JP2020506250A - ディスプレイ基板用ポリイミドフィルム - Google Patents

ディスプレイ基板用ポリイミドフィルム Download PDF

Info

Publication number
JP2020506250A
JP2020506250A JP2019531474A JP2019531474A JP2020506250A JP 2020506250 A JP2020506250 A JP 2020506250A JP 2019531474 A JP2019531474 A JP 2019531474A JP 2019531474 A JP2019531474 A JP 2019531474A JP 2020506250 A JP2020506250 A JP 2020506250A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyimide
polyimide film
mol
weight loss
equation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019531474A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6927535B2 (ja
Inventor
リー、ジンホ
Original Assignee
エルジー・ケム・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エルジー・ケム・リミテッド filed Critical エルジー・ケム・リミテッド
Publication of JP2020506250A publication Critical patent/JP2020506250A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6927535B2 publication Critical patent/JP6927535B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08G73/1003Preparatory processes
    • C08G73/1007Preparatory processes from tetracarboxylic acids or derivatives and diamines
    • C08G73/1028Preparatory processes from tetracarboxylic acids or derivatives and diamines characterised by the process itself, e.g. steps, continuous
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G73/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
    • C08G73/06Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08G73/1067Wholly aromatic polyimides, i.e. having both tetracarboxylic and diamino moieties aromatically bound
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L79/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
    • C08L79/04Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08L79/08Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D179/00Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen, with or without oxygen, or carbon only, not provided for in groups C09D161/00 - C09D177/00
    • C09D179/04Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C09D179/08Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N5/00Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
    • G01N5/04Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by removing a component, e.g. by evaporation, and weighing the remainder
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2379/00Characterised by the use of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen, or carbon only, not provided for in groups C08J2361/00 - C08J2377/00
    • C08J2379/04Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08J2379/08Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111Flexible substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

本発明は、熱重量減少法(TGA)によって測定した重量減少率が5%である時、数式1から計算されたlntf値が、−3以上であるポリイミドを含むポリイミドフィルムを提供する。本発明によるフィルムは、高温の条件でも優れた熱安定性を示して、ディスプレイ素子製造工程中に付加される高温の熱に対しても優れた耐熱性及び機械的特性を保持することができる。[数式1]【数1】前記数式1において、Ea、R、T、β、P(Xf)、tfは、詳細な説明に定義されたものと同一である。

