JP6735177B2 - 半導体装置およびヒューズ状態検出方法 - Google Patents
半導体装置およびヒューズ状態検出方法 Download PDFInfo
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Description
特許文献1では、このようなヒューズ切断テスト回路によれば、不完全な切断状態の検出まで含めたヒューズの切断判定を高速且つ高精度に行うことができるとしている。
12 モード設定回路
14 定電流回路
16 ヒューズ素子
18 検出回路
20 メモリ回路
22 演算器(EX−OR)
30 テスト部
40 判定部
50 第1の定電流源
52 第2の定電流源
54 第3の定電流源
56 入力バッファ
58 ラッチ回路
60 出力バッファ
ENF、ENFB イネーブル信号
Fout 判定部出力
IA、IB、IC、I1、I2、In 電流
MP1〜MP10 P型トランジスタ
MN1〜MN5 N型トランジスタ
Rfmin 抵抗値
Rfmax 抵抗値
Rdf 判定不具合抵抗値範囲
Rdr 異常抵抗値範囲
VcA、VcB、VcC、VcD 制御信号
Vdi 検出回路入力
Vdo、Vdo1、Vdo2 検出回路出力
VDD 電源
Vt 閾値
ΔVt 閾値不確定幅
VtL 下限値
VtH 上限値
Claims (6)
- 切断状態の検出対象であるヒューズに流す第1の電流値の電流、および前記第1の電流値よりも大きな第2の電流値の電流を生成する電流源と、
前記第1の電流値の電流が前記ヒューズに流れた場合に前記ヒューズに発生する電圧を予め定められた基準値と比較する第1のモードの比較結果である第1の状態信号、および前記第2の電流値の電流が前記ヒューズに流れた場合に前記ヒューズに発生する電圧を前記予め定められた基準値と比較する第2のモードの比較結果である第2の状態信号を前記ヒューズの切断状態を示す状態信号として出力する検出部と、
前記第1の状態信号と前記第2の状態信号とが一致する場合に前記ヒューズの切断状態が正常であると判定し、一致しない場合に切断状態が異常であると判定する判定部と、を含み、
前記電流源は、前記電流源および前記検出部を通常に動作させる第3のモードにおいて前記ヒューズに流す電流として前記第1の電流値と前記第2の電流値との間の第3の電流値の電流をさらに生成する
半導体装置。 - 前記第1の状態信号および前記第2の状態信号のうち先に前記検出部から出力された状態信号を記憶する記憶部をさらに含み、
前記判定部は、前記第1の状態信号および前記第2の状態信号のうち後に前記検出部から出力された状態信号と前記記憶部に記憶された状態信号とを比較し、比較した結果が一致する場合に前記ヒューズの切断状態が正常であると判定し、一致しない場合に切断状態が異常であると判定する
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記判定部が排他的論理和回路である
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記予め定められた基準値を前記第2の電流値で除した値を下限抵抗値、前記予め定められた基準値を前記第1の電流値で除した値を上限抵抗値とした場合、
前記状態信号のすべてが一致する場合は、前記ヒューズの抵抗値が前記下限抵抗値より小さい場合か、または前記上限抵抗値より大きい場合である
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記予め定められた基準値は前記検出部の特性に起因する不確定幅を有し、
前記不確定幅の下限値を前記第2の電流値で除した値を下限抵抗値、前記不確定幅の上限値を前記第1の電流値で除した値を上限抵抗値とした場合、
前記状態信号のすべてが一致する場合は、前記ヒューズの抵抗値が前記下限抵抗値より小さい場合か、または前記上限抵抗値より大きい場合である
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 切断状態の検出対象であるヒューズに流す第1の電流値の電流、および前記第1の電流値よりも大きな第2の電流値の電流を生成する電流源と、前記第1の電流値の電流が前記ヒューズに流れた場合に前記ヒューズに発生する電圧を予め定められた基準値と比較する第1のモードの比較結果である第1の状態信号、および前記第2の電流値の電流が前記ヒューズに流れた場合に前記ヒューズに発生する電圧を前記予め定められた基準値と比較する第2のモードの比較結果である第2の状態信号を前記ヒューズの切断状態を示す状態信号として出力する検出部と、を含む半導体装置を用いたヒューズ状態検出方法であって、
前記第1の状態信号と前記第2の状態信号とが一致する場合に前記ヒューズの切断状態が正常であると判定し、一致しない場合に切断状態が異常であると判定し、
前記電流源は、前記電流源および前記検出部を通常に動作させる第3のモードにおいて前記ヒューズに流す電流として前記第1の電流値と前記第2の電流値との間の第3の電流値の電流をさらに生成するヒューズ状態検出方法。
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JP2016153636A JP6735177B2 (ja) | 2016-08-04 | 2016-08-04 | 半導体装置およびヒューズ状態検出方法 |
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JP2016153636A JP6735177B2 (ja) | 2016-08-04 | 2016-08-04 | 半導体装置およびヒューズ状態検出方法 |
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JP2018022789A JP2018022789A (ja) | 2018-02-08 |
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JP7368198B2 (ja) | 2019-11-22 | 2023-10-24 | ローム株式会社 | 半導体装置、メモリ異常判定システム |
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