KR20190083952A

KR20190083952A - 기판의 비아홀 검사장치

Info

Publication number: KR20190083952A
Application number: KR1020180084368A
Authority: KR
Inventors: 조관국
Original assignee: 조관국
Priority date: 2018-07-19
Filing date: 2018-07-19
Publication date: 2019-07-15

Abstract

본 발명은 기판에 관통 형성된 비아홀의 정상 여부를 검사하기 위한 기판의 비아홀 검사장치에 관한 것이다.
이를 위해 기판의 비아홀 검사장치는 로딩영역과 제1검사영역과 언로딩영역이 일렬로 배열되고 제1검사영역의 일측에 제2검사영역이 구비되는 검사하우징과, 로딩영역에 구비되어 기판이 적재되는 로딩유닛과, 언로딩영역에 구비되어 검사를 마친 기판이 적재되는 언로딩유닛과, 로딩영역과 제1검사영역 사이에서 기판을 운반하거나 제1검사영역과 언로딩영역 사이에서 기판을 운반하는 제1이송유닛과, 제1검사영역과 제2검사영역 사이에서 기판을 운반하는 제2이송유닛과, 제2검사영역에 운반된 기판을 기설정된 촬영구간별로 촬영하는 홀촬영유닛 및 홀촬영유닛을 통해 촬영된 영상을 표시하는 디스플레이유닛을 포함한다.

Description

기판의 비아홀 검사장치{VIA HOLE INSPECTION DEVICE OF SUBSTRATE}

본 발명은 기판의 비아홀 검사장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판에 관통 형성된 비아홀의 정상 여부를 검사하기 위한 기판의 비아홀 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인쇄 회로 기판에는 복수개의 액티브 소자들이 장착되고, 상기 액티브 소자들을 전기적으로 연결시키기 위한 특정한 회로 패턴이 형성된다. 지금까지 회로 패턴은 인쇄 회로 기판의 일면에만 형성되어 사용되었다. 그러나, 최근에는 인쇄 회로 기판의 기능이 복잡해지면서 인쇄 회로 기판의 양면에 회로 패턴이 형성되어 사용되고 있다. 인쇄 회로 기판의 양면에 형성된 회로 패턴들을 전기적으로 연결시키기 위하여 인쇄 회로 기판을 수직으로 관통하는 비아홀(via hole)이 형성된다.

이와 같이, 비아홀은 인쇄 회로 기판의 상부의 회로 패턴과 하부의 회로 패턴을 전기적으로 연결시키는 기능을 수행함으로 규정에 맞게 형성되어야 한다. 그런데, 비아홀을 형성하는 과정에서 비아홀이 비정상적으로 형성될 수 있으며, 이러한 비정상적인 비아홀은 인쇄 회로 기판의 오동작을 유발한다. 따라서, 비아홀의 상태가 정상적인지 여부를 검사할 필요가 있다.

대한민국 등록특허공보 제10-1767923호(발명의 명칭 : 비아홀을 검사하는 방법 및 장치, 2017. 08. 17. 공고)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판에 관통 형성된 비아홀의 정상 여부를 검사하기 위한 기판의 비아홀 검사장치를 제공함에 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 기판의 안착을 위한 로딩영역과, 제1방향을 따라 상기 로딩영역의 일측에 배치되는 언로딩영역과, 상기 로딩영역과 상기 언로딩영역 사이에 배치되는 제1검사영역과, 상기 기판의 촬영을 위해 상기 제1방향과 교차되는 제2방향을 따라 상기 제1검사영역의 일측에 배치되는 제2검사영역이 구비되는 검사하우징; 상기 로딩영역에 구비되어 상기 기판이 적재되는 로딩유닛; 상기 언로딩영역에 구비되어 검사를 마친 상기 기판이 적재되는 언로딩유닛; 상기 로딩영역과 상기 제1검사영역 사이에서 상기 기판을 운반하거나, 상기 제1검사영역과 상기 언로딩영역 사이에서 상기 기판을 운반하는 제1이송유닛; 상기 제1검사영역과 상기 제2검사영역 사이에서 상기 기판을 운반하는 제2이송유닛; 상기 제2검사영역에 운반된 상기 기판을 기설정된 촬영구간별로 촬영하는 홀촬영유닛; 및 상기 홀촬영유닛을 통해 촬영된 영상을 표시하는 디스플레이유닛;을 포함한다.

본 발명에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 상기 기판에 형성된 비아홀의 촬영을 위해 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛의 동작을 조작하는 검사조작부; 초기 위치 설정을 위한 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛의 동작 제어를 위해 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 홀촬영유닛의 동작을 조작하는 이송조작부; 및 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛과 상기 디스플레이유닛의 동작을 제어하는 제어유닛; 중 적어도 어느 하나를 더 포함한다.

여기서, 상기 로딩유닛은, 기판센싱홀부가 관통 형성된 상태로 검사하고자 하는 상기 기판이 적재되는 로딩적재부; 상기 로딩적재부가 안착되도록 상기 로딩영역에 구비되는 로딩지지부; 및 상기 기판센싱홀부를 통해 상기 로딩적재부에 적재된 상기 기판을 감지하는 기판센싱부;를 포함한다.

여기서, 상기 언로딩유닛은, 검사가 완료된 상기 기판이 적재되는 언로딩적재부; 상기 언로딩적재부의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 언로딩레일부; 상기 언로딩영역에서 상기 언로딩적재부의 슬라이딩 위치를 결정하는 장착제한부; 및 상기 언로딩영역에서 상기 언로딩적재부를 감지하는 적재부센싱부;를 포함한다.

여기서, 상기 제1이송유닛은, 상기 로딩영역에서 상기 로딩유닛에 적재되어 검사하고자 하는 상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제1흡착유닛; 상기 제1검사영역에서 상기 제2이송유닛에 적재되어 검사가 완료된 상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제2흡착유닛; 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 상호 이격된 상태로 연결하는 제1연결부재; 상기 검사하우징과 상기 제1연결부재를 연결하는 제2연결부재; 상기 제1연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 높이 방향으로 승강 이동시키는 승강구동유닛; 상기 제2연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 상기 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1방향구동유닛; 및 상기 로딩영역에 구비되어 상기 제1흡착유닛이 상기 기판을 낱장으로 흡착 지지하였는지 여부를 감지하는 파지센싱부;를 포함한다.

여기서, 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛은 각각, 상기 승강구동유닛에 연결되는 흡착브라켓; 상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변에 대응하여 상기 흡착브라켓의 양단부에 결합되어 상기 기판의 흡착을 위한 흡착력이 전달되는 이송흡착로드; 상기 이송흡착로드에 결합되어 상기 흡착력에 의해 상기 기판의 가장자리를 흡착 지지하는 이송흡착노즐; 및 상기 이송흡착노즐에서 흡착 지지된 상기 기판을 감지하는 흡착센싱부;를 포함한다.

여기서, 상기 제1이송유닛은, 상기 승강구동유닛의 동작에 따라 상기 제1연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛 또는 제2흡착유닛의 승강 이동을 가이드하는 승강구동가이드; 상기 제1방향구동유닛의 동작에 따라 상기 제2연결부재를 기준으로 상기 제1연결부재의 슬라이드 이동을 가이드하는 제1방향가이드; 상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되고, 상기 기판의 네 변 중 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 두 변을 제외한 나머지 두 변 중 적어도 어느 한 변을 흡착 지지하는 지지흡착유닛; 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛에 각각 결합되어 상기 기판을 흡착 지지할 때 전달되는 충격을 흡수하는 완충유닛; 및 상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되고, 상기 기판의 네 모서리 중 적어도 하나의 모서리 부분을 흡착 지지한 상태로 해당 모서리 부분을 승강 이동시키는 낱장분리유닛; 중 적어도 어느 하나를 더 포함한다.

여기서, 상기 낱장분리유닛은, 상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되는 제1분리브라켓; 상기 제1분리브라켓에서 이격 배치되는 제2분리브라켓; 상기 제1분리브라켓에 결합된 상태에서 상기 제2분리브라켓을 승강 이동시키는 분리구동부; 상기 제2분리브라켓에 결합되어 상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 제공되는 흡착력이 전달되는 분리흡착로드; 및 상기 분리흡착로드에 결합되어 상기 흡착력에 의해 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 기판의 모서리 부분을 흡착 지지하는 분리흡착노즐;을 포함하고, 해당 흡착유닛이 흡착 지지하고자 하는 기판의 흡착면은 상기 분리흡착노즐이 흡착 지지하고자 하는 기판의 흡착면과 일치된다.

