JP2021012127A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ハレーションの発生を抑制すると共に、検査処理速度に優れた外観検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一態様は、被検査物を搬送する搬送部と、上記被検査物の表面のうち一部の領域を連続的に撮影するカメラと、上記領域に向けて照明光を照射する複数の照明器と、上記照明器の照射方向に配置される拡散板と、上記カメラで取得した画像データを処理する画像処理部とを備え、上記拡散板が、上記複数の照明器それぞれの照射方向と直交する外観検査装置である。上記拡散板が、上記複数の照明器に共通する１つの拡散板であるとよい。上記拡散板が部分円筒状であり、その横断面が円弧であるとよい。上記カメラの撮影方向が上記領域に対して垂直であり、上記複数の照明器が上記被検査物の搬送方向の下流側及び上流側で上記カメラに対して対称に配置されているとよい。【選択図】図１

Description

本発明は、外観検査装置に関する。

生産現場などにおいて、電気基板の半田の状態やガラス表面の疵の有無などを確認する外観検査装置が用いられている。外観検査装置としては、例えば、基板等の被検査物に光を照射して、その表面をカメラで画像として取り込み、この画像を確認することで被検査物の表面状態の良否を判断するものが知られている。

被検査物表面の反射率が大きい等の場合に、カメラで取得した画像にハレーションが発生し、外観検査が困難になることがある。ハレーションを抑制する検査装置として、検査対象物の表面における所定の領域に対して所定の角度で検査光を照射する光源と、前記領域からの正反射光の光軸から外れた位置に配設される受光手段と、前記光源の虚像と前記受光手段とを結ぶ線分上で、かつ前記検査対象物と受光手段との間に配設される遮光手段とを備え、光源から受光手段に照射されてハレーションの原因となる光を遮断する欠点検査装置が発案されている（特開２００１−２０８７０２号公報）。

特開２００１−２０８７０２号公報

上記欠点検査装置によれば、受光手段は、搬送される検査対象物の表面で正反射した検査光を受光することはなく、散乱や回折した拡散反射光のみを受光するため、ハレーションの発生を抑制できると考えられる。しかしながら、検査処理速度を向上するために検査対象物の搬送速度を大きくする場合、或いは反射率が一定でない検査対象物の表面を検査する等の理由で検査光による照度を大きくする場合、ハレーションの発生を抑制できないおそれがある。

上述のような事情に鑑みて、本発明は、ハレーションの発生を抑制すると共に、検査処理速度に優れた外観検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、被検査物を搬送する搬送部と、上記被検査物の表面のうち一部の領域を連続的に撮影するカメラと、上記領域に向けて照明光を照射する複数の照明器と、上記照明器の照射方向に配置される拡散板と、上記カメラで取得した画像データを処理する画像処理部とを備え、上記拡散板が、上記複数の照明器それぞれの照射方向と直交する外観検査装置である。

当該外観検査装置は、ハレーションの発生を抑制して検査精度に優れると共に、検査処理速度に優れる。

本発明の一実施形態である外観検査装置を示す模式的側面図である。 図１の外観検査装置が備える拡散板を示す模式的拡大図である。 図２の拡散板の模式的斜視図ある。 被検査物の表面の全体画像の一部を拡大した拡大画像である。 図４とは異なる被検査物表面の全体画像の一部を拡大した拡大画像である。

以下、本発明の一実施形態である外観検査装置を図面に基づいて詳説する。

［外観検査装置］
本発明の一態様である外観検査装置１は、図１で示すように、被検査物２を搬送する搬送部と（不図示）、被検査物２の表面のうち一部の領域を連続的に撮影するカメラ３と、上記領域に向けて照明光を照射する複数の照明器４と、照明器４の照射方向に配置される拡散板５と、カメラ３で取得した画像データを処理する画像処理部（不図示）とを主に備える。

被検査物２としては、特に限定されるものではなく、例えば、複数のチップ（電子部品）のパターンが形成された基板、この基板の表面にＡｇ（銀）、Ｒｕ（ルテニウム）、又はガラス等のペーストをスクリーン印刷したペースト塗布基板、ガラス板、ウエハ、金属板等の板状で表面が略平面である被検査物が挙げられる。なお、「被検査物の表面」とは、被検査物のカメラで撮影される側の面であって、搬送部に接しない側の面ことである。

