KR20150057326A

KR20150057326A - 박리장치 및 방법

Info

Publication number: KR20150057326A
Application number: KR1020130140544A
Authority: KR
Inventors: 원용호; 김기용; 강규수
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2013-11-19
Filing date: 2013-11-19
Publication date: 2015-05-28

Abstract

본 발명은 박리장치에 관한 것으로, 기판의 하부에 배치되는 진공플레이트; 상기 진공플레이트의 일측 단부에 배치되고, 상기 기판의 하부에 제1 벨트로 접착하는 제1 접착롤러와 상기 제1 벨트가 상기 기판이 접착되도록 상기 제1 접착롤러와 수평을 유지하는 수평롤러를 구비하는 하부접착장치; 및 상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판의 상부 표면을 제2 벨트로 접착하는 제2 접착롤러와 상기 제2 벨트의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러를 구비하는 상부접착장치를 포함하는 박리장치를 제공한다.

Description

박리장치 및 방법{Apparatus and Method of Striping}

본 발명은 박리장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB)은 에폭시(Epoxy) 또는 페놀(Phenol) 수지 등으로 제작된 얇은 판에 필요한 회로의 배선을 동박으로 인쇄하여 각 전자소자의 상호 간을 연결하고, 전원을 인가한 후 회로를 동작시킬 수 있는 기판을 의미한다. 인쇄회로기판의 설계는 제품의 동작, 성능, 수명, 신뢰성에 직접적으로 연관되어 있으므로 전자관련 제품의 제작에서 매우 중요한 역할을 한다.

특히, 휴대용 전자제품의 많은 분야에서 기술적인 발달이 급진적으로 이루어지고 있으며, 이러한 추세로 변화하는 가운데 다층 기판의 수요가 늘어나고, 기판의 고집적화에 대한 요구가 발생하고 있다.

인쇄회로기판(PCB)은 그 제조 공정 시 내층 회로 형성 이후 외층 회로 형성을 위하여 절연층을 적층하게 되는데, 절연층 적층 이후 상하부 표면에 부착된 절연층의 보호필름을 제거하여야만 한다.

그러나, 종래에는 인쇄회로기판(PCB)의 상하부 표면에 부착되어있는 보호필름을 박리시키기 위해 작업자가 직접 인쇄회로기판으로부터 보호필름을 박리시켰기 때문에 작업대비 그 효율성이 저하되어 작업능률이 효과적이지 못하였다는 문제가 있다. 특히, 인쇄회로기판(PCB) 중에서도 연성인쇄회로기판(FPCB)은 재질이 얇고 굴곡성이 있어 기판 면에 부착된 보호필름을 박리시키는 경우, 이를 수작업으로 하게 되면 보호필름이 견고하게 부착되어 있어 초기 박리가 어려워 연성인쇄회로기판(FPCB)의 접힘이나 긁힘 등의 손상이 발생하는 문제가 있다.

또한, 대한민국 공개번호 KR10-2012-0136508와 같이 일정압력의 공기를 가해 차광테이프와 이형필름을 분리하는 방법이 기재되어 있다. 이러한 종래의 기술에 따른 필름 제거장치의 경우 기판으로부터 필름을 제거할 때 폭방향으로 접착테이프를 부착하여 제거하는 방식이므로 접착테이프의 소모량이 크다는 문제점이 있다.

KR

10-2012-0136508

A1

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 기판의 양면에 제1 벨트와 제2 벨트를 접착고정함으로써, 기판의 초기 박리시 보호필름의 접힘이나 긁힘등의 손상을 방지하는 박리장치를 제공함을 목적으로 한다.

또한, 기판의 양면에 제1 벨트와 제2 벨트를 접착고정함으로써, 기판의 폭보다 작은 접착재를 사용하여 생산원가를 줄이는 박리장치를 제공함을 목적으로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 기판의 하부에 배치되는 진공플레이트; 상기 진공플레이트의 일측 단부에 배치되고, 상기 기판의 하부에 제1 벨트로 접착하는 제1 접착롤러와 상기 제1 벨트가 상기 기판이 접착되도록 상기 제1 접착롤러와 수평을 유지하는 수평롤러를 구비하는 하부접착장치; 및 상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판의 상부 표면을 제2 벨트로 접착하는 제2 접착롤러와 상기 제2 벨트의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러를 구비하는 상부접착장치를 포함하는 박리장치를 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 제1 벨트와 제2 벨트는 상기 기판의 모서리 부분과 접착되도록 형성된다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 상기 제2 접착롤러는 상기 기판의 가로 및 세로 폭보다 상대적으로 작게 형성된다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 상기 박리롤러는 상기 기판의 표면을 박리시에 상기 제2 접착롤러의 상부로 이동한다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 상기 제1 접착롤러는 상기 기판을 연속으로 고정하도록 상기 진공플레이트의 끝단에 형성된다.