여기서, 상기 제2이송유닛은, 상기 기판의 뒷면 촬영을 위해 기설정된 촬영구간에 대응하여 관통 형성되는 후방촬영홀부와, 상기 기판의 네 모서리 중 어느 하나가 일치되는 정렬원점과, 상기 제1방향과 교차되도록 상기 정렬원점으로부터 연장되는 제1정렬턱과, 상기 제2방향과 교차되도록 상기 정렬원점으로부터 연장되는 제2정렬턱이 포함된 기판안착부; 상기 기판의 네 변 중 어느 하나가 상기 제1정렬턱과 일치되도록 상기 기판안착부에 안착된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이동시키는 제1방향정렬부; 상기 기판의 네 변 중 다른 하나가 상기 제2정렬턱과 일치되도록 상기 기판안착부에 안착된 상기 기판을 제2방향으로 이동시키는 제2방향정렬부; 및 상기 제1검사영역과 상기 제2검사영역 사이에서 상기 제2방향을 따라 상기 기판안착부를 슬라이드 이동시키는 제2방향구동유닛;을 포함한다.

여기서, 상기 홀촬영유닛은, 상기 제2검사영역에서 상기 기판의 상측으로 이격 배치되는 상부촬영유닛; 및 상기 제2검사영역에서 상기 기판의 하측으로 이격 배치되는 하부촬영유닛;을 포함하고, 상기 상부촬영유닛과 상기 하부촬영유닛은 각각, 상기 기판으로부터 이격 배치되는 카메라유닛; 상기 검사하우징에 결합되는 제1촬영연결부재; 상기 카메라유닛과 상기 제1촬영연결부재를 연결하는 제2촬영연결부재; 상기 제1촬영연결부재를 기준으로 상기 제1방향을 따라 상기 카메라유닛을 슬라이드 이동시키는 촬영구동유닛; 및 상기 제2촬영연결부재를 기준으로 높이 방향을 따라 상기 카메라유닛을 승강 이동시키는 촬영승강유닛;을 포함한다.

본 발명에 따른 기판의 비아홀 검사장치에 따르면, 작업자가 기판에 관통 형성된 비아홀의 정상 여부를 검사할 수 있다.

또한, 본 발명은 기판의 비아홀 검사장치를 인라인화하여 검사장치 내에서 기판의 운반 및 검사 속도를 향상시키고, 작업자의 안전사고를 예방할 수 있다.

또한, 본 발명은 작업자의 검사 의도에 따라 작업자가 기판의 운반 및 검사 속도를 조절하고, 불량 기판이 정상 기판에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 로딩유닛의 세부 구성을 통해 로딩영역에서 기판의 로딩 방향을 특정하며, 제1이송유닛에서 분리되는 기판이 안전하게 로딩적재부에 다시 적재되도록 하고, 로딩영역에서 로딩적재부를 정위치시키고, 로딩적재부의 기판이 모두 로딩되면, 제1이송유닛의 동작을 정지시켜 제1이송유닛과 로딩적재부의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 언로딩유닛의 세부 구성을 통해 언로딩영역에서 언로딩적재부의 입출 방향을 특정하고, 언로딩적재부의 운반을 편리하게 하며, 언로딩영역에 언로딩적재부를 안전하게 정위치시킬 수 있고, 언로딩적재부의 장착 여부에 따라 제1이송유닛의 동작을 정지시켜 언로딩적재부의 배출을 용이하게 할 수 있다.

또한, 본 발명은 제1이송유닛의 세부 구성을 통해 두 개의 흡착유닛으로 기판의 운반을 빠르게 진행시킬 수 있고, 로딩영역과 제1검사영역 사이의 슬라이드 이동 및 제1검사영역과 언로딩영역 사이의 슬라이드 이동을 안정화시키고, 각 영역에서 기판의 적재에 따른 단차를 보상하며, 제1흡착유닛과 제2흡착유닛의 개별 승강 이동을 가능하게 하고, 로딩영역에서 기판을 흡착할 때 복수의 기판이 연결되는 것을 방지하며, 제1흡착유닛과 제2흡착유닛에 각각 낱장의 기판만이 흡착 지지되도록 하고, 로딩영역에서 낱장의 기판을 안전하게 흡착 지지할 수 있으며, 기판 표면에 잔류하는 이물질 또는 비아홀 내에 잔류하는 이물질을 제거할 수 있고, 제1흡착유닛과 제2흡착유닛에서 기판의 흡착 지지 상태를 안정화시키며, 기판을 흡착 지지하는 과정에서 기판에 가해지는 압력에 의해 기판이 변형 또는 파손되는 것을 방지하고, 플렉시블(flexible) 기판을 흡착 지지할 때 기판의 평평도를 안정적으로 유지시켜 기판의 운반 과정에서 기판이 분리되거나 기판의 흡착 해제시에 기판의 안착 위치를 벗어나지 않도록 하며, 플렉시블한 기판의 출렁임을 최소화시킬 수 있고, 제1흡착유닛과 제2흡착유닛의 간격 및 흡착로드들 사이의 간격 조절이 가능하며, 다양한 크기의 기판을 검사할 수 있다.

또한, 본 발명은 제2이송유닛의 세부 구성을 통해 검사를 위한 기판을 기판안착부에 정위치시킬 수 있고, 기판의 전면과 후면을 동시에 검사할 수 있으며, 제1검사영역과 제2검사영역 사이의 슬라이드 이동을 안정화시키고, 기설정된 촬영구간에 대응하여 기판의 슬라이드 이동을 정밀하게 제어하며, 기판이 제2방향을 따라 이동될 때 본체에서 기판안착부의 유동 및 기판안착부에서 기판의 유동을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 홀촬영유닛의 세부 구성을 통해 기판의 전방과 기판의 후방을 동시에 촬영하여 비아홀의 가공 상태를 검사할 수 있고, 비아홀의 확대 및 축소, 비아홀의 초점에 대응하여 카메라유닛의 승강 이동 및 슬라이드 이동이 자유로우며, 조명부에서 발산되는 빛의 반사에 따른 영상 왜곡을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 검사조작부 및 제어유닛을 통해 홀촬영유닛의 미세 조정이 가능하고, 작업자의 의도에 따라 기판의 검사 동작을 조절할 수 있으며, 작업자에 따라 영상의 초점 조절 및 영상의 확대 축소가 용이하며, 기설정된 촬영구간 사이의 사각지대도 명확하게 검사할 수 있다.

또한, 본 발명은 이송조작부 및 제어유닛을 통해 제1이송유닛과 제2이송유닛의 동작을 안정되게 제어하고, 기설정된 촬영구간을 설정하거나 제1이송유닛과 제2이송유닛의 동작을 정밀하게 제어할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치를 도시한 평면배치도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 로딩유닛을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 로딩유닛을 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 언로딩유닛을 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제1이송유닛을 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제1흡착유닛의 결합 상태를 도시한 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제1흡착유닛의 결합 상태를 도시한 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제2이송유닛을 도시한 정면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제2이송유닛을 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 홀촬영유닛을 도시한 측면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 상부촬영유닛을 도시한 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 제어유닛을 도시한 블럭도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 검사조작부를 도시한 평면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치에서 이송조작부를 도시한 평면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판의 비아홀 검사장치의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.

도 1 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 플랙시블(flexible) 기판(S)에 레이저 드릴링 머신(Laser Drilling Machine) 설비로 가공한 비아홀(Via Hole)의 가공 상태를 작업자가 육안으로 검사하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 비아홀의 검사에 있어서 작업자가 기판(S)을 접촉하지 않는 비접촉 검사 방식을 구현하면서도 기판(S)의 검사과정 및 취급(기판(S)의 투입과 배출, 기판(S)의 검사, 기판(S)의 이송 등)을 인라인으로 자동화시킬 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 촬영된 영상을 기반으로 비아홀의 가공 여부 검사, 비아홀의 편심 상태 검사, 비아홀의 관통 형상 검사, 비아홀의 관통 직경 검사와 같은 비아홀의 검사 항목을 수행할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서 제1방향은 X축 방향에서의 슬라이드 이동 방향을 나타내고, 제2방향은 Y축 방향에서의 슬라이드 이동 방향을 나타내며, 높이 방향은 Z축 방향에서의 승강 이동 방향을 나타낸다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 검사하우징(10)과, 로딩유닛(20)과, 언로딩유닛(30)과, 제1이송유닛(40)과, 제2이송유닛(50)과, 홀촬영유닛(60)과, 디스플레이유닛(70)을 포함하고, 검사조작부(81)와, 이송조작부(82)와, 제어유닛(80)을 더 포함할 수 있다.

