JP2020180809A - 半導体装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電源端子の異常状態の検出精度を向上させる。【解決手段】第１の電源電圧が供給される第１と第２の電源端子と、第２の電源電圧が供給される第３の電源端子と、第１と第２の電源端子が接続される電源配線と、診断時に電源配線から第３の電源端子に電流を流す第１の電流生成回路と、第１の電源端子の近傍で電源配線に接続され、診断時に電源配線から第３の電源端子に電流を流す第２の電流生成回路とを備えた半導体装置で、第１の電流生成回路の電圧と第２の電流生成回路の電圧とを比較することで、電源端子の診断を行う。【選択図】図１

Description

本発明は複数の電源端子を有する半導体装置の半田付け不良やボンディングワイヤの断線検出に関する。

近年、高い信頼性が要求される半導体装置や半導体装置を搭載した電子システムでは、半導体装置内部で使用する１つの電源電圧に対し、複数の電源端子が設けられる。複数の電源端子を設けることにより、以下の効果があるからである。半導体装置内部の各素子への電源電圧供給の品質を高める（所謂、電圧ドロップの防止）ことが可能となる。１つの電源端子で半田不良やボンディングワイヤの断線があったとしても、他の電源端子から電源電圧を供給し続けることが可能となる。

特許文献１には、複数の電源端子を有する半導体装置で電源電圧の異常を検出する技術が記載されている。より具体的には、半導体装置の電源パッド近傍に電源電圧を検査する電源検査回路が設けられている。当該電源検査回路は、近傍の電源パッドに供給される電源電圧が閾値電圧よりも低下した場合、異常状態であることを検出する。上述した通り、１つの電源電圧を複数の電源端子から供給される半導体装置では、１つの電源パッドが断線しても他の電源パッドから電源電圧供給が維持される。しかし、電源検査回路により電源電圧が閾値電圧よりも低いことを検出したということは、その近傍にある電源パッドには他の電源パッドから、電圧ドロップを伴って電源が供給されていることを意味する。すなわち、その近傍の電源パッドには断線（あるいは半田付け不良）が生じていることを意味する。このような場合、半導体装置は完全に動作停止にはならないが、動作不良となる可能性があるため、特許文献１では異常状態として検出している。

特開２０１４−１６３９１７号公報

しかしながら、電源検査回路による異常状態の検出を、監視している電圧と閾値電圧との比較で行っているため、誤検出してしまう可能性がある。電源電圧の低下は、その時動作している素子の消費電流で決まるため、一定ではないからである。従って、閾値電圧の設定によっては誤検出となる可能性がある。

その他の課題および新規な特徴は、本明細書および図面の記載から明らかになる。

一実施の形態に係る半導体装置は、第１の電源電圧が供給される第１と第２の電源端子と、第２の電源電圧が供給される第３の電源端子と、第１と第２の電源端子が接続される電源配線と、を備える。半導体装置は、診断時に電源配線から第３の電源端子に電流を流す第１の電流生成回路と、第１の電源端子の近傍で電源配線に接続され、診断時に電源配線から第３の電源端子に電流を流す第２の電流生成回路とを備える。半導体装置は、第１の電流生成回路の電圧と第２の電流生成回路の電圧とを比較することで、電源端子の診断を行う。

一実施の形態に係る半導体装置では、電源端子の異常状態の検出精度を上げることができる。

図１は実施の形態１に係る半導体装置のブロック図である。 図２は実施の形態１に係る半導体装置の動作を示すフローチャートである。 図３は実施の形態１に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図４は実施の形態１に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図５は実施の形態１に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図６は実施の形態１の変形例のブロック図である。 図７は実施の形態２に係る半導体装置のブロック図である。 図８は実施の形態２に係る半導体装置の動作を示すフローチャートである。 図９は実施の形態２に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図１０は実施の形態２に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図１１は実施の形態２に係る半導体装置の電圧を示す図である。 図１２は実施の形態３に係る半導体装置のブロック図である。 図１３は実施の形態３に係る半導体装置の動作を示すフローチャートである。

以下、一実施の形態に係る半導体装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、明細書および図面において、同一の構成要件または対応する構成要件には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面では、説明の便宜上、構成を省略または簡略化している場合もある。また、各実施の形態の少なくとも一部は、互いに任意に組み合わされてもよい。

［実施の形態１］
（半導体装置の構成）
図１は、実施の形態１に係る半導体装置１０の構成を示すブロック図である。

図１に示されるように、半導体装置１０は、内部回路１１、１２を有し、内部回路１１、１２に対して第１の電源電圧を供給する電源配線１３、第２の電源電圧を供給する電源配線１４を有する。電源配線１３には、外部電源から電源供給を受けるための電源端子１５、１６が接続されている。同じく、電源配線１４には電源端子１７、１８が接続されている。ここで第１の電源電圧は５Ｖや３Ｖといった電源電圧であり、第２の電源電圧はグラウンド電圧である。また、内部回路１１、１２は入出力回路（Ｉ／Ｏ回路）や所定の機能を実現する機能回路である。なお、図１では、説明簡略化のため、２つの内部回路を記載しているが、３つ以上の内部回路を備えてもよい。また、２種類の電源電圧を記載しているが、複数の内部回路で多種の電源電圧を使う回路、所謂、多電源回路であってもよい。多電源回路の場合は、それぞれの電源配線に対して複数の電源端子が設けられる。

半導体装置１０は更に、異常検出回路１９、２０、電流生成回路２１、制御回路２８を有する。異常検出回路１９、２０、電流生成回路２１は、第１、第２の電源電圧で動作する。異常検出回路１９は電源端子１５、１７の近傍（ノードＮ３、Ｎ６）で電源配線１３、１４に接続される。異常検出回路２０は電源端子１６、１８の近傍（ノードＮ２、Ｎ５）で電源配線１３、１４に接続される。電流生成回路２１は電源端子１５、１６から見て中間点、すなわち異常検出回路１９、２０よりも離れた点（ノードＮ１）で電源配線１３に接続される。また、電流生成回路２１は電源端子１７、１８から見て中間点、すなわち異常検出回路１９、２０よりも離れた点（ノードＮ４）で電源配線１４に接続される。言い換えると、異常検出回路１９は、電流生成回路２１が電源配線１３、１４に接続する点よりも電源端子１５、１７に近い点で電源配線１３、１４に接続される。異常検出回路２０についても同様である。異常検出回路１９は電流生成回路２２と比較器２４、２５とを有する。同様に、異常検出回路２０は電流生成回路２３と比較器２６、２７とを有する。電流生成回路２１、２２、２３はそれぞれ抵抗２１ａ，２２ａ、２３ａとスイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂで構成される。抵抗Ｒ１、Ｒ２は電源配線１３の配線抵抗を示す。同様に、抵抗Ｒ３、Ｒ４は電源配線１４の配線抵抗を示す。