＜搬送部＞
搬送部は、被検査物２を搬送する。図１では、被検査物２は紙面の左から右に矢印の方向に搬送される。搬送方法としては、特に限定されるものではなく、ベルトコンベアによる搬送、被検査物２をステージに載置して、このステージをリニアモータ等により移送する手段などを採用することができる。

搬送部が被検査物２を搬送する速度としては、特に限定されるものではなく、搬送方法、大きさや重量等の被検査物２の特性から適宜選択することができる。上記搬送速度の下限値としては、例えば、７０ｍｍ／秒とすることができ、１４０ｍｍ／秒が好ましく、２１０ｍｍ／秒がより好ましい。搬送速度の上限としては、特に限定されるものではなく、例えば、５００ｍｍ／秒とすることができる。搬送速度が上記下限に満たない場合、当該外観検査装置１の処理能力が低下するおそれがある。一方、搬送速度が上記上限を超える場合、カメラ３が被検査物２の表面を鮮明に撮影することができないおそれがある。

＜カメラ＞
カメラ３は、被検査物２の表面のうち一部の領域を連続的に撮影する。カメラ３は、映像として入射する光を画像データに変換するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の撮像素子を含み、変換した画像データを電気信号として配線で接続された後述する画像処理部に送信する。

カメラ３としては、特に限定されるものではなく、エリアセンサカメラ、ラインセンサカメラ等を採用することができるが、高速で高解像度の画像を撮影することができるラインセンサカメラを採用することが好ましい。上記撮像素子の数（画素数）の下限値としては、８０００画素が好ましく、１６０００画素がより好ましい。上記画素数の上限値としては、特に限定されるものではなく、例えば、６４０００画素とすることができる。上記画素数が上記下限値に満たない場合、高速で搬送される被検査物２の表面の画像が不鮮明になり、正確な検査が困難になるおそれがある。カメラの解像度の上限値としては、７．００μｍ／画素が好ましく、５．００μｍ／画素がより好ましく、３．５２μｍ／画素がより好ましい。上記解像度の下限値としては、特に限定されるものではなく、例えば、１μｍ／画素とすることができる。上記解像度が上記上限値を超える場合、高速で搬送される被検査物２の表面の画像が不鮮明になり、正確な検査が困難になるおそれがある。

カメラ３の配置としては、カメラ３の撮影方向Ｃが、上記領域に対して垂直になるようにすることが好ましい。具体的には、カメラ３は、カメラ３の撮影面に垂直でカメラ３の撮影面中心を通る仮想線（以下、「カメラ撮影面の中心軸Ｃ」ということがある）が、上記領域に対して垂直になるように配置されることが好ましい。このような配置とすることで、後述する複数の照明器４及び拡散板５の配置を容易にすることができる。なお、「カメラ３の撮影面」とは、撮影される被検査物２（被写体）の映像（光）が上記撮像素子に入射する側の面を意味する。

カメラ３の撮影面は、撮影される領域の光を上記撮像素子に集光するためのレンズを含むことができる。

（照明器）
照明器４は、カメラ３が撮影する領域に向けて照明光を照射する。照明器４は、複数個が配置される。具体的には、照明器４は、複数の照明器４それぞれの照明光の照射方向が、カメラ３が撮影する領域に向けられて配置される。

複数の照明器４のそれぞれの照明光の照射方向Ｐ同士が、被検査物２の表面における上記領域で交差することが好ましく、上記それぞれの照明光の照射方向Ｐ同士と撮影方向Ｃとが上記領域で交差することがより好ましい。このようにすることで、上記領域で十分な照度が得られ、カメラ３による鮮明な画像データの取得が容易にできる。

照明器４としては、特に限定されるものではなく、拡散する光を被検査物２の表面に向けるための反射板を備える白熱電球、蛍光灯等とすることができるが、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）照明を採用することが好ましい。カメラ３としてラインセンサカメラを採用する場合は、半導体素子であるＬＥＤチップを一列に配したラインＬＥＤ照明を採用することがより好ましい。

