JP5953012B2 - 基板保持装置 - Google Patents
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- 処理すべき基板を保持する基板保持装置において、
冷却手段を有する基台と、当該基台から基板に向かう方向を上として、基台の上面に固定される、シリコン酸化物で構成される絶縁性プレートと、
この絶縁性プレートの上面に設置され、正負の電極と加熱手段とを有する、窒化アルミニウムで構成されるチャック本体であって、全体が誘電体材料で構成されてその上面に基板が載置されるものと、を備え、
基台上面と絶縁性プレートの下面との間に、これら基台及びプレートに直接密着して熱抵抗を低下させる所定厚さのシリコーンゴムからなるシート部材を介在させたことを特徴とする基板保持装置。 - 前記シート部材は、0.1〜3.5mmの範囲の厚さを有し、前記絶縁性プレートは、6mm〜12mmの厚さを有することを特徴とする請求項1記載の基板保持装置。
- 前記基台と、前記シート部材と、前記絶縁性プレートとが、締結手段で着脱自在に固定されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板保持装置。
- 前記締結手段はボルトであり、その締め付けトルクを140〜280N・cmに設定されることを特徴とする請求項3記載の基板保持装置。
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