JP2020180360A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2020180360A5
JP2020180360A5 JP2019085961A JP2019085961A JP2020180360A5 JP 2020180360 A5 JP2020180360 A5 JP 2020180360A5 JP 2019085961 A JP2019085961 A JP 2019085961A JP 2019085961 A JP2019085961 A JP 2019085961A JP 2020180360 A5 JP2020180360 A5 JP 2020180360A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxide
optical element
element according
containing layer
samarium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019085961A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7418098B2 (ja
JP2020180360A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2019085961A external-priority patent/JP7418098B2/ja
Priority to JP2019085961A priority Critical patent/JP7418098B2/ja
Application filed filed Critical
Priority to EP20168175.6A priority patent/EP3757626B1/en
Priority to US16/854,619 priority patent/US11971520B2/en
Priority to CN202010330201.3A priority patent/CN111926293A/zh
Publication of JP2020180360A publication Critical patent/JP2020180360A/ja
Publication of JP2020180360A5 publication Critical patent/JP2020180360A5/ja
Priority to US18/186,033 priority patent/US12523797B2/en
Publication of JP7418098B2 publication Critical patent/JP7418098B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2019085961A 2019-04-26 2019-04-26 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法 Active JP7418098B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019085961A JP7418098B2 (ja) 2019-04-26 2019-04-26 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法
EP20168175.6A EP3757626B1 (en) 2019-04-26 2020-04-06 Optical device and manufacturing method therefor
US16/854,619 US11971520B2 (en) 2019-04-26 2020-04-21 Optical device and manufacturing method therefor
CN202010330201.3A CN111926293A (zh) 2019-04-26 2020-04-24 光学器件及其制造方法
US18/186,033 US12523797B2 (en) 2019-04-26 2023-03-17 Optical device and manufacturing method therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019085961A JP7418098B2 (ja) 2019-04-26 2019-04-26 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020180360A JP2020180360A (ja) 2020-11-05
JP2020180360A5 true JP2020180360A5 (https=) 2022-04-26
JP7418098B2 JP7418098B2 (ja) 2024-01-19

Family

ID=70189838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019085961A Active JP7418098B2 (ja) 2019-04-26 2019-04-26 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US11971520B2 (https=)
EP (1) EP3757626B1 (https=)
JP (1) JP7418098B2 (https=)
CN (1) CN111926293A (https=)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7418098B2 (ja) * 2019-04-26 2024-01-19 キヤノン株式会社 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法
CN113064225B (zh) * 2021-03-24 2023-07-14 浙江舜宇光学有限公司 含氟化镁膜层的减反膜系及其制备方法
US12422593B2 (en) 2022-02-17 2025-09-23 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having antireflective coating(s) on substrate
CN117488262A (zh) * 2023-11-07 2024-02-02 浙江日久新材料科技有限公司 Ar膜、元件及设备

