JP2020163436A - 製品搬出装置及び製品搬出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高低差のあるスキッドによって傾いて支持されている製品の取り出し作業の効率が向上する製品搬出装置を提供する。【解決手段】製品搬出装置(52)は、板状のワーク(W)から切り出されスキッド(31a)により支持された製品(WP)を吸着する複数の吸着パッド部(5c)と複数の吸着パッド部(5c)を有し昇降する基部(2)と複数の吸着パッド部(5c)のうち対象とする少なくとも１つの吸着パッド部(52t)が製品(WP)を吸着しているか否かを検出するセンサ(52s)と基部(2)の昇降を制御する制御装置(54)とを備える。制御装置(54)は、スキッド（31a）により支持された製品(WP)を、吸着パッド部(5c)の第1の高さ位置(LNa)で吸着して上昇させ、センサ(52s)の検出結果に基づいて製品(WP)を吸着していない、対象とする吸着パッド部(52t)があると判定したら吸着パッド部(5c)を第1の高さ位置(LNa)よりも低い第2の高さ位置（LNb）まで下降させる。【選択図】図７

Description

本発明は、レーザ加工によってワークから切り出した製品をワーク残材であるスケルトンから分離して取り出し搬出する製品搬出装置及び製品搬出方法に関する。

特許文献１には、レーザ加工によってワークから切り出した製品を吸着パッドで吸着し、ワーク残材であるスケルトンから分離して取り出し搬送することが記載されている。
特許文献２には、レーザ加工において、製品を支持する複数のスキッドの一部がレーザ光の熱で溶けるなどしてスキッドに高低差が生じ、支持する製品に傾きが生じることが記載されている。

特開平５−９７２７２号公報 特開２０１１−０１８２０５号公報

高低差が生じているスキッドによって傾いて支持されている製品を、複数の吸着パッドで吸着して取り出そうとした場合、製品の低くなっている部位に対応した吸着パッドが製品を吸着できなくなることが多く、取り出し作業の効率が低下する。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、高低差のあるスキッドによって傾いて支持されている製品の取り出し作業の効率が向上する製品搬出装置及び製品搬出方法を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明は次の構成、手順を有する。
１） 板状のワークから切り出されスキッドにより支持された製品を吸着する複数の吸着パッド部と、
前記複数の吸着パッド部を有し昇降する基部と、
前記複数の吸着パッド部のうち対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
前記基部の昇降動作及び前記吸着パッド部の吸着動作を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記スキッドにより支持された前記製品を、前記吸着パッド部の第１の高さ位置で吸着して上昇させ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させることを特徴とする製品搬出装置である。
２） 前記制御装置は、前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置に下降させ、再び前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記吸着パッド部を、前記第１の高さ位置よりも上方に上昇させた後、再び第２の高さ位置に下降させることを特徴とする１）に記載の製品搬出装置である。
３） 前記制御装置は、前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降中に前記センサの検出結果に基づいて、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部がないと判定したら、前記吸着パッド部を上昇させて前記製品を搬出することを特徴とする１）又は２）に記載の製品搬出装置である。
４） 板状の一つのワークから切り出されスキッドにより支持された複数の製品の一つを吸着する複数の吸着パッド部と、
前記複数の吸着パッド部を有し昇降する基部と、
前記複数の吸着パッド部のうち対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
前記基部の昇降動作及び前記吸着パッド部の吸着動作を制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記スキッドにより支持された前記複数の製品のうちの第１の製品に対し、前記吸着パッド部の第１の高さ位置で吸着して上昇させた後、前記センサの検出結果に基づいて前記第１の製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する吸着判定動作を実行し、前記第１の製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記第１の製品の吸着を停止してＮＧ製品として吸着から開放すると共に、前記複数の製品のうち吸着判定動作を未実行の製品が有る場合には前記未実行の製品のうちの一つに対し前記吸着判定動作を実行し、無い場合には前記ＮＧ製品に対しリトライ動作を実行することを特徴とする製品搬出装置である。
５） 前記リトライ動作は、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着し、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする４）に記載の製品搬出装置である。
６） 前記リトライ動作は、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かの判定で、あると判定した場合に、前記一のＮＧ製品に対し前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置よりも低い第３の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする５）に記載の製品搬出装置である。
７） 前記リトライ動作は、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を、前記一のＮＧ製品を吸着しながら前記第１の高さ位置よりも低い予め設定された下限位置まで下降させる過程で前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする４）に記載の製品搬出装置である。
８） 複数の前記吸着パッド部のうちの少なくとも一つが前記センサを備えた検出対象吸着パッド部であることを特徴とする１）〜７）のいずれか一つに記載の製品搬出装置である。
９） 板状のワークから切り出してスキッドによって支持した製品を、複数の吸着パッド部によって第１の高さ位置で吸着して上昇させ、
前記複数の吸着パッド部のうち少なくとも１つの吸着パッド部を対象とし、対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があるか否かを判定し、
前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、上昇させた前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも下方の第２の高さ位置へ下降させる
ことを特徴とする製品搬出方法である。
１０） 前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降した後、前記センサによって前記対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを再び検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、
前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも上方に上昇させた後、再び前記第２の高さ位置に下降させることを特徴とする９）に記載の製品搬出方法である。
１１） 前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降中に、前記センサによって前記対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部がないと判定した場合、前記吸着パッド部を上昇させて前記製品を搬出することを特徴とする９）又は１０）記載の製品搬出方法である。
１２） 板状の一つのワークから切り出してスキッドによって支持した複数の製品のうちの第１の製品を、複数の吸着パッド部によって第１の高さ位置で吸着して上昇させ、
前記複数の吸着パッド部のうち少なくとも１つの吸着パッド部を対象とし、対象とした前記吸着パッド部が前記第１の製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
前記センサの検出結果に基づいて前記第１の製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があるか否かの吸着判定動作を実行し、前記第１の製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、前記第１の製品をＮＧ製品として開放すると共に、前記複数の製品のうち前記吸着判定動作を未実行の製品が有る場合には前記未実行の製品のうちの一つに対し前記吸着判定動作を実行し、無い場合には前記ＮＧ製品に対しリトライ動作を実行する製品搬出方法である。
１３） 前記リトライ動作として、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着し、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする１２）に記載の製品搬出方法である。
１４） 前記リトライ動作として、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かの判定で、あると判定した場合に、前記一のＮＧ製品に対し前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置よりも低い第３の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする１３）に記載の製品搬出方法である。
１５） 前記リトライ動作として、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を、前記一のＮＧ製品を吸着しながら前記第１の高さ位置よりも低い予め設定された下限位置まで下降させる過程で前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする１２）に記載の製品搬出方法である。
１６） 複数の前記吸着パッド部のうちの少なくとも一つを前記センサを備えた検出対象吸着パッド部とすることを特徴とする９）〜１５）のいずれか一つに記載の製品搬出方法である。