본 발명의 일실시예에 따른 박리 장치는, 상기 제1 벨트의 접착력이 상대적으로 상기 제2 벨트의 접착력보다 높도록 형성된다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, a) 기판의 표면 하부를 진공플레이트와 하부접착장치가 각각 고정하는 단계; b) 상기 기판의 표면 상부는 상부접착장치가 접착하는 단계; c) 상기 상부접착장치가 이동하여, 상기 기판의 상부 표면을 박리하는 단계; 및 d) 상기 진공플레이트와 하부접착장치에서 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법을 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, a) 단계에서, a1) 상기 진공플레이트는 상기 기판의 표면 하부를 진공으로 흡입하여 고정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, a) 단계에서, a2) 상기 하부접착장치는 상기 기판의 표면 하부에 제1 벨트로 접착하는 제1 접착롤러와 상기 제1 벨트에 상기 기판이 접착되도록 유지하는 수평롤러를 이용하여 상기 기판의 표면 하부를 접착하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, b) 단계에서, b1) 상기 상부접착장치는 상기 기판의 표면 상부에 제2 벨트로 접착하는 제2 접착롤러와 상기 제2 벨트의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러를 이용하여 상기 기판의 표면 상부를 접착하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, b1) 단계에서, b2) 상기 제1 벨트와 제2 벨트는 상기 기판의 모서리 부분과 접착하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, c) 단계에서, c1) 상기 박리롤러는 상기 기판의 상부표면을 박리하기 위하여, 상기 제2 접착롤러의 상부로 이동하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, c1) 단계에서, c2) 상기 제2 접착롤러가 상기 기판의 상부표면에서 이격되는 단계를 포함한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명에 따르면, 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 기판의 일면에 부착된 보호필름을 정확하고 효율적으로 제거하는 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 박리시 기판의 들뜸 현상과, 보호필름이 뒤로 밀리(보호필름이 우글쭈글해지는 현상)는 현상을 방지하는 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 박리시 기판의 들뜸 현상으로 인한 기판의 충격 및 파손을 방지하는 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 박판 형태의 얇은 보호필름을 박리 가능한 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 기판의 모서리에 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 기판의 모서리 부분에서 일면이 쉽게 박리 가능한 장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 기판의 모서리에 박리롤러와 접착롤러를 사용함으로써, 상대적으로 기판의 길이보다 박리롤러가 작은 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 기판의 양면에 제1 벨트와 제2 벨트를 접착고정함으로써, 기판의 초기 박리시 보호필름의 접힘이나 긁힘 등의 손상을 방지하는 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 기판의 양면에 제1 벨트와 제2 벨트를 접착고정함으로써, 기판의 폭보다 작은 접착재를 사용하여 생산원가를 줄이는 박리장치를 제공하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박리장치의 간략도,
도 2는 도 1에 대한 평면예시도,
도 3은 도 1에 대한 A확대도,
도 4 내지 7은 도 3에 대한 박리과정의 예시도 이다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일측", "타측", "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 박리장치의 간략도, 도 2는 도 1에 대한 평면예시도, 도 3은 도 1에 대한 A확대도, 도 4 내지 7은 도 3에 대한 박리과정의 예시도 이다.

기판(300)의 하부에 배치되는 진공플레이트(400); 상기 진공플레이트(400)의 일측 끝 단부에 배치되고, 상기 기판(300)의 하부에 제1 벨트(250)로 접착하는 제1 접착롤러(210)와 상기 제1 벨트(250)에 상기 기판(300)이 접착되도록 수평을 유지하는 수평롤러(230)를 구비하는 하부접착장치(200); 및 상기 기판(300)의 상부에 배치되고, 상기 기판(300)의 상부 표면을 제2 벨트(150)로 접착하는 제2 접착롤러(110)와 상기 제2 벨트(150)의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러(130)를 구비하는 상부접착장치(100)를 포함한다.

