JP2020501292A - メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ - Google Patents
メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ Download PDFInfo
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- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 290
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000003491 array Methods 0.000 description 6
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 241000218691 Cupressaceae Species 0.000 description 1
- 102100025297 Mannose-P-dolichol utilization defect 1 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710089919 Mannose-P-dolichol utilization defect 1 protein Proteins 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- MIQVEZFSDIJTMW-UHFFFAOYSA-N aluminum hafnium(4+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Al+3].[Hf+4] MIQVEZFSDIJTMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005429 filling process Methods 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- KQHQLIAOAVMAOW-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+) oxygen(2-) zirconium(4+) Chemical compound [O--].[O--].[O--].[O--].[Zr+4].[Hf+4] KQHQLIAOAVMAOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/34—Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
- G11C16/3418—Disturbance prevention or evaluation; Refreshing of disturbed memory data
- G11C16/3427—Circuits or methods to prevent or reduce disturbance of the state of a memory cell when neighbouring cells are read or written
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5621—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
- G11C11/5628—Programming or writing circuits; Data input circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5621—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using charge storage in a floating gate
- G11C11/5642—Sensing or reading circuits; Data output circuits
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
- G11C16/0425—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a merged floating gate and select transistor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0466—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells with charge storage in an insulating layer, e.g. metal-nitride-oxide-silicon [MNOS], silicon-oxide-nitride-oxide-silicon [SONOS]
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/10—Programming or data input circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
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- H01L29/4234—Gate electrodes for transistors with charge trapping gate insulator
- H01L29/42344—Gate electrodes for transistors with charge trapping gate insulator with at least one additional gate, e.g. program gate, erase gate or select gate
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- H—ELECTRICITY
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- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
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- G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
- G11C16/0483—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
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- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
Description
本出願は、35U.S.C.119(e)に基づいて2016年12月8日に出願された米国仮出願第62/431,582号の優先権及びその利益を主張して2017年3月28日に出願された米国非仮出願第15/471,418号の国際出願であり、その両出願とも参照することにより本明細書に組み込まれるものとする。