異常検出回路１９、２０の配置について更に詳細に説明する。異常検出回路１９、２０内の比較器２４〜２７は第１、第２の電源電圧で動作する。比較器２４、２５は、電源端子１５の近傍で電源配線１３に接続されて第１の電源電圧が供給され、電源端子１７の近傍で電源配線１４に接続されて第２の電源電圧が供給される。比較器２６、２７は、電源端子１６の近傍で電源配線１３に接続されて第１の電源電圧が供給され、電源端子１８の近傍で電源配線１４に接続されて第２の電源電圧が供給される。電流生成回路２２内の抵抗２２ａの一端は電源端子１５の近傍で電源配線１３に接続され、他端はスイッチ２２ｂを介して電源端子１７の近傍で電源配線１４に接続される。電流生成回路２３内の抵抗２３ａの一端は電源端子１６の近傍で電源配線１３に接続され、他端はスイッチ２３ｂを介して電源端子１８の近傍で電源配線１４に接続される。

電流生成回路２１の配置について更に詳細に説明する。電流生成回路２１内の抵抗２１ａの一端はノードＮ１に接続され、他端はスイッチ２１ｂを介してノードＮ４に接続される。別の言い方をすると、電流生成回路２１は、異常検出回路１９を電源端子１５に接続する配線の抵抗よりも大きな抵抗値の配線抵抗（抵抗Ｒ１）を経由して電源端子１５に接続される。かつ、電流生成回路２１は、異常検出回路２０を電源端子１６に接続する配線の抵抗よりも大きな配線抵抗（抵抗Ｒ２）を経由して電源端子１６に接続される。また、電流生成回路２１は、異常検出回路１９を電源端子１７に接続する配線の抵抗よりも大きな抵抗値の配線抵抗（抵抗Ｒ３）を経由して電源端子１７に接続される。電流生成回路２１は、異常検出回路２０を電源端子１８に接続する配線の抵抗よりも大きな抵抗値の配線抵抗（抵抗Ｒ４）を経由して電源端子１８に接続される。

比較器２４、２６の非反転入力はノードＮ１で電源配線１３に接続される。比較器２４の反転入力はノードＮ２で電源配線１３に接続される。比較器２６の反転入力はノードＮ３で電源配線１３に接続される。比較器２５、２７の反転入力はノードＮ４で電源配線１４に接続される。比較器２５の非反転入力はノードＮ５で電源配線１４に接続される。比較器２７の非反転入力はノードＮ６で電源配線１４に接続される。

制御回路２８は、電流生成回路２１、２２、２３のスイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂと比較器２４〜２７の制御と、比較器２４〜２７からの比較結果を受け取り、異常が検出されたかどうかを判断する回路である。詳細は後述する。なお、制御回路２８は図１では第１、第２の電源電圧で動作するようになっているが、別の電源電圧で動作しても構わない。また、制御回路２８は専用の回路であっても良いし、ＣＰＵによる制御であっても良い。

ここで本実施の形態で使用しているノードについて説明しておく。本実施の形態ではノードを電源配線との接続点として使用しているが、電源配線上の１点を指しているわけではない。電源配線において、ほぼ同電位となる部分の代表点に対してノード名をつけている。例えば、図１では、電流生成回路２１の抵抗はノードＮ０で電源配線１３に接続しているが、ノードＮ０の電位はノードＮ１の電位とほぼ同じである。従って、本実施の形態では、電流生成回路２１はノードＮ１に接続している、と表現している。他のノードについても同様である。

（半導体装置の動作）
次に本実施の形態に係る半導体装置１０の動作について説明する。図２は制御回路２８の動作を示すフローチャートである。まず、異常検出回路１９、２０により異常診断を行うかどうかを判断する（ステップＳ１０）。第１の実施の形態では、異常診断は半導体装置１０が通常動作する前に行うのが望ましい。例えば半導体装置１０の電源投入時や、スリープモードから動作モードに復帰する時に行えばよい。

異常診断を行わない場合、制御回路２８は、電流生成回路２１、２２、２３のそれぞれのスイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂをオフにする。また、制御回路２８はそれぞれの比較器２４〜２７の比較動作を無効にする制御信号を出力する（ステップＳ１４）。この場合、各電流生成回路２１、２２、２３には電流が流れず、また各比較器２４〜２７は比較結果を出力しない（あるいは、後述する制御回路２８による診断結果が「正常」と判断するための信号を出力する）。

異常診断を行う場合、制御回路２８は電流生成回路２１、２２、２３のそれぞれのスイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂをオンにする。また、制御回路２８はそれぞれの比較器２４〜２７の比較動作を有効にする制御信号を出力する（ステップＳ１１）。

次に、異常診断を行う場合の電流生成回路２１〜２３の動作と比較器２４〜２７の動作を説明する（ステップＳ１２）。

まず、電源端子１５〜１８に断線や半田付け不良などの異常がない場合で説明する。制御回路２８により各スイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂがオンになると、電源端子１５、１６から電流生成回路２１〜２３を経由して電源端子１７、１８に向けて電流が流れる。より詳細には、電源端子１５からノードＮ３、電流生成回路２２、ノードＮ６を経由して電源端子１７に電流が流れる。電源端子１６からノードＮ２、電流生成回路２３、ノードＮ５を経由して電源端子１８に電流が流れる。電源端子１５、１６からノードＮ２、Ｎ３、抵抗Ｒ１、Ｒ２、ノードＮ１、電流生成回路２１、ノードＮ４、抵抗Ｒ３、Ｒ４、ノードＮ５、Ｎ６を経由して電源端子１７、１８に電流が流れる。