검사하우징(10)은 외관을 형성한다. 검사하우징(10)은 도 1과 같이 평면 상태에서 검사하고자 하는 기판(S)의 안착을 위한 로딩영역(A)과, 제1방향을 따라 로딩영역(A)의 일측에 배치되는 언로딩영역(B)과, 로딩영역(A)과 언로딩영역(B) 사이에 배치되는 제1검사영역(W1)과, 기판(S)의 촬영을 위해 제1방향과 교차되는 제2방향을 따라 제1검사영역(W1)의 일측에 배치되는 제2검사영역(W2)으로 구분할 수 있다. 그러면, 제1검사영역(W1)은 기판(S)의 로딩, 기판(S)의 언로딩, 기판(S)의 검사에 필요한 버퍼공간으로 활용된다.

검사하우징(10)의 바닥에는 이송바퀴(11)가 회전 가능하게 결합되어 검사하우징(10)의 이동을 원활하게 할 수 있다.

검사하우징(10)의 바닥에는 높이조절부(12)가 나사 결합되어 설치 장소에서 검사하우징(10)의 수평을 정확하게 조절할 수 있다.

검사하우징(10)의 정면에는 검사조작부(81)가 설치되는 조작대(13)가 돌출 형성될 수 있다. 조작대(13)에는 후술하는 제어입력부(83)가 설치될 수 있다.

로딩유닛(20)은 검사하고자 하는 기판(S)이 적재된다. 로딩유닛(20)은 로딩영역(A)에 구비된다. 로딩유닛(20)은 기판센싱홀부(214)가 관통 형성된 상태로 검사하고자 하는 기판(S)이 적재되는 로딩적재부(21)와, 로딩적재부(21)가 안착되도록 로딩영역(A)에 구비되는 로딩지지부(22)와, 기판센싱홀부(214)를 통해 로딩적재부(21)에 적재된 기판(S)을 감지하는 기판센싱부(201)를 포함할 수 있다.

여기서, 기판센싱홀부(214)는 로딩적재부(21)의 바닥에 관통 형성되어 기판센싱부(201)가 노츨되도록 한다. 또한, 로딩적재부(21)에는 적재되는 기판(S)의 가장자리를 지지하는 복수의 로딩날개부(211)가 높이 방향으로 돌출 형성될 수 있다. 또한, 로딩적재부(21)에는 적재되는 기판(S)이 로딩적재부(21)의 바닥으로 유도되어 정위치되도록 로딩날개부(211)의 상단부에서 로딩적재부(21)의 바깥족을 향해 경사지게 형성되는 로딩확장부(212)가 돌출 형성될 수 있다. 또한, 로딩적재부(21)에는 기판(S)의 로딩 방향을 표시하는 로딩방향날개부(213)가 구비될 수 있다.

여기서, 로딩지지부(22)는 로딩영역(A)에 다수 개가 상호 이격 배치된다. 로딩지지부(22) 중 로딩적재부(21)의 가장자리에 대응하는 로딩지지부(22)에는 로딩적재부(21)의 가장자리가 안착 지지되는 로딩안착홈(221)이 함몰 형성될 수 있다. 또한, 로딩지지부(22)에는 로딩지지부(22)에 로딩적재부(21)가 정위치되도록 로딩적재부(21)의 가장자리를 로딩안착홈(221)으로 유도하는 로딩유도부(222)가 경사지게 형성될 수 있다.

여기서, 기판센싱부(201)는 기판센싱홀부(214)를 통해 노출되는 기판(S)을 감지한다. 그리고 로딩적재부(21)의 기판(S)이 제1이송유닛(40)에 의해 제2이송유닛(50)으로 모두 운반되면, 기판센싱홀부(214)가 노출됨으로써, 기판센싱부(201)가 기판(S)을 감지하지 못하므로, 기판센싱부(201)에서는 기판부재신호가 발생되고, 제어유닛(80)은 기판부재신호를 바탕으로 마지막으로 제2이송유닛(50)에 전달된 기판(S)을 언로딩유닛(30)에 전달한 다음, 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)을 초기 위치로 이동시킨 후, 검사를 종료한다. 그리고 로딩영역(A)에서 로딩유닛(20)을 교체하고, 언로딩영역(B)에서 언로딩유닛(30)을 교체한 다음, 교체된 로딩유닛(20)의 기판(S)을 다시 검사할 수 있다.

언로딩유닛(30)은 검사를 마친 기판(S)이 적재된다. 언로딩유닛(30)은 언로딩영역(B)에 구비된다. 언로딩유닛(30)은 검사가 완료된 기판(S)이 적재되는 언로딩적재부(31)와, 언로딩적재부(31)의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 언로딩레일부(32)와, 언로딩영역(B)에서 언로딩적재부(31)의 슬라이딩 위치를 결정하는 장착제한부(33)와, 언로딩영역(B)에서 언로딩적재부(31)를 감지하는 적재부센싱부(301)를 포함할 수 있다.

여기서, 언로딩적재부(31)에는 언로딩영역(B)에서의 정위치를 확인하기 위해 장착제한부(33)와 결합되는 정위치안착부(311)가 구비될 수 있다. 또한, 언로딩적재부(31)에는 작업자의 파지를 위한 적재파지부(312)가 구비될 수 있다.

여기서, 언로딩레일부(32)에는 언로딩영역(B)에 투입되는 언로딩적재부(31)를 언로딩영역(B)으로 유도하는 언로딩유도부(222)가 구비될 수 있다. 언로딩유도부(222)는 언로딩레일부(32)의 투입부가 확장되도록 언로딩레일부(32)에 경사지게 구비될 수 있다.

여기서, 적재부센싱부(301)는 정위치안착부(311)와 장착제한부(33)가 결합된 상태에서 언로딩적재부(31)를 감지한다. 언로딩적재부(31)에 검사가 완료된 기판(S)의 적재가 완료되면, 언로딩적재부(31)는 언로딩레일부(32)를 따라 이동하여 언로딩영역(B)에서 이탈된다. 그러면, 정위치안착부(311)와 장착제한부(33)의 결합이 해제되고, 적재부센싱부(301)는 언로딩적재부(31)를 감지하지 못하므로, 적재부센싱부(301)에서는 적재부재신호가 발생되고, 제어유닛(80)은 적재부재신호를 바탕으로 새로운 검사 과정을 보류시킨다. 그리고 새로운 언로딩적재부(31)가 투입되어 적재부센싱부(301)가 언로딩적재부(31)를 감지하게 되면, 새로운 검사 과정을 원활하게 진행할 수 있다.

제1이송유닛(40)은 로딩영역(A)과 제1검사영역(W1) 사이에서 기판(S)을 흡착하여 운반하거나, 제1검사영역(W1)과 언로딩영역(B) 사이에서 기판(S)을 흡착하여 운반할 수 있다.

제1이송유닛(40)은 로딩영역(A)에서 로딩유닛(20)에 적재되어 검사하고자 하는 기판(S)의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제1흡착유닛(41)과, 제1검사영역(W1)에서 제2이송유닛(50)에 적재되어 검사가 완료된 기판(S)의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제2흡착유닛(42)과, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)을 상호 이격된 상태로 연결하는 제1연결부재(44)와, 검사하우징(10)과 제1연결부재(44)를 연결하는 제2연결부재(406)와, 제1연결부재(44)를 기준으로 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)을 높이 방향으로 승강 이동시키는 승강구동유닛(43)과, 제2연결부재(406)를 기준으로 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)을 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1방향구동유닛(45)과, 로딩영역(A)에 구비되어 제1흡착유닛(41)이 기판(S)을 낱장으로 흡착 지지하였는지 여부를 감지하는 파지센싱부(401)를 포함할 수 있다.

파지센싱부(401)는 제1흡착유닛(41)에 흡착 지지된 낱장의 기판(S)이 로딩유닛(20)으로부터 충분이 이격되었는지 여부를 감지할 수 있다. 파지센싱부(401)가 제1흡착유닛(41)과 로딩유닛(20) 사이에서 기판(S)을 감지하는 경우, 오류신호를 발생시키고, 파지센싱부(401)가 제1흡착유닛(41)과 로딩유닛(20) 사이에서 기판(S)을 감지하지 못하는 경우, 정상신호를 발생시킬 수 있다. 그러면, 제어유닛(80)은 오류신호를 바탕으로 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 일시 정지시켜 작업자가 오류를 수정할 수 있도록 할 수 있다. 또한, 제어유닛(80)은 정상신호를 바탕으로 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 정상적으로 제어할 수 있다.

여기서, 제1흡착유닛(41)은 승강구동유닛(43)에 연결되는 흡착브라켓(411)과, 기판(S)의 네 변 중 상호 마주보는 두 변에 대응하여 흡착브라켓(411)의 양단부에 각각 결합되어 기판(S)의 흡착을 위한 흡착력이 전달되는 한 쌍의 이송흡착로드(412)와, 이송흡착로드(412)에 결합되어 흡착력에 의해 기판(S)의 가장자리를 흡착 지지하는 이송흡착노즐(413)과, 이송흡착노즐(413)에서 흡착 지지된 기판(S)을 감지하는 흡착센싱부(416)를 포함할 수 있다.

