JP2021027251A - インダクタ部品 - Google Patents

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Abstract

【課題】優れた放熱性を有し、かつ方向識別性を容易に向上させるインダクタ部品を提供する。【解決手段】インダクタ部品は、第1面と前記第1面の反対側に位置する第2面を有する素体と、前記第1面に設けられた第1方向性識別層と、前記第2面に設けられた第2方向性識別層とを備える。前記第1方向性識別層は、前記第1方向性識別層の厚さ方向に貫通した第1開口部を有する。前記第2方向性識別層は、前記第2方向性識別層の厚さ方向に貫通した第2開口部を有する。前記素体は、前記第1面において前記第1開口部に前記素体の一部が露出する第1露出部と、前記第2面において前記第2開口部に前記素体の一部が露出する第2露出部とを有する。前記第1露出部の前記第1方向性識別層の厚さ方向に突出する第1突出量は、前記第2露出部の前記第2方向性識別層の厚さ方向に突出する第2突出量に比べて小さい。【選択図】図1

Description

本発明は、インダクタ部品に関する。
従来、インダクタ部品としては、特開2011−14940号公報(特許文献1)に記載されたものがある。このインダクタ部品は、第1端面および前記第1端面の反対側に位置する第2端面を有する素体と、前記第1端面および前記第2端面に設けられた外部電極とを備える。素体は、さらに前記第1端面および前記第2端面に垂直に位置する第1側面(第1面)および前記第1側面の反対側に位置する第2側面(第2面)と、前記第1端面および前記第2端面ならびに前記第1側面および前記第2側面に垂直に位置する第3側面および前記第3側面の反対側に位置する第4側面とを有する。方向性識別層は第1側面および第2側面の全面に設けられている。方向性識別層の色は、第3側面および第4側面の色と異なる。このインダクタ部品では、色の違いによりインダクタ部品の実装方向を外観識別する。
特開2011−14940号公報
ところで、上記インダクタ部品は、次の問題があることが分かった。
方向性識別層が第1側面および第2側面の全面に設けられており、第1,第2側面はインダクタ部品の外部に露出していない。このため、インダクタ部品を例えば使用中に素体の内部で発生した熱が素体とインダクタ部品の外部との間にある方向性識別層により妨げられ、熱がインダクタ部品の外部に効率的に放出されにくいという問題がある。
また、第1側面と第2側面とに設けられた方向性識別層を互いに判別するために、添加剤の添加量を変えることにより方向性識別層の明度の差を設けている。明度の差を設けるために、異なる組成の材料で2つの方向性識別層を形成しなければならず、手間がかかっていた。
このように、インダクタ部品が、放熱性に優れ、かつ方向識別性を容易に向上させることは困難であった。
そこで、本開示の目的は、優れた放熱性を有し、かつ方向識別性を容易に向上させるインダクタ部品を提供することにある。
前記課題を解決するため、本開示の一態様であるインダクタ部品は、
第1面と前記第1面の反対側に位置する第2面とを有する素体と、
前記第1面に設けられた第1方向性識別層と、
前記第2面に設けられた第2方向性識別層と
を備え、
前記第1方向性識別層は、前記第1方向性識別層の厚さ方向に貫通した第1開口部を有し、
前記第2方向性識別層は、前記第2方向性識別層の厚さ方向に貫通した第2開口部を有し、
前記素体は、前記第1面において前記第1開口部に前記素体の一部が露出する第1露出部と、前記第2面において前記第2開口部に前記素体の一部が露出する第2露出部とを有し、
前記第1露出部の前記第1方向性識別層の厚さ方向に突出する第1突出量は、前記第2露出部の前記第2方向性識別層の厚さ方向に突出する第2突出量に比べて小さい。
本明細書において、第1突出量は0とマイナスとを含む。
前記態様によれば、素体は、第1面において第1開口部に露出する第1露出部と、第2面において第2開口部に露出する第2露出部とを有する。このように、素体は、その一部を第1開口部および第2開口部を介して外部に露出するため、インダクタ部品の例えば使用時にその内部で発生した熱を外部へ効率的に放出させることができる。よって、インダクタ部品は放熱性に優れる。
また、第1露出部の第1方向性識別層の厚さ方向に突出する第1突出量が、第2露出部の第2方向性識別層の厚さ方向に突出する第2突出量に比べて小さい。このように、素体は、突出量の異なる第1露出部と第2露出部とを有するため、2つの方向性識別層を容易にかつ確実に外観識別することができる。これにより、例えば同一の組成の材料であっても互いに外観識別可能な2つの方向性識別層を形成することができる。よって、インダクタ部品は、方向識別性を容易に向上させることができる。
以上から、インダクタ部品は、優れた放熱性を有し、かつ方向識別性を容易に向上させることができる。
本開示の一態様であるインダクタ部品によれば、優れた放熱性を有し、かつ方向識別性を容易に向上させることができる。
本開示のインダクタ部品の第1実施形態を示す透視斜視図である。 インダクタ部品の断面図である。 図2のA部拡大図である。 本開示のインダクタ部品の第2実施形態を示す拡大断面図である。 本開示のインダクタ部品の第3実施形態を示す拡大断面図である。
以下、本開示の一態様であるインダクタ部品を図示の実施の形態により詳細に説明する。なお、図面は一部模式的なものを含み、実際の寸法や比率を反映していない場合がある。
(第1実施形態)