図３は電源端子１５〜１８とノードＮ１、Ｎ４の電圧を示している。電源端子１５、１６に異常がない場合、それぞれ第１の電源電圧（５Ｖや３Ｖといった電源電圧）が供給され、ノードＮ２、Ｎ３も第１の電源電圧と同じ電圧になる。ノードＮ２、Ｎ３は電源配線１３上の電源端子１５、１６の近傍のノードだからである。電源端子１７、１８に異常がない場合、ノードＮ５、Ｎ６は第２の電源電圧（グラウンド電圧）と同じ電圧となる。ノードＮ５、Ｎ６は電源配線１４上の電源端子１７、１８の近傍のノードだからである。ノードＮ１の電圧は第１の電源電圧よりも低い電圧となる。なぜなら、上述した通り、電源端子１５、１６から抵抗Ｒ１、Ｒ２、電流生成回路２１を経由して電流が流れるため、電源端子１５、１６の電圧から電圧ドロップが発生するためである。ノードＮ４の電圧は第２の電源電圧よりも高い電圧とある。なぜなら、電源端子１５、１６から電流生成回路２１を経由してノードＮ４に流れてきた電流は、抵抗Ｒ３、Ｒ４を経由して電源端子１７、１８に流れるからである。

比較器２４の非反転入力はノードＮ１に接続されるため第１の電源電圧よりも低い電圧となる。比較器２４の反転入力はノードＮ２に接続されるため、第１の電源電圧となる。従って、比較器２４は比較結果としてローレベル（Ｌ）を出力する。比較器２６についても同様に、非反転入力はノードＮ１に接続されるため第１の電源電圧より低い電圧となり、反転入力はノードＮ３に接続されるため第１の電源電圧となる。従って、比較器２６も比結果としてＬを出力する。

比較器２５の非反転入力はノードＮ５に接続されるため第２の電源電圧となる。比較器２５の反転入力はノードＮ４に接続されるため第２の電源電圧よりも高い電圧となる。従って、比較器２５はＬを出力する。比較器２７についても同様に、比較器２７の非反転入力はノードＮ６に接続されるため第２の電源電圧となる。比較器２７の反転入力はノードＮ４に接続されるため第２の電源電圧よりも高い電圧となる。従って、比較器２７もＬを出力する。

すべての比較器２４〜２７がＬを出力するため、制御回路２８はすべての電源端子１５〜１８には異常が発生していないと判断し、判断結果を出力する（ステップＳ１３）。判断結果は外部端子から半導体装置１０の外部に出力してもよいし、半導体装置１０が有するＣＰＵ（不図示）に出力し、ＣＰＵに動作継続を指示するようにしてもよい。異常が発生していないと判断した場合は、制御回路２８は各電流生成回路２１〜２３のスイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂをオフにし、異常診断を終了する（ステップＳ１４）。

次いで電源端子１５〜１８のいずれかに断線や半田付け不良といった異常がある場合で説明する。ここでは電源端子１５に異常があった場合で説明する。制御回路２８により各スイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂがオンになると、電源端子１６からノードＮ２、電流生成回路２３、ノードＮ５を経由して電源端子１８に電流が流れる。また、制御回路２８により各スイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂがオンになると、電源端子１６からノードＮ２、抵抗Ｒ２、ノードＮ１、電流生成回路２１、抵抗Ｒ３、Ｒ４を経由して電源端子１７、１８に電流が流れる。また、異常がある電源端子１５からは電流は流れないが、電源端子１６からノードＮ２、抵抗Ｒ２、ノードＮ１、抵抗Ｒ１、電流生成回路２２、ノードＮ６を経由して電源端子１７に電流が流れる。

図４は電源端子１６〜１８とノードＮ１、Ｎ３、Ｎ４の電圧を示している。ノードＮ１の電圧は抵抗Ｒ２の電圧ドロップにより第１の電源電圧よりも低くなる。ノードＮ３の電圧はノードＮ１の電圧よりも低くなる。なぜなら、上述した通り、ノードＮ３には電源端子１６からノードＮ２、抵抗Ｒ２、抵抗Ｒ１を経由して電流が流れるため、ノードＮ１よりも大きな電圧ドロップとなるからである。

比較器２６の非反転入力はＮ１（第１の電源電圧より低い電圧）、反転入力はＮ３（Ｎ１より更に低い電圧）であるため、比較器２６はハイレベル（Ｈ）を出力する。比較器２４の非反転入力はＮ１、反転入力はＮ２（第１の電源電圧）であるため、比較器２４の出力はＬである。比較器２５の非反転入力はＮ５（第２の電源電圧）、反転入力はＮ４（第２の電源電圧より高い電圧）であるため、比較器２５の出力はＬである。比較器２７の非反転入力はＮ６（第２の電源電圧）、反転入力はＮ４（第２の電源電圧より高い電圧）であるため、比較器２７の出力はＬである。

なお、電源端子１５の場合で説明したが、電源端子１５ではなく、電源端子１６に異常が発生した場合は、比較器２４がＨを出力することになる。

次いで電源端子１７に異常があった場合で説明する。制御回路２８により各スイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂがオンになると、電源端子１８には、電流生成回路２２からノードＮ６、抵抗Ｒ３、ノードＮ４、抵抗Ｒ４、ノードＮ５を経由した電流が流れる。また、制御回路２８により各スイッチ２１ｂ、２２ｂ、２３ｂがオンになると、電流生成回路２１からノードＮ４、抵抗Ｒ４、ノードＮ５を経由した電流、電流生成回路２３からノードＮ５を経由した電流が流れる。異常がある電源端子１７には電流は流れない。

図５は電源端子１５、１６、１８とノードＮ１、Ｎ４、Ｎ６の電圧を示している。上述した場合と同様に、ノードＮ１の電圧は第１の電源電圧より低くなる。ノードＮ４の電圧は第２の電圧よりも高くなる。ノードＮ６の電圧はノードＮ４よりも高くなる。なぜなら、電流生成回路２２、ノードＮ６、抵抗Ｒ３、ノードＮ４、抵抗Ｒ４、ノードＮ５を経由して電流が流れるため、ノードＮ４の電圧は抵抗Ｒ３によりノードＮ６よりも電圧ドロップするためである。

比較器２７の非反転入力（ノードＮ６）は反転入力（ノードＮ４）よりも高い電圧となるため、比較器２７はＨを出力する。比較器２５の非反転入力（ノードＮ５）は反転入力（ノードＮ４）よりも低い電圧となるため、比較器２５の出力はＬである。また、比較器２４、２６の出力もＬである。

