KR102409029B1 - 프로브 핀 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 핀에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀은, 피검사체에 구비된 단자에 전기적으로 연결되는 프로브 팁(Probe tip); 및 일단은 프로브 팁이 돌출되도록 결합되며, 타단은 피검사체를 검사하기 위한 테스트 신호를 프로브 팁에 인가하는 회로 기판에 전기적으로 연결되는 프로브 몸체를 포함하며, 프로브 팁은, 취성(脆性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제1 프로브 팁과, 연성(延性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀에 따르면, 피검사체의 상태를 검사하기 위한 프로브 핀의 일단에 구비되어 피검사체에 구비된 단자에 직접 접촉하는 프로브 팁을 취성 재질의 제1 프로브 팁과 연성 재질의 제2 프로브 팁을 적층하여 형성함으로써, 프로브 팁의 변형을 최소화하여 프로브 팁의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

프로브 핀{Probe pin}
본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브 팁의 변형을 최소화하여 프로브 팁의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 프로브 핀에 관한 것이다.
일반적으로 프로브 검사 장치는 액정 디스플레이 패널(Liquid crystal display panel, LCD 패널) 등 평판 디스플레이 패널(Flat panel display), 반도체 칩 등 다양한 제품을 검사하기 위한 장치이다.
이러한 프로브 검사 장치는 디스플레이 패널, 반도체 칩 등 피검사체에 구비된 복수의 단자에 전기적으로 연결되며 외부의 테스터로부터 전송 받은 테스트 신호를 인가하여 피검사체의 결함 유무를 확인하기 위한 프로브 핀(Probe pin)을 포함한다.
최근에 들어 피검사체에 구비된 복수의 단자 각각의 크기 및 복수의 단자 사이의 간격(피치)도 작아짐에 따라 최소 피치의 구현이 요구되므로, 프로브 핀은 두께를 최소화하기 위해 전체적으로 얇은 판상 형태로 제작된다.
예를 들어, 국내 공개특허공보 제10-2008-0113952호(프로브 핀)(2008년 12월 31일 공개) 등에는 얇은 판상 형태로 형성된 프로브 핀의 구조가 개시되어 있다.
그러나, 종래의 프로브 핀은 프로브 핀 자체의 두께를 얇게 제작되므로 프로브 핀의 내구성 및 전기적 특성이 저하된다는 문제점이 있었다. 즉, 종래의 프로브 핀은 피검사체의 단자에 접촉하기 위해 돌출된 일단이 변형 또는 파손되어 프로브 핀의 내구성이 현저히 저하될 뿐 아니라, 이로 인해 프로브 팁의 전기적 특성이 저하되므로 피검사체에 대한 검사 공정이 정확하게 수행될 수 없다는 문제점이 있었다.
따라서, 프로브 팁의 변형을 최소화하여 프로브 팁의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 프로브 핀이 요구된다.
국내 공개특허공보 제10-2008-0113952호(프로브 핀)(2008년 12월 31일 공개)
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 피검사체의 상태를 검사하기 위한 프로브 핀의 일단에 구비되어 피검사체에 구비된 단자에 직접 접촉하는 프로브 팁을 취성 재질의 제1 프로브 팁과 연성 재질의 제2 프로브 팁을 적층하여 형성함으로써, 프로브 팁의 변형을 최소화하여 프로브 팁의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 프로브 핀을 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀은, 피검사체에 구비된 단자에 전기적으로 연결되는 프로브 팁(Probe tip); 및 일단은 상기 프로브 팁이 돌출되도록 결합되며, 타단은 상기 피검사체를 검사하기 위한 테스트 신호를 상기 프로브 팁에 인가하는 회로 기판에 전기적으로 연결되는 프로브 몸체를 포함하며, 상기 프로브 팁은, 취성(脆性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제1 프로브 팁과, 연성(延性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 적어도 하나의 제1 프로브 팁은 로듐(Rh) 재질로 이루어지고, 상기 적어도 하나의 제2 프로브 팁은 니켈-코발트(Ni-Co) 합금 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
일 예로, 상기 프로브 팁은, 취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁과, 연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
다른 예로, 상기 프로브 팁은, 취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁과, 상기 제1 프로브 팁의 양면에 연성 재질로 이루어진 한 쌍의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
또 다른 예로, 상기 프로브 팁은, 연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁과, 상기 제2 프로브 팁의 양면에 취성 재질로 이루어진 한 쌍의 제1 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
일 예로, 상기 프로브 몸체는, 일면에 상기 프로브 팁이 지지되는 제1 프로브 몸체; 및 상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁을 감싸도록 상기 제1 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