本発明によれば、高低差のあるスキッドによって傾いて支持されている製品の取り出し作業の効率が向上する、という効果が得られる。

図１は、本発明の実施の形態に係る製品搬出装置の実施例である製品搬出装置５２を含む加工システムＳＴを示す外観斜視図である。 図２は、加工システムＳＴの構成を示すブロック図である。 図３は、製品搬出装置５２が有するテイクアウトローダ５１を示す斜視図である。 図４は、テイクアウトローダ５１が備える吸着ユニット５を示す側面図である。 図５は、テイクアウトローダ５１の下面図である。 図６は、テイクアウトローダ５１による製品ＷＰの吸着動作を説明するための第１の図である。 図７は、テイクアウトローダ５１による製品ＷＰの吸着動作を説明するための第２の図である。 図８は、テイクアウトローダ５１による製品ＷＰの実施例１の製品搬出方法における吸着動作のフロー図である。 図９Ａは、実施例２及び実施例３の製品搬出方法における吸着動作の共通部分のフロー図である。 図９Ｂは、実施例２の製品搬出方法における吸着動作の一部のフロー図である。 図９Ｃは、実施例２の製品搬出方法における吸着動作の残部のフロー図である。 図９Ｄは、実施例３の製品搬出方法における吸着動作のフロー図である。

本発明の実施の形態に係る製品搬出装置を、その実施例である製品搬出装置５２により説明する。図１に示されるように、製品搬出装置５２はテイクアウトローダユニット５１を有し、製品搬出装置５２とレーザ加工機５３とを含んでレーザ加工システムＳＴが構成される。以下、テイクアウトローダユニット５１をＴＫユニット５１と称する。

（実施例１）
レーザ加工システムＳＴの全体構成を、外観斜視図の図１及びブロック図の図２を参照して説明する。説明の便宜上、上下左右前後の各方向を図１の矢印の方向で規定する。上下方向は鉛直方向であり、前方は作業者の立ち位置側である。

レーザ加工システムＳＴは、レーザ加工機５３と、レーザ加工機５３の左右いずれか（図１では右側）に隣接して配置された製品搬出装置５２と、システム全体の動作を制御する制御装置５４と、を含んで構成されている。

レーザ加工機５３は、レーザ発振器５３ａと、レーザ発振器５３ａで生成されたレーザ光を射出する不図示のレーザ加工ヘッドとを有する。
レーザ発振器５３ａは、例えばファイバレーザであり、レーザ発振器５３ａで生成されたレーザ光は、プロセスファイバ５３ｂを介してレーザ加工ヘッドに供給される。

レーザ加工機５３は、ワークＷを載置したワークパレット３１を内部で左右方向に移動可能、かつレーザ加工ヘッドを前後方向及び上下方向に移動可能としている。
レーザ加工機５３は、図１における右側面に、ワークパレット３１を出入りさせるパレット出入口５３ｃを有し、レーザ加工機５３の内外にパレット出入口５３ｃを通してワークパレット３１を出し入れできるようになっている。
図１では、レーザ加工機５３から製品搬出装置５２側に排出されたワークパレット３１が、二点鎖線で記載されたワークＷを載置した状態で示されている。
レーザ加工機５３は、ワークパレット３１に載置されたワークＷの任意の位置に対し、レーザ加工ヘッドからレーザ光を照射してレーザ加工を行う。

製品搬出装置５２は、レーザ加工機５３のパレット出入口５３ｃに対応した位置に備えられたパレットテーブル５２ａと、パレットテーブル５２ａの前方に並設された移し替えテーブル５２ｂと、を有する。図１において、ワークパレット３１は、パレットテーブル５２ａに移送された状態で示されている。

製品搬出装置５２は、複数の支柱５２ｅ及び壁部５２ｆによって支持され、左右方向に平行に離隔し前後方向に延在する一対のトップフレーム５２ｃ，５２ｄを備えている。

一対のトップフレーム５２ｃ，５２ｄは、パレットテーブル５２ａの幅に対応した位置に配設されており、少なくともパレットテーブル５２ａ及び移し替えテーブル５２ｂの前後方向長さに対応した範囲それぞれに、レール５２ｇ，５２ｈが設けられている。
レール５２ｇ，５２ｈには、左右方向に延びる可動フレーム５２ｊが、矢印ＤＲａで示される前後方向に移動可能に支持されている。
可動フレーム５２ｊには、ＴＫユニット５１が、矢印ＤＲｂで示される左右方向に移動可能に支持されている。

図２に示されるように、製品搬出装置５２は、ＴＫユニット駆動部５２ｍ及びパレット駆動部５２ｎを備えている。
ＴＫユニット駆動部５２ｍは、レール５２ｇ，５２ｈに対する可動フレーム５２ｊの前後移動、及び可動フレーム５２ｊに対するＴＫユニット５１の左右移動を、制御装置５４の制御の下で実行する。
ＴＫユニット駆動部５２ｍの動作により、ＴＫユニット５１は、パレットテーブル５２ａ及び移し替えテーブル５２ｂにおける任意の水平位置の上方に移動可能となっている。