Description

本願は、2017年11月3日付の韓国特許出願10−2017−0145815号に基づいた優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたあらゆる内容は、本明細書の一部として含まれる。
本発明は、熱安定性に優れたフレキシブルディスプレイ基板用ポリイミドフィルムに関する。
最近、ディスプレイ分野で製品の軽量化及び小型化が重要視されているが、現在、使われているガラス基板の場合、重くてよく壊れ、連続工程が難しいという限界があるために、ガラス基板を代替して、軽くて柔軟であり、連続工程が可能な長所を有するプラスチック基板を携帯電話、ノート型パソコン、PDA(personal digital assistant)などに適用するための研究が活発に進められている。
特に、ポリイミド(PI)樹脂は、合成が容易であり、薄膜フィルムを作ることができ、硬化のための架橋基が不要であるという長所を有しており、最近、電子製品の軽量及び精密化の現象でLCD、PDPなど半導体材料に集積化素材として多く適用されており、PIを軽くて柔軟な性質を有するフレキシブルディスプレイ基板(flexible plastic display board)に使用しようとする多くの研究が進められている。
前記ポリイミド樹脂をフィルム化して製造したものが、ポリイミド(PI)フィルムであり、一般的に、ポリイミド樹脂は、ジアンヒドリドとジアミンまたはジイソシアネートとを溶液重合してポリアミド酸誘導体溶液を製造した後、それをシリコンウェーハやガラスなどにコーティングし、熱処理によって硬化させる方法で製造される。
本発明が解決しようとする課題は、高温条件での限界寿命が高くて、熱安定性が向上したポリイミドフィルムを提供するところにある。
本発明が解決しようとする他の課題は、前記ポリイミドフィルムから製造されたフレキシブルディスプレイ用基板を提供するところにある。
本発明の課題を解決するために、熱重量減少法(TGA)による重量減少率が5%である時、下記の数式1から計算されたlnt値が、−3以上であるポリイミドを含むポリイミドフィルムを提供する。
[数式1]
Figure 2020506250
前記数式1において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)
P(X):重量減少率(%)が発生する分解温度(Td)での活性化エネルギーと関連した関数(X=Ea/RTc)
:限界寿命(hr)。
一実施例によれば、前記熱分解活性化エネルギー(Ea)は、下記の数式2から計算される値であり、重量減少率が5%である時、下記の数式2から計算された活性化エネルギーの計算値が、200KJ/mol以上であり得る。
[数式2]
Figure 2020506250
前記数式2において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
b:定数(0.457)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)。
一実施例によれば、熱重量減少法(TGA)で測定されたポリイミドの熱分解温度(Td5%)が、550℃以上であり得る。
一実施例によれば、前記ポリイミドは、ポリイミド前駆体を450℃以上の温度で熱処理してイミド化したものである。
一実施例によれば、前記ポリイミドは、下記の化学式1の反復構造を含むものである。
[化学式1]
Figure 2020506250
前記化学式1において、Xは、芳香族環または脂環族環を含む4価の有機基であり、Yは、芳香族環または脂環族環を含む2価の有機基である。
一実施例によれば、前記Xは、下記の化学式2aから化学式2kからなる群から選択される4価の有機基である。
Figure 2020506250
一実施例によれば、前記Yは、下記の化学式3aから化学式3kからなる群から選択される2価の有機基である。
Figure 2020506250
本発明の他の課題を解決するために、前記ポリイミドフィルムを使用して製造されたディスプレイ用基板を提供する。
本発明は、また、下記の数式1を用いるポリイミドフィルムの限界寿命(t)の予測方法を提供する。
[数式1]
Figure 2020506250
前記数式1において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)
P(X):重量減少率(%)が発生する分解温度(Td)での活性化エネルギーと関連した関数(X=Ea/RTc)
:限界寿命(hr)。
一実施例によれば、前記熱分解活性化エネルギー(Ea)が、下記の数式2から計算されるものである。
[数式2]
Figure 2020506250
前記数式2において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
b:定数(0.457)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)。
本発明は、熱重量減少法(TGA)による重量減少率が5%であり、773.15Kの使用温度条件で、数式1から計算されたポリイミドフィルムのlnt値が、−3以上であるポリイミドフィルムを提供することにより、高温の条件でも優れた熱安定性を示して、ディスプレイ素子製造工程中に付加される高温の熱に対しても優れた耐熱性及び機械的特性を保持することができる。
本発明は、多様な変換を加え、さまざまな実施例を有することができるので、特定実施例を図面に例示し、詳細な説明に詳細に説明する。しかし、これは、本発明を特定の実施形態に対して限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる、あらゆる変換、均等物または代替物を含むものと理解しなければならない。本発明を説明するに当って、関連した公知技術についての具体的な説明が、本発明の要旨を不明にする恐れがあると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