다른 예로, 상기 프로브 몸체는, 일면에 상기 프로브 팁의 일면이 지지되는 제1 프로브 몸체; 상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁의 측면을 감싸도록 상기 제1 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체; 및 상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁의 타면을 감싸도록 상기 제2 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제3 프로브 몸체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 프로브 몸체는, 상기 프로브 팁이 결합된 일단에 상기 프로브 팁으로부터 경사지게 경사부가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로브 몸체는, 상기 프로브 팁이 결합된 일단과 상기 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀에 따르면, 피검사체의 상태를 검사하기 위한 프로브 핀의 일단에 구비되어 피검사체에 구비된 단자에 직접 접촉하는 프로브 팁을 취성 재질의 제1 프로브 팁과 연성 재질의 제2 프로브 팁을 적층하여 형성함으로써, 프로브 팁의 변형을 최소화하여 프로브 팁의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀에 따르면, 일단에 프로브 팁이 돌출되도록 결합되는 프로브 몸체가 프로브 팁을 지지한 상태에서 프로브 팁을 감싸도록 결합되는 분리형 구조로 구현함으로써, 프로브 팁을 보다 안정적으로 지지할 수 있을 뿐 아니라, 프로브 핀의 제조 공정에 필요한 비용 및 시간을 절감시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀에 따르면, 프로브 몸체가 프로브 핀이 결합된 프로브 몸체의 일단에 경사부가 형성됨으로써, 빛의 반사에 의한 영향을 최소화화여 피검사체에 대한 검사 공정을 보다 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀에 따르면, 프로브 몸체가 프로브 팁이 결합된 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부가 형성됨으로써, 프로브 몸체 전체에 대해 탄성력을 부여할 수 있으므로 프로브 핀의 손상을 방지하고 내구성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 팁의 다양한 예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 몸체의 일 예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 몸체의 다른 예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 제조하는 과정을 나타내는 순서도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
또한, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 의하여 프로브 핀을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은 프로브 팁(110)과 프로브 몸체(120)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 프로브 핀(100)은 피검사체(도시되지 않음)의 상태를 검사하기 위해 회로 기판(도시되지 않음)을 통해 외부의 테스터(도시되지 않음)로부터 전송 받은 테스트 신호를 디스플레이 패널, 반도체 칩 등 피검사체에 전송하고, 다시 피검사체로부터 출력되는 신호를 전송 받아 회로 기판을 통해 테스터로 전송할 수 있다.
프로브 팁(Probe tip)(110)은 피검사체에 구비된 단자(도시되지 않음)에 전기적으로 연결될 수 있다. 바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)을 구성하는 프로브 팁(110)은 취성(脆性) 재질로 이루어진 제1 프로브 팁(도 1의 예에서, 111)과, 연성(延性) 재질로 이루어진 제2 프로브 팁(도 1의 예에서, 112)으로 구성될 수 있다.
여기서, 취성(脆性)은 재료가 외력에 의하여 영구 변형을 하지 않고 파괴되거나 극히 일부만 영구 변형을 하고 파괴되는 성질을 의미하고, 연성(延性)은 재료가 외력에 의해 소성 변형을 일으켜 선 모양으로 늘어지는 성질을 의미한다.
바람직하게는, 취성 재질의 제1 프로브 팁(111)은 로듐(Rh) 재질로 이루어질 수 있다. 이 때, 제1 프로브 팁(111)은 인장 강도가 대략 2,000 MPa이고, 경도(비커스 경도)가 대략 800 내지 1,000 HV이며, 항복 강도가 대략 1,800 MPa이고, 탄성 계수가 대략 120 GPa인 로듐(Rh) 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 연성 재질의 제2 프로브 팁(112)은 니켈-코발트(Ni-Co) 합금 재질로 이루어질 수 있다. 이 때, 제2 프로브 팁(112)은 인장 강도가 대략 1,000 내지 1,200 MPa이고, 경도(비커스 경도)가 대략 620 HV이며, 항복 강도가 대략 900 MPa이고, 탄성 계수가 대략 180 GPa인 니켈-코발트(Ni-Co) 합금 재질로 이루어질 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)을 구성하는 프로브 팁(110)은 취성 재질로 이루어진 적어도 하나의 제1 프로브 팁(도 1의 예에서, 111)과, 연성 재질로 이루어진 적어도 하나의 제2 프로브 팁(도 1의 예에서, 112)이 적층되어 형성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 팁의 다양한 예를 나타내는 분해 사시도이다.
