TWI407093B - 用於控制照射角度於一標的上之方法與系統，以及用於照射一標的之照明裝置 - Google Patents

Description

用於控制照射角度於一標的上之方法與系統，以及用於照射一標的之照明裝置

本發明概言之係關於利用分色濾光鏡控制一物體之照射角度。

許多應用需要以特定照射角度照射一標的上之點，以達到一期望之對比度來檢驗該表面，例如用以分析一印刷電路板(printed circuit board；PCB)上之電路表面。通常，於諸如印刷電路板、互連器件、積體電路(Integrated Circuit；IC)及平板顯示器等電子電路製造過程中，利用一自動光學檢驗操作辨識電路中或基板上之缺陷。通常係利用一或多個線光源(line light source)逐條線地照射一PCB之表面並掃描該線以進行分析，藉此達成該PCB之檢查。可藉由各種方法形成一線光源，例如藉由來自一點光源(例如鹵素燈(halogen light))形成一列玻璃纖維或藉由形成一列發光二極體(LED)光源。可於線光源與PCB間沿一線設置一透鏡，以將光聚焦於垂直該線之平面中，進而沿該線之每一點獲得一最佳照射角度。

沿縱向軸線，從形成該線光源之多個光源照射PCB上該線之每一點。點之總體照射角度取決於構成該線光源之點光源之擴散角度(dispersion angle)，舉例而言，鹵素燈往往產生向外擴散之光，該等光沿縱向軸線相對於光源焦點形成約±25°之夾角。LED光源一般產生在所有方向上皆形成約70°夾角之向外擴散之光。

為最佳地分析PCB上之一點，期望對稱地照明該點，以便無需進行計算來補償照明之不對稱性。然而，於所有方向上控制構成線光源之點之照射角度對於透鏡製造商而言係為一極大之挑戰。解決方案可能無法達成或代價高昂，端視構成線光源之點之尺寸及數量而定。因此，其它用以控制光之發散角度之方法是有所需求的。

本發明之一實施例之一態樣係關於一種藉由設置一分色濾光鏡於光源與被照射標的之間，而控制一光束自二或更多個點朝向該標的上之一線或一區域之照射角度之系統及方法。該分色濾光鏡根據光源之波長及入射角度選擇性地傳遞光。藉由選擇分色濾光鏡以傳遞具有特定入射角之所需波長，能夠控制在標的上所得之照明光束。

於本發明之一實例性實施例中，利用一或多列光源照射一標的上之一線或一區域。可選擇性地利用一透鏡於垂直於該列光源之方向上將光聚焦，藉此控制該方向上之照射角度。於本發明之某些實施例中，每一列皆照明整個角度覆蓋範圍之一段。在平行於該列光源之方向上，分色濾光鏡傳遞在該濾光鏡上具有特定入射角範圍之特定波長之光，因而亦可限制平行方向上之照射角度。於本發明之某些實施例中，標的上之照射角度在所有方向上皆相同。或者，可利用透鏡將垂直方向之光聚焦至較利用分色濾光鏡之平行方向為窄之照射角度。視需要，若該透鏡以較分色濾光鏡所提供角度為寬之角度將光聚焦成一光束，則該濾光鏡亦將限制垂直方向之照射角度。

於本發明之某些實施例中，分色濾光鏡係平行於該列光源設置，俾對稱地處理所有光源。或者，分色濾光鏡係相對於該列光源成一夾角設置，俾使該等光源其中之某些將較其餘光源傳遞更多之光，例如以使來自某些光束之照明相對於該列光源成鈍角。

於本發明之某些實施例中，自該等光源朝標的照射之光束係透過多於一個分色濾光鏡傳遞，以增強對照射角度之控制。視需要，分色濾光鏡可係為一多通濾光鏡(multi-band pass filter)，以於當多於一個波長範圍以該濾光鏡所支援之設定角度範圍到達該濾光鏡時，支援該多於一個波長範圍透射過該濾光鏡。

