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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7418098B2 (ja) * 2019-04-26 2024-01-19 キヤノン株式会社 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法
CN113064225B (zh) * 2021-03-24 2023-07-14 浙江舜宇光学有限公司 含氟化镁膜层的减反膜系及其制备方法
US12422593B2 (en) 2022-02-17 2025-09-23 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having antireflective coating(s) on substrate
CN117488262A (zh) * 2023-11-07 2024-02-02 浙江日久新材料科技有限公司 Ar膜、元件及设备

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL283979A (https=) 1961-10-04
DE3332872A1 (de) 1983-09-12 1985-04-04 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Reflexionsvermindernder belag fuer ein optisches element aus organischem material
US4902109A (en) * 1986-05-02 1990-02-20 Canon Kabushiki Kaisha Electrochromic device
US5241411A (en) * 1987-07-02 1993-08-31 Saint-Gobain Vitrage Electrochromic variable transmission glazing
JPH06337303A (ja) 1993-05-31 1994-12-06 Toray Ind Inc 反射防止性プラスチック光学部品
US5510173A (en) * 1993-08-20 1996-04-23 Southwall Technologies Inc. Multiple layer thin films with improved corrosion resistance
JP3689524B2 (ja) 1996-03-22 2005-08-31 キヤノン株式会社 酸化アルミニウム膜及びその形成方法
JPH09291358A (ja) 1996-04-24 1997-11-11 Olympus Optical Co Ltd 光学薄膜の製造方法および光学薄膜
JP3472169B2 (ja) * 1998-12-09 2003-12-02 株式会社オプトロン 中間屈折率の光学薄膜用蒸着材料および該蒸着材料を用いた光学薄膜
JP3825936B2 (ja) 1999-04-09 2006-09-27 キヤノン株式会社 光学薄膜の製造方法及びその薄膜形成装置
US6761959B1 (en) * 1999-07-08 2004-07-13 Flex Products, Inc. Diffractive surfaces with color shifting backgrounds
US6368470B1 (en) * 1999-12-29 2002-04-09 Southwall Technologies, Inc. Hydrogenating a layer of an antireflection coating
JP2002071946A (ja) * 2000-08-30 2002-03-12 Nippon Sheet Glass Co Ltd 偏光フィルタおよびそれを用いた光学装置
EP1357405A4 (en) * 2001-01-31 2007-08-22 Zeon Corp LIGHTING PLATE AND LIGHTING UNIT
DE10307095A1 (de) * 2003-02-19 2004-09-02 Merck Patent Gmbh Aufdampfmaterial zur Herstellung hochbrechender optischer Schichten
JP2005054220A (ja) * 2003-08-01 2005-03-03 Canon Inc フッ化物薄膜の形成方法及びその形成装置
JP2007156362A (ja) 2005-12-08 2007-06-21 Canon Inc 反射防止膜、成膜方法及び装置、露光装置、並びに、デバイス製造方法
DE102013208310B4 (de) * 2013-05-06 2019-07-04 Carl Zeiss Vision International Gmbh Optisches Element mit Substratkörper und Hartlackschicht sowie Herstellungsverfahren hierfür
JP6366263B2 (ja) 2013-12-13 2018-08-01 キヤノン株式会社 光学多層膜、光学レンズ及び光学多層膜の製造方法
US9586385B2 (en) * 2014-08-27 2017-03-07 3M Innovative Properties Company Inorganic multilayer lamination transfer films
US10446706B2 (en) * 2015-05-15 2019-10-15 Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. Hexagonal phase epitaxial cadmium sulfide on copper indium gallium selenide for a photovoltaic junction
CN105970171B (zh) 2016-06-08 2019-07-26 扬州君禾薄膜科技有限公司 一种采用磁控溅射制备柔性稀土氧化物薄膜的方法
JP6887230B2 (ja) 2016-08-22 2021-06-16 株式会社アルバック 成膜方法
US20180219113A1 (en) * 2017-01-30 2018-08-02 Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. Cigs based photovoltaic cell with non-stoichiometric metal sulfide layer and method and apparatus for making thereof
JP6995491B2 (ja) * 2017-04-21 2022-01-14 キヤノン株式会社 光学薄膜、光学素子、光学素子の製造方法
CN215340409U (zh) * 2017-05-08 2021-12-28 康宁股份有限公司 包含光学涂层的制品
JP6953197B2 (ja) * 2017-06-22 2021-10-27 キヤノン株式会社 フッ化膜を有する光学素子の製造方法およびフッ化膜の製造方法
CN111095037B (zh) * 2017-09-21 2021-07-30 富士胶片株式会社 防反射膜、光学元件及光学系统
JP7418098B2 (ja) * 2019-04-26 2024-01-19 キヤノン株式会社 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法

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