図1は、インダクタ部品の第1実施形態を示す斜視図である。図1に示すように、インダクタ部品1は、素体10と、素体10の一部を露出させる第1開口部51を有する第1方向性識別層50と、素体10の一部を露出させる第2開口部61を有する第2方向性識別層60とを備える。インダクタ部品1は、さらに素体10の内部に設けられた螺旋状のコイル20と、素体10に設けられコイル20に電気的に接続された第1外部電極30および第2外部電極40とを有する。
インダクタ部品1(第1、第2外部電極30,40)は、例えば図示しないはんだを介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。インダクタ部品1は、例えば、高周波回路のインピーダンス整合用コイル(マッチングコイル)として用いられ、パソコン、DVDプレーヤー、デジカメ、TV、携帯電話、カーエレクトロニクス、医療用・産業用機械などの電子機器に用いられる。ただし、インダクタ部品1の用途はこれに限られず、例えば、同調回路、フィルタ回路や整流平滑回路などにも用いることもできる。
インダクタ部品1の外表面は、第1側面3と、第1側面3の反対側に位置する第2側面4と、第1側面3と第2側面4の間に接続された第1端面5と、第1端面5の反対側に位置する第2端面6と、第1端面5と第2端面6の間に接続された底面7と、底面7の反対側に位置する天面8とから構成される。なお、図示するように、X方向は、第1端面5と第2端面6とを結ぶ方向である。Y方向は、第1側面3と第2側面4とを結ぶ方向である。Y方向は、第1方向性識別層50の厚さ方向および第2方向性識別層60と同じ方向である。Z方向は、底面7と天面8と結ぶ方向である。X方向、Y方向、Z方向は、互いに直交する。なお、素体10は、例えば、X方向が0.4mm、Y方向が0.2mm、Z方向が0.2mmである。
素体10は、略直方体状に形成されている。素体10は、第1面12と、第1面12の反対側に位置する第2面13とを有する。素体10は、例えば、焼結体または樹脂体である。例えば、後述する絶縁層中母材が無機材料であり、焼結により素体10を作製する場合、素体10は、焼結体である。素体10が焼結体であると、焼結前の素体10表面の一部が大気に露出した状態で焼結され、素体10が得られる。このため、焼結時に発生する気体(より具体的には、焼結前の素体10に含まれる有機物、その分解生成物、およびその酸化生成物等)が放出されやすく、脱脂性が向上する。さらに、焼結時の放熱性に優れる。
また、例えば、後述する絶縁層中母材が樹脂である場合、素体10は、樹脂体となる。かかる場合、放熱性が向上し、実使用上でインダクタ部品を搭載した製品の温度上昇を妨げ、製品の劣化を防ぐ。
第1外部電極30および第2外部電極40は、例えば、Ag、Cu、Auなどの導電性材料、および、ガラス粒子から構成される。第1外部電極30は、第1端面5と底面7に渡って設けられたL字形状である。第2外部電極40は、第2端面6と底面7に渡って設けられたL字形状である。第1外部電極30は、互いに面接触して積層された複数層の外部電極導体層から構成されている。第2外部電極40は、互いに面接触して積層された複数層の外部電極導体層から構成されている。
コイル20は、例えば、第1、第2外部電極30,40と同様の導電性材料およびガラス粒子から構成される。コイル20は、Y方向に沿って、螺旋状に巻き回されている。つまり、コイル20は、第1方向性識別層50の厚さ方向に沿った巻回軸(中心軸)を有する。コイル20の第1端は、引出電極22を介して第1外部電極30に接続され、コイル20の第2端は、引出電極22を介して第2外部電極40に接続されている。なお、本実施形態では、コイル20と、引出電極22と、第1、第2外部電極30,40とは一体化されており、明確な境界は存在しないが、これに限られず、コイルと外部電極とが異種材料や異種工法で形成されることにより、境界が存在していても良い。また、第1外部電極30、第2外部電極40、引出電極22およびコイル20はガラス粒子を含んでなくてもよい。引出電極22は、互いに面接触して積層された複数層の引出電極導体層から構成されていてもよい。
コイル20は、軸方向からみて、略長円形に形成されているが、この形状に限定されない。コイル20の形状は、例えば、円形、楕円形、長方形、その他の多角形などであってもよい。コイル20の軸方向とは、コイル20が巻き回された螺旋の中心軸に平行な方向を指す。本明細書において「平行」とは、厳密な平行関係に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な平行関係も含む。
コイル20は、平面に沿って巻回されたコイル配線21を含む。複数のコイル配線21は、軸方向に沿って積層されている。積層方向に隣り合うコイル配線21は、ビア配線26を介して、電気的に直列に接続される。このように、複数のコイル配線21は、互いに電気的に直列に接続されながら、螺旋を構成している。具体的には、コイル20は、互いに電気的に直列に接続され、巻回数が1周未満の複数のコイル配線21が積層された構成を有し、コイル20はヘリカル形状である。コイル配線21は、1層のコイル導体層から構成される。なお、コイル配線21は、互いに面接触して積層された複数層のコイル導体層から構成されていてもよく、アスペクト比が高く、かつ、矩形度が高いコイル配線21を形成することができる。また、コイル配線21は1周以上のスパイラル形状であってもよい。
第1方向性識別層50は、素体10の第1面12に設けられている。第1方向性識別層50は、第1方向性識別層50の厚さ方向に貫通した第1開口部51を有する。第2方向性識別層60は、素体10の第2面13に設けられている。第2方向性識別層60は、第2方向性識別層60の厚さ方向に貫通した第2開口部61を有する。このように、素体10が第1開口部51および第2開口部61を介して外部に露出するため、インダクタ部品1の例えば使用時にインダクタ部品1内部で発生した熱を外部へ効率的に放出させることができる。よって、インダクタ部品1は放熱性に優れる。
