CN111736430B - 快门装置、曝光装置以及物品制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及快门装置、曝光装置以及物品制造方法。提供对更可靠地防止快门部件的破损有利的技术。快门装置具备切断光束的快门部件、对所述快门部件进行旋转驱动的旋转机构以及配置有光路以检测所述快门部件的变形的光学传感器，所述光路的方向是相对与所述快门部件的旋转轴平行的直线倾斜的方向。

Description

快门装置、曝光装置以及物品制造方法
技术领域
本发明涉及快门装置、曝光装置以及物品制造方法。
背景技术
在通过使用来自光源的光对原版进行照明并利用投影光学系统将原版的图案投影到基板而对该基板进行曝光的曝光装置中，为了控制向基板的光的照射，使用快门装置。快门装置能够通过对快门部件进行旋转驱动以横穿光束来控制向基板的光的照射。为了提高每单位时间的基板的处理张数、即吞吐量，要求快门部件的高速驱动，为此考虑快门部件的轻量化。快门部件的轻量化能够通过快门部件的薄型化实现。由于快门部件的薄型化，快门部件变得易于变形。快门部件的变形可能引起快门部件和配置于该快门部件周边的部件的机械性的干扰，导致快门装置的故障。
在专利文献1中，记载了具有检测曝光快门的异常的异常检测单元的曝光装置。异常检测单元根据检测来自放电灯的光的光检测器的输出以及检测来自曝光快门的快门叶片的曝光光的反射光的光检测器的输出，计算快门叶片的反射率，根据该反射率来检测曝光快门的异常。或者，异常检测单元检测曝光快门的快门叶片的表面温度，根据该表面温度来检测曝光快门的异常。或者，异常检测单元通过检测快门叶片与配置于该快门叶片周边的遮蔽板的电接触来检测曝光快门的异常。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2000-216074号公报
发明内容
发明要解决的课题
在检测快门叶片的反射率或表面温度的结构中，无法直接检测快门叶片的异常的变形，所以存在无法正确地检测快门叶片的异常的变形的可能性。另外，在检测快门叶片与配置于该快门叶片周边的遮蔽板的电接触的结构中，存在快门叶片或者遮蔽板等在检测到接触的时间点已经破损的可能性。因此，在记载于引用文献1的结构中，存在无法未然地防止由于快门叶片的变形而导致的破损的可能性。
本发明的目的在于，提供对更可靠地防止快门部件的破损有利的技术。
解决课题的手段
本发明的1个侧面涉及一种快门装置，该快门装置具有切断光束的快门部件以及对所述快门部件进行旋转驱动的旋转机构，所述快门装置具备配置有光路以检测所述快门部件的变形的光学传感器，所述光路的方向是相对与所述快门部件的旋转轴平行的直线倾斜的方向。
发明的效果
根据本发明，提供对更可靠地防止快门部件的破损有利的技术。
附图说明
图1是示出第1实施方式的曝光装置的结构的图。
图2是示出第1实施方式的快门装置的图。
图3是例示基于快门部件的曝光光的切断状态和通过状态的图。
图4是示出第1实施方式的快门装置的结构的图。
图5是示意地示出第1实施方式中的快门部件的变形的检测原理的图。
图6是例示第1实施方式中的光学传感器的输出信号的图。
图7是示意地示出第2实施方式中的快门部件的变形的检测原理的图。
图8是例示第2实施方式中的光学传感器的输出信号的图。
图9是例示第3实施方式中的光学传感器的输出信号的图。
图10是示出第4实施方式的快门装置的结构的图。
图11是例示第4实施方式中的光学传感器的输出信号的图。
图12是例示第5实施方式中的快门部件的变形的检测原理以及光学传感器的输出信号的图。
(符号说明)
EXP：曝光装置；120：快门装置；30：快门部件；31：马达；31a：旋转轴；43：光学传感器；43a：投光部；43b：受光部
具体实施方式
以下，参照附图详细说明实施方式。此外，以下的实施方式不限定权利要求书所涉及的发明。在实施方式中记载有多个特征，但这些多个特征的全部对于发明并非是必须的，另外，多个特征可以任意地组合。此外，在附图中对同一或者同样的结构附加相同的参照编号，并省略重复的说明。
在图1中示出了本发明的第1实施方式的曝光装置EXP的结构。曝光装置EXP能够具备光源110、快门装置120、照明光学系统130、原版保持部140、投影光学系统150以及基板保持部160。原版保持部140保持原版142。原版保持部140由未图示的原版定位机构定位，由此能够定位原版142。基板保持部160保持基板162。对曝光装置EXP供给由抗蚀剂涂敷装置涂敷了抗蚀剂的基板162。基板保持部160由未图示的基板定位机构定位，由此能够定位基板162。