흡착센싱부(416)가 기판(S)을 감지하는 경우, 정상신호를 발생시키고, 흡착센싱부(416)가 기판(S)을 감지하지 못하는 경우, 오류신호를 발생시킬 수 있다. 그러면, 제어유닛(80)은 오류신호를 바탕으로 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 일시정지시켜 작업자가 오류를 수정할 수 있도록 할 수 있다. 또한, 제어유닛(80)은 정상신호를 바탕으로 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 정상적으로 제어할 수 있다.

이송흡착노즐(413)은 복수 개가 상호 이격된 상태로 이송흡착로드(412)에 결합되어 기판(S)의 처짐이나 흡착 불량을 예방할 수 있다.

제2흡착유닛(42)은 제1흡착유닛(41)과 마찬가지로, 흡착브라켓(411)과, 이송흡착로드(412)와, 이송흡착노즐(413)과, 흡착센싱부(416)를 포함할 수 있다. 제2흡착유닛(42)은 제1흡착유닛(41)과 동일한 구성으로 이루어지므로, 이에 대한 설명은 생략한다.

제1이송유닛(40)은 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제1연결부재(44)를 기준으로 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)의 승강 이동을 가이드하는 승강구동가이드(431)와, 제1방향구동유닛(45)의 동작에 따라 제2연결부재(406)를 기준으로 제1연결부재(44)의 슬라이드 이동을 가이드하는 제1방향가이드(451)와, 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 결합되어 기판(S)의 네 변 중 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 두 변을 제외한 나머지 두 변 중 적어도 어느 한 변을 흡착 지지하는 지지흡착유닛(47)과, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)에 각각 결합되어 기판(S)을 흡착 지지할 때 전달되는 충격을 흡수하는 완충유닛(48)과, 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 결합되어 기판(S)의 네 모서리 중 적어도 하나의 모서리 부분을 흡착 지지한 상태로 해당 모서리 부분을 승강 이동시키는 낱장분리유닛(49) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.

승강구동가이드(431)는 제1연결부재(44)에 결합되는 제1승강가이드와, 제1흡착유닛 또는 제2흡착유닛(42)이 결합되는 제2승강가이드를 포함한다. 그러면, 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제2승강가이드는 제1승강가이드에 승강 이동 가능하게 결합된 상태로 제1승강가이드를 따라 승강 이동될 수 있다.

제1방향가이드(451)는 제2연결부재(406)에 결합되는 제1-1방향가이드와, 제1연결부재(44)에 결합되는 제1-2방향가이드를 포함한다. 그러면, 제1방향구동유닛(45)의 동작에 따라 제1-2방향가이드는 제1-1방향가이드에 슬라이드 이동 가능하게 결합된 상태로 제1-1방향가이드를 따라 슬라이드 이동될 수 있다. 제1방향가이드(451)에는 제1연결부재(44)의 슬라이드 이동 한계를 설정하는 제1방향제한부(452)가 상호 이격된 상태로 배치될 수 있다.

지지흡착유닛(47)은 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 결합되는 연결브라켓(471)과, 연결브라켓(471)에 결합되어 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 제공되는 흡착력이 전달되는 지지흡착로드(472)와, 지지흡착로드(472)에 결합되어 흡착력에 의해 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 기판(S)의 두 변을 제외한 나머지 두 변 중 적어도 어느 하나를 흡착 지지하는 지지흡착노즐(473)을 포함할 수 있다.

해당 흡착유닛이 흡착 지지하고자 하는 기판(S)의 흡착면은 지지흡착노즐(473)이 흡착 지지하고자 하는 기판(S)의 흡착면과 일치되어 기판(S)을 평평한 상태로 흡착 지지할 수 있다.

연결브라켓(471)은 흡착브라켓(411) 또는 이송흡착로드(412)에 결합되거나 흡착브라켓과 일체로 형성될 수 있다. 지지흡착로드(472)는 이송흡착로드(412)와 교차되는 방향으로 배치되어 기판(S)의 가장자리를 안정되게 흡착 지지할 수 있다.

완충유닛(48)은 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 결합되는 완충로드(481)와, 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에서 이격되어 승강구동가이드(431) 또는 승강구동유닛(43)에 결합되는 완충브라켓(484)과, 완충브라켓(484)에 구비되어 완충로드(481)가 승강 이동 가능하게 결합되는 완충부시(482)와, 제1연결부재(44)를 기준으로 제1흡착유닛(41)을 탄성 지지하거나 제1연결부재(44)를 기준으로 제2흡착유닛(42)을 탄성 지지하는 탄성부재(483)를 포함할 수 있다.

완충로드(481)는 흡착브라켓(411)에 결합 고정되고, 완충브라켓(484)은 흡착브라켓(411)에서 이격되도록 한다.

탄성부재(483)는 제1흡착유닛(41)과 완충브라켓(484) 사이를 탄성 지지하거나 제2흡착유닛(42)과 완충브라켓(484) 사이를 탄성 지지하는 코일스프링을 포함할 수 있다.

낱장분리유닛(49)은 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 결합되는 제1분리브라켓(491)과, 제1분리브라켓(491)에서 이격 배치되는 제2분리브라켓(492)과, 제1분리브라켓(491)에 결합된 상태에서 제2분리브라켓(492)을 승강 이동시키는 분리구동부(493)와, 제2분리브라켓(492)에 결합되어 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)에 제공되는 흡착력이 전달되는 분리흡착로드(494)와, 분리흡착로드(494)에 결합되어 흡착력에 의해 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 기판(S)의 모서리 부분을 흡착 지지하는 분리흡착노즐(495)을 포함할 수 있다.

해당 흡착유닛이 흡착 지지하고자 하는 기판(S)의 흡착면은 분리흡착노즐(495)이 흡착 지지하고자 하는 기판(S)의 흡착면과 일치되어 기판(S)을 평평한 상태로 흡착 지지할 수 있다.

제1분리브라켓(491)은 흡착브라켓(411) 또는 이송흡착로드(412)에 결합되거나 흡착브라켓(411)과 일체로 형성될 수 있다. 제1분리브라켓(491)은 기판(S)의 흡착면 일치를 위해 절곡 형성되거나 복수 개가 상호 결합될 수 있다. 또한, 제2분리브라켓(492)은 흡착브라켓(411)과 실질적으로 동일한 평면에 배치됨으로써, 기판(S)의 흡착면을 간편하게 일치시킬 수 있다.

분리흡착로드(494)는 이송흡착로드(412)와 교차되는 방향으로 배치되거나 지지흡착로드(472)와 평행하게 배치되어 기판(S)의 모서리 부분을 안정되게 흡착 지지할 수 있다.

제1이송유닛(40)의 동작을 살펴보면, 초기 위치에서 제1흡착유닛(41)은 로딩영역(A)에서 로딩유닛(20)의 상측으로 이격 배치되고, 제2흡착유닛(42)은 제1검사영역(W1)에서 제2이송유닛(50)의 상측으로 이격 배치된다.

제어유닛(80)의 투입신호에 대응하여 제1흡착유닛(41)이 동작된다. 제1흡착유닛(41)은 로딩영역(A)의 기판(S)을 흡착 지지하여 제1검사영역(W1)으로 운반한다.

좀더 자세하게, 제어유닛(80)의 투입신호에 대응하여 승강구동유닛(43)이 동작된다. 승강구동유닛(43)은 이송흡착노즐(413)이 기판(S)에 접촉되도록 제1흡착유닛(41)을 로딩유닛(20) 쪽으로 하강시킨다. 이때, 완충유닛(48)의 동작으로 이송흡착노즐(413)이 기판(S)을 가압하는 힘을 흡수할 수 있다.

그리고 제어유닛(80)의 투입신호에 대응하여 흡착력을 발생시키는 흡착구동부(미도시)는 제1흡착유닛(41)에 흡착력을 제공한다. 그러면, 이송흡착노즐(413)은 기판(S)을 흡착 지지할 수 있다.

다음으로, 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제1흡착유닛(41)을 일정량 상승시켜 제1흡착유닛(41)에 흡착 지지된 기판(S)을 로딩유닛(20)으로부터 이격시킨다. 이때, 낱장분리유닛(49)이 동작되어 제1흡착유닛(41)에 흡착 지지된 낱장의 기판을 따라 올라온 기판(S)을 분리할 수 있다. 특히, 낱장분리유닛(49)은 기판(S)의 모서리 부분을 왕복 이동시키므로, 기판(S)의 분리를 간편하고 신속하게 실시할 수 있다. 이때, 파지센싱부(401)와 흡착센싱부(416)의 동작에 따라 낱장의 기판(S)이 제1흡착유닛(41)에 흡착 지지됨을 확인할 수 있다.