本明細書において、あらゆる化合物または有機基は、特別な言及がない限り、置換または非置換のものである。ここで、「置換された」とは、化合物または有機基に含まれた少なくとも1つの水素がハロゲン原子、炭素数1〜10のアルキル基、ハロゲン化アルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基、炭素数6〜30のアリール基、ヒドロキシ基、炭素数1〜10のアルコキシ基、カルボン酸基、アルデヒド基、エポキシ基、シアノ基、ニトロ基、アミノ基、スルホン酸基、及びこれらの誘導体からなる群から選択される置換基に置き換えられたことを意味する。
現在、ディスプレイ業界では、ガラス基板の重量及び厚さを減らすために、フラッステッキ基板を利用したディスプレイを製作している。特に、プラスチック基板にOLED素子を結合させたディスプレイは、折り曲げ可能な長所があって、持続的に開発されている。
ガラス基板をプラスチック基板に代替するに当って、パネル製造工程及び高温環境でのパネル駆動信頼性を確保することは非常に重要な項目である。プラスチック基板は、TFT(thin film transistor)素子を作る工程中に500℃以上の高温工程を含めた多くの熱工程、パネル駆動の高温信頼性評価テストなど多くの熱的ストレスを受けるために、プラスチック基板の耐熱寿命は非常に重要である。
本発明は、このような従来の問題を解決するために、熱重量減少法(TGA)による重量減少率が5%である時、下記の数式1から計算されたlnt値が、−3以上であるポリイミドで製造されたポリイミドフィルムを提供する。
[数式1]
Figure 2020506250
前記数式1において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)
P(X):重量減少率(%)が発生する分解温度(Td)での活性化エネルギーと関連した関数(X=Ea/RTc)
:限界寿命(hr)。
前記数式1のP(X)において、X=Ea/RTcであり、関数関係Pは、文献(Derek J.Toop,Theory of Life Testing and Use of Thermogravimetric Analysis to Predict the Thermal Life of Wire Enamens,IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRICAL INSULATION,VOL.EI−6,No.1,March 1971)を参照して求めうる。
前記限界寿命(t)は、ポリイミドフィルムが与えられた温度で性能低下なしに使われる時間を意味し、限界寿命が一定時間以下である場合、高温工程を進行することができず、信頼性評価時に、製品の劣化によって素子駆動に影響を与える。
前記数式1において、使用温度は、限界寿命測定時に適用される温度を意味するものであり、ディスプレイ用基板により適したポリイミドを提供するために、前記使用温度は、500℃(773.15K)以上なので、773.15Kで測定することが適している。
前記数式1を用いて計算されたlnt値が、−3以上であるということは、ポリイミドフィルムの限界寿命(t)値が0.05hr以上であることを意味する。限界寿命が0.05hr未満である場合には、ポリイミドフィルム上に無機膜層を形成して、追加高温工程を経る時に発生するアウトガス(out−gas)が無機膜層を抜け出ることができず、これにより、フィルムの部分剥離が起こって、フィルム均一度が低下し、後続工程を実施することができない。すなわち、本発明は、高温での寿命特性に優れたポリイミドフィルムを提供することにより、熱的安定性が向上したディスプレイ基板を提供することができる。
前記数式1において、前記熱分解活性化エネルギー(Ea)値は、熱重量減少法(TGA)から測定されたポリイミドフィルムの重量減少率が5%である時、測定値である。
前記熱重量減少法(TGA)を用いて測定された熱分解活性化エネルギー(Ea)は、下記の数式2から計算される値であり、重量減少率が5%である時、下記の数式2から計算された活性化エネルギーの計算値が、200KJ/mol以上であり、望ましくは、250KJ/mol以上であり得る。
[数式2]
Figure 2020506250
前記数式2において、
Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
b:定数(0.457)
R:気体定数(8.314J/mol・K)
T:使用温度(773.15K)
β:加熱速度(600℃/hr)。
一実施例によれば、前記熱重量減少法(TGA)で測定されたポリイミドの熱分解温度(Td5%)が、550℃以上であり、望ましくは、580℃以上であり得る。
一実施例によれば、前記ポリイミドフィルムは、下記の化学式1の反復構造を含むポリイミドを含むものである。
[化学式1]
Figure 2020506250
前記化学式1において、Xは、芳香族環または脂環族環を含む4価の有機基であり、Yは、芳香族環または脂環族環を含む2価の有機基である。
本発明によれば、前記Xは、炭素数3〜24の脂肪族環または炭素数6〜30の芳香族環を含む4価の有機基であり、具体的には、芳香族環または脂肪族構造がそれぞれの環構造が剛直(rigid)な構造、すなわち、単一環構造、それぞれの環が単一結合で結合された構造またはそれぞれの環が直接に連結された複素環構造を含む4価の有機基であり、例えば、前記Xは、下記の化学式2aから化学式2kからなる群から選択される4価の有機基であり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2020506250
前記化学式2aから化学式2kの4価の作用基内の1以上の水素原子は、炭素数1〜10のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基など)、炭素数1〜10のフルオロアルキル基(例えば、フルオロメチル基、パーフルオロエチル基、トリフルオロメチル基など)、炭素数6〜12のアリール基(例えば、フェニル基、ナフタレニル基など)、スルホン酸基、及びカルボン酸基からなる群から選択される置換基に置換される。