일 예로, 도 1 및 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 프로브 팁(110)은 취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁(111)과, 연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁(112)이 적층되어 형성될 수 있다. 즉, 프로브 팁(110)은 1 개의 제1 프로브 팁(111)과 1 개의 제2 프로브 팁(112)이 적층된 2중 구조를 가질 수 있다.
도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 팁(111)과 제2 프로브 팁(112)은 대략 얇은 판상 형태를 가지고, 서로 적층될 때에 완전히 겹쳐질 수 있도록 동일한 단면 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 프로브 팁(111)과 제2 프로브 팁(112)은 단자에 접촉하는 일단이 라운드 형상을 가질 수 있다.
도 1 및 도 2의 (a)에서는 제1 프로브 팁(111)이 하부에 배치된 상태에서 제2 프로브 팁(112)이 제1 프로브 팁(111)의 상부에 적층되는 예를 도시하고 있으나, 이와 반대로, 제2 프로브 팁(112)이 하부에 배치된 상태에서 제1 프로브 팁(111)이 제2 프로브 팁(112)의 상부에 적층될 수도 있다. 또한, 도 1 및 도 2의 (a)에서는 제1 프로브 팁(111)과 제2 프로브 팁(112)이 서로 동일한 두께를 가지도록 형성된 예를 도시하고 있으나, 필요에 따라, 서로 다른 두께를 가지도록 형성될 수도 있다.
한편, 후술하겠지만, 제1 프로브 팁(111)과 제2 프로브 팁(112)은 서로 적층된 상태에서 프로브 몸체(120)의 일단에 형성된 수용 공간(도 3의 예에서, 122c)에 삽입 결합된 후, 프로브 몸체(120)의 일단으로부터 이탈하는 현상을 방지하기 위해 프로브 몸체(120)의 일단에 형성된 수용 공간(122c)의 내부에 돌출 형성된 걸림 돌기(도 3의 예에서, 122d)에 끼워지는 걸림 홈(도 1의 110a, 도 2의 111a, 112a)이 각각 형성될 수 있다.
다른 예로, 도 2의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이, 프로브 팁(110)은 취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁(111)과, 제1 프로브 팁(111)의 양면에 연성 재질로 이루어진 한 쌍의 제2 프로브 팁(112)이 적층되어 형성될 수 있다. 즉, 프로브 팁(110)은 중앙에 배치된 1 개의 제1 프로브 팁(111)의 양면에 한 쌍의 제2 프로브 팁(112)이 적층된 3중 구조를 가질 수 있다.
도 2의 (b)에서는 중앙에 배치된 제1 프로브 팁(111)과 양측에 적층된 한 쌍의 제2 프로브 팁(112)이 서로 동일한 두께를 가지도록 형성된 예를 도시하고 있고, 도 2의 (c)에서는 중앙에 배치된 제1 프로브 팁(111)과 한 쌍의 제2 프로브 팁(112)이 서로 다른 두께를 가지도록 형성된 예를 도시하고 있다. 특히, 중앙에 배치된 제1 프로브 팁(111)과 한 쌍의 제2 프로브 팁(112)이 서로 다른 두께를 가지는 경우, 제1 프로브 팁(111)이 한 쌍의 제2 프로브 팁(112) 각각보다 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.