第1開口部51の形状は、インダクタ部品1をY方向からみたときに四角形である。第2開口部61の形状も、第1開口部51の形状と同じ四角形である。
なお、第1,第2開口部51,61の形状は、例えば、四角形以外の形状であってもよい。このような形状は、例えば、四角形以外の多角形(より具体的には、三角形、五角形等)、円形、および楕円形である。
第1,第2開口部51,61は、1つ以上の同種の形状から構成されてもよい。また、第1,第2開口部51,61は、2つ以上の異種の形状から構成されてもよい。第1,第2開口部51,61は、例えば、2つ以上の四角形から構成されてもよい。また、第1,第2開口部51,61は、多角形(より具体的には、三角形、四角形、および五角形等)ならびに円および楕円のうち2種以上の形状を組み合わせて構成されてもよい。
これらの形状は、配置を変えることができる。また、第2開口部61は、その形状、配置等が、第1開口部51と同じであるが、第1開口部51と異なっていてよい。
また、第1開口部51は、Y方向からインダクタ部品1を見たときに、第1開口部51が第1方向性識別層50の外縁とつながらない場合だけでなく、第1開口部51が第1方向性識別層50の外縁とつながる場合も含む。
第2開口部61は、第1開口部51と同様に、Y方向からインダクタ部品1を見たときに、第2開口部61が第2方向性識別層60の外縁とつながらない場合だけでなく、第2開口部61が第2方向性識別層60の外縁とつながる場合も含む。
上記方向性識別層の外縁とつながる場合の形状は、例えば、上記方向性識別層の外縁とつながらない場合の形状(より具体的には、多角形、円形、および楕円形等)が、第1,第2方向性識別層50,60の外縁の一部と接触する形状または重なる形状である。より具体的には、第1開口部51が長手方向の両方向(X方向)に延びて第1開口部51の両外縁がX方向に延在する第1方向性識別層50の外縁と重なる形状である。つまり、長方形の第1開口部51によって第1方向性識別層50が2つに分断される形状(溝型の形状)である。また、第1開口部51が長手方向(X方向)の一方向に延びて第1開口部51の一方の外縁がX方向に延在する第1方向性識別層50の外縁と重なる形状である。つまり、長方形の第1開口部51によって第1方向性識別層50がコの字型となる形状である。
図2は、インダクタ部品1のYZ断面図である。図3は、図2のA部拡大図である。図2および図3に示すように、素体10は、第1面12と、第1面12の反対側に位置する第2面とを有する。素体10は、複数の絶縁層11を含む。複数の絶縁層11は、Y方向に積層されている。なお、素体10は、焼成などによって、隣り合う2つの絶縁層の界面が明確となっていない場合がある。
コイル配線21は、軸方向に直交する絶縁層11の主面(XZ平面)上に巻回されて形成される。コイル20の軸方向と絶縁層11の積層方向は、同一方向である。
絶縁層11は、Y方向の積層方向に直交するXZ平面に広がった層状である。絶縁層11は、非晶質である絶縁層中母材と、絶縁層中結晶とを含む。絶縁層中結晶は、絶縁性を有するフィラーであり、好ましくは、クオーツ(結晶石英)である。クオーツの結晶化度は、特に限定されない。これにより、絶縁層中結晶の屈折率を小さくすることができる。絶縁層中母材は、絶縁性を有する固体である。絶縁層中母材は、例えば、ガラスのような無機材料であり、好ましくは、B、Si、O、Kを主成分とする硼珪酸ガラスなどの非晶質ガラスである。かかる場合、素体10は、焼結体である。これにより、十分な機械強度と絶縁信頼性を有する絶縁層を得ることができる。なお、ガラスとしては、硼珪酸ガラス以外に、例えば、SiO、B、KO、LiO、CaO、ZnO、Bi、および/またはAlなどを含むガラス、例えば、SiO−B−KO系ガラス、SiO−B−LiO−CaO系ガラス、SiO−B−LiO−CaO−ZnO系ガラス、またはBi−B−SiO−Al系ガラスであってもよい。これらのガラス成分が、2種以上組み合わせたものでもよい。また、絶縁層中母材は、ガラスでなくてもよく、フェライトなどのセラミックス材料のような他の無機材料であってもよいし、樹脂などの有機材料であってもよく、この場合も非晶質であることが好ましい。絶縁層中母材が樹脂である場合、素体10は樹脂体である。樹脂は、例えば、エポキシ樹脂およびフッ素樹脂である。さらに、上記無機材料と有機材料とが組み合わされたものであってもよい。なお、絶縁層11が、絶縁層中結晶を含んでいない構成であってもよい。これらの中でも誘電率や誘電損失が低いものが好ましい。また、絶縁層中母材が絶縁材料を含む場合、第1露出部14および第2露出部15のうち少なくとも一方は、絶縁材料を含むことができる。
絶縁層11は、さらに金属材料を含んでもよい。絶縁層11が金属材料を含む場合、第1露出部14および第2露出部15のうち少なくとも一方は、金属材料を含むことができる。金属材料は、磁性を有する金属材料が好ましい。素体10が磁性を有する金属材料を含むと、インダクタ部品1の磁性が向上する。
第1方向性識別層50は、素体10の第1面12に設けられている。第1方向性識別層50は、素体10の第1面12に対向する第3面52と、第1方向性識別層50において第3面52の反対側に位置する第4面53とを有する。また、第2方向性識別層60は、素体10の第2面13に設けられている。第2方向性識別層60は、素体10の第2面13に対向する第5面62と、第2方向性識別層60において第5面62の反対側に位置する第6面63とを有する。