なお、電源端子１７の場合で説明したが、電源端子１７ではなく、電源端子１８に異常が発生した場合は、比較器２５がＨを出力する。

制御回路２８は、比較器２６がＨを出力している場合は電源端子１５に異常が発生していると判断でき、比較器２７がＨを出力している場合は電源端子１７に異常が発生していると判断できる。すなわち、電源端子に対応している比較器の出力を見ることで、どの電源端子に異常が発生しているか判断できる。電源端子の一部に異常が発生した場合は、例えば判断結果を受信したＣＰＵは、異常発生の警告を出力するとともに、処理中のデータを不揮発性メモリにセーブし、処理を終了させることができる（ステップＳ１５）。

ここで、電源端子１５〜１８と異常検出回路１９（比較器２４、２５）および異常検出回路２０（比較器２６、２７）との関係について説明する。上述した通り、例えば電源端子１５に異常が発生した場合、異常検出回路２０（比較器２６）がその異常を検出する。ここで、もし、異常検出回路２０の動作電源電圧（第１の電源電圧）が電源端子１５の近傍のノードから供給されていると、異常検出回路２０の動作が不安定となり、異常検出回路２０の出力結果は信用できない。そこで本実施の形態では、異常検出回路２０の動作電源電圧は、監視対象の電源端子１５ではなく、電源端子１６の近傍のノードから供給されるようにしている。第２電源電圧（グラウンド電圧）についても同様である。また、異常検出回路１９についても同様である。これにより、電源端子に異常があった場合でも、異常検出回路の動作に与える影響を抑えることが出来る。

（効果）
以上のように、本実施の形態に係る半導体装置では、複数の電源端子のうち、いずれかの電源端子に断線や半田付け不良といった異常が発生した場合に、誤検出を抑えた精度の高い異常検出を行うことができる。また、発生した異常の影響を抑えた異常検出が可能となる。

［変形例］
図６は、本実施の形態に係る変形例である。図１との違いは、電流生成回路２１〜２３の各抵抗が可変抵抗になっていることである。抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４には製造ばらつきがあるため、各電流生成回路２１〜２３の抵抗２１ａ、２２ａ、２３ａの抵抗値をトリミングすることで実施の形態１の動作精度をあげることができる。各抵抗２１ａ、２２ａ、２３ａの抵抗値のトリミングは、これに限られないが、制御回路２８内にトリミング回路２８ａを設けることで実現可能である。

［実施の形態２］
（半導体装置の構成）
図７は、実施の形態２に係る半導体装置２００の構成を示すブロック図である。

実施の形態１との違いは、電流生成回路２１〜２３に代わり、電流生成回路２１０〜２３０を備えていることである。電流生成回路２１０〜２３０の電源配線１３、１４への接続は、実施の形態１と同じである。

電流生成回路２２０は２つのスイッチ（Ｓ１、Ｓ３）と直列に接続された２つの抵抗Ｒａ、Ｒｂを有する。２つの直列の抵抗Ｒａ、Ｒｂは一端がスイッチＳ１を介して電源配線１３に、他端がスイッチＳ３を介して電源配線１４に接続される。ここで、２つの抵抗Ｒａ、Ｒｂは同じ抵抗値であることが望ましい。電流生成回路２３０も同様に２つのスイッチ（Ｓ２、Ｓ４）と直列に接続された２つの抵抗Ｒｃ、Ｒｄを有する。この２つの抵抗Ｒｃ、Ｒｄも同じ抵抗値であることが望ましい。

電流生成回路２１０は、３つの直列に接続された抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、ＲｇとスイッチＳａを有する。３つの直列の抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇは一端が電源配線１３に接続され、他端がスイッチＳａを介して電源配線１４に接続される。電源配線１３に接続される抵抗ＲｅとスイッチＳａを介して電源配線１４に接続される抵抗Ｒｇは同じ抵抗値であることが望ましい。

比較器２４の非反転入力は、電流生成回路２３０の２つの抵抗Ｒｃと抵抗Ｒｄの接続点（ノードＮ８）に接続される。比較器２４の反転入力は、電流生成回路２１０内の、一端が電源配線１３に接続される抵抗Ｒｅの他端（ノードＮ９）に接続される。比較器２５の非反転入力は、電流生成回路２１０内の、一端がスイッチＳａに接続される抵抗Ｒｇの他端（ノードＮ１０）に接続される。比較器２５の反転入力はノードＮ８に接続される。

比較器２６の非反転入力は、電流生成回路２２０の２つの抵抗Ｒａと抵抗Ｒｂの接続点（ノードＮ７）に接続される。比較器２６の反転入力は、ノードＮ９に接続される。比較器２７の非反転入力はノードＮ１０に接続される。比較器２７の反転入力はノードＮ７に接続される。

（半導体装置の動作）
次いで、本実施の形態に係る半導体装置２００の動作について説明する。図８は制御回路２８の動作を示すフローチャートである。ステップＳ２０〜Ｓ２５は、図２のステップＳ１０〜Ｓ１５と同じステップである。第２の実施の形態では、更にステップＳ２６、Ｓ２７が追加されている。

まず、異常検出回路１９、２０により異常診断を行うかどうかを判断する（ステップＳ２０）。異常診断を行わない場合、制御回路２８は、電流生成回路２１０〜２３０のそれぞれのスイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４をオフにする。また、制御回路２８はぞれぞれの比較器２４〜２７の比較動作を無効にする制御信号を出力する（ステップＳ２４）。

異常診断を行う場合、ステップＳ２６、Ｓ２７が行われるが、ここではステップＳ２７で異常が発生していない場合、すなわちステップＳ２１から説明する。ステップＳ２６、Ｓ２７については後述する。

制御回路２８は、電流生成回路２１０〜２３０のそれぞれのスイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４をオンにし、またそれぞれの比較器２４〜２７の比較動作を有効にする制御信号を出力する（ステップＳ２１）。