因此，根據本發明之一實例性實施例，提供一種控制照射角度於一標的上之方法，包含：以來自至少二預選定波長之光源之光照射於該標的上；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；選擇一分色濾光鏡，該分色濾光鏡根據該濾光鏡上之入射角度，透射來自該至少二光源之光；定位該分色濾光鏡於該至少二光源與該標的之間，以限制光的傳遞於該等預選定波長之光；其中該分色濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度。視需要，該分色濾光鏡係垂直定位於該主照射軸。或者，該分色濾光鏡不相對於該主照射軸形成一直角。

於本發明之一實例性實施例中，該分色濾光鏡之角度係為使用者可調控的。視需要，多個分色濾光鏡沿該主照射軸依序定位。於本發明之一實例性實施例中，該等分色濾光鏡係彼此成一夾角定位。視需要，該分色濾光鏡係為一多通濾光鏡。於本發明之一實例性實施例中，該方法更包含設置一透鏡於該至少二光源與該標的之間，以沿一第一方向聚焦來自該至少二光源之光至該標的；並且其中由於該分色濾光鏡之定位，沿垂直於該第一方向之一第二方向照射該標的之該光具有實質與該第一方向相同之照射角度。

於本發明之一實例性實施例中，該至少二光源係以相互平行之多列光源形式提供，並且其中來自每一列光源之光束藉由一透鏡沿一第一方向聚焦至該標的上，使得由於該分色濾光鏡之定位，沿該第一方向照射該標的之組合光束具有與沿垂直於該第一方向之一第二方向相同之照射角度。視需要，各該至少二光源選擇性地提供具有多種波長之光，並且該等受控之照射角度因每一波長而異。

根據本發明之一實例性實施例，更提供一種用於控制照射角度於一標的上之系統，包含：至少二光源，用以照射該標的；一分色濾光鏡，根據該濾光鏡上之入射角度，透射來自該至少二光源之光；其中該分色濾光鏡係定位於該至少二光源與該標的之間；其中該至少二光源之光具有預選定之波長；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；其中該濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度。

於本發明之一實例性實施例中，該系統更包含設置一透鏡於該至少二光源與該標的之間，以沿一第一方向聚焦來自該至少二光源之光至該標的；並且其中由於在該標的與該至少二光源之間設置該分色濾光鏡，沿垂直於該第一方向之一第二方向照射該標的之該光具有實質與該第一方向相同之照射角度。

根據本發明之一實例性實施例，更提供一種用於照射一標的之照明裝置，包含：一或多列光源，其中各該光源提供一種或多種波長之光；一透鏡，平行於每一列光源，以聚焦來自該等光源列之光，俾使照射該標的之組合光束相對於一主照射軸具有一特定角度，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；一分色濾光鏡，設置於該標的與該透鏡之間，用以透射以一特定範圍之角度入射於該濾光鏡之特定光波長，以使對於至少一種波長，沿垂直於該列光源之方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之方向之照射角度對稱。

視需要，該系統包含多個分色濾光鏡。於本發明之一實例性實施例中，對於一種波長，沿垂直於該列光源之該方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之該方向之照射角度對稱。選擇性地，對於一種以上之波長，沿垂直於該列光源之該方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之該方向之照射角度對稱。

第1圖係為根據本發明之一實例性實施例，一用於以光學方式分析電子電路之裝置100之剖視示意圖，裝置100係例如被製造於一印刷電路板(PCB)或其它表面上。視需要，裝置100包括一基座120，以安裝用於控制照射至一標的180上並對來自標的180之反射進行取樣之光學元件。於本發明之一實例性實施例中，三個線光源130安裝於基座120上以照射標的180。視需要，標的180係由一材料製成以作為一朗伯表面(Lambertian surface)，該材料上根據電路設計而選擇性地塗覆有一金屬導體。通常，該朗伯表面與該金屬導體具有不同之反射度，以便可藉由取樣自標的180反射之光來驗證電路之製造(例如藉由偵測製造誤差)。

