JP5157935B2 - ロール・ツー・ロール真空成膜装置による成膜方法及びそのロール清掃方法 - Google Patents
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Description
図1のロール・ツー・ロール真空成膜装置を使用し、長尺樹脂フィルムFとして長さ1500m及び幅50cmの市販のポリイミドフィルム(宇部興産製、商品名ユーピレックス35SGA)を用い、このポリイミドフィルムを3m/分で搬送させながらスパッタリング法により成膜を行った。スパッタリングカソード7aにはNi−Cr合金ターゲットを、スパッタリングカソード7bにはCuターゲットを用いた。
上記実施例1と同様の方法で金属化ポリイミドを製造したが、長尺粘着シートによる各ロールの清掃を行わず、スパッタリング成膜に先立って真空成膜室1内の各ロールを無塵布にて拭き取ることにより清掃した。
2 巻出ロール
3 巻取ロール
4a、4b ガイドロール
5a、5b テンションロール
6 キャンロール
7a、7b スパッタリングカソード
Claims (5)
- ロール・ツー・ロール真空成膜装置により長尺樹脂フィルムの表面に金属薄膜を成膜する方法であって、少なくとも長尺樹脂フィルムの幅と同じ幅を有し且つ貼り剥がし可能な長尺粘着シートをロール・ツー・ロール真空成膜装置内の各ロールに沿って搬送させた後、長尺樹脂フィルムを各ロールに沿って搬送させて該長尺樹脂フィルムの表面に成膜を行うことを特徴とする長尺樹脂フィルムへの成膜方法。
- 前記長尺樹脂フィルムの搬送方向先端部に長尺粘着シートの後端部を接続し、該長尺粘着シートを大気圧下又は所定の真空下にて搬送し、引き続き該長尺樹脂フィルムを所定の真空下にて搬送させながら、該長尺樹脂フィルムの表面に成膜を行うことを特徴とする、請求項1に記載の長尺樹脂フィルムへの成膜方法。
- 前記長尺粘着シートは、全体又はロールに接する両表面が硬度5°〜30°のエラストマーからなることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺樹脂フィルムへの成膜方法。
- 長尺樹脂フィルムの表面に金属薄膜を成膜するロール・ツー・ロール真空成膜装置のロールの清掃方法であって、成膜終了後のロール・ツー・ロール真空成膜装置内を大気圧に戻した後、少なくとも長尺樹脂フィルムの幅と同じ幅を有し且つ貼り剥がし可能な長尺粘着シートを、該ロール・ツー・ロール真空成膜装置内の各ロールに沿って搬送することを特徴とするロール・ツー・ロール真空成膜装置のロール清掃方法。
- 前記長尺粘着シートは、全体又はロールに接する両表面が硬度5°〜30°のエラストマーからなることを特徴とする、請求項4に記載のロール・ツー・ロール真空成膜装置のロール清掃方法。
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