本開示は、概して、不揮発性メモリ(NVM)デバイスに関し、特に、プログラム妨害の影響を低減するためにソース線及びメモリゲート線をグループ化し接続する方法及び実施形態に関する。
以下の説明では、本発明はいくつかの実施形態の良い理解を提供するために、多くの特定の詳細、例えば特定のシステム、構成要素、方法などの例について述べる。しかしながら、少なくともいくつかの実施形態はこれらの特定の詳細なしで実施可能であることは当業者に明らかであろう。更に、本明細書で説明する技術を不必要に不明瞭にしないように、周知の構成要素又は方法は詳細に記載しないか、或いは簡単なブロック図で提示する。従って、以下で説明する具体的な説明は単なる例示である。特定の実施形態はこれらの例示的な詳細から異なってもよく、それらも本発明の精神及び範囲に含まれることが意図される。
一実施形態によれば、本発明のメモリ装置は、行及び列に配列されたメモリアレイを含むことができる。前記メモリアレイは前記メモリアレイの同じ列に結合又は接続された少なくとも4つの不揮発性メモリ(NVM)セルを含むことができ、各NVMセルはメモリゲートを含むことができる。一実施形態では、前記接続は前記NVMセルのソース/ドレインパスに平行にすることができる。前記少なくとも4つのNVMセルの第1及び第2のNVMセルは第1のソース領域を共有することができ、第3及び第4のNVMセルは第2のソース領域を共有することができる。一実施形態では、前記第1及び第2のNVMセルのメモリゲートは互いに電気的に結合しないことができ、前記第3及び第4のNVMセルのメモリゲートは互いに電気的に結合しないことができる。前記第1及び第2のソース領域の各々は前記メモリアレイの同じ列の少なくとも別のソース領域と電気的に結合することができる。
Claims (21)
- 行及び列に配列されたメモリアレイを備え、前記メモリアレイは、
前記メモリアレイの同じ列に結合された少なくとも4つの不揮発性メモリ(NVM)セルを含み、各NVMセルはメモリゲートを含み、前記少なくとも4つのNVMセルの第1及び第2のNVMセルは第1のソース領域を共有し、第3及び第4のNVMセルは第2のソース領域を共有し、
前記第1及び第2のNVMセルのメモリゲートは互いに電気的に結合されず、前記第1及び第2のソース領域は互いに電気的に結合されず、前記第1及び第2のソース領域の各々は同じ列の少なくとも1つの別のソース領域と電気的に結合されている、
メモリ装置。 - 前記メモリアレイは少なくとも一部において複数の前記少なくとも4つのNVMセルを結合することによって形成され、第1の複数の前記少なくとも4つのNVMセルは前記メモリアレイの第1の列を形成するように結合され、前記第1の列のパターンが前記メモリアレイの少なくとも1つの残りの列で反復されている、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記メモリアレイの前記行及び前記列の配置は逆である、請求項2に記載のメモリ装置。
- 前記第1及び第2のNVMセルは鏡像配置であり、前記第1及び第2のNVMセルのメモリゲートは互いに対面し、前記第1のソース領域は前記第1及び第2のNVMセルの間に配置され、前記第3及び第4のNVMセルは鏡像配置であり、前記第3及び第4のNVMセルのメモリゲートは互いに対面し、前記第2のソース領域は前記第3及び第4のNVMセルの間に配置されている、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記少なくとも4つのNVMセルはスプリットゲートメモリセル構造を含む、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記少なくとも4つのNVMセルは2トランジスタメモリセルの構造を含み、前記2トランジスタメモリセルは1つの電界効果トランジスタ及び1つのシリコン−酸化物−窒化物−酸化物−シリコントランジスタ又は1つのフローティングゲートトランジスタを含む、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記第1のNVMセルがプログラム動作のために選択され、前記第2のNVMセルがプログラム動作のために選択されないとき、前記第1及び第2のNVMセルのメモリゲートはそれぞれ2つの異なるメモリゲートドライバ回路から高電圧及び低電圧を受信するように構成されている、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記第2のNVMセルがプログラム動作のために選択され、前記第3のNVMセルがプログラム動作のために選択されないとき、前記第2及び第3のNVMセルのメモリゲートはそれぞれ高電圧を受信するように構成され、前記第1及び第2のソース領域がそれぞれ2つの異なるメモリゲートドライバ回路から高ソース電圧及び低ソース電圧を受信するように構成されている、請求項1に記載のメモリ装置。
- 前記高電圧は5V〜10Vの近似範囲内であり、前記低電圧は0V〜5Vの近似範囲内である、請求項8に記載のメモリ装置。
- 行及び列に配列された、各々がメモリゲート及び選択ゲートを含む、不揮発性(NVM)セルを備え、
1つのソース領域を共有する同じ列の2つの隣接するNVMセルが1つのNVMペアを形成し、前記ソース領域が前記2つの隣接するNVMセルのメモリゲートの間に配置され、複数のNVMペアが同じ列内で互いに結合され、
同じ行のNVMセルの少なくとも2つのメモリゲートが1つのメモリゲート線を共有し、
前記同じ行のNVMセルの少なくとも2つのソース領域が1つのソース線を共有し、且つ
複数のソース線を複数のソース線グループを形成するように電気的に接続するよう構成されたソース線接続通路を備え、同じソース線グループ内の前記複数のソース線は互いに物理的に隣接しない、
メモリ装置。 - 前記同じ行のNVMセルの少なくとも2つの選択ゲートは1つの選択ゲート線を共有し、
前記同じ列のNVMセルの少なくとも2つのドレイン領域は1つのビット線を共有し、各NVMセルのドレイン領域は前記選択ゲートに隣接して配置されている、請求項10に記載のメモリ装置。 - 前記複数のソース線グループの各々は別個のソース線ドライバ回路に結合され、別個のソース電圧を受信するように構成されている、
請求項10に記載のメモリ装置。 - 複数のメモリゲート線を複数のメモリゲート線グループを形成するように電気的に接続するよう構成されたメモリゲート接続通路を備え、同じメモリゲート線グループ内の前記複数のメモリゲート線は同じソース線グループ内のどのソース線も共有せず、且つ前記複数のメモリゲート線の各々は別個のゲート線ドライバ回路と結合され、別個のメモリゲート電圧を受信するように構成されている、請求項10に記載のメモリ装置。
- 同じソース線グループ内の前記複数のソース線のNVMセルは前記同じメモリゲート線グループ内のメモリゲートを含まない、請求項13に載のメモリ装置。
- 2N行のNVMセルを備え(Nは自然数)、
1番から(N−1)番のソース線を含む複数の奇数ソース線は第1のソース線接続通路により電気的に接続され、
0番から(N−2)番のソース線を含む複数の偶数ソース線は第2のソース線接続通路により電気的に接続され、
前記第1及び第2のソース線接続通路は2つの異なるソースドライバ回路に結合されている、請求項10に記載のメモリ装置。 - 2N行のNVMセルを備え(Nは自然数)、