於本發明之一實例性實施例中，光源130從標的180反射而形成一光信號125。光信號125被反射朝向一半透明鏡150，半透明鏡150將光信號125經由一面鏡160及/或經由任何其它光學路徑朝一感測器170傳遞。感測器170可例如係為一電耦合裝置(Charged Coupled Device；CCD)、一互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor；CMOS)、一光電倍增器(photomultiplier)或任何其它適當之感測器。於本發明之一實例性實施例中，感測器170取樣光信號125並將樣本轉為數位化資訊提供至一電腦，以藉由與電路設計相比較來分析標的180。此外或作為另外一種選擇，可採用此項技術中所知之其它方法執行電路之自動光學檢驗(Automatic Optical Inspection；AOI)。

於本發明之某些實施例中，使用三光源130照射該標的上之一線185，舉例而言，第一光源130可定位成自線185之一側照射，第二光源130可定位成自線185之相對側照射，第三光源130則可定位成自線185正上方照射。於本發明之某些實施例中，亦可使用更多數量之光源(例如4個、5個或更多個)抑或使用更少數量之光源(例如1個或2個)。視需要，一透鏡135係設置於朝向線185之光路徑中，以聚焦來自光源130之光，俾使入射於線185之組合光沿平行於X座標之一平面以一預定角度190(例如30°、55°或100°)照射該線，如第1圖所示。於本發明之某些實施例中，每一光源130皆照射整個角度190範圍。另外一種選擇，每一光源130僅照射角度190之一段。於本發明之一實例性實施例中，一分色濾光鏡145設置於光路徑中，例如設置於透鏡135之後，以如下文所述控制在Y方向上對線185之每一點之照射角度。於本發明之某些實施例中，光學元件之位置可有所不同，舉例而言，分色濾光鏡145可設置於透鏡135之前。視需要，某些光學路徑可更為複雜，某些則可更為簡單，舉例而言，第1圖中之中央光源未與其它二光源沿同一圓弧設置，而是定位於遠處並透過一面鏡140、一曲面鏡115、一半透明鏡150傳遞，以使反射光經半透明鏡150沿相同方向返回。

應注意，用於實施本發明之光源並不限於本說明中所一般使用之點光源或線光源。視需要，亦可使用其它類型之光源(例如，多線式光源(multiline source)、面光源(area source)或其它形式)，並且本文所述之細節同等地適用於該等情形。

另外，應注意，本發明並不限於特定類型之電子電路或限於以特定類型之表面作為在上面製作電子電路之標的，舉例而言，電子電路可被實作為印刷電路板、互連器件、積體電路、平板顯示器及任何其它形式之電子電路或表面。同樣，本發明並不限於電子電路，而是同等地適用於其它類型之標的。

第2A圖係為根據本發明之一實例性實施例，於不使用分色濾光鏡情況下沿縱向軸線(Y)照射一標的上之一點225之側視示意圖200，第2B圖係為於使用分色濾光鏡145情況下沿縱向軸線(Y)照射一標的上之一點225之側視示意圖250。於本發明之一實例性實施例中，在X方向上，所有光皆被透鏡135朝平行於Y軸185的一條線收集並被引導至形成一窄之高強度照射線，該照射線受期望之照射角度所限定。視需要，在Y方向上，若光點205之擴散覆蓋點225，則每一光點205皆照射到點225。於本發明之一實例性實施例中，光源130係由一行光點205_a -205_t (例如複數發光二極體、複數光纖)構成。視需要，每一點皆形成一光束，該光束相對於光源130之法線向外擴展一角度215(例如70°)，該角度取決於光源之特性。於本發明之一實例性實施例中，光穿過透鏡135朝點225行進。視需要，基座120之側面經過塗覆以形成一高反射鏡210(例如反射率為96%)，俾使該光源線可被點225視為幾乎無限的，並且每一點225皆由線光源130之許多光點205照射。在第2A圖中，光點205_a -205_t 照射特定點225，各該光點直接地或透過鏡210間接地以一不同角度235(例如235' 及235" )照射點225，最高至達到等於角度215之最大角度245。第2A圖具體顯示來自某些光點205_a -205_t 之照射線，然而應理解，所有光點皆起作用，此處僅顯示某些光點只是為了清楚起見。在第2B圖中，一分色濾光鏡145設置於透鏡135之後，以限制沿縱向(Y)軸線之有效照射角度，俾使在點225上所得之照射角度對於所期望應用而言最佳，舉例而言，將對點225之照射限制至最大為角度255而非無濾光鏡145時之角度245(角度角度245)。於本發明之一實例性實施例中，強度在角度255以內之降幅係不均勻的，並且可具有一緩慢之斜率，使得在角度235處較在角度255處以更高之強度照射點225。