마지막으로, 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제1흡착유닛(41)은 초기 위치로 상승한 다음, 제1방향구동유닛(45)의 동작에 따라 제1흡착유닛(41)은 제1검사영역(W1)의 제2이송유닛(50) 상측으로 운반되고, 다시 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제1흡착유닛(41)은 하강하며, 흡착구동부(미도시)의 동작에 따라 제1흡착유닛(41)에 제공되는 흡착력이 해제되므로, 기판(S)은 제2이송유닛(50)에 안착된다.

제어유닛(80)의 배출신호에 대응하여 제2흡착유닛(42)이 동작된다. 제2흡착유닛(42)은 제1검사영역(W1)의 기판(S)을 흡착 지지하여 언로딩영역(B)으로 운반한다. 구체적인 동작은 상술한 제1흡착유닛(41)의 동작과 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략한다. 제2흡착유닛(42)의 동작에서는 파지센싱부(401)의 동작이 생략되므로, 제2흡착유닛(42)은 기판(S)을 흡착 지지한 다음, 초기 위치로 직접 상승하게 된다.

제2이송유닛(50)은 제1검사영역(W1)과 제2검사영역(W2) 사이에서 기판(S)을 흡착하여 운반할 수 있다.

제2이송유닛(50)은 제1흡착유닛(41)에 의해 운반된 기판(S)이 안착되는 기판안착부(51)와, 기판(S)의 정렬을 위해 기판안착부(51)에 안착된 기판(S)을 제1방향으로 이동시키는 제1방향정렬부(52)와, 기판(S)의 정렬을 위해 기판안착부(51)에 안착된 기판을 제2방향으로 이동시키는 제2방향정렬부(53)와, 제1검사영역(W1)과 제2검사영역(W2) 사이에서 제2방향을 따라 기판안착부(51)를 슬라이드 이동시키는 제2방향구동유닛(54)을 포함할 수 있다.

기판안착부(51)에는 기판(S)의 정위치 상태에서 기판(S)을 흡착 지지하기 위한 안착노즐(511)이 구비될 수 있다. 안착노즐(511)에는 기판(S)의 정위치와 더불어 안착구동부(미도시)에서 발생된 흡착력이 제공되므로, 기판(S)의 정위치 상태를 안정되게 유지시킬 수 있다.

기판안착부(51)에는 기판(S)의 뒷면 촬영을 위해 기설정된 촬영구간에 대응하여 후방촬영홀부(512)가 관통 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 기설정된 촬영구간은 기판(S)의 크기 및 홀촬영유닛(60)의 촬영 영역에 대응하여 작업자가 미리 설정할 수 있다. 일예로, 기설정된 촬영구간은 행렬로 3행 3열로 구획되거나 4행 3열로 구획되거나 3행 4열로 구획될 수 있다.

기판안착부(51)에는 기판(S)의 네 모서리 중 어느 하나가 일치되는 정렬원점(515)이 형성될 수 있다. 일예로, 정렬원점(515)은 도 9에 도시된 바와 같이 기판안착부(51)에서 좌측 하단의 모서리로 설정한다.

기판안착부(51)에는 제1방향과 교차되도록 정렬원점(515)으로부터 연장되는 제1정렬턱(513)과, 제2방향과 교차되도록 정렬원점(515)으로부터 연장되는 제2정렬턱(514)이 구비될 수 있다.

이에 따라, 제1방향정렬부(52)는 기판(S)을 제1방향으로 이동시킴으로써, 기판(S)의 네 변 중 어느 하나를 제1정렬턱(513)과 일치시키고, 제2방향정렬부(53)는 기판(S)을 제2방향으로 이동시킴으로써, 기판(S)의 네 변 중 다른 하나를 제2정렬턱(514)과 일치시킬 수 있다.

제2이송유닛(50)은 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 검사하우징(10)을 기준으로 기판안착부(51)의 슬라이드 이동을 가이드하는 제2방향가이드(541)를 더 포함할 수 있다.

제2방향가이드(541)는 검사하우징(10)에 결합되는 제2-1방향가이드와, 기판안착부(51)에 결합되는 제2-2방향가이드를 포함할 수 있다. 그러면, 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 제2-2방향가이드는 제2-1방향가이드에 슬라이드 이동 가능하게 결합된 상태로 제2-1방향가이드를 따라 슬라이드 이동될 수 있다. 제2방향가이드(541)에는 기판안착부(51)의 슬라이드 이동 한계를 설정하는 제2방향제한부(542)가 상호 이격된 상태로 배치될 수 있다.

제2이송유닛(50)은 제2방향가이드(541)에서 이격된 상태로 검사하우징(10)에 구비되어 제2방향을 따라 길게 형성되는 안내가이드레일(55)과, 기판안착부(51)에 구비되어 안내가이드레일(55)에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 안내슬라이더(56)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 기판안착부(51)의 슬라이드 이동을 부드럽게 하고, 기판(S)이 제1검사영역(W1)에서 제2검사영역(W2)으로 이송되거나 기설정된 촬영구간에 따라 기판(S)이 이동되는 경우 기판(S)의 유동을 방지하고, 기판(S)의 정위치 상태를 안정되게 유지시킬 수 있다.

제2이송유닛(50)의 동작을 살펴보면, 초기 위치에서 기판안착부(51)는 제1검사영역(W1)에서 제2흡착유닛(42)과 상호 이격된 상태로 마주보도록 배치된다.

이때, 기판안착부(51)에는 제1흡착유닛(41)에 의해 운반된 기판(S)이 안착된다.

기판안착부(51)로부터 제1흡착유닛(41)이 상승되면, 제어유닛(80)의 제1이송신호에 대응하여 제1방향정렬부(52)와 제2방향정렬부(53)가 동작된다. 제1방향정렬부(52)는 기판(S)의 네 변 중 어느 하나를 제1정렬턱(513)과 일치시키고, 제2방향정렬부(53)는 기판(S)의 네 변 중 다른 하나를 제2정렬턱(514)에 일치시킴으로써, 기판(S)의 네 모서리 중 어느 하나를 정렬원점과 일치시킨다.

그리고 제어유닛(80)의 제1이송신호에 대응하여 안착구동부(미도시)가 기판안착부(51)에 흡착력을 제공한다. 그러면, 안착노즐(511)은 기판안착부(51)에서 기판(S)을 흡착 지지할 수 있다. 다음으로, 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 기판안착부(51)를 제2검사영역(W2)으로 이동시킨다.

그리고 제어유닛(80)의 검사신호에 대응하여 제2방향구동유닛(54)이 동작된다. 그러면, 기판안착부(51)는 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 기설정된 촬영구간에 대응하여 간헐적으로 이동하게 된다. 이때, 제어유닛(80)의 검사신호에 대응하여 홀촬영유닛(60)도 동작됨으로써, 기설정된 촬영구간에 대응하여 기판(S)을 촬영할 수 있다.

기판(S)의 촬영이 완료되면, 제어유닛(80)의 제2이송신호에 대응하여 제2방향구동유닛(54)이 동작된다. 그러면, 기판안착부(51)는 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 초기 위치로 이동된다. 이때, 제어유닛(80)의 제2이송신호에 대응하여 홀촬영유닛(60)도 초기 위치로 이동된다.

홀촬영유닛(60)은 제2검사영역(W2)에 운반된 기판(S)을 기설정된 촬영구간별로 촬영한다.

홀촬영유닛(60)은 제2검사영역(W2)에서 기판(S)의 상측으로 이격 배치되는 상부촬영유닛(601)과, 제2검사영역(W2)에서 기판(S)의 하측으로 이격 배치되는 하부촬영유닛(602)을 포함할 수 있다.

이에 따라, 홀촬영유닛(60)은 기판(S)의 상면과 하면을 모두 촬영함으로써, 기판(S)의 반전 없이도 기판(S)의 상면과 하면을 동시에 검사할 수 있다.

상부촬영유닛(601)과 하부촬영유닛(602)은 각각 제2검사영역(W2)에 배치된 기판(S)으로부터 이격 배치되는 카메라유닛(61)과, 검사하우징(10)에 결합되는 제1촬영연결부재(63)와, 카메라유닛(61)과 제1촬영연결부재(63)를 연결하는 제2촬영연결부재(65)와, 제1촬영연결부재(63)를 기준으로 제1방향을 따라 카메라유닛(61)을 슬라이드 이동시키는 촬영구동유닛(62)과, 제2촬영연결부재(65)를 기준으로 높이 방향을 따라 카메라유닛(61)을 승강 이동시키는 촬영승강유닛(64)을 포함할 수 있다.

