JP2020167291A - 基板処理方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、図1を参照して、本開示にかかる技術(以下、「本技術」という。)について説明する。図1は、静電チャックに印加する直流電圧(図1中の“ESC HV”)、静電チャックの温度(図1中の“ESC temp.”)及びウェハの温度(図1中の“Wafer temp.”)の経時変化を示す説明図である。また、図1には、ウェハ(図1中の“Wafer”)と静電チャック(図1中の“ESC”)の状態を示す模式的な説明図も示す。なお、図1において(a)は従来技術を示し、(b)は本技術を示している。
次に、本実施形態にかかるプラズマ処理装置の構成について説明する。図4は、プラズマ処理装置1の構成の概略を模式的に示す縦断面図である。なお、本実施形態ではプラズマ処理装置1として、RIE型のプラズマ処理装置を例に説明する。
次に、以上のように構成されたプラズマ処理装置1を用いて行われるプラズマ処理について説明する。本実施形態ではプラズマ処理として、例えばドライエッチング処理を行う。
以上の実施形態において、静電チャック22に印加する電圧を第1の電圧から第2の電圧に上昇させるタイミングは、静電チャック22とウェハWの温度差が20℃となる場合である。このタイミングは、ウェハWの温度を測定して設定してもよいが、制御装置100が自動設定してもよい。すなわち、制御装置100が、保持工程S3の時間を自動設定してもよい。
(1)基板を処理する方法であって、所定の温度に設定された静電チャック上に前記基板を載置する載置工程と、第1の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第1の吸着工程と、前記第1の直流電圧を前記静電チャックに印加しながら、前記静電チャックと前記基板の温度差が30℃以下となるまで、前記静電チャックによる前記基板の吸着を保持する保持工程と、前記第1の直流電圧より高い第2の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第2の吸着工程と、を有する、基板処理方法。
前記(1)によれば、基板の載置後に静電チャックに印加される電圧を2段階に上昇させて基板を吸着するので、基板の裏面と静電チャックの表面の擦れを抑制することができ、パーティクルを低減することができる。さらに前記(1)によれば、静電チャックの温度が所定の温度に維持されているので、基板処理のスループットを向上させることができる。
(3)前記第2の吸着工程の後において、前記基板の裏面に前記第1の圧力より高い第2の圧力にて伝熱ガスを供給する第2のガス供給工程をさらに有する、前記(2)に記載の基板処理方法。
前記(2)と前記(3)によれば、静電チャックに印加する電圧に応じて、伝熱ガスの圧力を調節するので、静電チャックによる基板の吸着を適切に維持しつつ、伝熱ガスを最大限に供給することができる。その結果、基板を効率よく温度調節することができ、基板処理のスループットをさらに向上させることができる。
(5)前記第2の直流電圧は2500V以上の電圧である、前記(1)〜前記(4)のいずれかに記載の基板処理方法。
(6)前記所定の温度は、前記基板を処理する目標温度である、前記(1)〜前記(5)のいずれかに記載の基板処理方法。
(7)前記所定の温度は60℃以上である、前記(6)に記載の基板処理方法。
前記(8)によれば、第2の吸着工程で静電チャック上に基板が適切に吸着された状態で、処理工程が行われるので、当該基板に対してプラズマ処理を適切に行うことができる。
前記(11)によれば、制御部は、相関関係に基づいて保持工程の時間を自動で設定することができるので、煩雑な制御を行うことなく、上記静電チャックによる基板の2段階吸着(第1の吸着工程と第2の吸着工程)を行うことができる。
22 静電チャック
100 制御装置
W ウェハ
Claims (11)
- 基板を処理する方法であって、
所定の温度に設定された静電チャック上に前記基板を載置する載置工程と、
第1の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第1の吸着工程と、
前記第1の直流電圧を前記静電チャックに印加しながら、前記静電チャックと前記基板の温度差が30℃以下となるまで、前記静電チャックによる前記基板の吸着を保持する保持工程と、
前記第1の直流電圧より高い第2の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第2の吸着工程と、を有する、基板処理方法。 - 前記第1の吸着工程と前記保持工程の間において、前記基板の裏面に第1の圧力にて伝熱ガスを供給する第1のガス供給工程をさらに有する、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記第2の吸着工程の後において、前記基板の裏面に前記第1の圧力より高い第2の圧力にて伝熱ガスを供給する第2のガス供給工程をさらに有する、請求項2に記載の基板処理方法。
- 前記第1の直流電圧は1500V以下の電圧である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記第2の直流電圧は2500V以上の電圧である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記所定の温度は、前記基板を処理する目標温度である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記所定の温度は60℃以上である、請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記第2の吸着工程の後において、前記基板の上方に処理ガスを供給し、前記処理ガスによりプラズマを生成してプラズマ処理を行う処理工程をさらに有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記載置工程の前において、前記保持工程の時間を設定する設定工程をさらに有し、
前記設定工程では、予め導出された、前記静電チャックの温度と前記保持工程の時間の相関関係に基づいて、前記基板を処理する際の前記静電チャックの温度から、前記保持工程の時間を設定する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板を載置する静電チャックと、
前記静電チャックを制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
所定の温度に設定された静電チャック上に前記基板を載置する載置工程と、
第1の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第1の吸着工程と、
前記第1の直流電圧を前記静電チャックに印加しながら、前記静電チャックと前記基板の温度差が30℃以下となるまで、前記静電チャックによる前記基板の吸着を保持する保持工程と、
前記第1の直流電圧より高い第2の直流電圧を前記静電チャックに印加し、当該静電チャック上に前記基板を吸着する第2の吸着工程と、を実行するように前記静電チャックを制御する、基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記静電チャックの温度と前記保持工程の時間の相関関係を予め導出しておき、
前記相関関係に基づいて、前記基板を処理する際の前記静電チャックの温度から、前記保持工程の時間を設定する、請求項10に記載の基板処理装置。
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