また、照明器４は、後述する画像処理部等から光度を調整できるものであることが好ましい。このようにすることで、被検査物２の表面の特性、被検査物２の搬送速度等に応じて最適な光度の照明光を照射することができ、外観検査の精度を向上することができる。

複数の照明器４の配置位置としては、特に限定されるものではなく、撮影方向Ｃを中心軸として放射状に配置することもできるが、被検査物２の搬送方向の下流側から上流側へ直列に配置されることが好ましい。このようにすることで、複数の照明器４の配置を簡易にして外観検査装置１をコンパクトにすることができる。複数の照明器４の配置位置は、カメラ３の配置位置に対して搬送方向の下流側と上流側とで非対称になるように配置することもできるが、カメラ３を、その撮影方向Ｃが上記領域に対して垂直となるように配置して、上記下流側と上流側とで対称になるように配置することが好ましい。このようにすることで、上記領域に上記下流側及び上流側から均等な照明光が照射されるため、カメラ３による鮮明な画像データの取得を容易にすることができる。

照明器４の数としては、特に限定されるものではなく、配置スペース等により適宜選択することができ、例えば、上記下流側及び上流側に対称に配置される場合は、２つ又は４つとすることができる。

照明器４の配置方法としては、特に限定されるものではなく、取付ステー等による配置とすることができるが、照明器４の配置位置、照射方向等を可変できるステー等で配置されることが好ましい。照明器４の配置位置、照射方向等を可変できることで、カメラ３の分解能、被検査物２の表面の特性等に応じた照明器４の配置とすることが容易にできる。

照明器４の照明光の色としては、特に限定されるものではなく、被検査物２の表面の特性に応じて、白色、赤色、青色、或いは赤外線、紫外線等とすることができる。被検査物２がガラス等の光透過性を有するものであれば波長の短い赤系統の色とすることが好ましく、金属等の光反射性が強いものであれば波長の長い青系統の色とすることが好ましく、その他のものとしては白色とすることが好ましい。

照明器４の発光方法としては、特に限定されるものではなく、常時発光、ストロボ発光とすることができるが、常時発光を採用することが好ましい。常時発光とすることで、比較的低い光度で安定した画像データの取得をすることができる。

（拡散板）
拡散板５は、上記照明光を拡散して、上記照明光の正反射を防止する。拡散板５は、複数の照明器４の照射方向Ｐに配置される。拡散板５は、照明器４それぞれの照射方向Ｐと直交する。具体的には、拡散板５が、複数の照明器４と被検査物２との間に配置され、複数の照明器４の照明光の入射する側の面（入射面）が、照明器４それぞれの照射方向Ｐと直交する。より具体的には、被検査物２の搬送方向及び撮影方向Ｃに垂直な側面視で（図２）、上記照明光のそれぞれの光線束の中心軸と、上記入射面とが垂直になるように配置される。

拡散板５の、平面視で略矩形であり、被検査物２の表面で搬送方向と直交する方向（被検査物２の幅方向）の長さＷ（図３）としては、被検査物２の幅以上であることが好ましい。

拡散板５が、複数の照明器４に共通する１つの拡散板であることが好ましい。具体的には、複数の照明器４に対してそれぞれに拡散板５が配置されるのではなく、複数の照明器４に対して共通する拡散板５が１つのみ配置されるのが好ましい。１つの拡散板５の入射面を複数の照明器４それぞれの照射方向Ｐと直交させるため、上記側面視における拡散板５の断面形状が、多角形状、半楕円形状、円弧等とすることが好ましく、中でも円弧とすることが好ましい。拡散板５を、横断面の形状が円弧である部分円筒形状とすることで、拡散板５の入射面と照明器４それぞれの照射方向Ｐとを直交させることが容易にできる。

例えば、図２に示すように、カメラ３を撮影方向Ｃが被検査物２の表面に対して垂直になるように配置し、被検査物２の搬送方向の下流側と上流側とで、カメラ３に対して２つ又は４つの照明器４が対称になるように配置した場合、それぞれの照射方向Ｐ同士の交点と、拡散板５の横断面が円弧の中心点とを一致させることで、拡散板５の上記入射面と複数の照明器４の照射方向とを直交させることができる。