여기서, 카메라유닛(61)은 촬영승강유닛(64)에 결합되는 촬영브라켓(611)과, 기판(S)과 수직이 되도록 촬영브라켓(611)에 결합되어 기판(S)을 향해 빛을 발산하는 조명부(612)와, 조명부(612)의 일측에서 촬영브라켓(611)에 결합되어 조명부(612)의 빛이 조사되는 기판(S)을 촬영하는 카메라부(613)를 포함할 수 있다. 이때, 카메라부(613)의 시선 방향은 기판(S)을 향해 경사지게 형성되어 기판(S)에서 반사되는 빛이 카메라부(613)에 직접 전달되는 것을 방지하고, 촬영된 영상이 조명부(612)의 빛에 의해 보이지 않거나 왜곡되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상부촬영유닛(601)과 하부촬영유닛(602)은 각각 촬영구동유닛(62)의 동작에 따라 제1촬영연결부재(63)를 기준으로 제2촬영연결부재(65)의 슬라이드 이동을 가이드하는 촬영이송가이드(621)와, 제2촬영연결부재(65)를 기준으로 카메라유닛(61)의 승강 이동을 가이드하는 촬영승강가이드(641)를 더 포함할 수 있다.

촬영이송가이드(621)는 제1촬영연결부재(63)에 결합되는 제1촬영가이드와, 제2촬영연결부재(65)에 결합되는 제2촬영가이드를 포함한다. 그러면, 제2방향구동유닛(54)의 동작에 따라 제2촬영가이드는 제1촬영가이드에 슬라이드 이동 가능하게 결합된 상태로 제1촬영가이드를 따라 슬라이드 이동될 수 있다. 촬영이송가이드(621)에는 제2촬영연결부재(65)의 슬라이드 이동 한계를 설정하는 촬영이송제한부(622)가 상호 이격된 상태로 배치될 수 있다.

촬영승강가이드(641)는 제2촬영연결부재(65)에 결합되는 제1촬영승강가이드와, 제1흡착유닛(41) 또는 제2흡착유닛(42)이 결합되는 제2촬영승강가이드를 포함한다. 그러면, 승강구동유닛(43)의 동작에 따라 제2촬영승강가이드는 제1촬영승강가이드에 승강 이동 가능하게 결합된 상태로 제1촬영승강가이드를 따라 승강 이동될 수 있다.

홀촬영유닛(60)의 동작을 살펴보면, 초기 위치에서 카메라유닛(61)은 각각 기판안착부(51)에 안착된 기판(S)의 상부와 하부에 각각 이격 배치된다.

제2이송유닛(50)의 동작에 따라 기판안착부(51)가 제2검사영역(W2)에서 정위치되면, 제어유닛(80)의 검사신호에 대응하여 촬영구동유닛(62)이 동작된다. 그러면, 촬영구동유닛(62)은 기설정된 촬영구간에 대응하여 제2방향구동유닛(54)과 연계하여 간헐적으로 이동하게 된다. 그리고 제어유닛(80)의 검사신호에 대응하여 카메라유닛(61)은 기설정된 촬영구간에서 기판(S)의 상면과 하면을 촬영한다. 이렇게 촬영된 영상은 디스플레이유닛(70)에 표시되도록 한다.

이때, 촬영승강유닛(64) 및 카메라유닛(61)의 동작에 따라 촬영되는 영상의 확대 또는 촬영되는 영상의 축소 또는 촬영되는 영상의 초점을 조절할 수 있다.

기판(S)의 촬영이 완료되면, 제어유닛(80)의 촬영복귀신호에 대응하여 촬영구동유닛(62)이 동작된다. 그러면, 카메라유닛(61)은 촬영구동유닛(62)의 동작에 따라 초기 위치로 이동된다. 이때, 제어유닛(80)의 촬영복귀신호는 제어유닛(80)의 제2이송신호와 연계되어 제2방향구동유닛(54)을 동작시킴으로써, 기판안착부(51)를 초기 위치로 이동시킬 수 있다.

디스플레이유닛(70)은 홀촬영유닛(60)을 통해 촬영된 영상을 표시한다. 디스플레이유닛(70)은 기판(S)의 상면에 대한 영상과 기판(S)의 후면에 대한 영상을 동시에 표시할 수 있다.

제어유닛(80)은 검사조작부(81)와 이송조작부(82)의 조작에 따라 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)과 디스플레이유닛(70)의 동작을 제어한다.

검사조작부(81)는 기판(S)에 형성된 비아홀의 촬영을 위해 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 조작한다.

"헤드이송"은 기설정된 촬영구간에 대응하여 카메라유닛(61)과 기판안착부(51)가 움직이도록 선택하는 조작부이다.

"투입"은 제어유닛(80)에서 투입신호가 생성되도록 선택하는 조작부이다.

"조이스틱"은 기설정된 촬영구간에서 제1방향 또는 제2방향으로 카메라유닛(61)의 슬라이드 이동을 조작하는 조작부이다.

"선택"은 기판(S)의 상면과 기판(S)의 하면 중 어느 하나를 촬영하는 카메라유닛(61)을 선택하는 조작부이다. "선택"의 조작에 따라 초기에는 기판(S)의 상면을 촬영하는 카메라유닛(61)이 선택되고, 한 번 조작하면, 기판(S)의 하면을 촬영하는 카메라유닛(61)이 선택되며, 다시 한 번 조작하면, 기판(S)의 상면을 촬영하는 카메라유닛(61)으로 전환된다.

"ZOOM IN" 과 "ZOOM OUT"은 촬영되는 영상의 확대와 축소를 조절하는 조작부이다. "ZOOM IN" 과 "ZOOM OUT"은 "선택"의 조작과 병행할 수 있다.

"카메라 UP" 과 "카메라 DOWN"은 촬영되는 영상의 초점을 조절하는 조작부이다.

"회수"는 기판(S)의 불량에 따른 배출을 선택하는 조작부이다.

"제품배출" 기판(S)의 정상 판단에 따라 제어유닛(80)에서 배출신호가 생성되도록 선택하는 조작부이다.

"검사전진"은 기설정된 촬영구간에 대한 기판(S)의 촬영 과정에서 현재 촬영구간을 기준으로 다음 촬영구간으로의 이동을 선택하는 조작부이다.

"검사후진"은 기설정된 촬영구간에 대한 기판(S)의 촬영 과정에서 현재 촬영구간을 기준으로 이전 촬영구간으로의 복귀를 선택하는 조작부이다.

미설명부호 81a는 검사장치의 동작 중 비상 정지를 위한 비상정지부이다.

비상정지부(81a)는 응급 상황에 대응하여 검사장치의 전체 동작을 정지시키기 위해 작업자가 조정한다. 비상정지부(81a)는 조작대(13)에 설치된다. 그러면, 디스플레이유닛(70)에 표시된 영상을 바탕으로 비아홀을 검사하는 동안 작업자는 검사장치 및 주변 상황을 감시할 수 있다. 그리고 응급 상황에 대응하여 비상정지부(81a)를 조작하는 경우, 비상정지부(81a)의 조작신호는 제어유닛(80)에 전달되고, 제어유닛(80)은 검사장치의 전체 동작을 정지시키기 위한 비상정지신호를 각각 제1이송유닛(40)과, 제2이송유닛(50)과, 홀촬영유닛(60)에 전달함으로써, 제1이송유닛(40)과, 제2이송유닛(50)과, 홀촬영유닛(60)의 동작을 비상 정지시킬 수 있다.

이송조작부(82)는 초기 위치 설정을 위한 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작 제어를 위해 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 동작을 조작한다.

"수동/자동"은 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 초기 위치 설정에 대한 자동 또는 수동 여부를 선택하는 조작부이다.

"시작"은 초기 위치의 설정에 대한 시작 여부를 선택하는 조작부이다.

"정지"는 초기 위치의 설정에 대한 정지 여부를 선택하는 조작부이다.

"원점"은 초기 위치 설정에 따라 결정된 원점을 선택하는 조작부이다.

"RESET"은 설정 사항을 초기화하는 조작부이다.

"비상정지"는 초기 위치 설정에서 검사장치의 동작에 대한 비상정지를 선택하는 조작부이다.

"전원"은 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)과 제어유닛(80)에 전원을 인가하기 위한 조작부로 "ON"은 전원 인가 상태를 나타내고, "OFF"는 전원 비인가 상태를 나타낸다.

도 14에서 위쪽 부분의 사각박스는 터치패널을 나타낸다. 또한, 도 14에서 좌측 아래 부분의 사각박스는 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)의 흡착력에 대한 압력을 나타낸다.

제어입력부(83)는 검사장치의 제어를 위한 명령어를 입력한다. 제어입력부(83)는 명령어를 문자 형태로 입력하기 위한 키보드부(831)와, 명령어의 입력을 위해 화면상의 아이콘을 선택 실행하기 위한 마우스부(832)로 구분할 수 있다. 마우스부(832)는 디스플레이유닛에 구비된 터치스크린으로 구현할 수 있다.