前記Yは、それぞれ独立して炭素数4〜30の脂肪族、脂環族または炭素数6〜30の芳香族の2価の有機基であるか、またはこれらの組合わせ基であって、脂肪族、脂環族または芳香族の2価の有機基が直接連結されるか、または架橋構造を通じて互いに連結された2価の有機基から選択される構造を含むジアミンから誘導されたものである。例えば、前記Yは、炭素数6〜30の単環式または多環式芳香族、炭素数6〜30の単環式または多環式脂環族、または、これらのうち、2つ以上が単一結合で連結された構造であり、より具体的に、前記Yは、芳香族環または脂肪族構造が剛直な鎖構造を形成するものであり、例えば、単一環構造、それぞれの環が単一結合で結合された構造またはそれぞれの環が直接に連結された複素環構造を含む2価の有機基であり、例えば、下記の化学式3aから化学式3kの2価の有機基であり得るが、これに限定されるものではない。
Figure 2020506250
前記化学式3aから化学式3kの2価の作用基内の1以上の水素原子は、炭素数1〜10のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基など)、炭素数1〜10のフルオロアルキル基(例えば、フルオロメチル基、パーフルオロエチル基、トリフルオロメチル基など)、炭素数6〜12のアリール基(例えば、フェニル基、ナフタレニル基など)、スルホン酸基、及びカルボン酸基からなる群から選択される置換基に置換される。
前記化学式2aから化学式2kまたは化学式3aから化学式3kのように、剛直な構造の有機基を有する単量体の含量が増加するほど、ポリイミドフィルムの耐熱性が増加することができて、高温での限界寿命が増加することによって、熱安定性が向上する。
一実施例によれば、前記化学式1のポリイミドは、酸二無水物とジアミンとを重合して製造されるものであり、前記酸二無水物及びジアミンは、0.95:1〜1:0.95のmol比内で調節され、望ましくは、0.98:1〜1:0.98、または0.99:1〜1:0.99のmol比で反応させることができる。
前記酸二無水物とジアミン系化合物との重合反応は、溶液重合など通常のポリイミドまたはその前駆体の重合方法によって実施される。
前記反応は、無水条件で実施され、前記重合反応時に、温度は、−75〜50℃、望ましくは、0〜40℃で実施される。ジアミン系化合物が有機溶媒に溶解された状態で酸二無水物を投入する方式で実施される。そのうち、ジアミン系化合物及び酸二無水物系化合物は、重合溶媒でほぼ10〜30重量%の含量で含まれる。重合時間及び反応温度によって分子量が調節される。
また、前記重合反応に使われる有機溶媒としては、具体的に、γ−ブチロラクトン、1,3−ジメチル−イミダゾリジノン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類(セロソルブ);酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、カルビトール、ジメチルアセトアミド(DMAc)、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジエチルホルムアミド(DEF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)、N−メチルピロリドン(NMP)、N−エチルピロリドン(NEP)、N−ビニルピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ピリジン、ジメチルスルホン、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチルウレア、N−メチルカプロラクタム、テトラヒドロフラン、m−ジオキサン、P−ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、ビス[2−(2−メトキシエトキシ)]エーテル、及びこれらの混合物からなる群から選択されるものが使われる。
より望ましくは、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなどのアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドンなどのピロリドン系溶媒を単独または混合物として用いられる。しかし、これに限定されるものではなく、キシレン、トルエンのような芳香族炭化水素をさらに使用することもでき、また、ポリマーの溶解を促進させるために、前記溶媒に前記溶媒総量に対して約50重量%以下のアルカリ金属塩またはアルカリ土類金属塩をさらに添加することもできる。
熱的安定性と寿命向上の側面において、より望ましい溶媒は、ピロリドン系溶媒であり、特に望ましくは、N−メチルピロリドン(NMP)である。
前記製造されたポリイミド前駆体組成物を用いてポリイミドフィルムを製造する方法は、前記ポリイミド前駆体組成物を基板の一面に塗布し、イミド化及び硬化工程以後、基板から分離する段階を含む。
具体的に、前記製造方法によって製造されたポリイミド前駆体組成物は、前記有機溶媒中にポリイミド前駆体が溶解された溶液の形態であり、このような形態を有する場合、例えば、ポリイミド前駆体を有機溶媒中で合成した場合には、ポリイミド前駆体組成物は、重合後、得られるポリイミド前駆体溶液のそれ自体または同一溶液をさらに添加したものであっても良く、または、前記重合後、得られたポリイミド前駆体溶液を他の溶媒で希釈したものであっても良い。
前記ポリイミド前駆体組成物は、フィルム形成工程時の塗布性などの工程性を考慮して、適切な粘度を有させる量で固形分を含むことが望ましく、前記固形分は、ポリイミド前駆体組成物総重量に対して5〜20重量%に含まれうる。または、前記ポリイミド前駆体組成物が、400〜50,000cPの粘度を有するように調節することが望ましい。ポリイミド前駆体組成物の粘度が400cP未満であり、ポリイミド前駆体組成物の粘度が50,000cPを超過する場合、前記ポリイミド前駆体組成物を利用したディスプレイ基板の製造時に、流動性が低下して、コーティング時に均一に塗布にならないなどの製造工程上の問題点を引き起こし得る。