기판(300)은 통상적으로 층간 절연소재(330)로 사용되는 복합 고분자 수지일 수 있다. 예를 들어, 기판(300)은 프리프레그를 채용하여 얇게 제작할 수 있다. 기판(300)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)를 사용하여 미세회로를 용이하게 구현 가능하다. 이외에도, 기판(300)은 FR-4, BT(Bismaleimide Triazine) 등의 에폭시계 수지를 사용할 수 있다. 기판(300)은 양면에 보호필름(310)이 형성된다. 이는, 기판(300)의 표면을 보호필름(310)으로 한정하기 위함은 아니다.

진공플레이트(400)는 기판(300)을 고정한다. 진공플레이트(400)는 기판(300)의 표면 하부를 진공으로 고정한다. 진공플레이트(400)는 다수개의 진공관(410)이 균등하게 형성된다. 진공관(410)은 진공흡착하여 기판(300)의 보호필름(310)을 고정한다. 진공플레이트(400)는 기판 상부표면의 보호필름(310)을 박리중에는 진공상태를 유지한다. 진공플레이트(400)는 보호필름(310)의 박리가 완료되면, 진공상태를 파기하여 기판(300)을 이송할 수 있도록 한다. 진공플레이트(400)는 박리효율 및 접착제의 절감을 위하여 기판(300)을 경사지게 고정한다.

하부접착장치(200)는 기판(300)의 표면 하부에 접착하여 고정한다. 하부접착장치(200)는 진공플레이트(400)의 일측 끝단부에 연속적으로 배치된다. 이는, 진공플레이트(400)의 끝단부에 배치되는 기판(300)을 고정하기 위함이다. 하부접착장치(200)는 진공관(410)에 접하지 않는 기판 부위는 휘어지거나 충격에 취약해지는 것을 방지한다. 즉, 진공관(410)과 진공관 사이에 배치되는 기판(300)의 단부를 고정한다.

하부접착장치(200)는 다수개의 롤러 및 제1 벨트(250)를 사용하여 기판(300) 하부표면의 보호필름(310)을 고정한다. 하부접착장치(200)는 별도의 이송수단(미도시)이 구비되어 상하좌우(X축 Y축 방향)로 이동이 가능하다.

하부접착장치(200)는 기판(300)의 하부에 제1 벨트(250)로 접착하는 제1 접착롤러(210)와 제1 벨트(250)에 기판(300)이 접착되도록 수평을 유지하는 수평롤러(230)와 제1 벨트(250)를 투입하거나 수거하는 제1 투입롤러(270)/제1 반출롤러(290)를 포함한다.

제1 접착롤러(210)는 진공플레이트(400)의 끝단부에 형성된다. 제1 접착롤러(210)는 진공관(410)과 진공관 사이에 배치되는 기판(300)의 단부를 고정한다. 즉, 제1 접착롤러(210)는 후술할 제2 접착롤러(110)와 기판(300) 표면의 보호필름(310)을 가압하여 접착한다.

제1 접착롤러(210)는 기판(300) 하부표면의 보호필름(310)에 접착하여 고정한다. 제1 접착롤러(210)는 기판(300) 하부표면에서 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)가 표면에 접착하도록 한다. 이때, 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)는 기판의 모서리부분을 접착하도록 한다. 이는, 박리 효율과 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)의 소모량을 줄이기 위함이다.

제1 접착롤러(210)는 제2 접착롤러(110)의 가압으로 기판(300)이 휘는 것을 방지한다. 제1 벨트(250) 하부표면에는 접착력을 갖도록 형성된다. 제1 벨트(250)의 접착력은 제2 벨트(150) 접착력보다 상대적으로 크게 형성된다. 이는, 제2 벨트(150)의 접착력이 크면 상부로 기판(300)이 들리는 것을 방지하기 위함이다. 제1 접착롤러(210)는 기판(300)의 상부 보호필름(310)이 박리되면 수평방향으로 이동하여 기판(300)을 반출한다.