비상알림부(85)는 검사장치의 비상 정지에 대응하여 시각적인 표시를 나타낸다.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 비아홀을 검사하는 방법에 대하여 설명한다.

먼저, 검사하우징(10)에 구비된 메인전원(미도시)의 조작에 따라 검사장치에 전원을 인가하여 검사장치 전체를 활성화시킨다. 또한, 이송조작부(82)에 구비된 "전원"의 조작에 따라 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)과 제어유닛(80)에 전원을 인가하면서 상호 전기적으로 연결되도록 한다. 또한, 제어유닛(80)을 부팅시켜 제어유닛(80)의 프로그램을 실행시킨다.

부팅이 완료되면, 디스플레이유닛(70)에 표시되어 검사장치의 제어를 위한 프로그램을 실행시킨다.

이때, 디스플레이유닛(70)에 표시된 원점실행여부를 선택함으로써, 자동 또는 수동으로 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)과 홀촬영유닛(60)의 초기 위치를 설정할 수 있다.

다음으로, 디스플레이유닛(70)에 표시된 메세지를 통해 투입대기 위치를 확인한다.

초기 위치 설정은 이송조작부(82)의 조작에 따라 이루어지도록 한다. 초기 위치 설정이 완료되면, "수동/자동"을 조작하여 자동모드로 전환한 다음, "시작"을 조작한다.

다음으로, 디스플레이유닛(70)에 표시된 검사정보를 실제 검사정보와 매칭시켜 저장한다.

그리고 검사조작부(81)를 조작하면, 로딩유닛(20)에 적재된 기판(S)을 낱장으로 제2검사영역(W2)에 운반하여 기설정된 촬영구간별로 기판(S)을 촬영하고, 디스플레이유닛(70)에 표시되는 영상을 작업자의 목시(目視)로 기판(S)에 형성된 비아홀을 상태를 검사한다.

검사모드가 초품모드인 경우, 기설정된 촬영구간들을 모두 이동하면서 검사하고, 양산모드인 경우, 기설정된 촬영구간들 중 일부만을 이동하면서 검사한다.

기판(S)의 검사가 완료되면, 수동모드에서는 "배출"을 조작하여 기판(S)을 언로딩유닛(30)으로 운반하고, 연속모드에서는 자동으로 기판(S)이 언로딩유닛(30)에 적재된다.

상술한 기판의 비아홀 검사장치에 따르면, 작업자가 기판에 관통 형성된 비아홀의 정상 여부를 검사할 수 있다.

또한, 기판의 비아홀 검사장치를 인라인화하여 검사장치 내에서 기판(S)의 운반 및 검사 속도를 향상시키고, 작업자의 안전사고를 예방할 수 있다.

또한, 작업자의 검사 의도에 따라 작업자가 기판(S)의 운반 및 검사 속도를 조절하고, 불량 기판이 정상 기판에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 로딩유닛(20)의 세부 구성을 통해 로딩영역(A)에서 기판(S)의 로딩 방향을 특정하며, 제1이송유닛(40)에서 분리되는 기판(S)이 안전하게 로딩적재부(21)에 다시 적재되도록 하고, 로딩영역(A)에서 로딩적재부(21)를 정위치시키고, 로딩적재부(21)의 기판(S)이 모두 로딩되면, 제1이송유닛(40)의 동작을 정지시켜 제1이송유닛(40)과 로딩적재부(21)의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 언로딩유닛(30)의 세부 구성을 통해 언로딩영역(B)에서 언로딩적재부(31)의 입출 방향을 특정하고, 언로딩적재부(31)의 운반을 편리하게 하며, 언로딩영역(B)에 언로딩적재부(31)를 안전하게 정위치시킬 수 있고, 언로딩적재부(31)의 장착 여부에 따라 제1이송유닛(40)의 동작을 정지시켜 언로딩적재부(31)의 배출을 용이하게 할 수 있다.

또한, 제1이송유닛(40)의 세부 구성을 통해 두 개의 흡착유닛으로 기판(S)의 운반을 빠르게 진행시킬 수 있고, 로딩영역(A)과 제1검사영역(W1) 사이의 슬라이드 이동 및 제1검사영역(W1)과 언로딩영역(B) 사이의 슬라이드 이동을 안정화시키고, 각 영역에서 기판(S)의 적재에 따른 단차를 보상하며, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)의 개별 승강 이동을 가능하게 하고, 로딩영역(A)에서 기판(S)을 흡착할 때 복수의 기판(S)이 연결되는 것을 방지하며, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)에 각각 낱장의 기판(S)만이 흡착 지지되도록 하고, 로딩영역(A)에서 낱장의 기판(S)을 안전하게 흡착 지지할 수 있으며, 기판(S) 표면에 잔류하는 이물질 또는 비아홀 내에 잔류하는 이물질을 제거할 수 있고, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)에서 기판(S)의 흡착 지지 상태를 안정화시키며, 기판(S)을 흡착 지지하는 과정에서 기판(S)에 가해지는 압력에 의해 기판(S)이 변형 또는 파손되는 것을 방지하고, 플렉시블(flexible) 기판(S)을 흡착 지지할 때 기판(S)의 평평도를 안정적으로 유지시켜 기판(S)의 운반 과정에서 기판(S)이 분리되거나 기판(S)의 흡착 해제시에 기판(S)의 안착 위치를 벗어나지 않도록 하며, 플렉시블한 기판(S)의 출렁임을 최소화시킬 수 있고, 제1흡착유닛(41)과 제2흡착유닛(42)의 간격 및 흡착로드들 사이의 간격 조절이 가능하며, 다양한 크기의 기판(S)을 검사할 수 있다.

또한, 제2이송유닛(50)의 세부 구성을 통해 검사를 위한 기판(S)을 기판안착부(51)에 정위치시킬 수 있고, 기판(S)의 전면과 후면을 동시에 검사할 수 있으며, 제1검사영역(W1)과 제2검사영역(W2) 사이의 슬라이드 이동을 안정화시키고, 기설정된 촬영구간에 대응하여 기판(S)의 슬라이드 이동을 정밀하게 제어하며, 기판(S)이 제2방향을 따라 이동될 때 검사하우징(10)에서 기판안착부(51)의 유동 및 기판안착부(51)에서 기판(S)의 유동을 방지할 수 있다.

또한, 홀촬영유닛(60)의 세부 구성을 통해 기판(S)의 전방과 기판(S)의 후방을 동시에 촬영하여 비아홀의 가공 상태를 검사할 수 있고, 비아홀의 확대 및 축소, 비아홀의 초점에 대응하여 카메라유닛(61)의 승강 이동 및 슬라이드 이동이 자유로우며, 조명부(612)에서 발산되는 빛의 반사에 따른 영상 왜곡을 방지할 수 있다.

또한, 검사조작부(81) 및 제어유닛(80)을 통해 홀촬영유닛(60)의 미세 조정이 가능하고, 작업자의 의도에 따라 기판(S)의 검사 동작을 조절할 수 있으며, 작업자에 따라 영상의 초점 조절 및 영상의 확대 축소가 용이하며, 기설정된 촬영구간 사이의 사각지대도 명확하게 검사할 수 있다.

또한, 이송조작부(82) 및 제어유닛(80)을 통해 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)의 동작을 안정되게 제어하고, 기설정된 촬영구간을 설정하거나 제1이송유닛(40)과 제2이송유닛(50)의 동작을 정밀하게 제어할 수 있다.\

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

S: 기판 10: 검사하우징 11: 이송바퀴
12: 높이조절부 13: 조작대 A: 로딩영역
W1: 제1검사영역 W2: 제2검사영역 B: 언로딩영역
20: 로딩유닛 201: 기판센싱부 21: 로딩적재부
211: 로딩날개부 212: 로딩확장부 213: 로딩방향날개부
214: 기판센싱홀부 22: 로딩지지부 221: 로딩안착홈
222: 로딩유도부 30: 언로딩유닛 301: 적재부센싱부
31: 언로딩적재부 311: 정위치안착홈 312: 적재파지부
32: 언로딩레일부 321: 언로딩유도부 33: 장착제한부
40: 제1이송유닛 401: 파지센싱부 41: 제1흡착유닛
411: 흡착브라켓 412: 이송흡착로드 413: 이송흡착노즐
416: 흡착센싱부 42: 제2흡착유닛 43: 승강구동유닛
431: 승강구동가이드 44: 제1연결부재 45: 제1방향구동유닛
451: 제1방향가이드 46: 제2연결부재 47: 지지흡착유닛
471: 연결브라켓 472: 지지흡착로드 473: 지지흡착노즐
48: 완충유닛 481: 완충로드 482: 완충부시
483: 탄성부재 484: 완충브라켓 49: 낱장분리유닛
491: 제1분리브라켓 492: 제2분리브라켓 493: 분리구동부
494: 분리흡착로드 495: 분리흡착노즐 50: 제2이송유닛
51: 기판안착부 511: 안착노즐 512: 후방촬영홀부
513: 제1정렬턱 514: 제2정렬턱 515: 정렬원점
52: 제1방향정렬부 53: 제2방향정렬부 54: 제2방향구동유닛
541: 제2방향가이드 542: 제2방향제한부 55: 안내가이드레일
56: 안내슬라이더 60: 홀촬영유닛 601: 상부촬영유닛
602: 하부촬영유닛 61: 카메라유닛 611: 촬영브라켓
612: 조명부 613: 카메라부 62: 촬영구동유닛
621: 촬영이송가이드 622: 촬영이송제한부 63: 제1촬영연결부재
64: 촬영승강유닛 641: 촬영승강가이드 65: 제2촬영연결부재
70: 디스플레이유닛 80: 제어유닛 81: 검사조작부
81a: 비상정지부 82: 이송조작부 83: 제어입렬부
831: 키보드부 832: 마우스부 85: 비상알림부