次いで、前記で製造したポリイミド前駆体組成物を基板の一面に塗布し、熱処理した後、基板から分離することにより、ポリイミドフィルムが製造可能である。
この際、前記基板としては、ガラス、金属基板またはプラスチック基板などが特に制限なしに使われ、そのうちでも、ポリイミド前駆体に対するイミド化及び硬化工程のうち、熱及び化学的安定性に優れ、別途の離型剤処理なしにも、硬化後、形成されたポリイミドフィルムに対して損傷なしに容易に分離されるガラス基板が望ましい。
また、前記塗布工程は、通常の塗布方法によって実施され、具体的には、スピンコーティング法、バーコーティング法、ロールコーティング法、エアナイフ法、グラビア法、リバースロール法、キスロール法、ドクターブレード法、スプレー法、浸漬法またはブラシ法などが用いられうる。そのうちでも、連続工程が可能であり、ポリイミドフィルムのイミド化率を増加させることができるキャスティング法によって実施されることがより望ましい。
また、前記ポリイミド系溶液は、最終的に製造されるポリイミド系フィルムがディスプレイ基板用として適した厚さを有させる厚さの範囲で基板上に塗布されうる。
具体的には、3〜30μmの厚さにする量で塗布されうる。
前記ポリイミド前駆体組成物塗布後、熱処理工程に先立って、ポリイミド前駆体組成物内に存在する溶媒を除去するための乾燥工程が選択的にさらに実施される。
前記乾燥工程は、通常の方法によって実施され、具体的に、140℃以下、あるいは80〜140℃の温度で実施される。乾燥工程の実施温度が80℃未満であれば、乾燥工程が長くなり、140℃を超過する場合、イミド化が急激に進行して、均一な厚さのポリイミド系フィルムの形成が難しい。
引き続き、前記ポリイミド前駆体の熱処理によるイミド化工程は、450℃以上で実施される。熱処理温度の上限は、特に限定されるものではないが、500℃であり得る。
例えば、450℃以上の温度範囲で1回実施することもでき、または、2回以上多段階で実施することもでき、2回以上多段階で実施される場合、最終熱処理温度が450℃以上であり得る。
以後、基板上に形成されたポリイミド系フィルムを通常の方法によって基板から剥離することにより、ポリイミド系フィルムが製造可能である。
本発明は、また、前記ポリイミドフィルムを用いて製造されたディスプレイ用基板を提供する。
本発明によるポリイミドは、500℃以上の温度で限界寿命が0.05時間以上であるポリイミドフィルムを提供することにより、高温の条件でも優れた熱安定性を示して、ディスプレイ素子製造工程中に付加される高温の熱に対しても優れた耐熱性及び機械的特性を保持することができる。
また、前記ポリイミドフィルムをディスプレイ基板として使用するとき、前記ディスプレイ基板上で素子を製造する高温工程中に発生する反りの発生及びコーティングの浮き上がり現象などの信頼性低下の発生を抑制し、その結果、より向上した特性及び信頼性を有する素子の製造が可能である。したがって、前記ポリイミドは、OLEDまたはLCD、電子ペーパー、太陽電池のような電子機器でのフレキシブル基板の製造に特に有用に使われる。
以下、当業者が容易に実施できるように、本発明の実施例について詳しく説明する。しかし、本発明は、さまざまな異なる形態として具現可能であり、ここで説明する実施例に限定されるものではない。
<実施例1>
BPDA(ビフェニルテトラカルボン酸二無水物)0.055molを窒素雰囲気下でNMP(N−メチルピロリドン)100gに20分間にわたって溶解させた。結果として収得された溶液にジアミン系化合物としてPDA(パラフェニレンジアミン)0.055molと追加溶媒としてNMP 50gを添加した後、20時間反応させて、高分子溶液を製造した。
最終フィルムの厚さが10〜20μmになるように製造したポリイミド前駆体溶液をガラス基板にスピンコーティングした。ポリイミド前駆体溶液が塗布されたガラス基板をオーブンに入れ、460℃で熱処理してフィルムを製造した。
<比較例1>
熱処理温度を400℃にしたことを除いては、実施例1と同じ方法でポリイミドフィルムを製造した。
<比較例2>
BPADA(4,4'−ビスフェノールAジアンヒドリド)0.055molを窒素雰囲気下でNMP(N−メチルピロリドン)100gに20分間にわたって溶解させた。結果として収得された溶液にジアミン系化合物としてMBCHA(4,4'−メチレンビス[シクロヘキサンアミン])0.055molと追加溶媒としてNMP 50gを添加した後、20時間反応させて、高分子溶液を製造した。
最終フィルムの厚さが10〜20μmになるように製造したポリイミド前駆体溶液をガラス基板にスピンコーティングした。ポリイミド前駆体溶液が塗布されたガラス基板をオーブンに入れ、460℃で熱処理してフィルムを製造した。
<実験例>
実施例1及び比較例1、比較例2から製造されたポリイミドフィルムの5%熱分解温度(Td5%)、熱分解活性化エネルギー(Ea)及び使用温度による寿命(t)を測定し、測定結果を下記の表1に示した。
−Td5%測定
5%熱分解温度は、Discovery TGA(TA Instruments)を用いてKS M ISO 11358の方法で測定した。
−熱分解活性化エネルギー(Ea)及び限界寿命(t)の測定
熱分解活性化エネルギー(Ea)及び使用温度による限界寿命は、Discovery TGA(TA Instruments)を用いてKS C 2002の方法で測定した。
Figure 2020506250
前記表1の結果から、本発明による実施例1のポリイミドフィルムは、500℃以上の高温の温度条件でも限界寿命が6時間であって、非常に高く測定されたことが分かり、熱分解温度(Td5%)も、非常に高く表われることが分かる。
このように、本発明によるポリイミドフィルムは、高温での高い熱安定性と耐熱性とを有することにより、高温の工程を必要とするフレキシブルディスプレイ基板に有用に適用可能である。
以上、本発明の内容の特定の部分を詳しく記述したところ、当業者において、このような具体的記述は、単に望ましい実施態様であり、これにより、本発明の範囲が制限されるものではないという点は明白である。したがって、本発明の実質的な範囲は、下記の特許請求の範囲とそれらの等価物とによって定義される。