具体的には、第1,第2方向性識別層50,60は、絶縁層11の積層方向の外側に積層されている。第1,第2方向性識別層50,60は、インダクタ部品1の最外層として、絶縁層11の積層方向に設けられている。第1,第2方向性識別層50,60は、Y方向の積層方向に直交するXZ平面に広がった層状である。第1,第2方向性識別層50,60は、絶縁層11と比べて外観上の識別性を有し、インダクタ部品1の良好な方向整列性を実現できる。
第1,第2方向性識別層50,60は、非晶質である方向性識別層中母材と、方向性識別層中結晶とを含む。方向性識別層中母材は、絶縁層中母材と同様であり、好ましくは、B、Si、O、Kを主成分とする硼珪酸ガラスなどの非晶質ガラスである。方向性識別層中結晶は、少なくとも1種以上の結晶性の顔料を含む。このように顔料を添加することで第1,第2方向性識別層50,60を着色でき、第1,第2方向性識別層50,60に視認性(識別性)を持たせることができる。顔料は、好ましくは、Ti、Co、Al、およびZrのうち少なくとも1種の元素を含む酸化物であり、例えば、CoAl(コバルトブルー)、TiO(チタニア)である。これにより、良好な視認性を有する第1,第2方向性識別層50,60を得ることができる。
第1開口部51と第2開口部61とは、素体10について互いに反対側に位置することができる。具体的には、Y方向から平面視したときに第1開口部51と第2開口部61とが少なくとも重なり、好ましくは完全に重なる。Y方向から平面視したとき第1開口部51と第2開口部61とが完全に重なると、外気が第1,第2開口部51,61を介してインダクタ部品1を貫くように通ることが可能となる。よって、インダクタ部品1のY方向での脱脂性がさらに向上する。Y方向から平面視したとき第1開口部51と第2開口部61とが完全に重なる場合、第1,第2方向性識別層50,60を同じような構成にすることができる。
第1開口部51と、第2開口部61とは、第1方向性識別層50の厚さ方向から平面視したとき、巻回軸と重なる位置に配置されている。つまり、第1開口部51および第2開口部61は、コイル20の巻回軸上に存在している。かかる場合、コイルの磁束が第1開口部51および第2開口部61を通るため、磁束は、第1方向性識別層50および第2方向性識別層60を通らない。これにより、第1方向性識別層50および第2方向性識別層60の材質にかかわらず、磁束が遮られず、インダクタ部品1のQ値の低下が抑制される。
素体10は、第1面12において第1開口部51に素体10が露出する第1露出部14と、第2面13において第2開口部61に素体10が露出する第2露出部15とを有する。第1露出部14の第1方向性識別層50の厚さ方向に突出する第1突出量H1は、第2露出部15の第2方向性識別層60の厚さ方向に突出する第2突出量H2に比べて小さい。
本明細書において、「第1突出量」H1は、第1露出部14の第1面12からの垂直方向への最大高さをいう。第1突出量H1は、第1面12を基準(ゼロ:図3中の第1露出部14におけるZ方向に平行な破線)とし、第1面12から第1開口部51側をプラスとし、第1面12から第2方向性識別層60側をマイナスとする。図3において、第1露出部14の形状は、上側(Y方向の矢印の方向)にピーク(頂点)を有する形状である。第1突出量H1は、第1面12から第1露出部14のピークまでとなる。第1突出量H1は、例えば、後述するインダクタ部品1の製造方法において、積層体に対してY方向から力を印可する方法により調整することができる。また、第1突出量H1は、例えば、後述の焼成処理において焼失する素材(より具体的には、アルミナ、および樹脂等)を第1開口部51に埋め込むことにより調整することができる。
なお、第1突出量H1は0以下の値をとることができる。第1,第2突出量H1,H2は、レーザ顕微鏡(キーエンス社製「VK−Xシリーズ」、倍率20倍)を用いて、第1,第2露出面を測定して算出する。
本明細書において、第1面12において第1開口部51に露出する第1露出部14とは、インダクタ部品1の第1方向性識別層50側をY方向から平面視したときに、第1面12の第1開口部51を介して視認できる部分をいう。このため、上述のように、第1露出部14は、基準から上側(Y方向の矢印の方向)にピーク(頂点)を有する形状を有してもよい。かかる場合、第1突出量H1は0より大きい値をとる。また、第1露出部14は、基準から下側(Y方向の矢印とは逆の方向)にピーク(頂点)を有する形状を有してもよい。かかる場合、第1突出量H1は0未満の値をとる。また、第1露出部14は、第1露出部14の露出面16を含む。
本明細書において、「第2突出量」H2は、第2露出部15の第2面13からの垂直方向への最大高さをいう。第2突出量H2は、第2面13を基準(ゼロ:図3中の第2露出部15におけるZ方向に平行な破線)とし、第2面13から第2開口部61側をプラスとし、第2面13から第1方向性識別層50側をマイナスとする。図3において、第2露出部15の形状は、四角形である。第2露出部15の露出面17は、第2方向性識別層60の第6面63と面一となる。つまり、第2突出量H2は第2方向性識別層60の厚さと同じとなり、インダクタ部品1の第2側面4は面一となる。面一とする方法は、例えば、後述するインダクタ部品の製造方法において、第2方向性識別層60から第1方向性識別層50まで積層して形成することにより実現することができる。第2突出量H2は、例えば、後述の焼成処理において焼失する素材(より具体的には、アルミナ、および樹脂等)を第2開口部61に埋め込むことにより調整することができる。
なお、第2突出量H2は、0より大きい値をとることができる。また、本明細書において面一とは、厳密な面一に限定されず、現実的なばらつきの範囲を考慮し、実質的な面一も含む。