快门装置120被配置为能够在光源110与原版保持部140之间的光路中切断光束。照明光学系统130使用来自光源110的光对原版142进行照明。投影光学系统150将由照明光学系统130照明的原版142的图案投影到基板162，由此曝光基板162。由此，在涂敷于基板162的抗蚀剂上形成潜像图案。潜像图案由未图示的显影装置显影，由此在基板162上形成抗蚀剂图案。
在曝光装置EXP中，作为控制基板162的曝光量的结构、换言之控制快门装置120的结构，例如能够具备检测部170、快门控制部182以及驱动器184。检测部170例如能够包括光传感器172、放大器174、V/F转换器176以及脉冲计数器178。光传感器172包括光电变换元件，能够对通过快门装置120入射到光传感器172的光进行光电变换。
在一个例子中，通过快门装置120的光的一部分能够被分束器132取出并被引导到光传感器172。放大器174能够将来自光传感器172的输出信号(例如电流信号)变换为电压信号。V/F转换器176能够将从放大器174输出的电压信号变换为频率信号。脉冲计数器178能够对从V/F转换器176输出的频率信号的脉冲数进行计数。由脉冲计数器178计数的计数值与对曝光光的强度进行累计而得到的量(即通过快门装置120的曝光光的累计量)对应，也与基板162的累计曝光量对应。
快门控制部182能够对驱动器184发送用于将快门装置120设为通过状态的指令，以开始基板162的曝光。之后，快门控制部182能够根据来自检测部170的输出，以使基板162的累计曝光量成为目标曝光量的方式，对驱动器184发送用于将快门装置120设为切断状态的指令。驱动器184能够依照来自快门控制部182的指令来驱动快门装置120。
曝光装置EXP能够具备控制曝光装置EXP的上述各部分的控制部190。控制部190例如能够由FPGA(Field Programmable Gate Array(现场可编程门阵列)的简称)等PLD(Programmable Logic Device(可编程逻辑设备)的简称)、或者ASIC(ApplicationSpecific Integrated Circuit(专用集成电路)的简称)、或者并入有程序的通用或专用的计算机、或者这些中的全部或一部分的组合构成。
基板162典型地具有多个拍摄(shot)区域。能够在对基板162的某个拍摄区域和原版142进行了位置匹配之后由快门控制部182控制快门装置120以成为使光通过的通过状态，从而开始该拍摄区域的曝光。在该状态下，快门控制部182能够根据从检测部170(脉冲计数器178)提供的计数值，将用于将快门装置120设为切断状态的指令发送到驱动器184。响应于此，驱动器184能够驱动快门装置120以将快门装置120设为切断状态。之后，为了对其他拍摄区域进行曝光，能够对该其他拍摄区域和原版进行位置匹配并对该其他拍摄区域进行曝光。能够针对所有拍摄区域执行如以上的处理。
在图2中示意地示出了第1实施方式的快门装置120的结构及动作。快门装置120能够包括快门部件30以及对快门部件30进行旋转驱动的马达(旋转机构)31。马达31由驱动器184驱动，能够对快门部件30进行旋转驱动。
在图3的(a)～(d)中例示了基于快门装置120的快门部件30的曝光光的切断状态和通过状态。快门部件30能够具有切断光束(曝光光)32的切断部分30a1、30a2以及使光束32通过的通过部分30b1、30b2。在图3的(a)所示的期间ta，光束32被切断部分30a切断，基板162不曝光。在图3的(b)所示的期间tb，光束32通过通过部分30b1，对基板162的某个拍摄区域进行曝光。在图3的(c)所示的期间tc，光束32被切断部分30a切断，基板162不曝光。在图3的(d)所示的期间td，光束32通过通过部分30b2，对基板162的其他拍摄区域进行曝光。
在图2、图3所示的例子中，快门部件30具有2个切断部分30a1、30a2以及2个通过部分30b1、30b2，但快门部件30能够具有至少1个切断部分以及至少1个通过部分。快门部件30例如既可以在图3的(a)、(b)、(c)、(d)所示的各位置停止，也可以不停止而被连续地驱动。
