JP2020522407A - 金属パターンフィルムおよびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

本出願は、基材と、前記基材の両面にそれぞれ備えられた第1付着増進層および第2付着増進層と、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第1粘着層と、前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第2粘着層とを含み、前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含む金属パターンフィルムおよびその製造方法に関する。

Description

本出願は、2017年6月9日付で韓国特許庁に提出された韓国特許出願第10−2017−0072675号の出願日の利益を主張し、その内容のすべては本明細書に組み込まれる。
本出願は、付着増進層を含む金属パターンフィルムおよびその製造方法を提供する。
自動車または建築用に用いられる機能性合わせガラスの製造に際して、一般的に、ポリビニルブチラール(PVB)が粘着剤として使用される。特別な機能が付与された合わせガラスは、ポリビニルブチラール(PVB)がラミネーション(Lamination)された機能性フィルムを2枚のガラスの間に入れて、熱圧着工程で製造される。
フィルムが挿入された機能性接着ガラスの製造のためには、ポリビニルブチラール(PVB)と機能性フィルムとの間の付着力が一定水準以上でなければならず、再加工を可能にするためには、剥離可能な水準にならなければならない。
既存のポリビニルブチラール(PVB)がラミネーション(Lamination)されたポリビニルブチラール(PVB)/機能性フィルムの剥離時、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象が発生し、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象によってシワおよびシミが残り、再使用が不可能であるという欠点がある。
従来一般的に用いられている機能性フィルムとしてPETフィルムが使用され、PETフィルムは、剥離(Peel off)時にスティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象が発生して、面と面とが剥離される時に振動を伴うため、シワおよびシミが残って再使用が不可能である。したがって、機能性合わせガラスの製造において、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を解消して、シワおよびシミが残らず、再加工が可能な金属パターンフィルムが必要になる。
本出願は、基材の表面に超薄膜の付着増進層を形成して粘着層との付着力を向上させ、剥離時のスティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を解消することを特徴とする金属パターンフィルムおよびその製造方法を提供しようとする。
本出願の一実施態様は、基材と、前記基材の両面にそれぞれ備えられた第1付着増進層および第2付着増進層と、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第1粘着層と、前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第2粘着層とを含み、前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含む金属パターンフィルムを提供する。
また、本出願の一実施態様は、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムを含む合わせガラスを提供する。
さらに、本出願の一実施態様は、基材を用意するステップと、前記基材の両面にそれぞれ第1付着増進層および第2付着増進層を形成するステップと、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第1粘着層を形成するステップと、前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第2粘着層を形成するステップとを含み、前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材の両面に超薄膜無機酸化物層を形成することで、透過率の低下なく粘着層との付着力を向上させるだけでなく、剥離時のスティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を解消して、面と面とが剥離される時に振動を減少させ、シワおよびシミの形成を防止して再加工を可能にする。
また、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、超薄膜の無機酸化物層を形成することにより、基材の上部に蒸着されるパターン層と基材との間の密着力向上の効果があり、メタルメッシュベースの透明導電性フィルムの下地の付着層機能を含むことができる。
さらに、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、ナノ単位の無機酸化物層を用いることで、透明でフィルムの光特性変化がないため、透明な機能性合わせガラスの製造時に有用に使用可能である。
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムを含む合わせガラスを示す側面図である。 本出願の一実施態様に係る剥離工程を示す図である。 本出願の一実施態様に係る金属パターンの製造方法を示す図である。 本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムの剥離力を測定した図である。
以下、本明細書についてより詳細に説明する。
本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について添付した図面を参照して詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施例に限定されない。