図３は、ＴＫユニット５１を前方右斜め上方から見た斜視図である。図３において、ＴＫユニット５１を支持する可動フレーム５２ｊは、二点鎖線で示されている。
図３に示されるように、ＴＫユニット５１は、本体部１と基部２とを有する。基部２は、下部に、製品などの板状部材を吸着可能な吸着ユニット５を複数有する吸着部５１ａを備える。ＴＫユニット５１は、可動フレーム５２ｊに対し吸着部５１ａを昇降させる昇降駆動部５１ｂを有している。昇降駆動部５１ｂの動作は、制御装置５４によって制御される。

図２に示されるように、制御装置５４は、中央処理装置（ＣＰＵ）５４ａ，記憶部５４ｄ，及び入出力部５４ｅを含んで構成されている。ＣＰＵ５４ａは、吸着判定部５４ｂを有する。

以上の構成により、製品搬出装置５２は、レーザ加工機５３から搬送されたワークパレット３１上の製品ＷＰ及び図６に示される残材のスケルトンＷＳから、製品ＷＰを取り出して移し替えテーブル５２ｂに移送する。
具体的には、ＴＫユニット５１を移動して基部２を製品ＷＰの上方に位置させて、吸着部５１ａを下降させる。そして、吸着ユニット５によって製品ＷＰを吸着し吸着部５１ａを有する基部２を上昇させる。次いでＴＫユニット５１を水平移動により移し替えテーブル５２ｂの上方に移動し、基部２を下降させて吸着ユニット５による製品ＷＰの吸着を解除する。
これにより、製品ＷＰは、ワークパレット３１上から移し替えテーブル５２ｂ上に移送される。
ここで、製品ＷＰは加工の最終形態のものに限定されず、レーザによる切断で切り出された中間部材であって、次工程に搬送されて加工に供される部材を含む。

図１に示されるように、ワークパレット３１は、複数枚のスキッド３１ａが並設された矩形のパレットである。スキッド３１ａは、上方に尖った複数の尖突部３１ｂを有する金属板である。

次に、ＴＫユニット５１を、図３〜図６を参照して詳述する。

ＴＫユニット５１は、昇降駆動部５１ｂ，本体部１，及び基部２を有する。
昇降駆動部５１ｂは、不図示のサーボモータを有し可動フレーム５２ｊに支持されている。
本体部１は、昇降駆動部５１ｂのサーボモータを動力源として昇降駆動部５１ｂに対し昇降動作をするように支持されている。
基部２は、下部に吸着部５１ａを有し本体部１の下部に取り付けられている。
吸着部５１ａには、吸着ユニット５が上下方向を軸として複数配置されている。

図４は、吸着ユニット５の単体を示す側面図である。
吸着ユニット５は、エアシリンダ５ａと、エアシリンダ５ａの動作によりその下部から出入りするロッド５ｂと、ロッド５ｂの先端に取り付けられた吸着パッド部５ｃと、を有する。
吸着パッド部５ｃには、負圧を発生するポンプ５２ｐ（図２も参照）が気路５２ｓａを介して接続されており、先端のゴム製の吸盤部５ｃｋの内部を負圧にして製品ＷＰなどの平板部材を吸着できるようになっている。ポンプ５２ｐの動作は制御装置５４により制御される。

吸着パッド部５ｃとポンプ５２ｐとを繋ぐ気路５２ｓａには、気路５２ｓａ内の圧力の高／低に応じてＯＦＦ／ＯＮとなる吸着スイッチ５２ｓが設けられている。吸着スイッチ５２ｓは、吸着パッド部５ｃによって製品ＷＰの吸着が行われている場合にＯＮとなり、吸着有無を検出するセンサとして機能する。

図２に示されるように、吸着スイッチ５２ｓからは、そのＯＮ／ＯＦＦの状態を示す吸着情報Ｊ１が制御装置５４の吸着判定部５４ｂに向けて出力される。吸着判定部５４ｂは、吸着有無の検出結果である吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着パッド部５ｃが製品ＷＰを吸着しているか否かを判定する吸着判定動作を実行する。

吸着スイッチ５２ｓは、複数の吸着ユニット５のうちの少なくとも１つを対象として設けられている。吸着スイッチ５２ｓによって吸着有無を検出する吸着ユニット５を、検出対象吸着パッド部５２ｔと称する。
図２は、吸着パッド部５ｃの数をｍ（ｍ：正の整数）個としたときに、吸着スイッチ５２ｓとして、１≦ｎ≦ｍを満たすｎ個の吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２…５２ｓｎがある場合を示している。

図５は、基部２の下面図である。図５において、吸着ユニット５は、十字を付した円形形状で示されている。
図５に示されるように、基部２では、複数の吸着パッド部５ｃのうち、上下方向の中央位置において左右方向に離隔して配置された７つの吸着パッド部５ｃａ〜５ｃｇが検出対象吸着パッド部５２ｔとされている。ＴＫユニット５１は、検出対象吸着パッド部５２ｔとされた吸着パッド部５ｃａ〜５ｃｇそれぞれに対応して吸着スイッチ５２ｓを有する。

吸着判定部５４ｂは、検出対象吸着パッド部５２ｔとした吸着スイッチ５２ｓが複数ある場合、吸着情報Ｊ１において、全ての検出対象吸着パッド部５２ｔがＯＮとなっているときにＯＮと判定し、ＯＦＦとなっている検出対象吸着パッド部５２ｔが１つでもあればＯＦＦと判定する。

図３及び図４に示されるように、複数の吸着ユニット５は、吸盤部５ｃｋの先端面である吸着面の高さ位置が、基部２の下面から下方に所定の距離Ｈａとなる位置で揃うようになっている。

