JP2021004409A - 防着シート - Google Patents

Abstract

【課題】着膜量を確保しつつ、着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることを可能とした防着シートを提供する。【解決手段】防着シート１３は、成膜源ＤＳと防着対象Ｓとの間に配置される。防着シート１３は、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下であり、成膜粒子径が８Å以上２０Å以下である成膜に用いられる。防着シート１３は、繊維を含み、成膜源ＤＳと対向する被着面１３Ｓに、成膜粒子ＤＰの直径以上の開口を有し、かつ、成膜粒子ＤＰの平均自由行程以下の深さを有した複数の空隙を有するシート本体を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、成膜装置が備える防着シートに関する。

スパッタ装置は、基板に対して各種の薄膜を形成するために用いられている。スパッタ装置は、基板以外の部位に対する着膜を抑える目的で、防着板を備えている。スパッタ装置の一例において、防着板は、金属箔、供給ローラー、および、巻取りローラーを備えている。供給ローラーに巻回された金属箔は、巻取りローラーに架け渡されている。巻取りローラーが金属箔を巻き取ることによって、金属箔のなかで、スパッタ粒子の付着によって堆積した着膜物を有する部分が、巻取りローラーに巻き取られる（例えば、特許文献１を参照）。

実開平７−１９３６１号公報

ところで、防着板には、スパッタ装置において時間当たりに成膜される成膜対象の数を増やす上で、防着板の着膜量を増やし、これによって、時間当たりにおいて、防着板のメンテナンスを行う回数を減らすことが求められる。しかしながら、防着板が、防着シートとして上述した金属箔を備える場合には、金属箔に対する着膜量を増やすことによって、着膜物に生じた応力に起因して、着膜物が金属箔から剥がれ落ちる。結果として、着膜物に起因するパーティクルがスパッタ装置内において生じてしまう。こうした課題は、成膜源としてカソードを備えるスパッタ装置に限らず、成膜源として蒸着源を備える蒸着装置などの成膜装置においても共通する。

本発明は、着膜量を確保しつつ、着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることを可能とした防着シートを提供することを目的とする。

上記課題を解決するための防着シートは、成膜源と防着対象との間に配置される防着シートである。前記防着シートは、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下であり、成膜粒子径が８Å以上２０Å以下である成膜に用いられる。繊維を含み、前記成膜源と対向する被着面に、成膜粒子の直径以上の開口を有し、かつ、前記成膜粒子の平均自由行程以下の深さを有した複数の空隙を有するシート本体を備える。

上記構成によれば、被着面が複数の空隙を有することによって、被着面が空隙を有しない場合に比べて、被着面の表面積を大きくすることが可能であり、これによって、防着シートによる着膜量を確保することが可能である。

ここで、空隙の深さが平均自由行程よりも長い場合には、空隙のなかに他の成膜粒子が存在することによって、空隙に侵入した成膜粒子が当該他の成膜粒子に衝突することによって跳ね返り、これによって、空隙から出てしまう。これに対して、上述したように、空隙の深さが平均自由行程以下であれば、空隙のなかに他の成膜粒子が存在しないため、成膜粒子が空隙のなかに進入しても、当該他の成膜粒子と衝突せず、結果として、空隙内に捕捉されやすい。

また、シート本体は繊維を含むため、シート本体が金属の薄膜やセラミックの薄膜によって形成される場合に比べて、シート本体の剛性を下げることが可能である。これにより、シート本体に堆積した着膜物の膜応力が高まりにくくなり、着膜物がシート本体から剥がれ落ちにくくなる。結果として、着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

上記防着シートにおいて、前記シート本体は、前記被着面を含む第１層と、前記第１層に積層された第２層と、を含み、前記複数の空隙は、前記第１層と前記第２層とに跨がる形状を有した前記空隙を含んでもよい。