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材と、前記基材の両面にそれぞれ備えられた第1付着増進層および第2付着増進層と、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第1粘着層と、前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第2粘着層とを含み、前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含む。
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材の両面に超薄膜の無機酸化物層を形成することで、透過率の低下なく粘着層との付着力を向上させることができ、剥離時のスティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を解消して、面と面とが剥離される時に振動を減少させ、シワおよびシミの形成を防止して再加工を可能にし、また、ナノ単位の無機酸化物層を形成することで、パターンと基材との間の密着力向上の効果がある。
本明細書において、前記スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象は、面と面とが剥離される時に振動を伴う摩擦現象または柔らかくない運動をもたらして振動を誘発させて精度を低下させる現象を意味する。
本出願の一実施態様において、前記基材は、透明高分子フィルムからなってもよい。
本出願の一実施態様において、前記基材は、PETフィルム、PC(polycarbonate)フィルム、PEN(polyethylene naphthalate)フィルムからなってもよいし、これのみに限定されるものではない。
本出願の一実施態様において、前記基材の厚さは、1μm以上200μm以下、好ましくは10μm以上100μm以下であってもよい。
本出願の一実施態様において、前記第1および第2付着増進層は、ニオブオキサイド(Nb)、酸化アルミニウム(Al)、酸化ケイ素(SiO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニオブ(NbO)、酸化スズ(SnO)、酸化ジルコニウム(ZrO)、および酸化インジウムスズ(ITO)からなる群より選択される1以上を含む。
前記ニオブオキサイド(Nb)において、xの範囲は、1〜6の整数、好ましくは1〜4の整数である。
本出願の一実施態様において、前記第1および第2付着増進層は、酸化アルミニウム(Al)からなってもよい。
他の実施態様において、前記第1および第2付着増進層は、酸化ケイ素(SiO)からなってもよい。
さらに他の実施態様において、前記第1および第2付着増進層は、酸化インジウムスズ(ITO)からなってもよい。
さらに他の実施態様において、前記第1および第2付着増進層は、Nb層が単独で使用されてもよい。
前記第1および第2付着増進層がNb層単独で使用される場合、金属パターンフィルムの光特性が最も優れている。
さらに他の実施態様において、前記第1付着増進層と前記基材との接する面の間に合金中間層がさらに含まれる。
さらに他の実施態様において、前記第2付着増進層と前記基材との接する面の間に合金中間層がさらに含まれる。
本出願の一実施態様において、前記合金中間層の厚さは、0.5nm以上1.9nm以下、好ましくは0.5nm以上1.5nm以下であってもよい。
前記合金中間層の厚さが2nm以上の場合、可視光の透過率の減少が現れて性能の低下が発生する。
前記合金中間層は、NiCr、Ni、Crであってもよいが、これに限定されない。
前記金属パターンフィルムにおいて、第1および第2付着増進層に無機酸化物層を適用した場合、基材(PET)とポリビニルブチラール(PVB)との熱圧着後、剥離評価の結果、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象が著しく減少し、これによってシワおよびシミが残らず、金属パターンフィルムを再加工することができた。
本出願の一実施態様において、前記第1および第2付着増進層のそれぞれの厚さは、0.1nm以上30nm以下、好ましくは1nm以上25nm以下、さらに好ましくは1nm以上20nm以下であってもよい。
前記ナノ単位の厚さの付着増進層を形成することにより、フィルムの光特性変化がなく、透明な機能性合わせガラスの作製に有用に使用可能であり、透過率の低下なく、粘着層との付着力を向上させるだけでなく、剥離時のスティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を解消することができる。
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンを有することを特徴とする。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンは、アルミニウム、銅、ニッケル、クロム、金、銀、および白金からなる群より選択される1以上を含むことができ、前記金属パターンは、電気伝導度に優れた銅が最も好ましいが、これに限定されない。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線高さは、10μm以下、好ましくは5μm以下であってもよい。
前記金属パターンの線高さとは、前記付着増進層に接する面から、これに対抗する面までの距離を意味する。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線高さの偏差は、20%以内、好ましくは5%以内であってもよい。
前記偏差は、平均線高さを基準として、平均線高さと個別線高さとの差に対する百分率を意味する。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの全開口率、すなわち、金属パターンによって覆われない基材領域の比率は、90%以上、好ましくは95%以上である。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線幅は、40μm以下、具体的には0.1μm〜40μm以下であってもよい。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線間間隔は、50μm〜1000μmである。
