JP6953197B2 - フッ化膜を有する光学素子の製造方法およびフッ化膜の製造方法 - Google Patents
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本発明のフッ化膜の製造方法は、金属ターゲットと反応性ガスを含む混合ガスを用いて、反応性スパッタにより基板上にフッ化膜を形成するフッ化膜の製造方法であって、前記混合ガスは、ハイドロフルオロオレフィンと、酸素原子と、を含むことを特徴とする。
本発明の光学素子は、カメラ、双眼鏡、顕微鏡、半導体露光装置等の光学機器に用いることができる。具体的には、本発明の光学素子は、レンズ、プリズム、反射鏡、回折格子等の光学機器を構成する光学素子に用いることができる。これらの中で、レンズ又はプリズムに好ましく用いることができる。
基板101は、ガラス基板やプラスチック基板を用いることができる。基板101は、使用目的に応じた形状であれば良く、平面であっても良く、二次元あるいは三次元の曲面を有するものであっても良い。
フッ化膜102としては、フッ化アルミニウム膜やフッ化マグネシウム膜を用いることができる。フッ化膜102としては、屈折率が低いフッ化マグネシウム膜を用いることが好ましい。フッ化マグネシウム膜は、フッ化マグネシウム(MgF2)を主成分として含有する層であり、フッ化マグネシウムを80質量%以上含有することが好ましく、90質量%以上含有するのがさらに好ましい。フッ化マグネシウム膜は、後述するようにスパッタ法で形成するため、層中にアルゴンを含有する場合がある。フッ化マグネシウム膜のd線(波長587.6nm)の屈折率は、1.40以下であることが好ましく、1.38以下であることがより好ましい。
本発明のフッ化膜の製造方法で用いる成膜装置の概略図を図2に示す。
次に、図2に示す成膜装置を用いて、フッ化膜の製造方法につい説明する。本発明のフッ化膜の製造方法においては、まず、成膜室1内のカソード電極にターゲット6を取り付けておく。ターゲット6は形成すべき薄膜の種類に応じて選択される。例えば、低屈折率のフッ化膜を成膜する場合、マグネシウム金属、アルミニウム金属などの金属ターゲットを用いることが好ましい。しかし、ターゲット材料としては電気抵抗が小さければ、金属以外のフッ素添加金属等を用いても良い。そして、成膜室1を閉じて、排気手段2を駆動して成膜室1内を1.0×10−3Pa程度の真空状態になるよう排気しておく。
O+CF3→COF2+F (式1)
O+CF2→CO+2F (式2)
→COF+F (式3)
→COF2 (式4)
O+COF→CO2+F (式5)
屈折率は、株式会社日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計U−4100を用いて、入射角度5度において、350〜800nmの波長範囲について測定した。
L=1−(T+R) 式(1)
実施例1では、図2の成膜装置を用いて、ガラス基板上にフッ化マグネシウム膜を製造した。ターゲット6の材料として、マグネシウム金属を用い、基板15にはSiO2基板(飯山特殊硝子社製、合成石英基板)を用いた。反応性ガスは、ハイドロフルオロオレフィンを含むガスとしてHFO−1234zeガス「(E)−1,3,3,3−テトラフルオロプロパ−1−エン:trans−CF3CH=CHF)」を用いてた。また、酸素を含むガスとして、酸素を使用した。HFO−1234zeガスは、温暖化係数は1未満で、低毒性、28℃以下では不燃性のガスである。
比較例1は、実施例1と異なり、フッ素を含むガスとしてHFC−245fa(化学式:CHF2CH2CF3)を用いた。また、HFC−245faの流量を15[SCCM]、HFC−245faと酸素の混合ガス中のHFC−245faの割合を30%にした以外は実施例1と同様に行った。
実施例1の膜では光損失が0.1%以下であった。比較例1の膜では光損失が0.6%以下であった。レンズ8枚で構成される光学系に、実施例1の膜を8枚のレンズの両面に付けた場合には、レンズを透過した光量の減衰率は約1.6%となる。これに対して、比較例1の膜を8枚のレンズに付けた場合には、レンズを透過した光量の減衰率は約9.6%となる。
2 排気系(成膜室)
6 ターゲット
9 直流電源
13 移動機構
14 基板ホルダー
15 基板
17 スパッタリングガス導入ポート
18 反応性ガス導入ポート
19 反応性ガス導入ポート
Claims (13)
- 金属ターゲットと反応性ガスを含む混合ガスを用いて、反応性スパッタにより基板上にフッ化膜を形成する光学素子の製造方法であって、
前記混合ガスが、ハイドロフルオロオレフィンと酸素原子とを含むことを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記ハイドロフルオロオレフィンは、炭素数が2以上5以下のハイドロフルオロオレフィンであることを特徴とする請求項1に記載の光学素子の製造方法。
- 前記ハイドロフルオロオレフィンは、((E)−1,3,3,3−テトラフルオロプロパ−1−エン又は2,3,3,3−テトラフルオロ−1−プロペンであることを特徴とする請求項2に記載の光学素子の製造方法。
- 前記金属ターゲットがマグネシウム金属又はアルミニウム金属であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記混合ガスが、少なくとも酸素、二酸化炭素、一酸化炭素および水蒸気の中から選択されるいずれか1種を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記基板がガラス基板又はプラスチック基板で、
前記光学素子がレンズであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。 - 前記フッ化膜を形成する成膜速度が、0.01nm/s以上10.0nm/s以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記金属ターゲットに印加する電圧は、直流電圧または、直流電圧に500KHz以下の周波数の電圧を重畳する電圧であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記基板を前記金属ターゲットの表面に対する垂直方向に投影した投影部の外に配置して反応性スパッタを行うことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 金属ターゲットと反応性ガスを含む混合ガスを用いて、反応性スパッタにより基板上にフッ化膜を形成するフッ化膜の製造方法であって、
前記混合ガスが、ハイドロフルオロオレフィンと酸素原子とを含むことを特徴とするフッ化膜の製造方法。 - 前記ハイドロフルオロオレフィンは、((E)−1,3,3,3−テトラフルオロプロパ−1−エン又は2,3,3,3−テトラフルオロ−1−プロペンであることを特徴とする請求項10に記載のフッ化膜の製造方法。
- 前記金属ターゲットがマグネシウム金属又はアルミニウム金属であることを特徴とする請求項10または11のいずれか一項に記載のフッ化膜の製造方法。
- 前記混合ガスが、少なくとも酸素、二酸化炭素、一酸化炭素および水蒸気の中から選択されるいずれか1種を含むことを特徴とする請求項11乃至12のいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017122516A JP6953197B2 (ja) | 2017-06-22 | 2017-06-22 | フッ化膜を有する光学素子の製造方法およびフッ化膜の製造方法 |
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JP2019007041A JP2019007041A (ja) | 2019-01-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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