JP2020160165A5 - - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 2
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019057091A JP7286365B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | シャッタ装置、露光装置および物品製造方法 |
| TW109104959A TWI803734B (zh) | 2019-03-25 | 2020-02-17 | 遮蔽器裝置、曝光裝置及物品製造方法 |
| KR1020200032523A KR102790624B1 (ko) | 2019-03-25 | 2020-03-17 | 셔터 장치, 노광 장치 및 물품의 제조 방법 |
| CN202010198888.XA CN111736430B (zh) | 2019-03-25 | 2020-03-20 | 快门装置、曝光装置以及物品制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019057091A JP7286365B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | シャッタ装置、露光装置および物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020160165A JP2020160165A (ja) | 2020-10-01 |
| JP2020160165A5 true JP2020160165A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2022-03-28 |
| JP7286365B2 JP7286365B2 (ja) | 2023-06-05 |
Family
ID=72643088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019057091A Active JP7286365B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | シャッタ装置、露光装置および物品製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7286365B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
| KR (1) | KR102790624B1 (enrdf_load_stackoverflow) |
| CN (1) | CN111736430B (enrdf_load_stackoverflow) |
| TW (1) | TWI803734B (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023039135A (ja) * | 2021-09-08 | 2023-03-20 | キヤノン株式会社 | 異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム |
| CN114114854B (zh) * | 2021-11-30 | 2024-03-19 | 中山市三美高新材料技术有限公司 | 遮蔽装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653109A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Nikon Corp | 露光装置 |
| JP2000216074A (ja) | 1999-01-22 | 2000-08-04 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP4548595B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2010-09-22 | オムロン株式会社 | センサ装置 |
| KR20060084036A (ko) * | 2005-01-17 | 2006-07-21 | 삼성전자주식회사 | 노광장치용 광 조사영역 조절유닛 및 그 훼손상태 검사방법 |
| JP4199754B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2008-12-17 | パナソニック株式会社 | パターンの露光方法 |
| JP2008141016A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Canon Inc | シャッタ羽根装置、シャッタユニット、撮像装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
| CN102168952A (zh) * | 2010-12-27 | 2011-08-31 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种焊接变形的检测方法及其检测装置 |
| JP6313795B2 (ja) * | 2016-03-03 | 2018-04-18 | キヤノン株式会社 | シャッタユニット、リソグラフィ装置、インプリント装置、及び物品の製造方法 |
| JP2018045146A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | キヤノン株式会社 | シャッタ装置、リソグラフィー装置および物品製造方法 |
| JP6929142B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2021-09-01 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品の製造方法 |
-
2019
- 2019-03-25 JP JP2019057091A patent/JP7286365B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-17 TW TW109104959A patent/TWI803734B/zh active
- 2020-03-17 KR KR1020200032523A patent/KR102790624B1/ko active Active
- 2020-03-20 CN CN202010198888.XA patent/CN111736430B/zh active Active