Claims

기판의 안착을 위한 로딩영역과, 제1방향을 따라 상기 로딩영역의 일측에 배치되는 언로딩영역과, 상기 로딩영역과 상기 언로딩영역 사이에 배치되는 제1검사영역과, 상기 기판의 촬영을 위해 상기 제1방향과 교차되는 제2방향을 따라 상기 제1검사영역의 일측에 배치되는 제2검사영역이 구비되는 검사하우징;
상기 로딩영역에 구비되어 상기 기판이 적재되는 로딩유닛;
상기 언로딩영역에 구비되어 검사를 마친 상기 기판이 적재되는 언로딩유닛;
상기 로딩영역과 상기 제1검사영역 사이에서 상기 기판을 운반하거나, 상기 제1검사영역과 상기 언로딩영역 사이에서 상기 기판을 운반하는 제1이송유닛;
상기 제1검사영역과 상기 제2검사영역 사이에서 상기 기판을 운반하는 제2이송유닛;
상기 제2검사영역에 운반된 상기 기판을 기설정된 촬영구간별로 촬영하는 홀촬영유닛; 및
상기 홀촬영유닛을 통해 촬영된 영상을 표시하는 디스플레이유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 기판에 형성된 비아홀의 촬영을 위해 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛의 동작을 조작하는 검사조작부;
초기 위치 설정을 위한 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛의 동작 제어를 위해 상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 홀촬영유닛의 동작을 조작하는 이송조작부; 및
상기 제1이송유닛과 상기 제2이송유닛과 상기 홀촬영유닛과 상기 디스플레이유닛의 동작을 제어하는 제어유닛;
중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 로딩유닛은,
기판센싱홀부가 관통 형성된 상태로 검사하고자 하는 상기 기판이 적재되는 로딩적재부;
상기 로딩적재부가 안착되도록 상기 로딩영역에 구비되는 로딩지지부; 및
상기 기판센싱홀부를 통해 상기 로딩적재부에 적재된 상기 기판을 감지하는 기판센싱부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 언로딩유닛은,
검사가 완료된 상기 기판이 적재되는 언로딩적재부;
상기 언로딩적재부의 슬라이드 이동 경로를 형성하는 언로딩레일부;
상기 언로딩영역에서 상기 언로딩적재부의 슬라이딩 위치를 결정하는 장착제한부; 및
상기 언로딩영역에서 상기 언로딩적재부를 감지하는 적재부센싱부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1이송유닛은,
상기 로딩영역에서 상기 로딩유닛에 적재되어 검사하고자 하는 상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제1흡착유닛;
상기 제1검사영역에서 상기 제2이송유닛에 적재되어 검사가 완료된 상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변을 흡착 지지하는 제2흡착유닛;
상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 상호 이격된 상태로 연결하는 제1연결부재;
상기 검사하우징과 상기 제1연결부재를 연결하는 제2연결부재;
상기 제1연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 높이 방향으로 승강 이동시키는 승강구동유닛;
상기 제2연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛을 상기 제1방향으로 슬라이드 이동시키는 제1방향구동유닛; 및
상기 로딩영역에 구비되어 상기 제1흡착유닛이 상기 기판을 낱장으로 흡착 지지하였는지 여부를 감지하는 파지센싱부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제5항에 있어서,
상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛은 각각,
상기 승강구동유닛에 연결되는 흡착브라켓;
상기 기판의 네 변 중 상호 마주보는 두 변에 대응하여 상기 흡착브라켓의 양단부에 결합되어 상기 기판의 흡착을 위한 흡착력이 전달되는 이송흡착로드;
상기 이송흡착로드에 결합되어 상기 흡착력에 의해 상기 기판의 가장자리를 흡착 지지하는 이송흡착노즐; 및
상기 이송흡착노즐에서 흡착 지지된 상기 기판을 감지하는 흡착센싱부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제5항에 있어서,
상기 제1이송유닛은,
상기 승강구동유닛의 동작에 따라 상기 제1연결부재를 기준으로 상기 제1흡착유닛 또는 제2흡착유닛의 승강 이동을 가이드하는 승강구동가이드;
상기 제1방향구동유닛의 동작에 따라 상기 제2연결부재를 기준으로 상기 제1연결부재의 슬라이드 이동을 가이드하는 제1방향가이드;
상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되고, 상기 기판의 네 변 중 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 두 변을 제외한 나머지 두 변 중 적어도 어느 한 변을 흡착 지지하는 지지흡착유닛;
상기 제1흡착유닛과 상기 제2흡착유닛에 각각 결합되어 상기 기판을 흡착 지지할 때 전달되는 충격을 흡수하는 완충유닛; 및
상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되고, 상기 기판의 네 모서리 중 적어도 하나의 모서리 부분을 흡착 지지한 상태로 해당 모서리 부분을 승강 이동시키는 낱장분리유닛;
중 적어도 어느 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제7항에 있어서,
상기 낱장분리유닛은,
상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 결합되는 제1분리브라켓;
상기 제1분리브라켓에서 이격 배치되는 제2분리브라켓;
상기 제1분리브라켓에 결합된 상태에서 상기 제2분리브라켓을 승강 이동시키는 분리구동부;
상기 제2분리브라켓에 결합되어 상기 제1흡착유닛 또는 상기 제2흡착유닛에 제공되는 흡착력이 전달되는 분리흡착로드; 및
상기 분리흡착로드에 결합되어 상기 흡착력에 의해 해당 흡착유닛이 흡착 지지하는 기판의 모서리 부분을 흡착 지지하는 분리흡착노즐;을 포함하고,
해당 흡착유닛이 흡착 지지하고자 하는 기판의 흡착면은 상기 분리흡착노즐이 흡착 지지하고자 하는 기판의 흡착면과 일치되는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2이송유닛은,
상기 기판의 뒷면 촬영을 위해 기설정된 촬영구간에 대응하여 관통 형성되는 후방촬영홀부와, 상기 기판의 네 모서리 중 어느 하나가 일치되는 정렬원점과, 상기 제1방향과 교차되도록 상기 정렬원점으로부터 연장되는 제1정렬턱과, 상기 제2방향과 교차되도록 상기 정렬원점으로부터 연장되는 제2정렬턱이 포함된 기판안착부;
상기 기판의 네 변 중 어느 하나가 상기 제1정렬턱과 일치되도록 상기 기판안착부에 안착된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이동시키는 제1방향정렬부;
상기 기판의 네 변 중 다른 하나가 상기 제2정렬턱과 일치되도록 상기 기판안착부에 안착된 상기 기판을 제2방향으로 이동시키는 제2방향정렬부; 및
상기 제1검사영역과 상기 제2검사영역 사이에서 상기 제2방향을 따라 상기 기판안착부를 슬라이드 이동시키는 제2방향구동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 홀촬영유닛은,
상기 제2검사영역에서 상기 기판의 상측으로 이격 배치되는 상부촬영유닛; 및
상기 제2검사영역에서 상기 기판의 하측으로 이격 배치되는 하부촬영유닛;을 포함하고,
상기 상부촬영유닛과 상기 하부촬영유닛은 각각,
상기 기판으로부터 이격 배치되는 카메라유닛;
상기 검사하우징에 결합되는 제1촬영연결부재;
상기 카메라유닛과 상기 제1촬영연결부재를 연결하는 제2촬영연결부재;
상기 제1촬영연결부재를 기준으로 상기 제1방향을 따라 상기 카메라유닛을 슬라이드 이동시키는 촬영구동유닛; 및
상기 제2촬영연결부재를 기준으로 높이 방향을 따라 상기 카메라유닛을 승강 이동시키는 촬영승강유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 비아홀 검사장치.