なお、上記円弧の範囲、すなわち、拡散板５の横断面において、円弧の中心に対して拡散板５の一端を基準（０°）とし、他端までの角度θは、特に限定されるものではなく、例えば１２０°以上１８０°以下とすることができる。

１つの拡散板５は、カメラ３が上記領域を撮影するための貫通孔５１が設けられる。例えば、図３に示すように、貫通孔５１は、拡散板５の長手方向に、スリット状に形成される。

拡散板５の光線透過率の下限としては、特に限定されるものではなく、照明光の光束等により適宜選択することができ、例えば５０％とすることができ、６０％が好ましく、７０％以上がより好ましい。拡散板５の光線透過率の上限としては、特に限定されるものではなく、例えば９０％とすることができる。拡散板５の拡散反射率としては、特に限定されるものではなく、照明光の光束等により適宜選択することができ、例えば、９０％以上９５％以下とすることができる。

拡散板５は、光拡散粒子を含む樹脂製板等とすることができるが、フィルム状の拡散シートを透明な樹脂板又はガラス板に貼付したものでもよい。フィルム状の拡散シートを添付する樹脂板の材質としては、高い透明度を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ポリカーボネート等を採用することができる。

＜画像処理部＞
画像処理部は、カメラ３で取得した画像データを処理する。具体的には、カメラ３が連続的に撮影した被検査物２の表面における一部の領域の画像データを受信し、この受信した複数の画像データを処理して、１つの被検査物２の表面の全体画像を生成すると共に、この全体画像内の異常箇所の有無を判定する。画像処理部は、上記全体画像及び異常箇所の有無の判断結果を表示する表示部（ディスプレイ）を含み、当該外観検査装置１の操作部を含むことが好ましい。

［外観検査方法］
当該外観検査装置１による被検査物２の外観検査方法は、被検査物２を搬送する工程と、上記搬送される被検査物２の表面の画像データを取得する工程と、上記画像データを処理する工程とを備え、上記画像データ取得工程が、複数の照明器４で被検査物２の表面のうち一部の領域を照射する工程と、拡散板５が照明器４の照明光を拡散する工程と、カメラ３が上記領域を連続的に撮影する工程とを有する。

＜搬送工程＞
搬送工程では、被検査物２を、移動可能なステージ、ベルトコンベア等の搬送部に載置して搬送する。被検査物２を載置する方法としては、作業者が載置してもよいし、当該外観検査装置１を生産設備等に組み込み、他の装置等から自動で上記搬送部に載置してもよい。

＜画像データ取得工程＞
画像取得工程では、被検査物２の表面の画像データを取得する。画像データ取得工程は、複数の照明器４で被検査物２の表面のうち一部の領域を照射する工程と、拡散板５が照明器４の照明光を拡散する工程と、カメラ３が上記領域を連続的に撮影する工程とを有する。

（照射工程）
照射工程では、複数の照明器４が被検査物２の表面のうち一部の領域を照射する。複数の照明器４は、照射方向をカメラ３の撮影方向に向けて配置される。

（光拡散工程）
光拡散工程では、拡散板５が照明器４の照明光を拡散する。複数の照明器４から照射される照明光を拡散板５が拡散することで、カメラ３に入射する上記照明光の被検査物２の表面での正反射光が抑制できると共に、この拡散光が少なくとも上記領域を十分に照明する。

（撮影工程）
撮影工程では、カメラ３が上記領域を連続的に撮影する。具体的には、上記拡散光中を通過する被検査物２の表面の一部をカメラ３が連続して撮影し、画像データに変換する。

＜画像処理工程＞
画像処理工程では、上記カメラ３が取得した画像データを処理する。具体的には、画像処理部で、カメラ３から送信される被検査物２の表面の一部の画像データから被検査物２の表面の全体画像を生成すると共に、この全体画像内の異常箇所の有無を判定し、上記全体画像及び判定結果をディスプレイ等に表示する。