次に、上述のレーザ加工システムＳＴにおいて、複数のスキッド３１ａのうちの一部のスキッドの高さが、ワークＷなどとの摩耗或いはレーザ光の照射による溶融などで低くなっている場合の、製品ＷＰの製品搬出方法における取り出し動作について、図６及び図７の動作図、並びに、図８のフロー図を参照して説明する。
図６及び図７は、４枚のスキッド３１ａ（３１ａ１〜３１ａ４），スキッド３１ａに支持された製品ＷＰ及びスケルトンＷＳ，及びＴＫユニット５１の一部などを模式的に示した側面視の動作図である。

図６に示されているように、スキッド３１ａ１〜３１ａ４は、スキッド３１ａ２の高さが摩耗や溶融などによって他のスキッド３１ａ１，３１ａ３，３１ａ４よりも低く、先端位置に高低差が生じているものとする。
そのため、スキッド３１ａ２及びスキッド３１ａ３で支持する製品ＷＰは、低いスキッド３１ａ２で支持される部分が下がり、全体に左下がりに傾いた状態になっている。

また、基部２に備えられている吸着パッド部５ｃは吸着パッド部５ｃ１〜５ｃ４の４つとし、それぞれに対応して吸着スイッチ５２ｓ１〜５２ｓ４が備えられているものとする。

まず、図６及び図８に示されるように、ＣＰＵ５４ａは、基部２又はエアシリンダ５ａを動作させて、吸着パッド部５ｃを、その先端の高さ位置が、第１の高さ位置である所定の基準吸着位置ＬＮａに位置するまで、矢印ＤＲｃのように下降させる（Ｓｔｅｐ１）。
基準吸着位置ＬＮａは、正規の高さのスキッド３１ａに支持された製品ＷＰの上面ＷＰｂの高さ位置である。より詳しくは、吸着パッド部５ｃの吸盤部５ｃｋの下端面が、正規高さのスキッド３１ａに支持された製品ＷＰの上面ＷＰｂに接触する位置である。

ＣＰＵ５４ａは、ポンプ５２ｐを動作させ、吸着パッド部５ｃ（５ｃ１〜５ｃ４）によって製品ＷＰを吸着させる（Ｓｔｅｐ２）。
次いで、ＣＰＵ５４ａは、基部２又はエアシリンダ５ａを動作させて、吸着パッド部５ｃを基準吸着位置ＬＮａから、図６に示される所定の距離Ｈｂだけ上昇させる（Ｓｔｅｐ３）。所定の距離Ｈｂは、例えば３０ｍｍであり、所定の距離Ｈｂだけ上昇した高さ位置を吸着判定上昇位置ＬＮｃとする。

ＣＰＵ５４ａの吸着判定部５４ｂは、吸着スイッチ５２ｓによる吸着有無の検出結果として入来する吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮになっているか否かを判定する（Ｓｔｅｐ４）。

スキッドに高低差がなく製品ＷＰが水平姿勢の場合及びスキッドに高低差があっても製品ＷＰの傾きがわずかである場合などでは、全ての吸着パッド部５ｃが製品ＷＰの吸着に成功し、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮとなる（Ｓｔｅｐ４：Ｙｅｓ）。
（Ｓｔｅｐ４）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、基部２をより高い搬送位置まで上昇させ（Ｓｔｅｐ５）、製品ＷＰを所定の場所に搬送し（Ｓｔｅｐ６）、製品取り出し動作を終了する。

一方、スキッド３１ａに顕著な高低差があり製品ＷＰの傾きが顕著な場合などでは、一部の吸着パッド部５ｃが吸着に失敗する場合がある。
具体的には、図６に示されるように、正規の高さのスキッド３１ａ３で支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４は吸着に成功し、製品ＷＰにおける低いスキッド３１ａ２によって支持された側を吸着する吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２は、製品ＷＰの吸着に失敗する。
すなわち、吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ３，５２ｓ４はＯＮとなり、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２それぞれに対応して設けられた吸着スイッチ５２ｓ１，５２ｓ２はＯＦＦとなる。
従って、吸着判定部５４ｂは、（Ｓｔｅｐ４）においてＮｏと判定する。

（Ｓｔｅｐ４）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、吸着パッド部５ｃの下降速度の設定を（Ｓｔｅｐ１）での下降速度よりも遅くなるように変更する（Ｓｔｅｐ７）。

次いで、図７に示されるように、ＣＰＵ５４ａは、基部２を、吸着判定上昇位置から矢印ＤＲｄのように下降させる（Ｓｔｅｐ８）。ＣＰＵ５４ａは、（Ｓｔｅｐ８）の動作開始後、基部２の吸着判定上昇位置ＬＮｃからの下降距離を監視する。

基部２の下降中、ＣＰＵ５４ａは、吸着スイッチ５２ｓによる吸着有無の検出結果として入来する吸着情報Ｊ１を監視し、吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮになったか否かを判定する（Ｓｔｅｐ９）。

吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮになり（Ｓｔｅｐ４）の判定がＹｅｓとなった場合、ＣＰＵ５４ａは（Ｓｔｅｐ５）に移行し、基部２を下降から反転して上昇させ、製品ＷＰの搬出動作を継続して実行する。
（Ｓｔｅｐ４）の判定がＮｏの場合、基部２の下降距離、すなわち吸着パッド部５ｃの下降距離が、吸着判定上昇位置ＬＮｃから所定の距離ｈａに達したか否かを判定する（Ｓｔｅｐ１０）。図７は、基部２の下降距離が所定の距離ｈａに達した状態が示されている。

（Ｓｔｅｐ１０）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは（Ｓｔｅｐ８）を再び実行する。
（Ｓｔｅｐ１０）の判定がＹｅｓの場合、吸着対象の製品ＷＰの吸着は困難として、ＣＰＵ５４ａはポンプ５２ｐを停止し製品ＷＰを吸着から開放する（Ｓｔｅｐ１１）。