發自一光點205之一光線相對於濾光鏡之法線以一角度235入射於分色濾光鏡145上。第3A-3C圖係為根據本發明之一實例性實施例，在不同入射角度235下分色濾光鏡145之透射光譜之示意圖。如第3A-3C圖所示，對於一特定波長(λ，單位：奈米(nm))，於某些角度下，該分色濾光鏡透射該光之大部分(例如，多於60%或70%)，並且在某些角度下，該光被反射，僅有一小部分被透射(例如，少於20%或30%)。該特定波長於一角度θ之透射率等於一不同波長於法向入射時之透射率。該等波長(在空氣中)之間的比率表示為：

其中：θ=入射角度；λ_θ =在入射角度下的波長；λ₀ =在法向入射時具有相同透射率的波長；N*=濾光鏡之有效折射率。

於本發明之一實例性實施例中，光點205產生具有一特定波長或一特定波長範圍之光。視需要，分色濾光鏡145經選擇以匹配光點205所照射之光波，俾使所得的照射於點225之角度相對於由光點205所產生而形成光束之原始角度減小。如第3A-3C圖所示，當光點205產生波長約為630奈米之一淡紅色光束時，以0°之角度入射於分色濾光鏡145之光線(例如第3A圖)將幾乎完全(例如96%)透射過濾光鏡。對於以30°之角度入射於分色濾光鏡145之光線，將僅有約80%(例如第3B圖)被透射。以60°之角度入射於分色濾光鏡145之光線(例如第3C圖)將實質被反射而不透射。因此，藉由選擇或製成一分色濾光鏡以匹配光點205所產生之光之波長，可控制點225上之入射角，以自點225之所有側向獲得對稱之照射。

於本發明之某些實施例中，使用一雙頻帶或多頻帶分色濾光鏡(例如SEMROCK FF01-468/624-25)，以便光點205可提供多於一個波長並利用分色濾光鏡145控制其照射角度。視需要，每一光點205可包括照射不同波長之光之多個LED，或者每一光點205可提供一不同波長之光(例如，利用朗伯LED或光纖)。於本發明之某些實施例中，可使用一種波長或多種波長之光照射標的180。視需要，可選擇分色濾光鏡145使每一波長以不同之最大角度照射線185上之點225。

第4圖係為根據本發明之一實例性實施例，一分色濾光鏡之透射率與入射角度之示意性關係曲線圖400。線410顯示由例如一朗伯LED產生之一透射光束。視需要，該光束射向一雙頻帶帶通濾光鏡(例如SEMROCK FF01-468/624-25)。該濾光鏡之正規化透射率由線420及430顯示。作為該濾光鏡所透射之波長，線420代表中央波長為460奈米(藍光)之一光束，線430則代表中央波長為630奈米(紅光)之一光束。在0°與約20°之間，該二波長之大部分被透射。然而，當相對於法線之入射角度增大時，透射率減小，並且在角度大於40°-50°時，幾乎不透射光。

於本發明之一實例性實施例中，藉由選擇一單一分色濾光鏡以及所用之光波長，決定對點225之照射角度。作為另外一種選擇或者另外，二或更多個分色濾光鏡145可相對於彼此成各種角度串連或並列放置，以進一步控制照射點225之光束之照射角度及強度，例如以傳遞具有大入射角度之光或以不對稱地照射某個點。第5圖係為一示意圖500，使用二傾斜之分色濾光鏡510與一面鏡520傳遞來自一光源505之特定光線並阻擋其它光線以控制對一標的530之照射角度。於本發明之一實例性實施例中，將改變(進一步限制或擴大)照射角度，例如以於一標的上以20°-50°而非0°-30°之角度提供最大照射。視需要，分色濾光鏡510可係為可移動的，例如由一馬達控制以容許使用者控制照射於一標的之光。