上記被検査物の表面の画像の取得開始から上記画像処理部が上記被検査物の表面の全領域を処理して検査を完了するまでにかかる時間の上限としては、８秒が好ましく、６秒がより好ましく、４秒がさらに好ましい。上記処理時間の下限としては、特に限定されるものではなく、例えば、１秒とすることができる。上記処理時間が上記上限を超える場合、検査効率が低下するおそれがある。なお、「検査を完了するまで」とは、上記画像処理部で、全体画像を生成すると共に、この全体画像内の異常箇所の有無を判定し、上記全体画像及び判定結果をディスプレイ等に表示するまでのことである。

［利点］
当該外観検査装置は、搬送される被検査物の画像データを取得しつつ、画像処理部が、上記画像を処理して被検査物の表面全体の画像を生成すると共に、この全体画像による異常箇所の有無の判定を行うため、検査処理速度に優れ、効率的に外観検査をすることができる。上記画像データは、カメラが上記被検査物の表面における一部の領域を連続的に撮影したものであるため、上記表面の全体を一時に撮影するのに比べて、搬送速度を大きくして検査処理速度を向上することが比較的容易にできる。当該外観検査装置は、複数の照明器を有するので、被検査物の搬送速度を大きくしても、カメラで画像データを取得するための十分な照度を提供することができ、検査処理速度をより向上することができる。さらに、拡散板が、上記複数の照明器それぞれの照射方向と直交しているため、照明光を効率的に拡散してハレーションの発生を効果的に抑制でき、精度に優れた外観検査を行うことができる。

［その他の実施形態］
上記開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

拡散板５は、横断面が円弧等の透明な棒状部材とすることも可能である。

また、カメラ３の撮影方向Ｃが被検査物２の表面に対して傾斜して配置されることも本発明の範疇である。

以下、実施例に基づき本発明をさらに詳説するが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるものではない。

被検査物として、基板に、縦０．３ｍｍ、横０．６ｍｍの複数のチップパターンを形成した基板を準備し、この基板の表面にＲｕペーストを膜厚１００μｍでスクリーン印刷した縦６０ｍｍ、横７０ｍｍのペースト塗布基板を用いた。このペースト塗布基板をステージに載置し搬送速度１４０ｍ／秒で水平方向に搬送し、その表面の一部の画像を連続的に撮影した。

図１に示すように、カメラは、その撮影方向が被検査物の表面に対して垂直になるように配置し、照明器は、搬送方向下流側と上流側とで、カメラの撮影方向に対して対称になるように配置した。拡散板は、横断面が円弧で、一方の端部から他方の端部までの角度θが１５０°のものを基板から３ｍｍの距離に配置した。なお、「拡散板と基板との距離」とは、拡散板の両端部と上記ペースト塗布基板の表面との距離である。

画像取得部で用いたカメラ、照明器及び拡散板は、以下のとおりである。
カメラ：ＣＭＯＳラインカメラ（ＴＥＬＥＤＹＮＥ ＤＡＬＳＡ社製：ＬＡ−ＨＭ−１６Ｋ０７Ａ、画素数１６３８４、画素サイズ３．５２μｍ）
照明器：白色ＬＥＤ光源（ユーテクノロジー社製：ＵＦＬＳ−７５−１２Ｗ−ＵＴ）
拡散板：拡散シート（３Ｍ社製：３６３５−７０、光線透過率約６０％、厚み０．８ｍｍ）、及び半円形状のポリカーボネート板（無色透明、内径Φ１４ｍｍ、外径Φ１８ｍｍ）

上記カメラで得た画像データを画像処理部で一枚の全体画像とし、ハレーションの発生の有無を目視で確認した。

実施例では、カメラゲイン、照明器の数及び角度、並びに照明器と拡散板との距離を変更して、ハレーションの発生の有無を確認した。比較例では、拡散板を配置していない。結果を表１に示す。なお、「照明器の角度」とは、照明器の照射方向と搬送面（水平面）との成す角度である。

照明器の数が４つの場合において、下側照明器とは、被検査物に近い側の照明器であり、上側照明器とは、カメラに近い側の照明器である。照明器の数が２つの場合における角度は、便宜上、上側照明器の角度の欄に記載した。