Claims (10)

  1. 熱重量減少法(TGA)によって測定した重量減少率が5%である時、
    下記の数式1から計算されたlnt値が、−3以上であるポリイミドを含む
    ポリイミドフィルム:
    [数式1]
    Figure 2020506250
    前記数式1において、
    Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
    R:気体定数(8.314J/mol・K)
    T:使用温度(773.15K)
    β:加熱速度(600℃/hr)
    P(X):重量減少率(%)が発生する分解温度(Td)での活性化エネルギーと関連た関数(X=Ea/RTc)
    :限界寿命(hr)。
  2. 前記熱分解活性化エネルギー(Ea)は、下記の数式2から計算される値であり、
    重量減少率が5%で、
    下記の数式2から計算された活性化エネルギーの計算値が、200KJ/mol以上である
    請求項1に記載のポリイミドフィルム:
    [数式2]
    Figure 2020506250
    前記数式2において、
    Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
    b:定数(0.457)
    R:気体定数(8.314J/mol・K)
    T:使用温度(773.15K)
    β:加熱速度(600℃/hr)。
  3. 熱重量減少法(TGA)で測定されたポリイミドの5%熱分解温度(Td5%)が、550℃以上である
    請求項1または2に記載のポリイミドフィルム。
  4. 前記ポリイミドは、ポリイミド前駆体を450℃以上の温度で熱処理してイミド化して得る
    請求項1から3のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム。
  5. 前記ポリイミドが、下記の化学式1の反復構造を含む
    請求項1から4のいずれか1項に記載のポリイミドフィルム:
    [化学式1]
    Figure 2020506250
    前記化学式1において、
    Xは、芳香族環または脂環族環を含む4価の有機基であり、
    Yは、芳香族環または脂環族環を含む2価の有機基である。
  6. 前記Xは、下記の化学式2aから化学式2kからなる群から選択される4価の有機基である
    請求項5に記載のポリイミドフィルム:
    Figure 2020506250
  7. 前記Yは、下記の化学式3aから化学式3kからなる群から選択される2価の有機基である
    請求項5または6に記載のポリイミドフィルム:
    Figure 2020506250
  8. 請求項1から7のいずれか一項に記載のポリイミドフィルムを使用して製造された
    ディスプレイ用基板。
  9. 下記の数式1を用いるポリイミドフィルムの限界寿命(t)の予測方法:
    [数式1]
    Figure 2020506250
    前記数式1において、
    Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
    R:気体定数(8.314J/mol・K)
    T:使用温度(773.15K)
    β:加熱速度(600℃/hr)
    P(X):重量減少率(%)が発生する分解温度(Td)での活性化エネルギーと関連した関数(X=Ea/RTc)
    :限界寿命(hr)。
  10. 前記熱分解活性化エネルギー(Ea)が、数式2から計算される
    請求項9に記載のポリイミドフィルムの限界寿命(t)の予測方法:
    [数式2]
    Figure 2020506250
    前記数式2において、
    Ea:重量減少率(%)による熱分解活性化エネルギー(KJ/mol)
    b:定数(0.457)
    R:気体定数(8.314J/mol・K)
    T:使用温度(773.15K)
    β:加熱速度(600℃/hr)。
JP2019531474A 2017-11-03 2018-09-11 ディスプレイ基板用ポリイミドフィルム Active JP6927535B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170145815A KR102264420B1 (ko) 2017-11-03 2017-11-03 디스플레이 기판용 폴리이미드 필름
KR10-2017-0145815 2017-11-03
PCT/KR2018/010603 WO2019088441A1 (ko) 2017-11-03 2018-09-11 디스플레이 기판용 폴리이미드 필름