次に、異常診断を行う場合の電流生成回路２１０〜２３０の動作と比較器２４〜２７の動作を説明する（ステップＳ２２）。

まず、電源端子１５〜１８に断線や半田付け不良などの異常がない場合で説明する。制御回路２８により各スイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４がオンになると、電流生成回路２１０〜２３０を経由して電源端子１５、１６から電源端子１７、１８に向けて電流が流れる。より詳細には、電源端子１５からノードＮ３、電流生成回路２２０、ノードＮ６を経由して電源端子１７に電流が流れる。また、電源端子１６からノードＮ２、電流生成回路２３０、ノードＮ５を経由して電源端子１８に電流が流れる。また、電源端子１５、１６からノードＮ２、Ｎ３、抵抗Ｒ１、Ｒ２、ノードＮ１、電流生成回路２１０、ノードＮ４、抵抗Ｒ３、Ｒ４、ノードＮ５、Ｎ６を経由して、電源端子１７、１８に電流が流れる。

図９は、電源端子１５〜１８とノードＮ７、Ｎ８、Ｎ９、Ｎ１０の電圧を示している。電源端子１５、１６には異常がなければ第１の電源電圧が供給され、ノードＮ２、Ｎ３も第１の電源電圧と同じ電圧になる。電源端子１７、１８には異常がなければ第２の電源電圧（グラウンド電圧）が供給され、ノードＮ５、Ｎ６も第２の電源電圧と同じ電圧となる。ノードＮ７の電圧は、電源端子１５、１７間の電圧を電流生成回路２２０内の２つの抵抗Ｒａ、Ｒｂにより分割された電圧となるため、第１の電源電圧の１／２となる。ノードＮ８も同様に第１の電源電圧の１／２となる。ノードＮ９、Ｎ１０の電圧は、電源端子１５、１６と電源端子１７、１８間の電圧を、抵抗Ｒ１〜Ｒ４と電流生成回路２１０内の３つの抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇで分割してできた２つの電圧である。抵抗Ｒ１〜Ｒ４がほぼ同じ抵抗値だとすると、ノードＮ９の電圧は第１の電源電圧の１／２よりも高い電圧となる。また、ノードＮ１０の電圧は、第１の電源電圧の１／２よりも低い電圧となる。

比較器２４の非反転入力は、ノードＮ８に接続されるため、第１の電源電圧の１／２である。比較器２４の反転入力は、ノードＮ９に接続されるため、第１の電源電圧の１／２よりも高い電圧である。従って、比較器２４はＬを出力する。比較器２５の非反転入力は、ノードＮ１０に接続されるため、第１の電源電圧の１／２よりも低い電圧である。比較器２５の反転入力は、ノードＮ８に接続されるため、第１の電源電圧の１／２である。従って、比較器２５はＬを出力する。比較器２６の非反転入力は、ノードＮ７に接続されるため、第１の電源電圧の１／２である。比較器２６の反転入力は、ノードＮ９に接続されるため、第１の電源電圧の１／２よりも高い電圧である。従って、比較器２６はＬを出力する。比較器２７の非反転入力は、ノードＮ１０に接続されるため、第１の電源電圧の１／２よりも低い電圧である。比較器２７の反転入力は、ノードＮ７に接続されるため、第１の電源電圧の１／２である。従って、比較器２７はＬを出力する。

制御回路２８は、すべての比較器２４〜２７がＬを出力するため、すべての電源端子１５〜１８には異常が発生していないと判断し、判断結果を出力する。異常が発生していないと判断した場合は、制御回路２８は各電流生成回路２１０〜２３０のスイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４をオフにし、異常診断を終了する（ステップＳ２４）。

次いで電源端子１５〜１８のいずれかに異常がある場合で説明する。ここでは電源端子１５に異常があった場合で説明する。制御回路２８により各スイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４がオンになると、電源端子１６から電源端子１７、１８に向けて電流が流れる。異常がある電源端子１５からは電流は流れないが、電源端子１６からノードＮ２、抵抗Ｒ２、ノードＮ１、抵抗Ｒ１、電流生成回路２２０、ノードＮ６を通して電源端子１７に電流が流れる。

図１０はノードＮ７、Ｎ１０の電圧を示している。電源端子１５に異常があるとき、ノードＮ７の電圧は、電源端子１５に異常がなかった時の電圧（第１の電源電圧の１／２）よりも低い電圧となる。また、ノードＮ１０の電圧は、電源端子１５に異常がなかった時の電圧（第１の電源電圧の１／２より低い電圧）よりも低い電圧となる。なぜなら、上述した通り、電源端子１５からの電流は流れなくなり、電源端子１６から抵抗Ｒ２、電流生成回路２１０、抵抗Ｒ１、電流生成回路２２０を通して電流が流れるからである。この時、ノードＮ７の電圧がノードＮ１０の電圧よりも低くなるように、電流生成回路２１０の３つの抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇの抵抗値を予め決めておく。例えば、電流生成回路２２０内の各抵抗Ｒａ、Ｒｂが、電流生成回路２１０内の各抵抗より抵抗値が高い場合、異常時のノードＮ７の電圧変動が小さくなる。このため、電流生成回路２１０内の両端の抵抗Ｒｅ、Ｒｇと真ん中の抵抗Ｒｆとの抵抗比を大きくする。電流生成回路２２０内の各抵抗Ｒａ、Ｒｂが、電流生成回路２１０内の各抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇより抵抗値が低い場合、異常時のノードＮ７の電圧変動が大きくなる。このため、電流生成回路２１０内の両端の抵抗Ｒｅ、Ｒｇと真ん中の抵抗Ｒｆとの抵抗比を小さくする。

比較器２７の非反転入力はノードＮ１０に接続され、反転入力はノードＮ７に接続されるため、比較器２７はＨを出力する。

次いで電源端子１７に異常があった場合で説明する。制御回路２８により各スイッチＳａ、Ｓ１、Ｓ３、Ｓ２、Ｓ４がオンになると、電源端子１５、１６から電源端子１８に向けて電流が流れる。異常がある電源端子１７には電流は流れないため、電流生成回路２２０からの電流が、ノードＮ６、抵抗Ｒ３、ノードＮ４、抵抗Ｒ４、ノードＮ５を通して電源端子１８に流れる。