拡散板を配置した実施例１〜１０では、ハレーションの発生がいずれもなかった。実施例１の全体画像を拡大したものを図４に示す。照明器が２つの実施例４〜７では、ハレーションの発生はないものの、画像が比較的暗く、本実施例においては照明器を４つとすることで好適な検査が可能であると考察される。拡散板を配置しない比較例１では、照明器の数が２つであるにも関わらず、ハレーションの発生が確認された。比較例１の全体画像を拡大したものを図５に示す。図５で、紙面の左右方向に伸びる白線がハレーションである。

次に、ペーストをＡｇとしたペースト塗布基板、照明器を青色ＬＥＤ光源とし、拡散板の形状が、横断面で円弧のものと、断面が矩形の平面板状のものとで比較した。平面板状拡散板は、上記ペースト塗布基板表面と対向する面を上記ペースト塗布基板表面から３ｍｍの距離で配置した。照明器の数は、いずれも４つとし、下側照明器の角度は３０°、上側照明器の角度は７０°として、上側照明器と拡散板との距離は１０ｍｍとした。なお、上側照明器及び下側照明器と平面板状の「拡散板との距離」とは、各照明器の照射方向における照明器から平面板状拡散板までの距離である。

実施例及び比較例で、搬送速度、カメラ露光時間、ゲイン、しぼり、照明器の明るさ、並びに下側照明器と拡散板との距離を変更して、ハレーションの発生の有無を確認した。結果を表２に示す。なお、「照明器の明るさ（％）」とは、照明器の出力光束３０００ｌｍに対する比率を意味する。

断面が半円形状の拡散板を用いた実施例１１〜１２では、ハレーションの発生がいずれもなく、カメラの画像データを処理した全体画像も明るく明りょうで検査に好適であった。平面板状拡散板を用いた比較例２〜９では、ハレーションの発生はないものの全体画像が暗く、精度の高い検査を行うには好適であるとはいえないものであった。

本発明の外観検査装置は、上述のように、ハレーションの発生を効果的に防止でき、搬送速度を大きくして効率的な外観検査をすることができるので、電子部品の生産等に好適に用いることができる。

１ 外観検査装置
２ 被検査物
３ カメラ
４ 照明器
５ 拡散板
５１ 貫通孔
Ｃ 撮影方向（カメラ撮影面の中心軸）
Ｐ 照射方向（照明光の光線束の中心軸）
Ｒ 半径
Ｗ 拡散板の長辺の長さ
θ 角度

照明器４の照明光の色としては、特に限定されるものではなく、被検査物２の表面の特性に応じて、白色、赤色、青色、或いは赤外線、紫外線等とすることができる。被検査物２がガラス等の光透過性を有するものであれば波長の長い赤系統の色とすることが好ましく、金属等の光反射性が強いものであれば波長の短い青系統の色とすることが好ましく、その他のものとしては白色とすることが好ましい。

Claims (8)

1. 被検査物を搬送する搬送部と、
   上記被検査物の表面のうち一部の領域を連続的に撮影するカメラと、
   上記領域に向けて照明光を照射する複数の照明器と、
   上記照明器の照射方向に配置される拡散板と、
   上記カメラで取得した画像データを処理する画像処理部と
   を備え、
   上記拡散板が、上記複数の照明器それぞれの照射方向と直交する外観検査装置。
2. 上記拡散板が、上記複数の照明器に共通する１つの拡散板である請求項１に記載の外観検査装置。
3. 上記拡散板が部分円筒状であり、その横断面が円弧である請求項２に記載の外観検査装置。
4. 上記カメラの撮影方向が上記領域に対して垂直であり、上記複数の照明器が上記被検査物の搬送方向の下流側及び上流側で上記カメラに対して対称に配置されている請求項１、請求項２又は請求項３に記載の外観検査装置。
5. 上記照明器それぞれの照射方向が、上記被検査物の表面における上記領域で交差する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の外観検査装置。
6. 上記搬送部の搬送速度が、７０ｍｍ／秒以上である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の外観検査装置。
7. 上記カメラの画素数が８０００以上、解像度が７．００μｍ／画素以下である請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の外観検査装置。
8. 上記被検査物の表面の画像の取得開始から上記画像処理部が上記被検査物の表面の全領域を処理して検査を完了するまでが８秒以下である請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の外観検査装置。