    請求項１に記載の検査方法。
  4. 前記第２空間位置を測定するステップは、前記第１領域に配置された前記第１センサを、予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ移動させて前記第２領域に配置するステップを含む、請求項３に記載の検査方法。
  5. 前記検査装置は、前記第１センサが取り付けられ、前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域までを移動可能とする位置決め装置を有する、請求項３または４に記載の検査方法。
  6. 前記第１空間位置を測定するステップは、前記位置決め装置に取り付けられている前記第１センサを前記位置決め装置を用いて前記第１領域内に位置決めするステップを更に有し、
    前記第１照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第１照射位置を測定し、
    前記第２空間位置を測定するステップは、前記位置決め装置により前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域に移動させて前記第２領域内に位置決めするステップを更に有し、
    前記第２照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第２照射位置を測定する、
    請求項５に記載の検査方法。
  7. 前記検査装置は、
    第１センサと、
    前記第１センサが取り付けられ、前記第１センサを前記第１領域から前記第２領域までを移動可能とする位置決め装置と
    を備え、
    前記第１空間位置を測定するステップは、
    前記第１領域に照射された前記レーザ光を前記第１センサが受光できるように、前記第１センサを前記位置決め装置を用いて移動させて位置決めするステップと、
    位置決めされた前記第１センサに照射された前記レーザ光の前記第１空間位置を測定するステップと
    を有し、
    前記第１照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた前記第１領域内の位置と、前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第１照射位置を測定し、
    前記第２空間位置を測定するステップは、
    前記第２領域に照射された前記レーザ光を前記第１センサが受光できるように、前記第１センサを前記位置決め装置を用いて移動させて位置決めするステップと、
    位置決めされた前記第１センサに照射された前記レーザ光の前記第２空間位置を測定するステップと
    を有し、
    前記第２照射位置を測定するステップは、前記位置決め装置によって位置決めされた前記第２領域内の位置と、移動後の前記第１センサによる検出位置とに基づき、前記第２照射位置を測定する、
    請求項１に記載の検査方法。
  8. 前記位置決め装置は、三次元測定機である、請求項５から７のいずれか一項に記載の検査方法。
  9. 前記比較するステップは、
    前記第１空間位置の座標と前記第１照射位置の座標とを比較するステップと、
    前記第２空間位置の座標と前記第２照射位置の座標とを比較するステップと
    を有する、請求項５から８のいずれか一項に記載の検査方法。
  10. 前記比較するステップは、
    前記第１空間位置および前記第２空間位置に基づき、前記第１領域および前記第２領域の前記レーザ光が照射された位置の間の第１測定距離を算出するステップと、
    前記第１照射位置および前記第２照射位置に基づき、前記第１領域および前記第２領域の前記レーザ光が照射された位置の間の第２測定距離を算出するステップと、
    前記第１測定距離と前記第２測定距離とを比較するステップと
    を有する、請求項１から８のいずれか一項に記載の検査方法。
  11. 請求項１から１０のいずれか一項に記載の検査方法によって前記三次元レーザスキャナを検査した後に、
    検査結果に基づき、前記三次元レーザスキャナの前記空間位置の測定結果を補正するための補正値を算出するステップを更に備える、前記三次元レーザスキャナの補正方法。
  12. 測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより、前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査に用いる検査装置であって、
    筐体と、
    前記筐体の第１領域に設けられている第１センサと、
    前記第１センサから予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域に設けられている第２センサと
    を備える、検査装置。
  13. 測定対象に向けてレーザ光を照射して前記測定対象からの反射光を受光することにより前記測定対象に前記レーザ光が照射された位置である空間位置を測定する、三次元レーザスキャナの検査に用いる検査装置であって、
    筐体と、
    第１センサと、
    前記筐体の予め定められた第１領域から予め定められた方向に予め定められた基準間隔だけ離れた第２領域まで、前記第１センサを移動させる移動部と
    を備える、検査装置。
  14. 前記移動部は、位置決め装置であり、
    前記第１センサは、前記位置決め装置に取り付けられている、
    請求項１３に記載の検査装置。
  15. 前記第１センサの光を受光する面は、入力する光の少なくとも一部を乱反射または再帰反射させる加工領域を有する、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の検査装置。
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