上記構成によれば、シート本体が２つの層を含むため、第１層と第２層との組み合わせによって、空隙の深さ、および、空隙の形状を変更することが可能である。そのため、シート本体が１つの層のみから形成される場合に比べて、空隙の深さ、および、空隙の形状における自由度を高めることが可能である。

上記防着シートにおいて、前記第１層と前記第２層とに跨がる形状を有した前記空隙は、前記第１層によって区画される第１部分と、前記第２層によって区画される第２部分と、を備え、前記第２部分の開口径が、前記第１部分の開口径よりも小さくてもよい。

上記構成によれば、成膜粒子が空隙に進入するための開口の開口径が、成膜粒子が空隙に進入した後に到達する第２部分の開口径よりも大きい。そのため、成膜粒子が第２部分に捕捉されることによって、第２部分が成膜粒子によって占有されてしまった場合でも、第１部分に残された空間によって、成膜粒子を捕捉することが可能である。

上記防着シートにおいて、前記シート本体は、前記空隙を有した中空のガラスビーズと、前記シート本体が広がる平面に沿う前記ガラスビーズの移動が可能な状態で、前記ガラスビーズを保持する繊維とを含んでもよい。

上記構成によれば、シート本体が剛体ではないため、シート本体に対して成膜粒子が堆積した場合に、成膜粒子の堆積した状態に応じて、シート本体内におけるガラスビーズの位置が変わる。これにより、シート本体に堆積した着膜物の膜応力が高まることが抑えられ、着膜物がシート本体から剥がれ落ちることが抑えられる。結果として、着膜物に起因したパーティクルの発生がより抑えられる。

上記防着シートにおいて、シート状を有し、前記シート本体を支持する支持体をさらに備え、前記シート本体は、前記支持体に着脱可能に取り付けられていてもよい。この構成によれば、防着シートが支持体を備えることによって、成膜粒子の平均自由行程と同程度に薄いシート本体であっても、ローラーによる防着シートの搬送が可能になる。また、支持体に対するシート本体の着脱が可能であることによって、着膜物が堆積したシート本体を支持体から取り外し、新たなシート本体を支持体に取り付けることが可能である。そのため、防着シートを形成する支持体を複数回使用することが可能である。

一実施形態における防着シートを備える防着機構が適用される成膜装置の構成を模式的に示す装置構成図。 防着シートにおいて、シート本体と支持体とを分解して示す分解斜視図。 防着シートの構造における第１例を示す断面図。 防着シートの構造における第２例を示す断面図。 防着シートの構造における第３例を示す断面図。 防着シートの構造における第４例を示す断面図。

図１から図６を参照して、防着シートの一実施形態を説明する。以下では、防着シートを備える防着機構が適用される成膜装置の構成、および、防着シートの構成を順に説明する。

［成膜装置の構成］
図１を参照して、成膜装置の構成を説明する。
図１が示すように、成膜装置２０は、成膜源ＤＳと防着機構１０とを備えている。防着機構１０は、第１ローラー１１、第２ローラー１２、防着シート１３、および、回収部１４を備えている。第１ローラー１１は、紙面の奥行き方向に沿って延びる円筒状を有している。第１ローラー１１には、防着シート１３のなかで、成膜源ＤＳから放出された成膜粒子ＤＰが堆積した着膜物を有しない部分が巻回されている。第２ローラー１２は、紙面の奥行き方向に沿って延びる円筒状を有している。第２ローラー１２には、防着シート１３のなかで、着膜物を有する部分が巻き取られる。防着機構１０では、第１ローラー１１と第２ローラー１２とによって、防着シート１３が、所定の張力を有する状態で、第１ローラー１１から第２ローラー１２に向けて搬送される。

回収部１４は、第２ローラー１２の鉛直方向に位置している。回収部１４は、第２ローラー１２に沿って延びる皿状を有している。回収部１４は、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き取られる際に、防着シート１３内での摩擦や、防着シート１３と第２ローラー１２との間の摩擦によって、防着シート１３から剥がれ落ちた着膜物を回収する。