수평롤러(230)는 기판(300)의 표면 하부가 제1 벨트(250)에 접착하도록 수평을 유지한다. 수평롤러(230)는 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)이 박리가 완료되면, 제1 벨트(250)를 이용하여 기판(300)을 외부로 반출한다.

제1 투입롤러(270)/제1 반출롤러(290)는 제1 벨트를 투입후 반출한다. 제1투입롤러(270)는 제1 접착롤러(210)로 제1 벨트를 투입한다. 제1 반출롤러(290)는 수평롤러(230)를 거처 제1 벨트(250)를 감기도록 한다.

상부접착장치(100)는 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)을 박리한다. 상부접착장치(100)는 기판(300)의 상부표면에 배치되어 상하 좌우로 이동한다. 상부접착장치(100)는 별도의 이송수단(미도시)이 구비되어 상하좌우(X축 Y축 방향)로 이동이 가능하다.

상부접착장치(100)는 기판(300)의 상부에 제2 벨트(150)로 접착하는 제2 접착롤러(110)와 제2 벨트(150)에 기판(300)의 표면을 박리하는 박리롤러(130)와 제2 벨트(150)를 투입하거나 수거하는 제2 투입롤러(170)/제2 반출롤러(190)를 포함한다.

제2 접착롤러(110)는 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)을 가압하여 접착한다. 제2 접착롤러(110)는 기판(300)의 표면에서 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)가 표면에 접착하도록 한다. 즉, 제2 접착롤러(110)는 제1 접착롤러(210)가 배치되는 상부에 대응하여 기판(300)을 가압하는 것이 적절하다.

박리롤러(130)는 기판 상부표면의 보호필름(310)을 박리한다. 박리롤러(130)는 기판 상부표면의 보호필름(310)에 제2 벨트가 수평으로 접착되도록 한다. 박리롤러(130)는 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)이 초기에 박리되면 제2 접착롤러(110)의 상부로 이동한다. 이때, 제2 벨트(150)에 접착되어 있는 보호필름(310)이 박리 되면서 이동한다. 즉, 기판(300)과 기판 하부표면의 보호필름(310)은 진동플레이트(400)와 하부접착장치(200)에 의해 고정된다.

제2 투입롤러(170)/제2 반출롤러(190)는 제2 벨트(150)를 투입 후 반출한다. 제2 투입롤러(170)는 제2 접착롤러(110)로 제2 벨트(150)를 투입한다. 제2 반출롤러(190)는 박리롤러(130)를 거쳐 제2 벨트(150)가 감긴다.

도 1 내지 7를 참조하여 설명하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판의 박리방법은, a) 기판의 표면 하부를 진공플레이트와 하부접착장치가 각각 고정하는 단계; b) 상기 기판의 표면 상부는 상부접착장치가 접착하는 단계; c) 상기 상부접착장치가 이동하여, 상기 기판의 상부 표면을 박리하는 단계; 및 d) 상기 진공플레이트와 하부접착장치에서 상기 기판을 분리하는 단계를 포함한다.

a) 기판(300) 하부표면의 보호필름(310)을 진공플레이트(400)와 하부접착장치(200)가 각각 고정하는 단계이다. 진공플레이트(200)는 기판(300) 하부표면의 보호필름(310)을 진공으로 흡입하여 고정한다(도1 을 참조). 하부접착장치(200)는 기판(300) 하부표면의 보호필름(310)에 제1 벨트(250)로 접착한다. 이때, 제1 접착롤러(210)와 제2 접착롤러(110)가 기판(300) 양면의 보호필름(310)에 각각 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)를 접착한다(도 3을 참조).

기판(300) 양표면의 보호필름(310)이 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)에 밀착하여 접착하도록 수평롤러(230)와 박리롤러(250)는 각가 보호필름(310)에 수평을 유지한다. 이때, 제1 접착롤러(210)와 제2 접착롤러(210)는 박리효율을 높이기 위하여 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)가 기판(300)의 모서리 부위를 접착하도록 한다(도 2를 참조). 이때, 박리효율을 높이기 위하여 기판(300)을 45°기울어서 배치한다. 이는, 박리 효율을 높이기 위해 제1 벨트(250)와 제2 벨트(150)는 기판(300)의 모서리 부위를 접착한다.