このように、ＣＰＵ５４ａは、吸着に失敗している吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２の吸盤部５ｃｋの下端を、吸着に成功している吸着パッド部５ｃ３，５ｃ４の吸着を維持したまま、基準吸着位置ＬＮａに対し所定の距離ｈａだけ下方の、第２の高さ位置である押し下げ基準位置ＬＮｂまで下降させる。
これにより、吸着パッド部５ｃ１，５ｃ２も製品ＷＰに接触して吸着に成功し得る機会が与えられる。
そのため、製品ＷＰが傾いていても、製品ＷＰを吸着して搬送可能となる率が向上し、製品ＷＰの取り出し作業の効率が向上する。

（変形例）
実施例１では（Ｓｔｅｐ１０）でＹｅｓと判定した場合、そのまま（Ｓｔｅｐ１１）へ移行する例を説明したが、変形例として、Ｙｅｓの判定後、回数の判定を実行し、任意の回数に達するまで、（Ｓｔｅｐ３）で、吸着判定上昇位置ＬＮｃと、（Ｓｔｅｐ１０）で判定する押し下げ基準位置ＬＮｂとの間を昇降するようにしてもよい。
この変形例によれば、吸着パッド部５ｃの押し下げ下降が複数回実行されるので、製品ＷＰを吸着して搬送可能となる率は、１回だけ実行する図８に示される手順よりも向上する。

（実施例２及び実施例３）
実施例１及びその変形例で説明した手順において、吸着判定部５４ｂが（Ｓｔｅｐ４）でＮｏと判定した場合、その判定をした製品ＷＰに対し、続けてリトライ動作となる押し下げ基準位置ＬＮｂまでの所定の距離ｈａの押し下げ動作を実行する例を説明した。
これに対し、ワークＷに複数の製品ＷＰが面付けされている場合は、次の実施例２及び実施例３として示される製品搬出方法で、製品の取り出しを実行してもよい。

すなわち、（Ｓｔｅｐ４）でＮｏと判定された吸着に失敗した製品ＷＰは、一旦吸着を開放して放置しておく。そして、一つのワークＷに面付けされている複数の製品ＷＰのすべてに対して一通り吸着動作を実行し、搬出可能な製品は先に搬出しておく。
一つのワークＷに面付けされた製品ＷＰのうち、吸着動作を実行していない未吸着の製品がなくなったら、スキッド３１ａの上に残されている吸着に失敗した製品ＷＰに対して吸着のリトライ動作を実行する。

実施例２の製品搬出方法における吸着のリトライ動作は、ＮＧ製品の吸着に失敗した場合、リトライ動作を繰り返して実行すると共にリトライ回数が増えるに従い予め設定した下限位置ＬＮｅを下限として徐々に下降位置を下げ、吸着できた製品ＷＰを取り出す動作である。下限位置ＬＮｅは、基準吸着位置ＬＮａよりも下方に所定の距離ｈｅの位置である。
実施例３の製品搬出方法における吸着のリトライ動作は、吸着パッド部５ｃを下降させる速度を通常の速度よりも遅くして、予め設定した下降の下限位置ＬＮｅに向けゆっくり下降させる。
吸着判定部５４ｂは、その下降中、吸着スイッチ５２ｓのＯＮ／ＯＦＦ状態を常時監視し、吸着パッド部５ｃが予め設定した下限位置ＬＮｅに達するまでに吸着できた製品ＷＰを取り出す。実施例２及び実施例３の下限位置ＬＮｅは、同じ位置であっても異なる位置であってもよい。ここでは便宜的に同じ符号ＬＮｅを付与して説明する。

以下、図９Ａ，図９Ｂ，及び図９Ｃを参照して実施例２を、図９Ａ及び図９Ｄを参照して実施例３を詳述する。

（実施例２の詳細）（図９Ａ，図９Ｂ，及び図９Ｃ参照）
図９Ａに示される（Ｓｔｅｐ１１）〜（Ｓｔｅｐ１６）は、図８を参照して説明した実施例１の（Ｓｔｅｐ１）〜（Ｓｔｅｐ６）と同じである。
吸着判定部５４ｂが（Ｓｔｅｐ１４）でＮｏと判定した場合、実施例１では図８に示される（Ｓｔｅｐ７）以降のルーチンに移行し、実施例２では図９Ａ及び図９Ｂに示される「Ａ」のルーチンである（Ｓｔｅｐ１７）以降のルーチンに移行する。

図９Ｂの「Ａ」のルーチンに示されるように、ＣＰＵ５４ａは、吸着パッド部５ｃを基準吸着位置ＬＮａまで下降させて（Ｓｔｅｐ１７）、製品ＷＰを吸着から開放する（Ｓｔｅｐ１８）。
次いで、ＣＰＵ５４ａは、基部２を搬送位置まで上昇させ（Ｓｔｅｐ１９）、予め記憶部５４ｄに記憶された、ワークＷに割り付けされた製品ＷＰの数及び位置などを示す製品割り付け情報に基づいて、また吸着動作を実行していない未吸着の製品ＷＰの有無を判定する（Ｓｔｅｐ２０）。

（Ｓｔｅｐ２０）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、未吸着の製品ＷＰのうち次に吸着する製品ＷＰを決めると共に基部２をその製品ＷＰの上方に移動する（Ｓｔｅｐ２１）。そして、「Ａ１」を経由して、次の未吸着の製品ＷＰに対し図９Ａの（Ｓｔｅｐ１１）移行の手順を実行する。

（Ｓｔｅｐ２０）の判定がＮｏの場合、ワークＷに面付けされた複数の製品ＷＰのすべてに対して吸着動作を実行したことになる。そこでＣＰＵ５４ａは、以降、吸着に失敗した製品ＷＰ（以下、ＮＧ製品ＷＰとも称する）へのリトライ吸着動作を実行する。すなわち、ＣＰＵ５４ａは、（Ｓｔｅｐ１８）で開放したＮＧの製品ＷＰに対し再度吸着動作を実行すべく、次の量及び値を設定する。
すなわち、リトライ動作１回における下降量の増分としての下降量ｘ、リトライ回数の上限値ｎを設定する。ｋはリトライ回数とする。ｎ、ｋは正の整数である。
また、既述のように、下降位置の下限として下限位置ＬＮｅを、基準吸着位置ＬＮａから下方に所定の距離ｈｅの位置として設定する。
下降量ｘが定量である場合は、リトライ回数の上限値は自ずと決まるので、上限値ｎの設定は不要である。また、リトライ回数の上限値ｎに替えて、リトライ時間の上限値を設定してもよい。図９Ｂ及び図９Ｃで示されるフローは、便宜的にリトライ回数の判定ステップを含めてある。