또 다른 예로, 비록 도시되지는 않았으나, 도 2의 (b) 및 (c)와 마찬가지로, 프로브 팁(110)은 연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁(112)과, 제2 프로브 팁(112)의 양면에 취성 재질로 이루어진 한 쌍의 제1 프로브 팁(111)이 적층되어 형성될 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은 피검사체의 상태를 검사하기 위한 프로브 핀(100)의 일단에 구비되어 피검사체에 구비된 단자에 직접 접촉하는 프로브 팁(110)을 취성 재질의 제1 프로브 팁(111)과 연성 재질의 제2 프로브 팁(112)을 적층하여 형성함으로써, 동일한 재질로 구성된 종래의 프로브 팁(110)에 비해 프로브 팁(110)의 변형을 최소화하여 프로브 팁(110)의 내구성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 프로브 팁(110)의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 프로브 몸체(120)는 일단이 프로브 팁(110)이 돌출되도록 결합되고 타단이 피검사체를 검사하기 위한 테스트 신호를 프로브 팁(110)에 인가하는 회로 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 몸체(120)는 프로브 팁(110)의 일단이 노출된 상태에서 프로브 팁(110)을 감싸도록 결합되는 분리형 구조를 가질 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 몸체의 일 예를 나타내는 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 구성하는 프로브 몸체의 다른 예를 나타내는 분해 사시도이다.
일 예로, 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브 몸체(120)는 일면(도 3의 예에서, 상부면)에 프로브 팁(110)이 지지되는 제1 프로브 몸체(121)와, 프로브 팁(110)이 돌출된 상태에서 프로브 팁(110)을 감싸도록 제1 프로브 몸체(121)의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체(122)로 구성될 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 프로브 몸체(120)는 제1 프로브 몸체(121)와 제2 프로브 몸체(122)가 결합된 2중 구조를 가질 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 몸체(121)는 대략 얇은 판상 형태를 가지며, 일단에 프로브 팁(110)이 안착된 상태로 지지되고, 타단은 회로 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 후술하겠지만, 제1 프로브 몸체(121)는 프로브 팁(110)이 안착되는 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(121a)가 형성되고, 프로브 팁(110)이 결합된 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부(121b)가 형성될 수 있다.
도 3에서는 제1 프로브 몸체(121)가 길게 형성되고, 일단과 양단이 서로 다른 방향으로 꺾인 형태로 형성된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않는다.
또한, 제2 프로브 몸체(122)는 제1 프로브 몸체(121)의 일면에 결합될 때에 완전히 겹쳐질 수 있도록 동일한 단면 형상을 가질 수 있다. 후술하겠지만, 제2 프로브 몸체(122)는 프로브 팁(110)이 결합되는 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(122a)가 형성되고, 프로브 팁(110)이 결합된 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부(122b)가 형성될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제2 프로브 몸체(122)는 일단에 프로브 팁(110)의 타단이 수용되도록 수용 공간(122c)이 형성될 수 있다. 또한, 제2 프로브 몸체(122)는 수용 공간(122c)의 내부에 프로브 팁(110)의 걸림 홈에 대응하는 걸림 돌기(122d)가 돌출 형성될 수 있다. 따라서, 제2 프로브 몸체(122)는 프로브 팁(110)이 돌출되도록 프로브 팁(110)이 수용된 상태에서 프로브 팁(110)이 수용 공간으로부터 이탈되는 현상을 방지할 수 있다.