防着シート１３は、成膜源ＤＳと防着対象Ｓとの間に配置される。防着シート１３は、第１ローラー１１から第２ローラー１２に向けて搬送される途中で、成膜源ＤＳに対向する被着面１３Ｓを含んでいる。防着シート１３の被着面１３Ｓには、上述したように、成膜粒子ＤＰが堆積した着膜物ＤＦが形成される。防着シート１３は、被着面１３Ｓとは反対側の裏面１３Ｒを含んでいる。防着シート１３は、第１ローラー１１と第２ローラー１２との間において搬送が可能な帯状を有している。防着シート１３の長手方向における各位置において、防着シート１３は、被着面１３Ｓに対して裏面１３Ｒが第１ローラー１１寄りに位置するように、第１ローラー１１に巻回されている。防着シート１３の長手方向における各位置において、防着シート１３は、裏面１３Ｒに対して被着面１３Ｓが第２ローラー１２寄りに位置するように、第２ローラー１２に巻き取られる。

防着機構１０がスパッタ装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、ターゲットを含むカソードである。成膜源ＤＳは、ターゲットから叩き出されたスパッタ粒子を成膜粒子ＤＰとして放出する。防着機構１０が蒸着装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、蒸着源である。成膜源ＤＳは、気化または昇華された蒸着材料を成膜粒子ＤＰとして放出する。防着機構１０が熱ＣＶＤ装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、例えば、各種のガスを供給するガス供給部である。成膜源ＤＳは、各ガスが含む原子や分子を成膜粒子ＤＰとして放出する。防着機構１０がプラズマＣＶＤ装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、例えば、各種のガスを供給するガス供給部と、成膜装置が区画する空間内にプラズマを生成するプラズマ生成部とを含む。成膜源ＤＳは、気相中において形成された原子のクラスターや分子を成膜粒子ＤＰとして放出する。

防着対象Ｓは、例えば、成膜装置２０が備える真空槽の一部である。防着シート１３は、防着対象Ｓを覆うことによって成膜源ＤＳから防着対象Ｓを隠し、これによって、防着対象Ｓに成膜粒子ＤＰが堆積することを抑える。そのため、防着対象Ｓに堆積した着膜物が防着対象Ｓから剥がれ落ちることが抑えられる。結果として、防着対象Ｓから剥がれ落ちた着膜物によるパーティクルの発生が抑えられる。

［防着シートの構成］
図２から図６を参照して、防着シート１３の構成を説明する。
図２が示す防着シート１３は、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下であり、成膜粒子径が８Å以上２０Å以下である成膜に用いられる。防着シート１３は、シート本体１３Ｍを備える。シート本体１３Ｍは、繊維を含み、成膜源ＤＳと対向する被着面１３Ｓに、成膜粒子ＤＰの直径以上の開口１３ａを有し、かつ、成膜粒子ＤＰの平均自由行程以下の深さを有した複数の空隙１３ｇを有する。

被着面１３Ｓが複数の空隙１３ｇを有することによって、被着面１３Ｓが空隙１３ｇを有しない場合に比べて、被着面１３Ｓの表面積を大きくすることが可能であり、これによって、防着シート１３による着膜量を確保することが可能である。

ここで、空隙１３ｇの深さが平均自由行程よりも長い場合には、空隙１３ｇのなかに他の成膜粒子ＤＰが存在することによって、空隙１３ｇに侵入した成膜粒子ＤＰが当該他の成膜粒子ＤＰに衝突することによって跳ね返り、これによって、空隙１３ｇから出てしまう。これに対して、上述したように、空隙１３ｇの深さが平均自由行程以下であれば、空隙１３ｇのなかに他の成膜粒子ＤＰが存在しないため、成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇのなかに進入しても、当該他の成膜粒子ＤＰと衝突せず、結果として、空隙１３ｇ内に捕捉されやすい。