図９Ｂに示されるフローにおいて、ＣＰＵ５４ａは、まずｋ＝１とし（Ｓｔｅｐ２２）、基準吸着位置ＬＮａからの下降距離として下降量ｋｘを設定する（Ｓｔｅｐ２３）。
次いで、ＣＰＵ５４ａは、下降量ｋｘが所定の距離ｈｅを超えているか否かを判定し（Ｓｔｅｐ２４）、Ｎｏの場合、吸着パッド部５ｃの下降を開始する（Ｓｔｅｐ２５）。
ＣＰＵ５４ａは、吸着パッド部５ｃの下降中に基準吸着位置ＬＮａからの下降量を監視して下降量ｋｘに達したかを判定し（Ｓｔｅｐ２６）、Ｎｏの場合は下降を継続する。
（Ｓｔｅｐ２６）でＹｅｓと判定したら、ＣＰＵ５４ａは、ＮＧ製品ＷＰの吸着動作を実行し（Ｓｔｅｐ２７）、吸着パッド部５ｃを吸着判定上昇位置ＬＮｃまで上昇する（Ｓｔｅｐ２８）。以降の手順は「Ｆ」を経由して図９Ｃのフローに示される。

図９Ｃにおいて、吸着判定部５４ｂは、吸着情報Ｊ１に基づいて、吸着スイッチ５２ｓがすべてＯＮになっているか否かを判定し（Ｓｔｅｐ２９）、Ｙｅｓの場合、「Ａ２」を経由して図９Ａの（Ｓｔｅｐ１５）へ移行する。
（Ｓｔｅｐ２９）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、再度のリトライ動作を実行すべく、リトライ回数ｋがリトライ回数の上限値ｎに達しているか否かを判定する（Ｓｔｅｐ３０）。

（Ｓｔｅｐ３０）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、リトライ回数ｋをインクリメントし（Ｓｔｅｐ３１）、「Ｈ」を経由して図９Ｂの（Ｓｔｅｐ２４）へ戻り次回のリトライ動作へ移行する。
（Ｓｔｅｐ３０）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、他のＮＧ製品が有るか否かを判定し（Ｓｔｅｐ３２）、その判定がＮｏの場合、リトライ動作を終了する。
（Ｓｔｅｐ３２）の判定がＹｅｓの場合、吸着しているＮＧ製品ＷＰを、取り出し不能として開放し（Ｓｔｅｐ３３）、基部２を別のＮＧ製品ＷＰの上方へ移動させる（Ｓｔｅｐ３４）。

ＣＰＵ５４ａは、取り出し対象のＮＧ製品ＷＰを替えたことから、リトライ回数ｋを１にリセットし（Ｓｔｅｐ３５）、「Ｈ」を経由して手順を図９Ｂに示される（Ｓｔｅｐ２４）に戻す。

一方、（Ｓｔｅｐ２４）の判定がＹｅｓの場合、下降量ｋｘが設定した最大下降距離である所定の距離ｈｅを超えるので、この時点で取り出し対象としているＮＧ製品ＷＰは取り出し不能として、「Ｇ」を経由して図９Ｃに示されるように、他のＮＧ製品ＷＰが有るか否かを判定する（Ｓｔｅｐ３６）。
（Ｓｔｅｐ３６）がＮｏの場合、リトライ動作を終了し、Ｙｅｓの場合、（Ｓｔｅｐ３４）へ移行する。

（実施例３の詳細）（図９Ａ及び図９Ｃ参照）
実施例３は、実施例２に対し、図９Ａに示される（Ｓｔｅｐ１４）がＮｏと判定された場合、「Ｂ」のルーチンである図９Ｃに示される（ＳｔｅｐＢ１）以降のルーチンを実行する例である。
製品搬出装置５２が実施例３を実行可能とする場合は、予め、吸着パッド部５ｃが下降する最下の位置を下限位置ＬＮｅとして設定しておく。下限位置ＬＮｅは、押し下げ基準位置ＬＮｂと同じかそれより低く設定する。

まず、図９Ａに示されるように吸着判定部５４ｂが（Ｓｔｅｐ１４）でＮｏと判定した場合、ＣＰＵ５４ａは、図９Ｃに示される「Ｂ」のルーチンを実行する。
まず、ＣＰＵ５４ａは、製品ＷＰを開放し上昇する（ＳｔｅｐＢ１）。次いで、他の未吸着の製品ＷＰが有るか否かを判定する（ＳｔｅｐＢ２）。
判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、他の未吸着の製品ＷＰのうちの次に吸着動作を実行する製品ＷＰを決め、基部２をその製品ＷＰの上方に移動し（ＳｔｅｐＢ３）、「Ｂ１」経由で図９Ａに示されるＳｔｅｐ１へ戻る。

（ＳｔｅｐＢ２）の判定がＮｏの場合、ＣＰＵ５４ａは、吸着パッド部５ｃの下降速度を通常よりも遅く設定し（ＳｔｅｐＢ４）、吸着動作を開始し（ＳｔｅｐＢ５）、設定した下降速度で吸着パッド部５ｃを下降させる（ＳｔｅｐＢ６）。
ＣＰＵ５４ａは、吸着パッド部５ｃの下降中、予め設定した下限位置ＬＮｅに達したか否かを常時判定する（ＳｔｅｐＢ７）。