0番及び(2N−1)番のメモリゲート線は第1のメモリゲート線接続通路により電気的に接続され、
少なくとも1つの残りの奇数のメモリゲート線はその隣接する偶数メモリゲート線に第2のメモリゲート線接続通路により電気的に接続され、
前記第1及び第2のメモリゲート線接続通路はそれぞれ別個のメモリゲートドライバ回路に結合されている、請求項10に記載のメモリ装置。 - 前記メモリゲート接続通路は前記メモリゲートドライバ回路へのメタル1(M1)接続を含む、請求項13に記載のメモリ装置。
- 前記NVMセルは2トランジスタメモリセルを含む、請求項10に記載のメモリ装置。
- 前記NVMセルはスプリットゲートメモリセルを含む、請求項10に記載のメモリ装置。
- 不揮発性メモリ(NVM)アレイであって、同じ列に結合された少なくとも4つの不揮発性メモリ(NVM)セルを含み、各NVMセルはメモリゲートと選択ゲートとを含み、前記少なくとも4つのNVMセルの第1及び第2のNVMセルは第1のソース線を共有し、第3及び第4のNVMセルが第2のソース線を共有し、前記第1及び第2のソース線はそれぞれ前記第1及び第2のソース線に物理的に隣接しない少なくとも別のソース線と電気的に結合されている、不揮発性メモリ(NVM)アレイを準備するステップと、
前記第1のNVMセルをプログラム動作に対して選択するために第1の選択ゲートに高い選択電圧を結合するステップと、
前記第2のNVMセルを前記プログラム動作に対して非選択とするために第2の選択ゲートに低い選択電圧を結合するステップと、
前記第1のNVMセルのメモリゲートに高いプログラム電圧を結合し、前記第2のNVMセルのメモリゲートに低い禁止電圧を結合するステップと、
前記第1のソース線及び前記第2のソース線に2つの異なるソースドライバ回路から2つの異なるソース電圧をそれぞれ結合するステップと、
を備える、方法。 - 前記第2及び第3のNVMセルのメモリゲートは電気的に接続され、前記第1及び第2のソース線は互いに物理的に隣接している、請求項20に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021072059A JP7312782B2 (ja) | 2016-12-08 | 2021-04-21 | メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662431582P | 2016-12-08 | 2016-12-08 | |
US62/431,582 | 2016-12-08 | ||
US15/471,418 US9997253B1 (en) | 2016-12-08 | 2017-03-28 | Non-volatile memory array with memory gate line and source line scrambling |
US15/471,418 | 2017-03-28 | ||
PCT/US2017/046698 WO2018106294A1 (en) | 2016-12-08 | 2017-08-14 | Non-volatile memory array with memory gate and source line scrambling |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021072059A Division JP7312782B2 (ja) | 2016-12-08 | 2021-04-21 | メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020501292A true JP2020501292A (ja) | 2020-01-16 |
JP6899901B2 JP6899901B2 (ja) | 2021-07-07 |
Family
ID=62455234
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019527491A Active JP6899901B2 (ja) | 2016-12-08 | 2017-08-14 | メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ |
JP2021072059A Active JP7312782B2 (ja) | 2016-12-08 | 2021-04-21 | メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021072059A Active JP7312782B2 (ja) | 2016-12-08 | 2021-04-21 | メモリゲート及びソース線スクランブリングを有する不揮発性メモリアレイ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9997253B1 (ja) |
JP (2) | JP6899901B2 (ja) |
CN (1) | CN110050306B (ja) |
DE (1) | DE112017006196T5 (ja) |
TW (2) | TWI735319B (ja) |
WO (1) | WO2018106294A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20190019472A1 (en) * | 2017-07-13 | 2019-01-17 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Display system and method for forming an output buffer of a source driver |
US10812084B2 (en) * | 2018-11-06 | 2020-10-20 | The Regents Of The University Of California | Reconfigurable physically unclonable functions based on analog non-volatile memories |
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US20180261295A1 (en) | 2018-09-13 |
JP6899901B2 (ja) | 2021-07-07 |
TWI704571B (zh) | 2020-09-11 |
US9997253B1 (en) | 2018-06-12 |
US10192627B2 (en) | 2019-01-29 |
CN110050306A (zh) | 2019-07-23 |
TW202101454A (zh) | 2021-01-01 |
DE112017006196T5 (de) | 2019-09-05 |
WO2018106294A1 (en) | 2018-06-14 |
US20190198124A1 (en) | 2019-06-27 |
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TWI735319B (zh) | 2021-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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