また、シート本体１３Ｍは繊維を含むため、シート本体１３Ｍが金属の薄膜やセラミックの薄膜によって形成される場合に比べて、シート本体１３Ｍの剛性を下げることが可能である。これにより、シート本体１３Ｍに堆積した着膜物ＤＦの膜応力が高まりにくくなり、着膜物ＤＦがシート本体１３Ｍから剥がれ落ちにくくなる。結果として、着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

シート本体１３Ｍは、被着面１３Ｓに複数の開口１３ａを有している。各開口１３ａは、シート本体１３Ｍの厚さ方向に沿って延びる各空隙１３ｇに１つずつ備えられている。すべての空隙１３ｇが、ほぼ等しい深さを有してもよい。あるいは、複数の空隙１３ｇには、第１の深さを有する空隙１３ｇと、第１の深さとは異なる第２の深さを有する空隙１３ｇとが含まれてもよい。

表１は、防着機構１０を備える成膜装置２０が区画する空間の圧力と、成膜粒子径、すなわち成膜粒子ＤＰの直径との関係を示している。成膜粒子ＤＰは、１つの原子のみを含んでもよいし、複数の原子を含んでもよい。また、成膜粒子ＤＰは、１つの分子のみを含んでもよいし、複数の分子を含んでもよい。

表１が示すように、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下に含まれるいずれかの値であり、かつ、成膜粒子ＤＰの直径が８Å以上２０Å以下の範囲に含まれるいずれかの値である場合には、平均自由工程は１．５ｍｍ以下である。そのため、空隙１３ｇの深さも１．５ｍｍ以下である。なお、例えば、スパッタ装置に対してＳｉＯＣのターゲットが取り付けられ、かつ、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下に設定された場合に、ターゲットから８Å以上２０Å以下の直径を有した成膜粒子ＤＰが放出される。

防着シート１３は、例えば、織布であってもよいし、不織布であってもよい。防着シート１３を形成する材料は、例えば、金属であってもよいし、ガラスであってもよい。防着シート１３は、例えば、０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下の太さを有した繊維によって形成されている。

防着シート１３は、支持体１３ＳＰをさらに備えている。支持体１３ＳＰは、シート状を有し、シート本体１３Ｍを支持する。シート本体１３Ｍは、支持体１３ＳＰに着脱可能に取り付けられている。支持体１３ＳＰは、例えば、金属製の帯状部材である。支持体１３ＳＰは、長手方向および幅方向において、シート本体１３Ｍと同様の大きさを有している。防着シート１３は、例えば、着脱可能に構成された締結部材によって支持体１３ＳＰに取り付けられている。

防着シート１３が支持体１３ＳＰを備えることによって、成膜粒子ＤＰの平均自由行程と同程度に薄いシート本体１３Ｍであっても、ローラーによる防着シート１３の搬送が可能になる。また、支持体１３ＳＰに対するシート本体１３Ｍの着脱が可能であることによって、着膜物ＤＦが堆積したシート本体１３Ｍを支持体１３ＳＰから取り外し、新たなシート本体１３Ｍを支持体１３ＳＰに取り付けることが可能である。また、例えば、洗浄後のシート本体１３Ｍを支持体１３ＳＰに取り付けることも可能である。そのため、防着シート１３を形成する支持体１３ＳＰを複数回使用することが可能である。

図３から図６を参照して、シート本体１３Ｍの構造として採用が可能な複数の例を説明する。
図３は、シート本体１３Ｍの構造における第１例を示している。
図３が示すように、シート本体１３Ｍが有する各空隙１３ｇは、凹部であってよい。すなわち、各空隙１３ｇは、被着面１３Ｓに位置する開口１３ａと、シート本体１３Ｍの厚さ方向において、開口１３ａとは反対側に位置する底部１３ｂとを備えてもよい。シート本体１３Ｍがこうした構造を有する場合であっても、空隙１３ｇの深さＤが平均自由行程以下であることによって、シート本体１３Ｍによる着膜量を確保しつつ、着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