第6A圖係為根據本發明之一實例性實施例，一線光源600之示意圖，其中該線上之每一點係由具有不同波長之二光點610、620構成。視需要，光源600之光透射過一多頻帶分色濾光鏡625，多頻帶分色濾光鏡625對每一波長之光產生不同之回應，使得每一角度範圍皆提供一不同波長之光。視需要，藉由控制每一光源之強度，可控制在一標的630上之照射角度。

第6B圖係為根據本發明之一實例性實施例，利用具有不同波長之二光點(610，620)時透射率與入射角度之示意性關係曲線圖650。視需要，線660顯示一朗伯光源之透射率。線670顯示波長為590奈米之一LED之透射率，線680則顯示波長為620奈米之一LED之透射率。根據曲線圖650所示之情形，相對於法線以最大至約25°之角度照射標的630之光之大部分強度將由620奈米LED提供。以高於25°直至約60°之角度照射標的630之光之大部分強度將由590奈米LED提供。於本發明之一實例性實施例中，使用多個波長可增強對表面之分析，乃因該等表面可對不同之波長作出不同之回應。

應理解，上述方法及裝置可以多種方式加以修改，包括省略或添加步驟、改變步驟次序及所用器件類型。應理解，可按不同方式組合不同之特徵。具體而言，並非上文在一具體實施例中所示之所有特徵皆為本發明之每一實施例中所必需的。上述特徵之進一步組合亦被視為屬於本發明某些實施例之範圍內。

提供各部分之標題係為了幫助閱覽，而不應認為其必然會限制各部分之內容。

熟習此項技藝者應理解，本發明並非僅限於上文所具體顯示及描述者。而是，本發明之範圍僅受下文申請專利範圍限定。

100．．．裝置

115．．．曲面鏡

120．．．基座

125．．．光信號

130．．．光源

135．．．透鏡

140，160．．．面鏡

145．．．分色濾光鏡

150．．．半透明鏡

170．．．感測器

180．．．標的

185．．．線

190．．．預定角度

200．．．側視圖

205a-205t．．．光點

210．．．反射鏡

215，235’，235”．．．角度

225．．．點

245．．．最大角度

250．．．側視圖

255．．．角度

400．．．曲線圖

410，420，430．．．線

500．．．示意圖

505．．．光源

510．．．分色濾光鏡

520．．．面鏡

530．．．標的

600．．．光源

610，620．．．光點

625．．．多頻帶分色濾光鏡

630．．．標的

650．．．曲線圖

660，670，680．．．線

結合附圖閱讀上文詳細說明，將可更全面地理解和瞭解本發明。出現多於一個圖中之相同結構、元件或部件皆在所有該等圖中皆被標記為相同或相似之編號，附圖中：

第1圖係為根據本發明之一實例性實施例，一種用於以光學方式分析電路之裝置之剖視示意圖；

第2A及2B圖係為根據本發明之一實例性實施例，分別於使用和不使用分色濾光鏡情況下沿縱向軸線照射一標的上之一點之側視示意圖；

第3A-3C圖係為根據本發明之一實例性實施例，分色濾光鏡依據入射角度之透射光譜之示意圖；

第4圖係為根據本發明之一實例性實施例，一分色濾光鏡之透射率與入射角度之示意性關係曲線圖；

第5圖係為根據本發明之一實例性實施例，使用二傾斜之分色濾光鏡與一反射鏡傳遞來自一光源之特定光線並阻擋其它光線以控制對一標的之照射角度之示意圖；

第6A圖係為根據本發明之一實例性實施例，一線光源之示意圖，其中該線上之每一點係由來自具有不同波長之二光點構成；以及

第6B圖係為根據本發明之一實例性實施例，利用具有不同波長之二光點時透射率與入射角度之示意性關係曲線圖。

100．．．裝置

115．．．曲面鏡

120．．．基座

125．．．光信號

130．．．光源

135．．．透鏡

140，160．．．鏡

145．．．分色濾光鏡

150．．．半透明鏡

170．．．感測器

180．．．標的

185．．．線

190．．．預定角度

Claims (14)