다른 예로, 도 4에 도시된 바와 같이, 프로브 몸체(120)는 일면(도 4의 예에서, 상부면)에 프로브 팁(110)의 일면이 지지되는 제1 프로브 몸체(121)와, 프로브 팁(110)이 돌출된 상태에서 프로브 팁(110)의 측면을 감싸도록 제1 프로브 몸체(121)의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체(122)와, 프로브 팁(110)이 돌출된 상태에서 프로브 팁(110)의 타면을 감싸도록 제2 프로브 몸체(122)의 일면에 결합되는 제3 프로브 몸체(123)로 구성될 수 있다. 즉, 도 4에 도시된 프로브 몸체(120)는 제1 프로브 몸체(121), 제2 프로브 몸체(122) 및 제3 프로브 몸체(123)가 결합된 2중 구조를 가질 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 몸체(121)와 제3 프로브 몸체(123)는 대략 얇은 판상 형태를 가지고, 제1 프로브 몸체(121)와 제3 프로브 몸체(123)의 사이에 결합되는 제2 프로브 몸체(122)는 일단에 프로브 팁(110)의 타단이 수용되도록 수용 공간(122c)이 형성되고, 수용 공간(122c)의 내부에 프로브 팁(110)의 걸림 홈에 대응하는 걸림 돌기(122d)가 돌출 형성될 수 있다. 이 때, 제2 프로브 몸체(122)의 두께는 프로브 팁(110)의 두께와 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 몸체(121), 제2 프로브 몸체(122) 및 제3 프로브 몸체(123)는 서로 결합될 때에 완전히 겹쳐질 수 있도록 동일한 단면 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 프로브 몸체(121), 제2 프로브 몸체(122) 및 제3 프로브 몸체(123) 각각은, 프로브 팁(110)과 인접한 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(121a, 122a, 123a)가 형성되고, 프로브 핀(100)과 인접한 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부(121b, 122b, 123b)가 형성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은, 일단에 프로브 팁(110)이 돌출되도록 결합되는 프로브 몸체(120)가 프로브 팁(110)을 지지한 상태에서 프로브 팁(110)을 감싸도록 결합되는 분리형 구조로 구현함으로써, 프로브 팁(110)을 보다 안정적으로 지지할 수 있을 뿐 아니라, 프로브 핀(100)의 제조 공정에 필요한 비용 및 시간을 절감시킬 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 몸체(120)는 프로브 팁(110)이 결합된 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(120a)가 형성될 수 있다.
즉, 상술한 바와 같이, 도 3의 예에서, 2중 구조의 프로브 몸체(120)를 구성하는 제1 프로브 몸체(121) 및 제2 프로브 몸체(122) 각각은 프로브 팁(110)과 인접한 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(121a, 122a)가 형성될 수 있다. 마찬가지로, 도 4의 예에서, 3중 구조의 프로브 몸체(120)를 구성하는 제1 프로브 몸체(121), 제2 프로브 몸체(122) 및 제3 프로브 몸체(123) 각각은 프로브 팁(110)과 인접한 일단에 프로브 팁(110)으로부터 경사지게 경사부(121a, 122a, 123a)가 형성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은, 프로브 몸체(120)가 프로브 핀(100)이 결합된 프로브 몸체(120)의 일단에 경사부가 형성됨으로써, 외부 조명 등으로부터 입사되는 빛의 반사에 의한 영향을 최소화화여 피검사체에 대한 검사 공정을 보다 정확하게 수행할 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 몸체(120)는 프로브 팁(110)이 결합된 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부가 형성될 수 있다.
즉, 상술한 바와 같이, 도 3의 예에서, 2중 구조의 프로브 몸체(120)를 구성하는 제1 프로브 몸체(121) 및 제2 프로브 몸체(122) 각각은 프로브 팁(110)과 인접한 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부(121b, 122b)가 형성될 수 있다. 마찬가지로, 도 4의 예에서, 3중 구조의 프로브 몸체(120)를 구성하는 제1 프로브 몸체(121), 제2 프로브 몸체(122) 및 제3 프로브 몸체(123) 각각은 프로브 팁(110)과 인접한 과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부(121b, 122b, 123b)가 형성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은, 프로브 몸체(120)가 프로브 팁(110)이 결합된 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부가 형성됨으로써, 프로브 몸체(120) 전체에 대해 탄성력을 부여할 수 있으므로 프로브 프로브 핀(100)의 손상을 방지하고 내구성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 1, 도 3 및 도 4에서는 프로브 팁(110)과 인접한 일단과 회로 기판에 연결된 타단 사이에 장공 형상의 개구부가 길게 형성된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지는 않는다.
이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)의 제조 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 제조하는 과정을 나타내는 순서도이고, 도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀을 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
설명의 편의상, 도 5 내지 도 8에서는 도 1에 도시된 2중 구조의 프로브 팁(110)과 2 중 구조의 프로브 몸체(120)로 구성된 프로브 핀(100)의 제조 과정을 예로 들어 설명하기로 한다.
먼저, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 작업자는 미리 제작된 제1 프로브 몸체(121)를 배치할 수 있다(S110).