図１１は、ノードＮ７、Ｎ９の電圧を示している。電源端子１７に異常があるとき、ノードＮ７の電圧は、電源端子１７に異常がなかった時の電圧（第１の電源電圧の１／２）よりも高い電圧となる。ノードＮ９の電圧は、電源端子１７に異常がなかった時の電圧（第１の電源電圧の１／２より高い電圧）よりも高い電圧となる。なぜなら、上述した通り、電流生成回路２１０、２２０からの電流は、電源端子１７には流れず、抵抗Ｒ３、Ｒ４を経由して電源端子１８に流れるからである。この時、ノードＮ７の電圧がノードＮ９の電圧よりも高くなるように、電流生成回路２１０の３つの抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇの抵抗値を決めておく。例えば、電流生成回路２２０内の各抵抗Ｒａ、Ｒｂが、電流生成回路２１０内の各抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇより抵抗値が高い場合、異常時のノードＮ７の電圧変動が小さくなる。このため、電流生成回路２１０内の両端の抵抗Ｒｅ、Ｒｇと真ん中の抵抗Ｒｆの抵抗比を大きくする。電流生成回路２２０内の各抵抗Ｒａ、Ｒｂが、電流生成回路２１０内の各抵抗Ｒｅ、Ｒｆ、Ｒｇより抵抗値が低い場合、異常時のノードＮ７の電圧変動が大きくなる。このため、電流生成回路２１０内の両端の抵抗Ｒｅ、Ｒｇと真ん中の抵抗Ｒｆの抵抗比を小さくする。

比較器２６の非反転入力はノードＮ７に接続され、反転入力はノードＮ９に接続されるため、比較器２６はＨを出力する。

電源端子１５または１７に異常があった場合で説明したが、電源端子１６または１８に異常があった場合も同様に、比較器２５、２４がＨを出力する。

制御回路２８は、比較器２７がＨを出力している場合は電源端子１５に異常が発生していると判断でき、比較器２６がＨを出力している場合は電源端子１７に異常が発生していると判断できる。比較器２４、２５についても同様である。制御回路２８は、異常が発生していると判断したら、異常発生の警告を出力するとともに、ＣＰＵ（不図示）に対して処理中のデータのセーブ等の対応を取らせることができる（ステップＳ２５）。

電源端子１５〜１８と異常検出回路１９、２０の接続関係については、第１の実施の形態と同様である。これにより、電源端子に異常があった場合でも、異常検出回路の動作に与える影響を抑えることができる。また、異常状態の誤検出を抑えることができる。

ここで図８に戻り、ステップＳ２６、Ｓ２７について説明する。実施の形態２では、診断結果の信頼度を高めるために、ステップＳ２６、Ｓ２７により比較器２４〜２７の異常診断を行う。

ステップＳ２０で異常診断を行うことが選択されると、制御回路２８は、電流生成回路２１０のスイッチＳａと、各比較器２４〜２７の比較動作を有効にする制御信号を出力する。次に制御回路２８は電流生成回路２２０のスイッチＳ１をオフ、スイッチＳ３をオンにする。この時、比較器２７の反転入力は第２の電源電圧（グラウンド電圧）となる。従って、比較器２７は、異常がなければＨを出力する。スイッチＳ１をオン、スイッチＳ３をオフにすると、比較器２６の非反転入力は第１の電源電圧となる。従って、比較器２６は異常がなければＨを出力する。電流生成回路２３０のスイッチＳ２、Ｓ４を同様に操作することで、比較器２４、２５の診断を行うことができる。

制御回路２８は、各比較器２４〜２７の出力値で各比較器２４〜２７の診断を行う（ステップＳ２７）。各比較器２４〜２７がＨを出力した場合は、各比較器２４〜２７には異常なしと判断し、上述したステップＳ２１からの異常診断を行う。いずれかの比較器２４〜２７がＬを出力した場合は、制御回路２８はエラーを出力する（ステップＳ２５）。

なお、図８では、電源端子の異常診断を行う前に、比較器の診断を行ったが、電源端子の異常診断を行ったあとに比較器の診断を行ってもよい。

（効果）
本実施の形態によれば、第１の実施の形態の効果に加え、更に異常診断の信頼性を上げ、異常状態の誤検出を抑えることができる。

[実施の形態３]
（半導体装置の構成）
図１２は実施の形態３に係る半導体装置３０の構成を示すブロック図である。

図１と違う点は次の通りである。まず、第１の電源電圧が供給される電源端子と第２の電源電圧が供給される電源端子とが、それぞれ２つから３つ（電源端子３６〜４１）に増えている。電源配線３４、３５が環状になっている。電流生成回路４５〜４７、異常検出回路４２〜４４、内部回路３１〜３３も３つに増えている。

電流生成回路４５〜４７、異常検出回路４２〜４４の内部の構成は図１と同じである。それぞれの異常検出回路４２〜４４は、図１と同様に、電源端子の近傍に配置される。すなわち、異常検出回路４２は電源端子３６の近傍（ノードＮ７）で電源配線３４に接続されるとともに、電源端子３９の近傍（ノードＮ１３）で電源配線３５に接続される。異常検出回路４３は電源端子３７の近傍（ノードＮ９）で電源配線３４に接続されるとともに、電源端子４０の近傍（ノードＮ１５）で電源配線３５に接続される。異常検出回路４４は電源端子３８の近傍（ノードＮ１１）で電源配線３４に接続されるとともに、電源端子４１の近傍（ノードＮ１７）で電源配線３５に接続される。それぞれの電流生成回路４５〜４７は、図１と同様に、２つの電源端子から見て中間点に配置される。すなわち、電流生成回路４５は電源端子３６と電源端子３７の中間点であるノードＮ８で電源配線３４に接続される。また、電流生成回路４５は電源端子３９と電源端子４０の中間点であるノードＮ１４で電源配線３５に接続される。電流生成回路４６は電源端子３７と電源端子３８との中間点であるノードＮ１０で電源配線３４に接続される。また、電流生成回路４６は電源端子４０と電源端子４１の中間点であるノードＮ１６で電源配線３５に接続される。電流生成回路４７は電源端子３８と電源端子３６の中間点であるノードＮ１２で電源配線３４と接続される。また、電流生成回路４７は電源端子４１と電源端子３９の中間点であるノードＮ１８で電源配線３５に接続される。