在图4中示出了第1实施方式的快门装置120的结构。图4的(a)是用与马达31的旋转轴(输出轴)31a平行的面(通过旋转轴31a的面)截断快门装置120的剖面。图4的(b)是用与马达31的旋转轴(输出轴)31a垂直的面(通过快门部件30的面)截断快门装置120的剖面图。马达31能够依照从驱动器184供给的电流使旋转轴(旋转轴杆)31a旋转。对旋转轴31a固定了切断光束32的快门部件30，快门部件30能够由马达31旋转驱动。马达31能够固定于保持部件41。能够对保持部件41设置使光束32通过的开口部41a。在此，能够在保持部件41与快门部件30之间设置适当的间隙ΔG，使得不发生来自快门装置120的光束32的泄漏以及快门部件30和保持部件41的机械性的干扰。
快门装置120能够具备配置有光路43c以检测由马达31旋转驱动的快门部件30的变形的光学传感器43。在一个例子中，光学传感器43被固定到传感器保持器42，传感器保持器42能够由螺钉等固定零件45固定到保持部件41。传感器保持器42能够通过未图示的调整机构，调整相对保持部件41的相对位置。光学传感器43例如能够是具有隔着光路43c相对地配置的投光部43a和受光部43b的透射型传感器。或者，光学传感器43也可以是在相对反射镜相对地配置的传感器单元中并入有投光部和受光部的反射型传感器。光学传感器43能够是输出2值信号的光断路器。该2值是表示光路43c被快门部件30切断的值以及表示光路43c未被快门部件30切断的值。
在一个例子中，光学传感器43能够在光路43c被快门部件30切断的状态下输出高电平(High)，在光路43c未被快门部件30切断的状态下输出低电平(Low)。在其他例子中，光学传感器43能够在光路43c未被快门部件30切断的状态下输出高电平，在光路43c被快门部件30切断的状态下输出低电平。
快门部件30能够具有以快门部件30的旋转中心(旋转轴31a的中心)为中心的圆弧状的边缘30e。光学传感器43的光路43c能够配置于快门部件30的圆弧状的边缘30e的附近。光路43c的方向能够是与平行于旋转轴31a的直线Dax交叉的方向(倾斜的方向)。光路43c的方向与平行于旋转轴31a的直线Dax所成的角度θ1例如能够为30度以上并且60度以下，优选为40度以上并且50度以下，在一个例子中为45度。
快门装置120也可以包括根据光学传感器43的输出来判断快门部件30的异常的判断部60。判断部60能够将判断的结果通知给控制部190。控制部190能够在从判断部60接受到快门部件30存在异常这样的判断结果的通知的情况下，执行差错处理。该差错处理例如能够包括停止基板162的曝光的处理、对操作者报告快门部件30存在异常这样的判断结果的处理。判断部60也可以被并入到控制部190。
参照图5，说明由光学传感器43检测快门部件30的变形的动作。光学传感器43的光路43c能够被配置为检测快门部件30的形状脱离正常形状范围。例如，光学传感器43的光路43c能够被配置为在快门部件30的形状脱离了正常形状范围时被快门部件30切断。在此，快门部件30的变形既可能有存在于使快门部件30静止的状态下的情况，也可能有发生在使快门部件30旋转的状态下的情况。后者可能由于作用于快门部件30的离心力或加速度等而产生。
在一个例子中，在快门部件30的边缘30e在与旋转轴31平行的方向上的位移超过容许位移Δd时，能够以使光学传感器43的输出信号例如从High(通过)迁移到Low(切断)的方式调整光学传感器43的位置。例如，在快门部件30的形状成为形状50时，快门部件30的边缘30e可能超过快门部件30在与旋转轴31平行的方向上的位移容许位移Δd。
在图6的(a)中例示了快门部件30的形状收敛于正常形状范围的情况下的光学传感器43的输出信号。在图6的(b)中例示了快门部件30的形状脱离了正常形状范围的情况下的光学传感器43的输出信号。在图6的(a)、(b)中，横轴是时间t，纵轴是光学传感器43的输出。
如图6的(a)所例示，在快门部件30的形状收敛于正常形状范围的情况下，不论在期间ta、tb、tc、td中的哪一个，光学传感器43的光路43c都不被快门部件30切断。因此，光学传感器43的输出信号维持High(通过)。如图6的(b)例示，在快门部件30的形状脱离了正常形状范围的情况下，在快门部件30切断用于曝光的光束32的期间ta、tc，光学传感器43的光路43c被快门部件30切断。但是，在期间tb、td，光学传感器43的光路43c不被快门部件30切断。因此，在快门部件30切断用于曝光的光束32的期间ta、tc，光学传感器43的输出信号成为Low(切断)，表示快门部件30的形状脱离正常形状范围。