이 때, 프로브 핀(100)을 구성하는 제1 프로브 핀(100)과 제2 프로브 핀(100)을 적층하는 과정에서 얇은 판상 형태의 제1 프로브 핀(100) 및 제2 프로브 핀(100)이 변형되는 것을 방지하기 위해, 제1 프로브 몸체(121)는 일단에 제1 프로브 핀(100) 및 제2 프로브 핀(100) 각각의 돌출된 일단을 지지하는 지지 부재(10)가 배치될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 지지 부재(10)는 제1 프로브 몸체(121)와 실질적으로 동일한 두께를 가지고, 제1 프로브 몸체(121)의 일단 형상에 대응하는 결합 홈(11)이 형성될 수 있다 따라서, 지지 부재(10)는 결합 홈(11)이 제1 프로브 몸체(121)의 일단에 끼움 결합되며, 이로 인해 제1 프로브 핀(100) 및 제2 프로브 핀(100) 각각의 돌출된 일단을 안정적으로 지지할 수 있다.
또한, 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 몸체(121)를 배치한 후(S110), 작업자는 제1 프로브 몸체(121)의 일면(도 7의 예에서, 상부면)에 제1 프로브 팁(111) 및 제2 프로브 팁(112)을 순차적으로 적층할 수 있다(S120). 상술한 바와 같이, 제1 프로브 팁(111) 및 제2 프로브 팁(112)은 지지 부재(10)에 의해 안정적으로 지지되어 변형이 최소화될 수 있다.
마지막으로, 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 프로브 몸체(121)의 일면에 제1 프로브 팁(111) 및 제2 프로브 팁(112)을 순차적으로 적층한 후(S120), 프로브 팁(110)을 감싸도록 제1 프로브 몸체(121)의 일면에 제2 프로브 몸체(122)를 결합할 수 있다(S130). 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 팁(110)은 제1 프로브 몸체(121)의 일면과 제2 프로브 몸체(122)의 일단에 형성된 수용 공간에 의해 안정적으로 결합되고 지지될 수 있다. 한편, 제1 프로브 몸체(121)와 제2 프로브 몸체(122)의 결합에 의해 프로브 핀(100)의 제조가 완료된 후, 지지 부재(10)는 제1 프로브 몸체(121)의 일단으로부터 분리되어 제거될 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 프로브 핀
110: 프로브 팁 111: 제1 프로브 팁
112: 제2 프로브 팁 120: 프로브 몸체
121: 제1 프로브 몸체 122: 제2 프로브 몸체
123: 제3 프로브 몸체

Claims (9)

  1. 피검사체에 구비된 단자에 전기적으로 연결되는 프로브 팁(Probe tip); 및
    일단은 상기 프로브 팁이 돌출되도록 결합되며, 타단은 상기 피검사체를 검사하기 위한 테스트 신호를 상기 프로브 팁에 인가하는 회로 기판에 전기적으로 연결되는 프로브 몸체를 포함하며,
    상기 프로브 팁은,
    취성(脆性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제1 프로브 팁과, 연성(延性) 재질로 이루어진 적어도 하나의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1 프로브 팁은 로듐(Rh) 재질로 이루어지고, 상기 적어도 하나의 제2 프로브 팁은 니켈-코발트(Ni-Co) 합금 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 팁은,
    취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁과, 연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 팁은,
    취성 재질로 이루어진 1 개의 제1 프로브 팁과, 상기 제1 프로브 팁의 양면에 연성 재질로 이루어진 한 쌍의 제2 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 팁은,
    연성 재질로 이루어진 1 개의 제2 프로브 팁과, 상기 제2 프로브 팁의 양면에 취성 재질로 이루어진 한 쌍의 제1 프로브 팁이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 몸체는,
    일면에 상기 프로브 팁이 지지되는 제1 프로브 몸체; 및
    상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁을 감싸도록 상기 제1 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 몸체는,
    일면에 상기 프로브 팁의 일면이 지지되는 제1 프로브 몸체;
    상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁의 측면을 감싸도록 상기 제1 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제2 프로브 몸체; 및
    상기 프로브 팁이 돌출된 상태에서 상기 프로브 팁의 타면을 감싸도록 상기 제2 프로브 몸체의 일면에 결합되는 제3 프로브 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 몸체는,
    상기 프로브 팁이 결합된 일단에 상기 프로브 팁으로부터 경사지게 경사부가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 몸체는,
    상기 프로브 팁이 결합된 일단과 상기 회로 기판에 연결된 타단 사이에 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
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