本出願の一実施態様において、前記第1および第2粘着層は、PVB(polyvinylbutyral)、EVA(ethylene vinyl acetate)、PU(polyurethane)、またはPO(Polyolefin)を含むことができ、好ましくは、PVB(polyvinylbutyral)層であってもよい。
他の実施態様において、前記第1および第2粘着層のそれぞれの厚さは、1μm以上1000μm以下、好ましくは1μm以上760μm以下であってもよい。
前記それぞれの第1および第2粘着層が前記厚さを有する場合、金属パターンフィルムの密着力が向上し、特に、合わせガラスをさらに含む場合において、ガラスの破損時、破片の飛散を防止する効果を有する。
本出願の一実施態様において、前記金属パターンフィルムを含む合わせガラスを提供する。
本出願の一実施態様において、前記合わせガラスは、前記第1粘着層の前記パターンが形成された第1付着増進層と接する面の反対面、および前記第2粘着層の前記第2付着増進層と接する面の反対面にそれぞれガラスをさらに含む構成からなる。
前記合わせガラスは、前記金属パターンフィルムの前記仮貼り合わされた粘着層とガラスとを熱圧着するステップにより製造される。
本出願の一実施態様において、前記第1および第2粘着層とガラスとの貼り合わせは、強化ガラスの間に仮貼り合わされた粘着層を挿入して、真空ラミネータまたはオートクレーブなどの熱圧着設備により、140℃以上の温度でシート単位で製造される。
本出願の一実施態様によれば、前記金属パターンと前記基材との界面にはプライマー層が追加的に備えられる。
本出願の一実施態様は、基材を用意するステップと、前記基材の両面にそれぞれ第1付着増進層および第2付着増進層を形成するステップと、前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第1粘着層を形成するステップと、前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第2粘着層を形成するステップとを含み、前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第1および第2付着増進層は、基材上に、E−beam sputter設備を用いて、気相蒸着工程により形成されるが、これに限定されない。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第1付着増進層および第2付着増進層のそれぞれの面に第1および第2粘着層を形成するステップは、熱圧着、固状粘着フィルム貼り合わせ、液状粘着液コーティング工程により形成され、好ましくは、熱圧着工程を利用することができる。
前記熱圧着工程の圧力、温度および時間は、使用される粘着層の種類に応じて差があるが、例えば、熱圧着工程は、60℃〜150℃の範囲から選択された温度で行われ、必要に応じて圧力が加えられる。
本出願の一実施態様において、前記付着増進層の両面に第1および第2粘着層の仮貼り合わせは、80℃前後の温度でロールラミネータを用いて製造する。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属パターンを形成するステップは、金属層を形成するステップと、前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップとを含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属層を形成するステップは、蒸着またはメッキにより形成される。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップは、前記金属層上にエッチングレジストパターンを形成した後、エッチングレジストパターンによって覆われない金属層を除去することにより行われるものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
前記金属層上にエッチングレジストパターンの形成は、フォト工程または印刷工程で形成することができるが、これに限定されるものではない。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記エッチングレジストパターンが形成された金属層を選択的にエッチングして金属パターンの形成後、金属パターンの上部に残留するエッチングレジストを剥離液を用いて除去するステップをさらに含んでもよい。
前記エッチングレジストを除去するための剥離液としては、アルカリ溶液または有機溶媒が用いられる。
前記アルカリ溶液としては、1.0wt%以上の濃度に希釈した水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウムが使用可能であり、アルカリ溶液であればこれに限定されない。
前記有機溶媒としては、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトンが使用可能であり、有機溶媒であればこれに限定されない。
図3は、付着増進層が形成された基材上に金属パターンを形成する過程を示す図である。具体的には、基材上に第1および第2付着増進層を形成した後、第1付着増進層上に金属層を形成した後、エッチングレジストパターンを形成し、これを選択的にエッチングして金属パターンを形成する過程を示す図である。
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第1粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離工程を行うステップをさらに含む金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
図2は、本願発明に係る金属パターンフィルムの剥離過程を示すものである。具体的には、第1および第2粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離する過程で、粘着層とパターンフィルムとを物理的な力で剥離する過程を示すものである。