도 4를 참조하여 설명하면, 박리롤러(130)는 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)을 기판(300)과 분리하기 위하여 제2 접착롤러(110) 상부로 이동한다. 이는, 상부접착장치(100)가 상하좌우의 이동이 용이하게 하기 위함이다. 도 5를 참조하여 설명하면, 제2 접착롤러가 기판의 상부표면에서 이격된다. 이는, 상부접착장치(100)의 이동이 용이하기 위함이다. 또한, 보호필름(310)이 제2 접착롤러(110)의 회전력과 상부접착장치(100)의 이동방향으로 보호필름(310)이 뒤로 밀리는(밀려 우글쭈글해지는 현상) 현상을 사전에 방지하기 위함이다.

제2 접착롤러(110)와 박리롤러(150)를 이동하여 기판(300) 상부표면의 보호필름(310)을 박리한다. 기판(300)의 박리가 완료되면 진공플레이트(400)의 진공을 파기한다. 하부접착장치(200)를 구동하여 기판(300)을 이송한다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 스핀들 모터는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

1: 박리 장치 100: 상부접착장치
110: 제2 접착롤러 130: 박리롤러
150: 제2 벨트 170: 제2 투입롤러
190: 제2 반출롤러 200: 하부접착장치
210: 제1 접착롤러 230: 수평롤러
250: 제1 벨트 270: 제1 투입롤러
290: 제1 반출롤러 300: 기판
310: 보호필름 400: 진공플레이트
410: 진공관

Claims

기판의 하부에 배치되는 진공플레이트;
상기 진공플레이트의 일측 단부에 배치되고, 상기 기판의 하부에 제1 벨트로 접착하는 제1 접착롤러와 상기 제1 벨트가 상기 기판이 접착되도록 상기 제1 접착롤러와 수평을 유지하는 수평롤러를 구비하는 하부접착장치; 및
상기 기판의 상부에 배치되고, 상기 기판의 상부 표면을 제2 벨트로 접착하는 제2 접착롤러와 상기 제2 벨트의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러를 구비하는 상부접착장치를 포함하는 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 벨트와 제2 벨트는 상기 기판의 모서리 부분과 접착되도록 형성된 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제2 접착롤러는 상기 기판의 가로 및 세로 폭보다 상대적으로 작게 형성된 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 박리롤러는 상기 기판의 표면을 박리시에 상기 제2 접착롤러의 상부로 이동하도록 형성된 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 접착롤러는 상기 기판을 연속으로 고정하도록 상기 진공플레이트의 끝단에 형성된 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 벨트의 접착력이 상대적으로 상기 제2 벨트의 접착력보다 높도록 형성된 박리장치.
a) 기판의 표면 하부를 진공플레이트와 하부접착장치가 각각 고정하는 단계;
b) 상기 기판의 표면 상부는 상부접착장치가 접착하는 단계;
c) 상기 상부접착장치가 이동하여, 상기 기판의 상부 표면을 박리하는 단계; 및
d) 상기 진공플레이트와 하부접착장치에서 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 7에 있어서,
a) 단계에서,
a1) 상기 진공플레이트는 상기 기판의 표면 하부를 진공으로 흡입하여 고정하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 7에 있어서,
a) 단계에서,
a2) 상기 하부접착장치는 상기 기판의 표면 하부에 제1 벨트로 접착하는 제1 접착롤러와 상기 제1 벨트에 상기 기판이 접착되도록 유지하는 수평롤러를 이용하여 상기 기판의 표면 하부를 접착하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 9에 있어서,
b) 단계에서,
b1) 상기 상부접착장치는 상기 기판의 표면 상부에 제2 벨트로 접착하는 제2 접착롤러와 상기 제2 벨트의 위치를 이동하여 박리하는 박리롤러를 이용하여 상기 기판의 표면 상부를 접착하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 10에 있어서,
b1) 단계에서,
b2) 상기 제1 벨트와 제2 벨트는 상기 기판의 모서리 부분과 접착하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 10에 있어서,
c) 단계에서,
c1) 상기 박리롤러는 상기 기판의 상부표면을 박리하기 위하여, 상기 제2 접착롤러의 상부로 이동하는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.
청구항 12에 있어서,
c1) 단계에서,
c2) 상기 제2 접착롤러가 상기 기판의 상부표면에서 이격되는 단계를 포함하는 기판의 박리방법.