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020506250A true JP2020506250A (ja) 2020-02-27
JP6927535B2 JP6927535B2 (ja) 2021-09-01

Family

ID=66332066

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019531474A Active JP6927535B2 (ja) 2017-11-03 2018-09-11 ディスプレイ基板用ポリイミドフィルム

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11873371B2 (ja)
EP (1) EP3556799A4 (ja)
JP (1) JP6927535B2 (ja)
KR (1) KR102264420B1 (ja)
CN (1) CN110198972B (ja)
TW (1) TWI668250B (ja)
WO (1) WO2019088441A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020222413A1 (ko) 2019-04-30 2020-11-05 주식회사 엘지화학 X 선 이용 전지 측정 장치
KR102501292B1 (ko) * 2021-08-04 2023-02-17 (주)유티아이 플렉시블 커버 윈도우

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009142244A1 (ja) * 2008-05-20 2009-11-26 宇部興産株式会社 ポリイミド金属積層体および太陽電池
JP2012035583A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Kaneka Corp 積層体の製造方法、及びフレキシブルデバイス
WO2012173204A1 (ja) * 2011-06-14 2012-12-20 宇部興産株式会社 ポリイミド積層体の製造方法、およびポリイミド積層体
JP2016505653A (ja) * 2012-12-26 2016-02-25 コーロン インダストリーズ インク ポリアミック酸溶液、イミド化膜及び表示素子
KR20160067413A (ko) * 2014-12-04 2016-06-14 주식회사 엘지화학 폴리이미드계 용액 및 이를 이용하여 제조된 폴리이미드계 필름

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115090A (en) 1990-03-30 1992-05-19 Sachdev Krishna G Viscosity stable, essentially gel-free polyamic acid compositions
JPH10114823A (ja) 1996-10-11 1998-05-06 Ube Ind Ltd 改質ポリイミドフィルム
WO2010119908A1 (ja) 2009-04-14 2010-10-21 宇部興産株式会社 メタライジング用のポリイミドフィルム、これらの製造方法、及び金属積層ポリイミドフィルム
JP5391905B2 (ja) * 2009-07-31 2014-01-15 宇部興産株式会社 ポリイミドフィルムおよびポリイミドフィルムの製造方法
US9393720B2 (en) * 2009-08-20 2016-07-19 Ube Industries, Ltd. Polyimide film and process for producing polyimide film
KR101892783B1 (ko) * 2011-06-14 2018-08-28 우베 고산 가부시키가이샤 폴리이미드 적층체의 제조 방법, 및 폴리이미드 적층체
KR101478301B1 (ko) 2011-08-30 2014-12-31 주식회사 엘지화학 고분자 수지 조성물, 폴리이미드 수지 필름, 폴리이미드 수지 필름의 제조 방법, 금속 적층체 및 회로 기판
KR101646283B1 (ko) 2011-12-27 2016-08-08 코오롱인더스트리 주식회사 폴리아믹산 용액
JP5472387B2 (ja) * 2012-07-06 2014-04-16 東洋紡株式会社 ポリイミドフィルムの製造方法
KR20140122207A (ko) * 2013-04-09 2014-10-17 주식회사 엘지화학 적층체 및 이를 이용하여 제조된 기판을 포함하는 소자
JP6181984B2 (ja) 2013-06-07 2017-08-16 東洋紡株式会社 高分子フィルム積層基板
KR102141355B1 (ko) * 2013-09-27 2020-08-05 도레이 카부시키가이샤 내열성 수지막 및 그 제조 방법, 가열로 및 화상 표시 장치의 제조 방법
CN107849352B (zh) 2015-06-12 2021-05-28 宇部兴产株式会社 聚酰亚胺前体组合物和聚酰亚胺组合物
JP2017119821A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 宇部興産株式会社 ポリイミド材料およびその製造方法
KR20170115339A (ko) 2016-04-07 2017-10-17 주식회사 엘지화학 내열성이 개선된 폴리이미드 필름 및 그 제조방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009142244A1 (ja) * 2008-05-20 2009-11-26 宇部興産株式会社 ポリイミド金属積層体および太陽電池
JP2012035583A (ja) * 2010-08-11 2012-02-23 Kaneka Corp 積層体の製造方法、及びフレキシブルデバイス
WO2012173204A1 (ja) * 2011-06-14 2012-12-20 宇部興産株式会社 ポリイミド積層体の製造方法、およびポリイミド積層体
JP2016505653A (ja) * 2012-12-26 2016-02-25 コーロン インダストリーズ インク ポリアミック酸溶液、イミド化膜及び表示素子
KR20160067413A (ko) * 2014-12-04 2016-06-14 주식회사 엘지화학 폴리이미드계 용액 및 이를 이용하여 제조된 폴리이미드계 필름