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL283979A (https=) 1961-10-04
DE3332872A1 (de) 1983-09-12 1985-04-04 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Reflexionsvermindernder belag fuer ein optisches element aus organischem material
US4902109A (en) * 1986-05-02 1990-02-20 Canon Kabushiki Kaisha Electrochromic device
US5241411A (en) * 1987-07-02 1993-08-31 Saint-Gobain Vitrage Electrochromic variable transmission glazing
JPH06337303A (ja) 1993-05-31 1994-12-06 Toray Ind Inc 反射防止性プラスチック光学部品
US5510173A (en) * 1993-08-20 1996-04-23 Southwall Technologies Inc. Multiple layer thin films with improved corrosion resistance
JP3689524B2 (ja) 1996-03-22 2005-08-31 キヤノン株式会社 酸化アルミニウム膜及びその形成方法
JPH09291358A (ja) 1996-04-24 1997-11-11 Olympus Optical Co Ltd 光学薄膜の製造方法および光学薄膜
JP3472169B2 (ja) 1998-12-09 2003-12-02 株式会社オプトロン 中間屈折率の光学薄膜用蒸着材料および該蒸着材料を用いた光学薄膜
JP3825936B2 (ja) 1999-04-09 2006-09-27 キヤノン株式会社 光学薄膜の製造方法及びその薄膜形成装置
US6761959B1 (en) * 1999-07-08 2004-07-13 Flex Products, Inc. Diffractive surfaces with color shifting backgrounds
US6368470B1 (en) * 1999-12-29 2002-04-09 Southwall Technologies, Inc. Hydrogenating a layer of an antireflection coating
JP2002071946A (ja) * 2000-08-30 2002-03-12 Nippon Sheet Glass Co Ltd 偏光フィルタおよびそれを用いた光学装置
WO2002061471A1 (fr) * 2001-01-31 2002-08-08 Zeon Corporation Plaque guide optique et unite d'eclairage
DE10307095A1 (de) * 2003-02-19 2004-09-02 Merck Patent Gmbh Aufdampfmaterial zur Herstellung hochbrechender optischer Schichten
JP2005054220A (ja) * 2003-08-01 2005-03-03 Canon Inc フッ化物薄膜の形成方法及びその形成装置
JP2007156362A (ja) 2005-12-08 2007-06-21 Canon Inc 反射防止膜、成膜方法及び装置、露光装置、並びに、デバイス製造方法
DE102013208310B4 (de) 2013-05-06 2019-07-04 Carl Zeiss Vision International Gmbh Optisches Element mit Substratkörper und Hartlackschicht sowie Herstellungsverfahren hierfür
JP6366263B2 (ja) 2013-12-13 2018-08-01 キヤノン株式会社 光学多層膜、光学レンズ及び光学多層膜の製造方法
US9586385B2 (en) * 2014-08-27 2017-03-07 3M Innovative Properties Company Inorganic multilayer lamination transfer films
CN106159038B (zh) * 2015-05-15 2020-02-11 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 用于光伏结的硒化铜铟镓上的六方相外延硫化镉
CN105970171B (zh) 2016-06-08 2019-07-26 扬州君禾薄膜科技有限公司 一种采用磁控溅射制备柔性稀土氧化物薄膜的方法
JP6887230B2 (ja) 2016-08-22 2021-06-16 株式会社アルバック 成膜方法
US20180219113A1 (en) * 2017-01-30 2018-08-02 Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. Cigs based photovoltaic cell with non-stoichiometric metal sulfide layer and method and apparatus for making thereof
JP6995491B2 (ja) * 2017-04-21 2022-01-14 キヤノン株式会社 光学薄膜、光学素子、光学素子の製造方法
EP3622332A2 (en) * 2017-05-08 2020-03-18 Corning Incorporated Reflective, colored, or color-shifting scratch resistant coatings and articles
JP6953197B2 (ja) 2017-06-22 2021-10-27 キヤノン株式会社 フッ化膜を有する光学素子の製造方法およびフッ化膜の製造方法
JP6882498B2 (ja) 2017-09-21 2021-06-02 富士フイルム株式会社 反射防止膜、光学素子および光学系
JP7418098B2 (ja) * 2019-04-26 2024-01-19 キヤノン株式会社 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020180360A5 (https=)
JP2020147496A5 (https=)
JP5699352B2 (ja) 透明導電フィルム
JP5413978B2 (ja) プラスチック光学製品及び眼鏡プラスチックレンズ
JP2012073542A (ja) 反射防止膜及びその製造方法、光学部材、並びにプラスチックレンズ
JP2016522452A (ja) 反射防止層の製造法
JP2017508648A5 (https=)
JP2013541437A (ja) 視認性に優れた透明導電性フィルム及びその製造方法
JP2011017782A (ja) 反射防止膜
CN107000382A (zh) 具有改进的耐刮擦/耐磨性和疏油性质的用于玻璃的涂层
JP2005514310A5 (https=)
JP2018503129A (ja) 層システムおよび層システムを備える光学素子
EA027212B1 (ru) Полупрозрачное остекление, содержащее по меньшей мере один узор, который предпочтительно является прозрачным
RU2018114900A (ru) Изделие с покрытием
JP6760304B2 (ja) 金色調多層コートおよびこれを備える反射体
JP2010214522A5 (https=)
KR20200123903A (ko) 스크래치 방지 코팅들을 가지는 유리, 유리-세라믹, 및 세라믹 물품들 및 그 제조 방법들
US20200200947A1 (en) Multilayer antireflective articles and methods of forming the same
JP5906562B2 (ja) 視認性に優れた両面透明伝導性フィルム及びその製造方法
JP2011512553A (ja) 硬化層、干渉性多層および両層に挟まれている硬質層を含みポリマーに基づくレンズ、ならびに対応する製造方法
JP5883505B2 (ja) 光学素子
JP2012522128A (ja) アルミニウム合金製の部品を被覆する方法及び前記方法からえられる部品
WO2019138363A3 (en) Lens coating layer
RU2017104776A (ru) Прозрачная диффузионная подложка осид и способ для изготовления такой подложки
JP2007258634A5 (https=)