1. 一種控制照射角度於一標的上之方法，包含：以來自至少二預選定波長之光源之光照射於該標的上；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；選擇一分色濾光鏡(dichroic filter)，該分色濾光鏡根據該濾光鏡上之入射角度，透射來自該至少二光源之光；定位該分色濾光鏡於該至少二光源與該標的之間，以限制光的傳遞於該等預選定波長之光，其中該分色濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度；以及設置一透鏡於該至少二光源與該標的之間，以沿一第一方向聚焦來自該至少二光源之光至該標的，由於該分色濾光鏡之定位，沿垂直於該第一方向之一第二方向照射該標的之該光具有實質與該第一方向相同之照射角度。
2. 如請求項1所述之方法，其中該分色濾光鏡係垂直定位於該主照射軸。
3. 如請求項1所述之方法，其中該分色濾光鏡不相對於該主照射軸形成一直角。
4. 如請求項3所述之方法，其中該分色濾光鏡之角度係為使用者可調控的。
5. 如請求項1所述之方法，其中多個分色濾光鏡沿該主照射軸依序定位。
6. 如請求項5所述之方法，其中該等分色濾光鏡係彼此成一夾 角定位。
7. 如請求項1所述之方法，其中該分色濾光鏡係為一多通濾光鏡(multi pass filter)。
8. 一種控制照射角度於一標的上之方法，包含：以來自至少二預選定波長之光源之光照射於該標的上；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；選擇一分色濾光鏡，該分色濾光鏡根據該濾光鏡上之入射角度，透射來自該至少二光源之光；以及定位該分色濾光鏡於該至少二光源與該標的之間，以限制光的傳遞於該等預選定波長之光；其中該分色濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度；其中該至少二光源係以相互平行之多列光源形式提供，並且其中來自每一列光源之光束藉由一透鏡沿一第一方向聚焦至該標的上，使得由於該分色濾光鏡之定位，沿該第一方向照射該標的之組合光束具有與沿垂直於該第一方向之一第二方向相同之照射角度。
9. 一種控制照射角度於一標的上之方法，包含：以來自至少二預選定波長之光源之光照射於該標的上；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；選擇一分色濾光鏡，該分色濾光鏡根據該濾光鏡上之入 射角度，透射來自該至少二光源之光；以及定位該分色濾光鏡於該至少二光源與該標的之間，以限制光的傳遞於該等預選定波長之光；其中該分色濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度；其中各該至少二光源選擇性地提供具有多種波長之光，並且該等受控之照射角度因每一波長而異。
10. 一種用於控制照射角度於一標的上之系統，包含：至少二光源，用以照射該標的；一分色濾光鏡，根據該濾光鏡上之入射角度，透射來自該至少二光源之光；其中該分色濾光鏡係定位於該至少二光源與該標的之間；以及一透鏡，於該至少二光源與該標的之間，以沿一第一方向聚焦來自該至少二光源之光至該標的，由於在該標的與該至少二光源之間設置該分色濾光鏡，沿垂直於該第一方向之一第二方向照射該標的之該光具有實質與該第一方向相同之照射角度；其中該至少二光源之光具有預選定之波長；其中來自該等光源之光相對於一主照射軸以一各別最大照射角度照射該標的上之每一點，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；其中該濾光鏡係經選擇以限制照射該標的上每一點之該最大照射角度。
11. 一種用於照射一標的之照明裝置，包含：一或多列光源，其中各該光源提供一種或多種波長之光； 一透鏡，平行於每一列光源，以聚焦來自該等光源列之光，俾使照射該標的之組合光束相對於一主照射軸具有一特定角度，該主照射軸係實質自該至少二光源之中央延伸至該標的；一分色濾光鏡，設置於該標的與該透鏡之間，用以透射以一特定範圍之角度入射於該濾光鏡之特定波長光線，以使對於至少一種波長，沿垂直於該列光源之方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之方向之照射角度對稱。
12. 如請求項11所述之照明裝置，更包含多個分色濾光鏡。
13. 如請求項11所述之照明裝置，其中對於一種波長，沿垂直於該列光源之該方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之該方向之照射角度對稱。
14. 如請求項11所述之照明裝置，其中對於一種以上之波長，沿垂直於該列光源之該方向在該標的上造成之照射角度與沿平行於該列光源之該方向之照射角度對稱。