JP2020165773A5 - - Google Patents

Description

多層配線基板４３２は、例えばポリイミド等の合成樹脂部材で形成された複数の多層基板で形成されており、複数の多層基板の間に配線路（図示しない）が形成されたものである。多層配線基板４３２の配線路の一端は、セラミック基板である基板部材４３１側の導電路の他端と接続しており、多層配線基板４３２の他端は、多層配線基板４３２の下面に設けられた接続端子に接続されている。多層配線基板４３２の下面に設けられた接続端子は、複数の電気的接触子３と電気的に接続しており、プローブ基板４３の複数の電気的接触子３は、電気的接続ユニット４２を介して、配線基板４１の対応する接続端子と電気的に接続している。

さらに、電気的接触子３は、荷重部位と通電部位との機能を分別して形成することができるので、低針圧化を図るために、荷重部位として機能する基部１０の断面積を小さくしたり、電流最大化を図るために、通電部位として機能する接触部２０の断面積を大きくしたりすることができる。特に、電流最大化を図るために、例えば、図１に例示する接触部２０のＸ軸方向（図１中の左右方向）の長さを大きくして幅広にしたり、板状の接触部２０の厚さを増大したりしてもよい。これにより、検査時に、電気的接触子３に大電流を流すことが可能となる。なお、被検査体２の電極端子５１間の狭ピッチ化に対応するため、電気的接触子３の板厚（若しくは接触部２０の板厚）の増大には制限が生じ得るが、その場合でも接触部２０の幅広化は有効となる。

Claims (10)

1. 第１の接触対象と第２の接触対象とに対して電気的に接触する、導電性材料で形成された接触部と、
   基板に取り付けられると共に、前記接触部を弾性的に支持する、合成樹脂材料で形成された基部と
   を有することを特徴とする電気的接触子。
2. 前記基部が、前記接触部の姿勢を長手方向に対して垂直方向に支持するものであり、
   前記接触部が、前記第１の接触対象と電気的に接触する第１端部と、前記第２の接触対象と電気的に接触する第２端部とを有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
3. 前記基部が、
   取付部と、
   前記取付部に連なって長手方向に伸びるアーム部と、
   前記アーム部の先端側に設けられ、前記接触部を支持する支持部と
   を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接触子。
4. 前記支持部が、前記長手方向に幅広に形成されており、
   前記長手方向に幅広に形成された前記支持部の一方の面側に設けられた１又は複数の固定部を介して前記接触部を支持する
   ことを特徴とする請求項３に記載の電気的接触子。
5. 前記支持部が複数の前記固定部を有する場合、前記複数の固定部が、前記支持部の一方の面において、前記長手方向に対して垂直方向に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の電気的接触子。
6. 前記基部の前記支持部が、前記第１の接触対象に接触する前記接触部の位置ずれを補正するスクラブ補正部を有することを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の電気的接触子。
7. 前記支持部の前記スクラブ補正部が、前記長手方向に対して垂直方向に湾曲して伸びたアーム部材であることを特徴とする請求項６に記載の電気的接触子。
8. 検査装置と被検査体の電極端子との間を電気的に接続するプローブカードにおいて、
   前記検査装置と電気的に接続する配線回路を有し、一方の面に、前記配線回路と接続する複数の基板電極を有するプローブ基板と、
   請求項１～請求項７のいずれかに記載の複数の電気的接触子と
   を有することを特徴とするプローブカード。
9. 前記プローブ基板の前記一方の面における非電極領域に、前記各電気的接触子が接合され、
   前記プローブ基板の前記一方の面において、前記被検査体の前記電極端子の位置に対向する位置に、前記各基板電極が配置され、
   前記プローブ基板の前記一方の面に接合された前記各電気的接触子の前記接触部が、対応する前記基板電極と前記被検査体の前記電極端子とに対して電気的に接触する
   ことを特徴とする請求項８に記載のプローブカード。
10. 前記基板電極と前記被検査体の前記電極端子との間の通電経路が、前記電気的接触子のうち通電部を経由するものであることを特徴とする請求項８又は９に記載のプローブカード。