本明細書において、第2面13において第2開口部61に露出する第2露出部15とは、インダクタ部品1の第2方向性識別層60側をY方向から平面視したときに、第2面13の第2開口部61を介して視認できる部分をいう。このため、上述のように、第2露出部15は、基準から上側(Y方向の矢印の方向)に凸状の形状を有してもよい。かかる場合、第2突出量H2は0より大きい値をとる。また、第2露出部15は、基準から下側(Y方向の矢印とは逆の方向)に凸状の形状を有してもよい。かかる場合、第2突出量H2は0未満の値をとる。また、第2露出部15は、第2露出部15の露出面17を含む。
第1突出量H1が第2突出量H2に比べ小さいと、素体10は、突出量の異なる第1露出部14と、第2露出部15とを有する。このため、第1,第2方向性識別層50,60を容易にかつ確実に外観識別することができる。これにより、同一の組成の材料であっても互いに外観識別可能な第1,第2方向性識別層50,60を形成することができる。よって、インダクタ部品1は、方向識別性を容易に向上させることができる。これにより、インダクタ部品を適切な方向に確実に実装し、所望のインダクタンスを取得することが可能となる。
(インダクタ部品の製造方法)
次に、インダクタ部品1の製造方法の一例を説明する。
まず、顔料を含み、硼珪酸ガラスの粉末を主成分とする方向性識別層ペーストを用意する。顔料は、Ti、Co、Al、およびZrのうち少なくとも1種の元素を含む酸化物であり、例えば、CoAl(コバルト・ブルー)やTiO(チタニア)などである。さらに、クオーツなどの結晶をフィラーとして含み、硼珪酸ガラスの粉末を主成分とする絶縁ペースト、およびAgを金属主成分とする導電ペーストを用意する。方向性識別層ペースト、および絶縁ペーストは、後述する焼成後にそれぞれ第1,第2方向性識別層50,60、および絶縁層11となる。また、このとき、絶縁層11は、非晶質の硼珪酸ガラスである絶縁層中母材と、フィラーである絶縁層中結晶とを含む。第1,第2方向性識別層50,60は、非晶質の硼珪酸ガラスである方向性識別層中母材と、顔料である方向性識別層中結晶とを含む。導電ペーストは、導電ペースト層となる。導電ペースト層は、塗布される位置によってコイル配線導体ペースト層、ビア配線導体ペースト層および外部電極導体ペースト層となる。これらは、後述する焼成によってそれぞれコイル導体層、ビア配線導体層および外部電極導体層となる。導電ペーストは、金属主成分としてのAgの代わりにCuやAuを含んでもよい。なお、本製造方法では、フォトリソグラフィ法を用いるため、方向性識別層ペースト、絶縁ペーストおよび導電ペーストは感光性を有する。フォトリソグラフィ法では、フォトマスクを介して塗布し、形成したペースト層(絶縁ペースト層、方向性識別ペースト層、導電ペースト層)に紫外線等を照射して露光し、アルカリ溶液等により現像する。また、上述のように、第1方向性識別層と第2方向性識別層とは、第1露出部14の第1突出量H1および第2露出部15の第2突出量H2の違いで識別できるため、顔料濃度の異なる2種類の方向性識別層ペーストを準備する必要はない。このため、コストおよび工程数を削減できる。
次に、キャリアフィルム上に方向性識別層ペーストをスクリーン印刷により必要量塗布し、最下層を形成する。この最下層は、第2方向性識別層60となる部分(第2方向性識別ペースト層)である。フォトリソグラフィ法によるパターンニング工程により、最下層に第2開口部61を形成する。
次に、最下層に、絶縁ペーストをスクリーン印刷により必要量塗布し、絶縁層11となる部分(絶縁ペースト層)を形成する。このとき、第2開口部61に絶縁ペーストが入り込み、充填される。この絶縁ペースト層は、コイル配線21よりも外側に位置する外層用絶縁層となる部分である。
次に、塗布された絶縁ペースト上に、スクリーン印刷により導電ペーストを必要量塗布し、フォトリソグラフィ法によるパターンニング工程により、コイル導体層となるコイル配線導体ペースト層、外部電極導体層となる外部電極導体ペースト層、引出電極導体層となる引出電極導体ペースト層を形成する。このとき、コイル配線導体ペースト層の外周縁と絶縁ペースト層の外縁(後のカット工程で形成される外縁)との最短距離が外部電極導体ペースト層の幅よりも小さくなるようにする。
次に、導電ペーストが塗布、パターンニングされた絶縁ペースト層上に、スクリーン印刷により絶縁ペーストを必要量塗布する。さらに、フォトリソグラフィ法によるパターンニング工程により、絶縁ペースト層に開口およびビアホールを設ける。
次に、開口およびビアホールが設けられた絶縁ペースト層上に、スクリーン印刷により導電ペーストを必要量塗布する。この際、開口およびビアホールに導電ペーストを充填することで、ビア配線導体ペースト層および外部電極導体ペースト層を形成する。また、上記と同様に、フォトリソグラフィ法によるパターンニング工程により、コイル配線導体ペースト層、引出電極導体ペースト層および外部電極導体ペースト層を形成する。
上記工程を繰り返すことにより、それぞれ、絶縁ペースト層、コイル配線導体ペースト層、ビア配線導体ペースト層、引出電極導体ペースト層および外部電極導体ペースト層がさらに形成される。
次に、絶縁ペースト、方向性識別層ペーストをこの順にスクリーン印刷により必要量塗布することを繰り返して、上層側の絶縁ペースト層および最上層としての第1方向性識別ペースト層を形成する。フォトリソグラフィ法によるパターンニング工程により、最上層に第1開口部51を形成する。パターンニング工程において、露光条件(より具体的には、露光量等)および現像条件(より具体的には、現像時間、および現像液の種類等)を調整することにより、第1露出部14に相当する部分の形状を制御することができる。上層側の絶縁ペースト層は、コイル配線導体ペースト層よりも外側に位置する外層用絶縁ペースト層である。第1開口部51を形成した後、第1方向性識別ペースト層から第2方向性識別ペースト層に向かって(逆Y方向に沿って)積層体に力を印可する。これにより、第1露出部14に相当する部分の形状は、上側(順Y方向)にピーク(頂点)を有する形状となる。