図４は、シート本体１３Ｍの構造における第２例を示している。
図４が示すように、シート本体１３Ｍが有する各空隙１３ｇは、貫通孔であってよい。この場合には、各空隙１３ｇは、被着面１３Ｓから被着面１３Ｓとは反対側の裏面１３Ｂに向かう方向に沿って先細りする形状を有することが好ましい。各空隙１３ｇにおいて、被着面１３Ｓにおける開口径が第１径Ｄｉａ１であり、裏面１３Ｂにおける開口径が第２径Ｄｉａ２である。第２径Ｄｉａ２は、第１径Ｄｉａ１よりも小さい。第２径Ｄｉａ２は、成膜粒子ＤＰの直径よりも小さいことが好ましい。これにより、空隙１３ｇ内に進入した成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇ内に捕捉される確実性が高まる。

図５は、シート本体１３Ｍの構造における第３例を示している。
図５が示すように、シート本体１３Ｍは、被着面１３Ｓを含む第１層１３Ｌ１と、第１層１３Ｌ１に積層された第２層１３Ｌ２とを含んでいる。複数の空隙１３ｇは、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とに跨がる形状を有した空隙１３ｇを含んでいる。なお、複数の空隙１３ｇにおいて、すべての空隙１３ｇが、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とに跨がる形状を有してもよい。あるいは、複数の空隙１３ｇは、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とに跨がる形状を有した空隙１３ｇと、第１層１３Ｌ１のみに位置する空隙１３ｇとを有してもよい。

第１層１３Ｌ１の厚さと、第２層１３Ｌ２の厚さとは、同一であってもよいし、異なってもよい。また、第１層１３Ｌ１を形成する材料と、第２層１３Ｌ２を形成する材料とは、同一であってもよいし、異なってもよい。

シート本体１３Ｍが２つの層を含むため、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２との組み合わせによって、空隙１３ｇの深さ、および、空隙１３ｇの形状を変更することが可能である。そのため、シート本体１３Ｍが１つの層のみから形成される場合に比べて、空隙１３ｇの深さ、および、空隙１３ｇの形状における自由度を高めることが可能である。

また、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とが分離可能であれば、例えば、第１層１３Ｌ１の着膜量が第１層１３Ｌ１を新しい層に交換すべき程度の量である一方で、第２層１３Ｌ２の着膜量は第２層１３Ｌ２の交換を必要としない量であった場合に、第１層１３Ｌ１のみを新しい層に交換することが可能である。そのため、シート本体１３Ｍの全体を交換する場合に比べて、シート本体１３Ｍのメンテナンスに要する材料や費用を低減することが可能にもなる。

第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とに跨がる形状を有した空隙１３ｇは、第１層１３Ｌ１によって区画される第１部分１３ｇ１と、第２層１３Ｌ２によって区画される第２部分１３ｇ２とを備えている。本例では、第２部分１３ｇ２の第２径Ｄｉａ２が、第１部分１３ｇ１の第１径Ｄｉａ１よりも小さい。成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇに進入するための開口の第１径Ｄｉａ１が、成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇに進入した後に到達する第２部分１３ｇ２の第２径Ｄｉａ２よりも大きい。そのため、成膜粒子ＤＰが第２部分１３ｇ２に捕捉されることによって、第２部分１３ｇ２が成膜粒子ＤＰによって占有されてしまった場合でも、第１部分１３ｇ１に残された空間によって、成膜粒子ＤＰを捕捉することが可能である。

図６は、シート本体１３Ｍの構造における第４例を示している。
図６が示すように、シート本体１３Ｍは、空隙１３ｇを有した中空のガラスビーズＧと、シート本体１３Ｍが広がる平面に沿うガラスビーズＧの移動が可能な状態で、ガラスビーズＧを保持する繊維とを含んでいる。図６が示す例では、シート本体１３Ｍは、シート本体１３Ｍの被着面１３Ｓを形成する第１繊維群Ｆ１と、シート本体１３Ｍの裏面１３Ｂを形成する第２繊維群Ｆ２とを備えている。