（ＳｔｅｐＢ７）の判定がＮｏの場合、吸着判定部５４ｂは、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮになったか否かを判定し（ＳｔｅｐＢ８）、Ｎｏの場合（ＳｔｅｐＢ７）へ戻り、吸着パッド部５ｃの下降を継続する。
（ＳｔｅｐＢ８）の判定がＮｏで戻った（ＳｔｅｐＢ７）の判定がＹｅｓとなった場合、ＣＰＵ５４ａは、この製品ＷＰを取り出して搬送することはできないと判断し、吸着を停止し製品ＷＰを吸着から解放する（ＳｔｅｐＢ９）。

次いでＣＰＵ５４ａは、他のＮＧの製品ＷＰが有るか否かを判定し（ＳｔｅｐＢ１０）、判定がＮｏの場合はリトライ動作を終了する。
（ＳｔｅｐＢ１０）の判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、他のＮＧの製品ＷＰのうち次にリトライ動作を実行する製品ＷＰを決めると共に、基部２をそのＮＧの製品ＷＰの上方に移動し（ＳｔｅｐＢ１２）、再び（ＳｔｅｐＢ４）に戻ってリトライ動作を継続実行する。

一方、（ＳｔｅｐＢ８）の判定がＹｅｓとなった場合、すなわち、吸着パッド部５ｃが下限位置ＬＮｅに向けて下降している途中に、吸着スイッチ５２ｓのすべてがＯＮとなって吸着に成功した場合、ＣＰＵ５４ａは基部２の下降を停止し（ＳｔｅｐＢ１２）、搬送位置まで上昇させる（ＳｔｅｐＢ１３）。
その後、ＣＰＵ５４ａは、吸着に成功した製品ＷＰの他所への搬送を実行し（ＳｔｅｐＢ１４）、（ＳｔｅｐＢ１０）へ移行する。

実施例３において（Ｓｔｅｐ１０）及び（Ｓｔｅｐ１１）は、１回目の吸着動作及びリトライ動作による吸着動作で製品ＷＰが取り出しできて搬送された場合において共通に実行する。
すなわち、ＣＰＵ５４ａは、他のＮＧの製品ＷＰが有るか否かを判定する（ＳｔｅｐＢ１０）。判定がＹｅｓの場合、ＣＰＵ５４ａは、次にリトライ動作をするＮＧの製品ＷＰを決め、基部２をそのＮＧの製品ＷＰの上方に移動し（ＳｔｅｐＢ９）、（ＳｔｅｐＢ４）移行を実行する。
（ＳｔｅｐＢ８）の判定がＮｏの場合、他のＮＧの製品ＷＰが有るか否かを判定すべく（ＳｔｅｐＢ１１）へ移行する。

実施例及び変形例１の手順のように、一つの製品ＷＰに対し、吸着に失敗した後に続けてリトライ動作を実行した場合には、リトライ動作によって製品ＷＰとスケルトンＷＳとの位置がずれるなどして、本来は直ちに吸着可能だったはずの他の未吸着の製品ＷＰが吸着できなくなる可能性がある。
これに対し、実施例２及び実施例３は、すべての未吸着の製品ＷＰに対しそれぞれ吸着動作を１回実行した後に、吸着に失敗したＮＧ製品ＷＰのリトライ動作を実行する。そのため、未吸着の製品ＷＰの吸着効率が低下することはなく製品ＷＰの吸着及び搬出効率が維持される。

本発明の実施例１〜３は、上述した手順、構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形してもよい。

吸着判定部５４ｂは、吸着情報Ｊ１に基づいて複数の吸着スイッチ５２ｓのうち、ＯＦＦとなっているものを特定するようにしてもよい。
これにより、吸着スイッチ５２ｓがＯＦＦになるのが偶発的な理由によるものか、或いは定常的に生じるものなのかが判別できる。
定常的に生じる場合は、該当する吸着スイッチ５２ｓの故障や該当する吸着スイッチ５２ｓに対応するスキッド３１ａの高さが低くなっているなどの異常が推測されるので、メンテナンス効率が向上する。

吸着を検出するセンサは、吸着スイッチ５２ｓに限定されない。吸着ユニット５に電気接点を設け、製品ＷＰが導電性を有する場合に導通が確保されているか否かで吸着を検出するセンサであってもよく、他の方式で吸着を検出できるセンサであってもよい。

実施例１〜３及び各変形例は、可能な範囲で組み合わせてよい。
例えば、実施例１として説明したリトライ動作の替わりに実施例２又は実施例３のリトライ動作を実行してもよい。また逆に、実施例２及び実施例３で説明したリトライ動作の替わりに実施例１のリトライ動作を実行してもよい。

１ 本体部
２ 基部
５ 吸着ユニット
５ａ エアシリンダ
５ｂ ロッド
５ｃ，５ｃａ〜５ｃｇ，５ｃ１〜５ｃ４ 吸着パッド部
５ｃｋ 吸盤部
３１ ワークパレット
３１ａ，３１ａ１〜３１ａ４ スキッド
３１ｂ 尖突部
５１ テイクアウトローダユニット（ＴＫユニット）
５１ａ 吸着部
５１ｂ 昇降駆動部
５２ 製品搬出装置
５２ａ パレットテーブル
５２ｂ 移し替えテーブル
５２ｃ，５２ｄ トップフレーム
５２ｅ 支柱
５２ｆ 壁部
５２ｇ，５２ｈ レール
５２ｊ 可動フレーム
５２ｍ ＴＫユニット駆動部
５２ｎ パレット駆動部
５２ｐ ポンプ
５２ｔ 検出対象吸着パッド部
５２ｓ，５２ｓ１〜５２ｓ４ 吸着スイッチ
５２ｓａ 気路
５３ レーザ加工機
５３ａ レーザ発振器
５３ｂ プロセスファイバ
５３ｃ パレット出入口
５４ 制御装置
５４ａ 中央処理装置（ＣＰＵ）
５４ｂ 吸着判定部
５４ｄ 記憶部
５４ｅ 入出力部
Ｈａ，Ｈｂ，ｈｄ，ｈｅ 所定の距離
Ｊ１ 吸着情報
ｋｘ 下降量（下降距離）
ＬＮａ 基準吸着位置（第１の高さ位置）
ＬＮｂ 押し下げ基準位置（第２の高さ位置）
ＬＮｃ 吸着判定上昇位置
ＬＮｄ リトライ押し下げ位置
ＬＮｅ 下限位置
ＳＴ レーザ加工システム
Ｗ ワーク
ＷＰ 製品
ＷＰｂ 上面
ＷＳ スケルトン