以上の工程を経て、マザー積層体を得る。なお、マザー積層体は、インダクタ部品1となる部分が行列状に複数配列するように形成する。次に、ダイシング等によりマザー積層体を複数の未焼成の積層体にカットする。マザー積層体のカット工程では、カットにより形成されるカット面において外部電極導体層を積層体に露出させる。
次に、未焼成の積層体の所定の条件で焼成し、第1,第2方向性識別層50,60、絶縁層11、コイル配線21、ビア配線26、引出電極22および第1,第2外部電極30,40が形成された素体10を得る。得られた素体10は焼結体であるため、焼結前の素体10表面の一部が大気に露出した状態で、焼結される。このため、焼結時に発生する気体(より具体的には、焼結前の素体10に含まれる有機物、その分解生成物、およびその酸化生成物等)が放出されやすく、脱脂性が向上する。さらに、焼結時の放熱性に優れる。
さらに素体10に対してバレル加工を施し、その後、第1,第2外部電極30,40が素体10に露出している部分に、バレルめっきにより、2μm〜10μmの厚さを有するNiめっきおよび2μm〜10μmの厚さを有するSnめっきを形成する。以上の工程を経て、サイズが0.4mm×0.2mm×0.2mmのインダクタ部品1を得る。
なお、例えば、上記のような製造方法によりインダクタ部品1を製造すると、第2露出部15の露出面17は、第2方向性識別層60の第6面63と同一面となる。その理由は次のとおりである。焼結前の第2方向性識別層60となる部分は、キャリアフィルム上に配置され、第2開口部61を有する。この状態で、第2方向性識別層60上に絶縁ペーストを複数回塗布する。第2開口部61の底面がキャリアフィルムでふさがれていること、および複数の絶縁ペーストの重みにより、第2開口部61に絶縁ペーストが入り込み、第2開口部61が絶縁ペーストで充填される。この状態で焼成すると、第2露出部15の露出面17は、第2方向性識別層60の第6面63と同一面となる。
また、方向性識別ペースト層、絶縁ペースト層および導電ペースト層の形成は、上記のスクリーン印刷およびフォトリソグラフィ法によるパターンニングに限定されるものではなく、例えば、開口部を有するスクリーン版による印刷とレーザーやドリル加工による開口を繰り返し行う印刷積層法でもよいし、当該印刷と開口を層ごとに行って複数のシートを形成した後、当該シートを圧着するシート積層工法であってもよい。また、コイル配線21、引出電極22、ビア配線26および第1,第2外部電極30,40について、導体ペーストを用いず、スパッタ法や蒸着法、箔の圧着等により形成した導体膜(より具体的には、Ag、Cu、またはAuを含む導体膜)をエッチングによりパターンニングして形成する方法であってもよいし、セミアディティブ法のように導体のシード層上にレジストでネガパターンを形成してめっきによりさらに導体をレジストの開口部に形成した後、レジストおよびシード層の不要部分を除去する方法であってもよい。さらに、コイル配線21となる部分を多段階形成することにより高アスペクト化することで、高周波での抵抗による損失を低減することができる。より具体的には、上記フォトリソグラフィ法による導電ペースト層の形成・パターンニングを繰り返すプロセスであてもよいし、セミアディティブ法で形成した導体膜を繰り返し重ねるパターンであってもよし、積み重ねの一部をめっき成長により形成するプロセスであってもよい。
また、各材料は上記に例示したものに限定されるものではなく、公知のものを用いることができる。特に、第1,第2方向性識別層50,60、絶縁層11には磁性材料のものを用いてもよい。
また、絶縁材料は上記のようなガラスに限定されるものではなく、フェライトなどのセラミックス材料であってもよい。また、絶縁材料に、エポキシ樹脂、フッ素樹脂のような有機材料を使用して、樹脂体からなる素体を作製することができる。さらに、絶縁材料は、ガラスエポキシ樹脂のような複合材料であってもよい。これらの中でも、誘電率、誘電損失がより小さいものが好ましい。
また、インダクタ部品1のサイズは0.4mm×0.2mm×0.2mmに限定されるものではなく、例えば0.6mm×0.3mm×0.3mmや0.2mm×0.1mm×0.1mmであってもよい。さらに、Y方向とZ方向の長さは等しくなくてもよく、例えば、0.4mm×0.2mm×0.3mmなどであってもよい。また、
第1,第2外部電極30,40の形成方法について、素体10内に埋め込んだ第1,第2外部電極30,40をカットにより露出させて、めっき加工を施す方法に限定されるものでなく、素体10内には第1,第2外部電極30,40を埋め込まず、カット後に導電ペーストのディップやスパッタ法等によって第1,第2外部電極30,40を形成し、その上にめっき加工を施す方法でもよい。
(第2実施形態)
図4は、インダクタ部品の第2実施形態を示す拡大断面図である。図4は、図3が示す第1実施形態の変形例を示す。第2実施形態は、第1露出部14Aの露出面16Aが第1方向性識別層50の第3面52と同一面である点で、第1実施形態と相違する。この相違する構成を以下で説明する。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
(構成)
図4に示すように、第2実施形態のインダクタ部品1Aでは、第1露出部14Aの露出面16Aが第1方向性識別層50の第3面52と同一面であり、第2露出部15の露出面17が第2方向性識別層60の第6面63と同一面である。第1突出量H1は、0である。