シート本体１３Ｍは、複数のガラスビーズＧを備えている。各ガラスビーズＧは中空の円筒状を有している。ガラスビーズＧが区画する空隙が、シート本体１３Ｍの空隙１３ｇである。ガラスビーズＧは、シート本体１３Ｍの厚さ方向に沿って延びている。ガラスビーズＧが有する一方の端部は、第１繊維群Ｆ１とともに被着面１３Ｓを形成している。これによって、ガラスビーズＧは、被着面１３Ｓに開口１３ａを有している。

図６が示す例では、各ガラスビーズＧは、シート本体１３Ｍの厚さ方向において、第１繊維群Ｆ１と第２繊維群Ｆ２とに挟まれている。これにより、複数のガラスビーズＧが、一対の繊維群Ｆ１，Ｆ２間に保持されている。ただし、シート本体１３Ｍ内において、各ガラスビーズＧの位置は、１つの位置に固定されていない。このように、本例のシート本体１３Ｍは剛体ではないため、シート本体１３Ｍに対して成膜粒子ＤＰが堆積した場合に、成膜粒子ＤＰの堆積した状態に応じて、シート本体１３Ｍ内におけるガラスビーズＧの位置が変わる。これにより、シート本体１３Ｍに堆積した着膜物ＤＦの膜応力が高まることが抑えられ、着膜物がシート本体１３Ｍから剥がれ落ちることが抑えられる。結果として、着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生がより抑えられる。

なお、シート本体１３Ｍは、１つの繊維層のみを有してもよい。この場合には、複数のガラスビーズＧは、繊維層に保持されることによって、シート本体１３Ｍに空隙１３ｇを形成することが可能である。また、シート本体１３Ｍは、ガラス以外の材料、例えば合成樹脂製のビーズであって、中空の筒状を有したビーズを備えてもよい。この場合であっても、シート本体１３ＭがガラスビーズＧを備える場合と同等の効果を得ることはできる。

以上説明したように、防着シートの一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）空隙１３ｇの深さＤが成膜粒子ＤＰの平均自由行程以下であることによって、空隙１３ｇのなかに他の成膜粒子ＤＰが存在しないため、成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇのなかに進入しても、当該他の成膜粒子ＤＰと衝突せず、結果として、空隙１３ｇ内に捕捉されやすい。また、シート本体１３Ｍは繊維を含むため、シート本体１３Ｍの剛性を下げることが可能であり、結果として、着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

（２）防着シート１３が支持体１３ＳＰを備えることによって、成膜粒子ＤＰの平均自由行程と同程度に薄いシート本体１３Ｍであっても、ローラーによる防着シート１３の搬送が可能になる。また、支持体１３ＳＰに対するシート本体１３Ｍの着脱が可能であることによって、着膜物ＤＦが堆積したシート本体１３Ｍを支持体１３ＳＰから取り外し、新たなシート本体１３Ｍを支持体１３ＳＰに取り付けることが可能である。そのため、防着シート１３を形成する支持体１３ＳＰを複数回使用することが可能である。

（３）シート本体１３Ｍが２つの層を含むため、第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２との組み合わせによって、空隙１３ｇの深さ、および、空隙１３ｇの形状を変更することが可能である。そのため、シート本体１３Ｍが１つの層のみから形成される場合に比べて、空隙１３ｇの深さ、および、空隙１３ｇの形状における自由度を高めることが可能である。

（４）成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇに進入するための開口の第１径Ｄｉａ１が、成膜粒子ＤＰが空隙１３ｇに進入した後に到達する第２部分１３ｇ２の第２径Ｄｉａ２よりも大きい。そのため、成膜粒子ＤＰが第２部分１３ｇ２に捕捉されることによって、第２部分１３ｇ２が成膜粒子ＤＰによって占有されてしまった場合でも、第１部分１３ｇ１に残された空間によって、成膜粒子ＤＰを捕捉することが可能である。