第1粘着層を基材に貼り合わせる時、気泡発生、異物流入、基材シワ寄せなどの不良が発生することがあり、第1粘着層または金属パターンの備えられた基材を再使用するために前記剥離工程が行われ、この時、前記第1および第2付着増進層を用いることにより、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を防止し、第1粘着層と金属パターン基材の損傷を防止して資源の再利用および生産コストの節減が可能であるという利点がある。
前記第1粘着層と金属パターンの備えられた基材との剥離工程を行うステップにおいて、本出願の一実施態様に係る付着増進層を用いることにより、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象が著しく減少した金属パターンフィルムを製造することができた。
図1は、前記金属パターンフィルムの積層構造および前記金属パターンフィルムを含む合わせガラスを例示するものである。従来は、基材上に導電性発熱パターンを形成し、粘着層を形成する方法が使用されたが、本発明によれば、基材上に付着増進層をさらに含むことにより、スティック(STICK)−スリップ(SLIP)現象を著しく減少させることができた。
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施例に限定されない。
本発明の一実施態様に係る金属パターンフィルムの実施例および比較例を下記表1に記載した。
実施例1
50μmの厚さのPET(polyethylene terephthalate)上に、E−beam sputter設備を用いて、気相蒸着工程により付着増進層として16nmのITOをPET上に蒸着させた。この後、ITO層上にメッキによりCu層を形成した後、印刷工程によりエッチングレジストパターンを形成した。エッチングレジストパターンが形成された金属層を選択的にエッチングして金属パターンを形成した後、金属パターンの上部に残留するエッチングレジストを1.0wt%濃度の水酸化ナトリウム水溶液を通して除去した。この後、粘着層としてPVBを140℃で30分間真空とともにラミネーション(Lamination)して金属パターンフィルムを作製した。
実施例2〜4
付着増進層として下記表1の物質を用いたことを除けば、実施例1と同様の方法で実施例2〜4の金属パターンフィルムを作製した。
比較例1〜13
PET(polyethylene terephthalate)の代わりに、下記表1に記載のフィルム製造業者から手に入れたPETフィルムを用い、付着増進層を用いないことを除けば、実施例1と同様の方法で比較例1〜13の金属パターンフィルムを作製した。下記表1の基材は、多様なフィルム業者から手に入れたPETフィルムのgrade名称である。
前記表1では、本願発明に係る付着増進層の有無によって、無機酸化物を蒸着したPETとPVBとを熱圧着した実施例1〜4は、無機酸化物層を蒸着しない比較例1〜13に比べて、剥離評価の結果、スティック(STICK)/スリップ(SLIP)現象が発生しないことを確認することができた。
前記スティック(STICK)/スリップ(SLIP)現象の有無は、目視観察および剥離力測定グラフの形態によって判断される。
前記表1にて、基材間の剥離力を測定する方法のうち、付着面と剥離される面とが垂直を維持し、一定の速度で剥離させるための力を測定する方法である90deg.Peel strength testによる平均的な力をAvg,90 peel strength(N/cm)、最大値をMax,90 peel strength(N/cm)と表示した。前記Peel strength testの測定数値は、基材と第1粘着層との間の密着力およびスティック/スリップ現象防止効果を確認できるデータであり、測定装置としてTexture analyzer(TA XT Plus)を用いた。
前記表1にて、実施例1〜4は、無機酸化物層を蒸着しない比較例1〜13に比べて、前記第1粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離させるための平均的な力および最大値がすべて増加したことを確認することができた。
前記のような数値を通して、本発明の付着増進層を用いることにより、第1粘着層と基材との間の密着力が増加したことを確認することができた。
図4は、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムの剥離力を測定したグラフである。具体的には、付着増進層は、実施例1のようにITOを用い、これによるpeel strengthを測定したグラフである。付着増進層が適用された場合、グラフの形態が、付着増進層が適用されない場合よりも緩やかであることを確認することができ、これは、スティック(STICK)/スリップ(SLIP)現象が発生しないことを示し、peel strengthの強度を通して、密着力も増加したことを確認することができた。
下記表2から、金属パターンフィルムの付着増進層および粘着層としてNbO(5nm)/PET(100μm)を用いた場合において、多様な種類の酸を本願発明の金属パターンフィルムに適用した場合の金属パターンフィルムの損傷の有無を確認することができる。下記表2から分かるように、多様な種類の酸によってNbO層の損傷がなく、依然としてスティック(STICK)/スリップ(SLIP)現象が発生しないことを確認することができた。
下記表3では、付着増進層なしに形成された金属シードフィルム上に電気メッキの際、金属層の凝集力の上昇によって金属層−基材間の付着力が低下するため、一般的に、20nm以上のNiCrを金属層の下部に形成して金属層と基材との間の付着力を維持するが、NbOなどの付着増進層が導入されると、メッキ後、金属層−基材間の付着力が向上することを確認することができ、特に、Nbを単独で適用する時、光特性が最も優れていることを確認することができた。
基材上に形成された薄膜と基材との間の密着力を簡単に測定する方法としてCross−cut testを用い、これは、薄膜の表面に1mmの間隔で縦横10回ずつ切れ目を入れて100個のcellを形成した後、薄膜上に粘着テープ(一般的にichiban tapeを使用)を貼り付けて剥がす時にどれだけ基材上に薄膜が付いているかを確認して、基材間の密着力を評価する方法である。