第1露出部14Aの露出面16Aは、第1面12と接触する第1方向性識別層50の面と面一である。具体的には、第1露出部14Aの露出面16Aは、第1方向性識別層50の第3面52と面一である。つまり、第1開口部51は、素体10により埋まっていない。これにより、方向性識別層が開口部を有しないインダクタ部品に比べ、インダクタ部品1Aの第1方向性識別層50側の面(第1側面3)では、第1開口部51の側面(内面)の分だけ、表面積が増加する。このため、インダクタ部品1Aの使用時にその内部で発生する熱をインダクタ部品1Aの外部に効率的に放出することができる。よって、インダクタ部品1Aは放熱性がさらに向上する。
また、第2露出部15の露出面17は、第2方向性識別層60の表面と面一である。具体的には、第2露出部15の露出面17は、第2方向性識別層60の第6面63と面一となる。つまり、第2開口部61は、素体10により完全に埋められている。これに対して、インダクタ部品1Aの第1方向性識別層50側の面(第1側面3)は、上述のように素体10により埋められていない第1開口部51が形成されている。このように、第1露出部14Aおよび第2露出部15は、互いにその形状が大きく異なるため、第1方向性識別層50と第2方向性識別層60とを容易にかつ確実に識別することができる。よって、インダクタ部品1Aの方向識別性がさらに容易に向上する。
(インダクタ部品の製造方法)
インダクタ部品1Aは、例えば、上述したインダクタ部品1の製造方法において第1開口部51形成後に力を印可する処理を施さないことにより、製造することができる。
また、インダクタ部品1Aの製造方法は、例えば、上述したインダクタ部品1の製造方法に外層用絶縁ペースト層硬化工程をさらに含む。外層用絶縁ペースト層硬化工程は、外層用絶縁ペースト層を形成した後、第1方向性識別ペースト層を形成する前に、外層用絶縁ペースト層に乾燥処理または予備焼成処理を施し、外層用絶縁ペースト層をある程度硬化させる。これにより、乾燥処理または予備焼成処理を施した外層用絶縁ペースト層上に、第1方向性識別ペースト層を形成しても、第1方向性識別ペースト層の重みによって、第1露出部14Aに相当する部分は順Y方向にピークを有する形状とならない。これにより、第1露出部14Aの露出面16Aは、第1方向性識別層50の第3面52と同一面となる。
(第3実施形態)
図5は、インダクタ部品の第3実施形態を示す拡大断面図である。図5は、図3が示す第1実施形態の変形例を示す。第3実施形態は、第1開口部51Bの断面形状が第2実施形態と相違する。この相違する構成を以下で説明する。なお、第3実施形態において、第1,第2実施形態と同一の符号は、第1,第2実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
(構成)
図5に示すように、第3実施形態のインダクタ部品1Bでは、第1方向性識別層50における第3面52から第4面53に向かって第1開口部51Bの内径が大きくなるように第1開口部51Bの内面が傾斜している。つまり、第1開口部51Bは、テーパー形状を有している。
第3面52から第4面53に向かって第1開口部51Bの内径が大きくなるように第1開口部51Bの内面が傾斜しているため、内面が傾斜している分、インダクタ部品1Bの第1方向性識別層50側の面(第1側面3)の表面積が増加する。このため、インダクタ部品1Bの内部で発生した熱がその内面を介してインダクタ部品1Bの外部へ放出されやすい。
また、第3面52から第4面53に向かって第1開口部51Bの内径が大きくなるように第1開口部51Bの内面が傾斜している。つまり、第1開口部51Bの外側の開口の方が大きい。これにより、インダクタ部品1Bの内部から第1開口部51Bに放出された熱がインダクタ部品1Bの外部へ放出されやすい。
さらに、第3面52から第4面53に向かって第1開口部51Bの内径が大きくなるように第1開口部51Bの内面が傾斜しているため、その内面から放出された熱が第1開口部51B内に滞留しにくい。
よって、インダクタ部品1Bの例えば使用時に、インダクタ部品1Bの内部で発生する熱をインダクタ部品1Bの外部に効率的に放出することができる。さらに、かかる場合、素体10が焼結体であると、焼結時の脱脂性および放熱性が向上する。
また、第3実施形態のインダクタ部品1Bでは、第2方向性識別層60における第5面62から第6面63に向かって第2開口部61の内径が大きくなるように第2開口部61Bの内面が傾斜している。つまり、第1開口部51Bは、テーパー形状を有している。また、第2突出量H2は、0より大きい。第2開口部61Bは、素体10で充填されている。
第5面62から第6面63に向かって第2開口部61Bの内径が大きくなるように第2開口部61Bの内面が傾斜しているため、内面が傾斜している分、インダクタ部品1Bの第2方向性識別層60の内面(傾斜面)の面積が増加する。このため、第2方向性識別層60と素体10との接触面積が増加する。これにより、素体10と第2方向性識別層60との間の密着性が向上し、素体10からの第2方向性識別層60の剥離が抑制される。よって、本実施形態では、方向識別性の低下が抑制される。
また、第1開口部51Bはテーパー形状を有しているため、アンカー効果により、素体10からの第2方向性識別層60の剥離が抑制される。よって、本実施形態では、方向性識別性の低下が抑制される。
なお、第1開口部は、第3面52から第4面53に向かって第1開口部の内径が小さくなるように内面が傾斜していてもよい。つまり、第1開口部は、逆テーパー形状を有してもよい。第1開口部が逆テーパー形状を有することにより、内面が傾斜している分、インダクタ部品の第1側面の表面積が増加するため、インダクタ部品の使用時に、インダクタ部品の内部で発生する熱をインダクタ部品の外部に効率的にさらに放出することができる。