各異常検出回路４２〜４４の配置について更に詳細に説明する。異常検出回路４２内の比較器５２の非反転入力はノードＮ８に接続され、反転入力はノードＮ９に接続される。比較器５３の非反転入力はノードＮ１５に接続され、反転入力はノードＮ１４に接続される。異常検出回路４３内の比較器５４の非反転入力はノードＮ１０に接続され、反転入力はノードＮ１１に接続される。比較器５５の非反転入力はノードＮ１７に接続され、反転入力はノードＮ１６に接続される。異常検出回路４４内の比較器５６の非反転入力はノードＮ１２に接続され、反転入力はノードＮ７に接続される。比較器５７の非反転入力はノードＮ１３に接続され、反転入力はノードＮ１８に接続される。

（半導体装置の動作）
次に本実施の形態に係る半導体装置３０の動作について説明する。図１３は制御回路５１のフローチャートである。まず、異常検出回路により異常診断を行うかどうかを判断する（ステップＳ３０）。

異常診断を行う場合、制御回路５１は、電流生成回路４５〜５０の中から２つ、異常検出回路４２〜４４の中から１つを選択する。ここでは電流生成回路４７、４８と異常検出回路４４を選択する（ステップＳ３１）。また、比較器５６、５７の比較動作を有効にする制御信号を出力する（ステップＳ３２）。

まず、電源端子３６〜４１に断線や半田付け不良などの異常がない場合で説明する。制御回路５１によりスイッチＳ５、Ｓ９、ＳＡがオンになると、電源端子３６〜３８から配線抵抗である抵抗Ｒ５〜Ｒ１０と電流生成回路４７、４８、５０を経由して電源端子３９〜４１に電流が流れる。この時、第１の実施の形態で説明した様に、ノードＮ７、Ｎ１１はそれぞれ第１の電源電圧と同じ電圧となる。また、ノードＮ１２はそれぞれ第１の電源電圧よりも低い電圧となる。従って、比較器５６の非反転入力は第１の電源電圧よりも低い電圧となり、反転入力は第１の電源電圧と同じ電圧になるため、比較器５６はＬを出力する。

制御回路５１により、スイッチＳ５、Ｓ９、ＳＡがオンになると、電流生成回路４７、４８、５０を経由して流れてきた電流は、配線抵抗である抵抗Ｒ１１〜Ｒ１６を経由して電源端子３９〜４１に流れる。この時、第１の実施の形態で説明した様に、ノードＮ１３、Ｎ１７は第２の電源電圧と同じ電圧となる。また、ノードＮ１８は第２の電源電圧よりも高い電圧となる。従って、比較器５７の非反転入力は第２の電源電圧となり、反転入力は第２の電源電圧よりも高い電圧となる。従って比較器５７はＬを出力する。

比較器５６、５７がＬを出力するため、制御回路５１は電源端子３６、３９に異常が発生していないと判断する（ステップＳ３３）。

次いで、電源端子３６〜４１のいずれかに異常がある場合で説明する。ここでは、電源端子３６に断線があった場合で説明する。制御回路５１によりスイッチＳ５、Ｓ９、ＳＡがオンになると、電源端子３６からは電流が流れないが、電源端子３７、３８から抵抗Ｒ５〜Ｒ１０、電流生成回路４７、４８、５０を経由して電流が流れる。この時、第１の実施の形態で説明した通り、ノードＮ７はノードＮ１２（第１の電源電圧よりも低い電圧）よりも低い電圧となる。従って、比較器５６の反転入力は非反転入力よりも低い電圧となるため、比較器５６はＨを出力する。

次いで、電源端子３９に断線があった場合で説明する。制御回路５１によりスイッチＳ５、Ｓ９、ＳＡがオンになると、電流生成回路４７、４８、５０、抵抗Ｒ１１〜Ｒ１６を経由して電源端子４０、４１に電流が流れる。電源端子３９には電流が流れない。この時、第１の実施の形態で説明した通り、ノードＮ１３はノードＮ１８よりも高い電圧となる。従って、比較器５７の非反転入力は反転入力よりも高い電圧となるため、比較器５７はＨを出力する。

制御回路５１は、異常検出回路４２、４４と電流生成回路４７のスイッチＳＡをオンした時、比較器５６がＨを出力した時は電源端子３６が異常であることを検出する。また、比較器５７がＨを出力した時は電源端子３９が異常でなることを検出する（ステップＳ３３）。異常を検出した場合は半導体装置３０の外部や、内蔵のＣＰＵに異常を通知する（ステップＳ３６）。

ステップＳ３３で異常が検出されなかった場合、制御回路５１は次に電流生成回路４５、４９と異常検出回路４２を選択する（ステップＳ３１）。また、比較器５２、５３の比較動作を有効にする制御信号を出力する。この場合も上述した動作と同様である。電源端子３７に異常があれば比較器５２がＨを出力する。また、電源端子４０に異常があれば比較器５３がＨを出力する。

再度、ステップＳ３３で異常が検出されなければ、制御回路５１は次に電流生成回路４６、５０と異常検出回路４３を選択する。この時も同様に、電源端子３８に異常があれば比較器５４がＨを出力する。また、電源端子４１に異常があれば、比較器５５がＨを出力する。

すべての検査で異常が検出されなければ（ステップＳ３４）、制御回路５１はすべての電源端子３６〜４１に異常はないと判断する。そして、すべての電流生成回路４５〜５０のスイッチＳ６、Ｓ８、ＳＡ、Ｓ５、Ｓ７、Ｓ９をオフにして検査を終了する（ステップＳ３５）。

（効果）
実施の形態３では、同時にすべての電流生成回路４５〜５０のスイッチＳ６、Ｓ８、ＳＡ、Ｓ５、Ｓ７、Ｓ９をオンにはせず、一部の電流生成回路と異常検出回路を使って検査を行っていく。異常生成回路の動作による影響を最小限にすることができるため、電源端子の検査と並列して、内部回路を動作せることが可能となる。例えば、電源端子３６、３７、３９、４０には異常が検出されず、電源端子３８、４１の検査をしている場合を想定する。この場合、電流生成回路４６、４９、５０の動作による内部回路３１への影響は非常に少ないと言える。従って、電源端子３８、４１の検査を行いつつ、内部回路３１を通常動作させることが可能となる。これを応用して、半導体装置３０の動作中でも、動作の必要のないブロック（例えば、通信していない通信ブロック）近傍の電源端子の検査を行うといったことが可能となる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更され得る。