測定基準で、95〜100%薄膜が残っていれば、5Bと表現し、薄膜が基材上に維持される程度が少なくなるほど表現する数字が小さくなり(4B〜0B)、これは、密着力が低下するとの意味である。下記表3では、メッキした金属層と基材との間のCross−cut testで5B水準と確認された結果についてOK(5B)と記載した。
下記表3から分かるように、中間層が適用されない場合、メッキ後、金属層−フィルム間の付着力が良くない(NG)ことを確認することができ、また、メッキ層の除去後、フィルム−PVBの付着力が良くないことを確認(NG)することができ、無機酸化物中間層、合金中間層および合金+無機酸化物中間層が適用された場合、付着力が良くなっていることを確認することができる。
下記表3にて、面抵抗は接触式面抵抗測定器(4−point probe)を用い、透過度はCOH−400透過率測定器(D65/10)を用いた。
10:ガラス
20:第1粘着層
30:金属パターン
40:第1付着増進層
50:基材
60:第2付着増進層
70:第2粘着層
80:ガラス
90:金属層
100:エッチングレジストパターン

Claims (14)

  1. 基材と、
    前記基材の両面にそれぞれ備えられた第1付着増進層および第2付着増進層と、
    前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、
    前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第1粘着層と、
    前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第2粘着層とを含み、
    前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含む金属パターンフィルム。
  2. 前記第1および第2付着増進層は、ニオブオキサイド、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化ニオブ、酸化スズ、酸化ジルコニウム、および酸化インジウムスズからなる群より選択される1以上を含む、請求項1に記載の金属パターンフィルム。
  3. 前記第1および第2付着増進層のそれぞれの厚さは、0.1nm以上30nm以下である、請求項1または2に記載の金属パターンフィルム。
  4. 前記金属パターンは、アルミニウム、銅、ニッケル、クロム、金、銀、および白金からなる群より選択される1以上を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  5. 前記金属パターンの線高さは、10μm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  6. 前記金属パターンの線高さの偏差は、20%以内である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  7. 前記第1および第2粘着層は、PVB(polyvinylbutyral)、EVA(ethylene vinyl acetate)、PU(polyurethane)、またはPO(Polyolefin)を含むものである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  8. 前記第1および第2粘着層は、PVB(polyvinylbutyral)層である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  9. 前記第1および第2粘着層のそれぞれの厚さは、1μm以上1000μm以下である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の金属パターンフィルム。
  10. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の金属パターンフィルムを含む合わせガラス。
  11. 基材の両面にそれぞれ第1付着増進層および第2付着増進層を形成するステップと、
    前記第1付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、
    前記第1付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第1粘着層を形成するステップと、
    前記第2付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第2粘着層を形成するステップとを含み、
    前記第1付着増進層および第2付着増進層は、無機酸化物を含むものである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
  12. 前記金属パターンを形成するステップは、
    金属層を形成するステップと、
    前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップとを含むものである、請求項11に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
  13. 前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップは、前記金属層上にエッチングレジストパターンを形成した後、エッチングレジストパターンによって覆われない金属層を除去することにより行われるものである、請求項12に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
  14. 前記第1粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離工程を行うステップをさらに含む、請求項11〜13のいずれか1項に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
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