また、第2開口部は、第5面62から第6面63に向かって第2開口部の内径が小さくなるように内面が傾斜していてもよい。つまり、第2開口部は、逆テーパー形状を有してもよい。第2開口部が逆テーパー形状を有することにより、アンカー効果がさらに向上し、第2方向性識別層の剥離が抑制される。
(インダクタ部品の製造方法)
インダクタ部品1Bの製造方法において、例えば、フォトリソグラフィ法を用いて第1方向性識別層50に第1開口部51Bを形成する場合に、露光量(露光強度)を調整することにより、第1開口部51Bの内面が傾斜している態様を実現することができる。さらに、テーパー形状を有する態様は、ネガ型レジストを用いて露光量を比較的少なく調整することにより実現することができる。逆テーパー形状を有する態様は、ポジ型レジストを用いて露光量を比較的少なく調整することにより実現することができる。
なお、第1〜第3実施形態における上記製造条件は、あくまで一例であり、第1突出量H1が第2突出量H2に比べ小さくなれば、製造条件は限定されない。
本開示は、第1〜第3実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を変更しない限り、種々の態様において実施することができる。また、第1〜第3実施形態で示す構成は、一例であり特に限定されるものではなく、本開示の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更をすることができる。例えば、第1〜第3実施形態において説明した事項は、適宜組み合わせることができる。例えば、第1実施形態で説明した構成と、第3実施形態で説明した第1開口部51Bの内面が傾斜を有する構成とを組み合わせることができる。
1,1A,1B インダクタ部品
10 素体
12 素体の第1面
13 素体の第2面
14,14A 第1露出部
15 第2露出部
16,16A 第1露出部の露出面
17 第2露出部の露出面
20 コイル
30 第1外部電極
40 第2外部電極
50 第1方向性識別層
51,51B 第1開口部
52 第1方向性識別層の第3面
53 第1方向性識別層の第4面
60 第2方向性識別層
61 第2開口部
62 第2方向性識別層の第5面
63 第2方向性識別層の第6面
H1 第1突出量
H2 第2突出量

Claims (10)

  1. 第1面と前記第1面の反対側に位置する第2面とを有する素体と、
    前記第1面に設けられた第1方向性識別層と、
    前記第2面に設けられた第2方向性識別層と
    を備え、
    前記第1方向性識別層は、前記第1方向性識別層の厚さ方向に貫通した第1開口部を有し、
    前記第2方向性識別層は、前記第2方向性識別層の厚さ方向に貫通した第2開口部を有し、
    前記素体は、前記第1面において前記第1開口部に前記素体の一部が露出する第1露出部と、前記第2面において前記第2開口部に前記素体の一部が露出する第2露出部とを有し、
    前記第1露出部の前記第1方向性識別層の厚さ方向に突出する第1突出量は、前記第2露出部の第2方向性識別層の厚さ方向に突出する第2突出量に比べて小さい、インダクタ部品。
  2. 前記第1露出部および前記第2露出部のうち少なくとも一方は、絶縁材料を含む、請求項1に記載のインダクタ部品。
  3. 前記第1露出部および前記第2露出部のうち少なくとも一方は、金属材料を含む、請求項1または2に記載のインダクタ部品。
  4. 前記素体内に設けられ、前記第1方向性識別層の厚さ方向に沿った巻回軸を有するコイルを有し、
    前記第1開口部と前記第2開口部とは、前記第1方向性識別層の厚さ方向から平面視したとき、前記巻回軸と重なる位置に配置されている、請求項1〜3のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  5. 前記素体は、焼結体である、請求項1〜4のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  6. 前記素体は、樹脂体である、請求項1〜4のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  7. 前記第2露出部の露出面は、前記第2方向性識別層の表面と面一である、請求項1〜6のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  8. 前記第1露出部の露出面は、前記第1面と接触する前記第1方向性識別層の面と面一である、請求項1〜7のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  9. 前記第1方向性識別層は、前記素体の前記第1面に対向する第3面と、前記第1方向性識別層において前記第3面の反対側に位置する第4面とを有し、
    前記第3面から前記第4面に向かって前記第1開口部の内径が大きくなるように前記第1開口部の内面が傾斜している、請求項1〜8のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
  10. 前記第2突出量は、0より大きく、
    前記第2方向性識別層は、前記素体の前記第2面に対向する第5面と、前記第2方向性識別層において前記第5面の反対側に位置する第6面とを有し、
    前記第5面から前記第6面に向かって前記第2開口部の内径が大きくなるように前記第2開口部の内面が傾斜している、請求項1〜9のいずれか一つに記載のインダクタ部品。
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