１０、２００、３０ 半導体装置
１１、１２、３１、３２、３３ 内部回路
１３、１４ 電源配線
１９、２０、４２、４３、４４ 異常検出回路
２１、２２、２３、２１０、２２０、２３０、４５、４６、４７、４８、４９、５０ 電流生成回路
２４、２５、２６、２７、５２、５３、５４、５５、５６、５７、 比較器
１５、１６、１７、１８、３６、３７、３８、３９、４０、４１ 電源端子
２８、５１ 制御回路
Ｒ１〜Ｒ１６ 抵抗
Ｓ１〜Ｓ９、ＳＡ スイッチ

Claims (17)

1. 第１の電源電圧が供給される第１と第２の電源端子と、
   第２の電源電圧が供給される第３の電源端子と、
   前記第１と第２の電源端子に接続される電源配線と、
   前記第１の電源端子の診断を行う異常検出回路と、
   診断時に前記電源配線から前記第３の電源端子に電流を流す第１の電流生成回路と、
   前記第１の電源端子の近傍で前記電源配線に接続され、診断時に前記電源配線から前記第３の電源端子に電流を流す第２の電流生成回路と、を備え、
   前記異常検出回路は、診断時に前記第１の電流生成回路の電圧と、前記第２の電流生成回路の電圧とを比較する、
   半導体装置。
2. 前記第１と第２の電流生成回路は、抵抗とスイッチとを有する、
   請求項１に記載の半導体装置。
3. 前記異常検出回路は前記比較を行う比較器を備え、当該比較器は前記第２の電源端子の近傍から動作電圧が供給される、
   請求項２に記載の半導体装置。
4. 前記抵抗は可変抵抗である、
   請求項２に記載の半導体装置。
5. 前記第１の電流生成回路は、前記第１と第２の電源端子間に配置される、
   請求項３に記載の半導体装置。
6. 前記第２の電源端子の近傍で前記電源配線に接続され、診断時に前記電源配線から前記第３の電源端子に電流を流す第３の電流生成回路を更に備え、
   前記異常検出回路は、診断時に前記第１の電流生成回路の電圧と、前記第３の電流生成回路の電圧とを更に比較して前記第２の電源端子の診断を行う、
   請求項５に記載の半導体装置。
7. 前記抵抗は、直列に接続された複数の抵抗で構成され、
   前記比較器は、前記複数の抵抗で分圧された電圧で前記比較を行う、
   請求項３に記載の半導体装置。
8. 第１の電源電圧が供給される第１、第２および第３の電源端子と、
   第２の電源電圧が供給される第４、第５および第６の電源端子と、
   前記第１、第２および第３の電源端子に接続される第１の環状の電源配線と、
   前記第４、第５および第６の電源端子に接続される第２の環状の電源配線と、
   前記第１と第２の電源端子間と、前記第４と第５の電源端子間とで、前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第１の電流生成回路と、
   前記第２と第３の電源端子間と、前記第５と第６の電源端子間とで、前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第２の電流生成回路と、
   前記第３と第１の電源端子間と、前記第６と第４の電源端子間とで、前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第３の電流生成回路と、
   前記第１と第４の電源端子の近傍で前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第４の電流生成回路と、
   前記第２と第５の電源端子の近傍で前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第５の電流生成回路と、
   前記第３と第６の電源端子の近傍で前記第１と第２の電源配線に接続され、診断時に電流を流す第６の電流生成回路と、
   診断時に前記第１の電流生成回路の電圧と、前記第５の電流生成回路の電圧とを比較する第１の異常検出回路と、
   診断時に前記第２の電流生成回路の電圧と、前記第６の電流生成回路の電圧とを比較する第２の異常検出回路と、
   診断時に前記第３の電流生成回路の電圧と、前記第４の電流生成回路の電圧とを比較する第３の異常検出回路と、を備える
   半導体装置。
9. 前記第１乃至第６の電流生成回路は、それぞれ抵抗とスイッチを有する、
   請求項８に記載の半導体装置。
10. 前記第１の異常検出回路は、前記第１と第４の電源端子の近傍から動作電圧が供給される第１の比較器を備え、
    前記第２の異常検出回路は、前記第２と第５の電源端子の近傍から動作電圧が供給される第２の比較器を備え、
    前記第３の異常検出回路は、前記第３と第６の電源端子の近傍から動作電圧が供給される第３の比較器を備える、
    請求項９に記載の半導体装置。
11. 前記第１乃至第６の電流生成回路のそれぞれのスイッチと、前記第１乃至第３の比較器の制御を行う制御回路を更に備え、
    前記制御回路は、診断時に、前記第１、第４および第５の電流生成回路のスイッチをオンにし、前記第２、第３および第６の電流生成回路のスイッチをオフにし、前記第１の比較器を有効にする、
    請求項１０に記載の半導体装置。
12. 第１の電源電圧が供給される第１と第２の電源端子と、
    第２の電源電圧が供給される第３の電源端子と、
    前記第１と第２の電源端子に接続される電源配線と、
    診断時に前記電源配線上の第１のノードと第２のノードとから前記第３の電源端子に電流を流す電流生成回路と、
    前記第１のノードと第２のノードの電位差で、前記第１の電源端子の診断を行う異常検出回路と、を備え、
    前記第１のノードは、異常がないときの電圧と異常があるときの電圧との差が、前記第２のノードよりも大きい、
    半導体装置。
13. 前記第１のノードは、前記電源配線上で、前記第２のノードよりも前記第１の電源端子に近い、
    請求項１２に記載の半導体装置。
14. 前記電位差を検出する比較器を更に備え、当該比較器は、前記電源配線上で、前記第２のノードよりも前記第２の電源端子に近いノードから動作電圧が供給される、
    請求項１３に記載の半導体装置。
15. 前記電流生成回路は、前記第１のノードと前記第３の電源端子との間に第１の抵抗と、前記第２のノードと前記第３の電源端子との間に第２の抵抗を備える、
    請求項１４に記載の半導体装置。
16. 前記第１と第２の抵抗は可変抵抗である、
    請求項１５に記載の半導体装置。
17. 前記第１と第２の抵抗は、それぞれ直列に接続された複数の抵抗であり、
    前記第１と第２のノードは、それぞれ前記複数の抵抗の接続ノードである、
    請求項１５に記載の半導体装置。

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