Claims (16)

1. 板状のワークから切り出されスキッドにより支持された製品を吸着する複数の吸着パッド部と、
   前記複数の吸着パッド部を有し昇降する基部と、
   前記複数の吸着パッド部のうち対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
   前記基部の昇降動作及び前記吸着パッド部の吸着動作を制御する制御装置と、
   を備え、
   前記制御装置は、前記スキッドにより支持された前記製品を、前記吸着パッド部の第１の高さ位置で吸着して上昇させ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させることを特徴とする製品搬出装置。
2. 前記制御装置は、前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置に下降させ、再び前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記吸着パッド部を、前記第１の高さ位置よりも上方に上昇させた後、再び第２の高さ位置に下降させることを特徴とする請求項１記載の製品搬出装置。
3. 前記制御装置は、前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降中に前記センサの検出結果に基づいて、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部がないと判定したら、前記吸着パッド部を上昇させて前記製品を搬出することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の製品搬出装置。
4. 板状の一つのワークから切り出されスキッドにより支持された複数の製品の一つを吸着する複数の吸着パッド部と、
   前記複数の吸着パッド部を有し昇降する基部と、
   前記複数の吸着パッド部のうち対象とする少なくとも１つの前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出するセンサと、
   前記基部の昇降動作及び前記吸着パッド部の吸着動作を制御する制御装置と、
   を備え、
   前記制御装置は、前記スキッドにより支持された前記複数の製品のうちの第１の製品に対し、前記吸着パッド部の第１の高さ位置で吸着して上昇させた後、前記センサの検出結果に基づいて前記第１の製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する吸着判定動作を実行し、前記第１の製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があると判定したら、前記第１の製品の吸着を停止してＮＧ製品として吸着から開放すると共に、前記複数の製品のうち吸着判定動作を未実行の製品が有る場合には前記未実行の製品のうちの一つに対し前記吸着判定動作を実行し、無い場合には前記ＮＧ製品に対しリトライ動作を実行することを特徴とする製品搬出装置。
5. 前記リトライ動作は、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着し、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする請求項４記載の製品搬出装置。
6. 前記リトライ動作は、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かの判定で、あると判定した場合に、前記一のＮＧ製品に対し前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置よりも低い第３の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする請求項５記載の製品搬出装置。
7. 前記リトライ動作は、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を、前記一のＮＧ製品を吸着しながら前記第１の高さ位置よりも低い予め設定された下限位置まで下降させる過程で前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定する動作であることを特徴とする請求項４記載の製品搬出装置。
8. 複数の前記吸着パッド部のうちの少なくとも一つが前記センサを備えた検出対象吸着パッド部であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の製品搬出装置。
9. 板状のワークから切り出してスキッドによって支持した製品を、複数の吸着パッド部によって第１の高さ位置で吸着して上昇させ、
   前記複数の吸着パッド部のうち少なくとも１つの吸着パッド部を対象とし、対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
   前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があるか否かを判定し、
   前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、上昇させた前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも下方の第２の高さ位置へ下降させる
   ことを特徴とする製品搬出方法。
10. 前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降した後、前記センサによって前記対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを再び検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、
    前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも上方に上昇させた後、再び前記第２の高さ位置に下降させることを特徴とする請求項９記載の製品搬出方法。
11. 前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置へ下降中に、前記センサによって前記対象とした前記吸着パッド部が前記製品を吸着しているか否かを検出し、かつ、前記センサの検出結果に基づいて前記製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部がないと判定した場合、前記吸着パッド部を上昇させて前記製品を搬出することを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の製品搬出方法。
12. 板状の一つのワークから切り出してスキッドによって支持した複数の製品のうちの第１の製品を、複数の吸着パッド部によって第１の高さ位置で吸着して上昇させ、
    前記複数の吸着パッド部のうち少なくとも１つの吸着パッド部を対象とし、対象とした前記吸着パッド部が前記第１の製品を吸着しているか否かをセンサによって検出し、
    前記センサの検出結果に基づいて前記第１の製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があるか否かの吸着判定動作を実行し、前記第１の製品を吸着していない前記対象とした前記吸着パッド部があると判定した場合、前記第１の製品をＮＧ製品として開放すると共に、前記複数の製品のうち前記吸着判定動作を未実行の製品が有る場合には前記未実行の製品のうちの一つに対し前記吸着判定動作を実行し、無い場合には前記ＮＧ製品に対しリトライ動作を実行する製品搬出方法。
13. 前記リトライ動作として、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を前記第１の高さ位置よりも低い第２の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着し、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする請求項１２記載の製品搬出方法。
14. 前記リトライ動作として、前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かの判定で、あると判定した場合に、前記一のＮＧ製品に対し前記吸着パッド部を前記第２の高さ位置よりも低い第３の高さ位置まで下降させて前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする請求項１３記載の製品搬出方法。
15. 前記リトライ動作として、前記ＮＧ製品のうちの一のＮＧ製品を対象とし、前記吸着パッド部を、前記一のＮＧ製品を吸着しながら前記第１の高さ位置よりも低い予め設定された下限位置まで下降させる過程で前記一のＮＧ製品を吸着していない前記対象とする前記吸着パッド部があるか否かを判定することを特徴とする請求項１２記載の製品搬出方法。
16. 複数の前記吸着パッド部のうちの少なくとも一つを前記センサを備えた検出対象吸着パッド部とすることを特徴とする請求項９〜１５のいずれか１項に記載の製品搬出方法。

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