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"THEORY OF LIFE TESTING AND USE OF THERMOGRAVIMETRIC ANALYSIS TO PREDICT THE THERMAL LIFE OF WIRE EN, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRICAL INSULATION, vol. 6, no. 1, JPN6020050805, 1971, pages 2 - 14, ISSN: 0004418836 *

Also Published As

Publication number Publication date
TWI668250B (zh) 2019-08-11
JP6927535B2 (ja) 2021-09-01
KR20190050425A (ko) 2019-05-13
US20200207914A1 (en) 2020-07-02
CN110198972A (zh) 2019-09-03
TW201918505A (zh) 2019-05-16
EP3556799A1 (en) 2019-10-23
KR102264420B1 (ko) 2021-06-11
WO2019088441A1 (ko) 2019-05-09
US11873371B2 (en) 2024-01-16
EP3556799A4 (en) 2020-07-22
CN110198972B (zh) 2021-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI660982B (zh) 用於可撓性器件的可撓性基板
TWI638844B (zh) 高強度透明聚醯胺醯亞胺及其製備程序
TWI714723B (zh) 具有改進的耐熱性的聚醯亞胺膜及其製備方法以及可撓性顯示器用基板材料
JP2019512559A (ja) 高強度透明ポリアミドイミド及びその製造方法
JP6927535B2 (ja) ディスプレイ基板用ポリイミドフィルム
TWI683839B (zh) 可撓性顯示器元件基板用聚醯亞胺膜及其製備方法以及包括其的可撓性顯示器元件
KR102020091B1 (ko) 폴리이미드 전구체 조성물 및 이로부터 제조된 투명 폴리이미드 필름
JP7164083B2 (ja) ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いて製造されたポリイミドフィルム
JP7364140B2 (ja) ポリイミド前駆体組成物およびそれから製造されたポリイミドフィルム、ディスプレイ装置用基板、および光学装置
US11597193B2 (en) Laminate for manufacturing flexible display, and flexible display manufacturing method using same
KR102245672B1 (ko) 내열성이 개선된 폴리이미드의 제조방법
JP7480461B2 (ja) ポリイミド前駆体溶液及びそれを用いるポリイミドフィルム
EP3620483B1 (en) Polyimide film having improved thermal conductivity and manufacturing method therefor
KR102465430B1 (ko) 폴리이미드 전구체 조성물 및 이로부터 제조된 폴리이미드 필름, 디스플레이 장치용 기판, 및 광학 장치
JP2017155167A (ja) 樹脂組成物及びポリイミド樹脂膜
KR20200058817A (ko) 디아민 화합물, 이를 이용한 폴리이미드 전구체 및 폴리이미드 필름
KR20200059960A (ko) 디아민 화합물 및 이를 이용한 폴리이미드 전구체와 폴리이미드 필름

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190719

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200519

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200818

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210405

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210706

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210727

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6927535

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250