（５）シート本体１３Ｍは剛体ではないため、シート本体１３Ｍに対して成膜粒子ＤＰが堆積した場合に、成膜粒子ＤＰの堆積した状態に応じて、シート本体１３Ｍ内におけるガラスビーズＧの位置が変わる。これにより、シート本体１３Ｍに堆積した着膜物ＤＦの膜応力が高まることが抑えられ、着膜物ＤＦがシート本体１３Ｍから剥がれ落ちることが抑えられる。結果として、着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生がより抑えられる。

なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［支持体］
・防着シート１３は、支持体１３ＳＰを備えなくてもよい。この場合であっても、防着シート１３が、成膜粒子ＤＰの平均自由行程以下の深さＤを有した複数の空隙１３ｇを被着面１３Ｓに有したシート本体１３Ｍを備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

［シート本体］
・シート本体１３Ｍが第１層１３Ｌ１と第２層１３Ｌ２とを備える場合には、第１層１３Ｌ１の第１径Ｄｉａ１と、第２層１３Ｌ２の第２径Ｄｉａ２とが等しくてもよい。この場合であっても、シート本体１３Ｍが２つの層を備えることによって、上述した（３）に準じた効果を得ることはできる。

・シート本体１３Ｍは、３つ以上の層を有してもよい。この場合には、被着面１３Ｓから裏面１３Ｂに向かう方向に沿って、各層の開口径が次第に小さくなってもよい。あるいは、各層の開口径は同一であってもよい。

１０…防着機構、１１…第１ローラー、１２…第２ローラー、１３…防着シート、１３ａ…開口、１３Ｂ…裏面、１３ｂ…底部、１３ｇ…空隙、１３ｇ１…第１部分、１３ｇ２…第２部分、１３Ｌ１…第１層、１３Ｌ２…第２層、１３Ｍ…シート本体、１３Ｒ…裏面、１３Ｓ…被着面、１３ＳＰ…支持体、１４…回収部、２０…成膜装置、ＤＦ…着膜物、ＤＰ…成膜粒子、ＤＳ…成膜源、Ｆ１…第１繊維群、Ｆ２…第２繊維群、Ｇ…ガラスビーズ、Ｓ…防着対象。

Claims (5)

1. 成膜源と防着対象との間に配置される防着シートであって、
   前記防着シートは、成膜圧力が１．０Ｐａ以上１．５Ｐａ以下であり、成膜粒子径が８Å以上２０Å以下である成膜に用いられ、
   繊維を含み、前記成膜源と対向する被着面に、成膜粒子の直径以上の開口を有し、かつ、前記成膜粒子の平均自由行程以下の深さを有した複数の空隙を有するシート本体を備える
   防着シート。
2. 前記シート本体は、
   前記被着面を含む第１層と、
   前記第１層に積層された第２層と、を含み、
   前記複数の空隙は、前記第１層と前記第２層とに跨がる形状を有した前記空隙を含む
   請求項１に記載の防着シート。
3. 前記第１層と前記第２層とに跨がる形状を有した前記空隙は、
   前記第１層によって区画される第１部分と、
   前記第２層によって区画される第２部分と、を備え、
   前記第２部分の開口径が、前記第１部分の開口径よりも小さい
   請求項２に記載の防着シート。
4. 前記シート本体は、前記空隙を有した中空のガラスビーズと、前記シート本体が広がる平面に沿う前記ガラスビーズの移動が可能な状態で、前記ガラスビーズを保持する繊維とを含む
   請求項１から３のいずれか一項に記載の防着シート。
5. シート状を有し、前記シート本体を支持する支持体をさらに備え、
   前記シート本体は、前記支持体に着脱可能に取り付けられている
   請求項１から４のいずれか一項に記載の防着シート。