判断部60能够根据光学传感器43的输出信号来判断快门部件30的异常。在该例子中，判断部60能够根据光学传感器43的输出信号反复High和Low、或者存在Low，判断为在快门部件30中存在异常。换言之，判断部60能够根据光学传感器43的输出信号反复High和Low、或者存在Low，检测出快门部件30的异常。
在上述例子中，在快门部件30的形状脱离正常形状范围的情况下，在快门部件30切断用于曝光的光束32的期间ta、tc，光学传感器43的光路43c被快门部件30切断。但是，也可以在快门部件30的形状脱离正常形状范围的情况下，以在快门部件30不切断用于曝光的光束32的期间tb、td使光学传感器43的光路43c被快门部件30切断的方式配置光学传感器43。
通过将容许位移Δd调整为小于在图4中示意地示出的间隙ΔG的值，判断部60能够在快门装置120由于快门部件30和保持部件41的接触而发生故障之前检测快门装置120的异常。通过根据异常的检测更换快门装置120，能够未然地防止与快门装置120的故障相伴的曝光装置EXP的停止。
在图4所示的例子中，光学传感器43被配置为使得旋转轴31位于光束32的光路与光学传感器43之间，但光学传感器43的位置只要是边缘30e通过的区域的周边，则可以是任意位置。另外，也可以配置多个光学传感器43。关于角度θ1，图4的(a)中记载的角度θ1设为是正的值，也可以是负的值。在该情况下，即使快门部件30的变形的方向是远离马达31的方向，也能够检测出快门部件30的形状脱离了正常形状范围。
以下，说明第2实施方式的曝光装置EXP及快门装置120。未作为第2实施方式言及的事项能够依照第1实施方式。参照图7，说明第2实施方式中的快门部件30的变形及其检测。第2实施方式的光学传感器43的配置与第1实施方式不同。在第2实施方式中，光学传感器43的光路43c被配置为在快门部件30的形状收敛于正常形状范围时被快门部件30切断。
在一个例子中，在快门部件30的边缘30e在与旋转轴31平行的方向上的位移超过容许位移Δd时，能够以使光学传感器43的输出信号例如从Low(切断)迁移到High(通过)的方式调整光学传感器43的位置。例如，在快门部件30的形状成为形状50时，快门部件30的边缘30e可能超过快门部件30在与旋转轴31平行的方向上的容许位移Δd。
在图8的(a)中例示了快门部件30的形状收敛于正常形状范围的情况下的光学传感器43的输出信号。在图8的(b)中例示了快门部件30的形状脱离了正常形状范围的情况下的光学传感器43的输出信号。在图8的(a)、(b)中，横轴是时间t，纵轴是光学传感器43的输出。
如图8的(a)所例示，在快门部件30的形状收敛于正常形状范围的情况下，在快门部件30切断用于曝光的光束32的期间ta、tc，光学传感器43的光路43c被快门部件30切断。如图8的(b)所例示，在快门部件30的形状脱离正常形状范围的情况下，即使在期间ta、tc，光学传感器43的光路43c也不被快门部件30切断。因此，不论在期间ta、tb、tc、td中的哪一个，光学传感器43的光路43c都不被快门部件30切断，光学传感器43的输出信号维持High电平。
判断部60能够根据光学传感器43的输出信号来判断快门部件30的异常。在该例子中，判断部60例如能够根据在快门部件30切断用于曝光的光束32的期间ta、tc中存在光学传感器43的输出信号为High的期间，判断为在快门部件30中存在异常。
在第2实施方式中，与第1实施方式同样地，光学传感器43的位置只要是边缘30e通过的区域的周边，则可以是任意位置。另外，也可以配置多个光学传感器43。
以下，参照图9，说明第3实施方式的曝光装置EXP及快门装置120。未作为第3实施方式言及的事项能够依照第1或者第2实施方式。第3实施方式的快门装置120能够具备至少2个光学传感器43、43’。因此，第3实施方式的快门装置120能够具有至少2个光路43c、43c’。
在图9所示的例子中，光学传感器43具有光路43c，光学传感器43’具有光路43c’。光路(第1光路)43c能够被配置为检测快门部件30的形状从正常形状范围向第1方向(接近马达31的方向)脱离。光路(第2光路)43c’被配置为检测快门部件30的形状从正常形状范围向与第1方向不同的第2方向(远离马达31的方向)脱离。
光学传感器43例如能够是具有隔着光路43c相对地配置的投光部43a和受光部43b的透射型传感器。光学传感器43’例如能够是具有隔着光路43c’相对地配置的投光部43a’和受光部43b’的透射型传感器。投光部43a和投光部43a’能够配置到隔着快门部件30的旋转域彼此相对的位置。受光部43b和受光部43b’能够配置到隔着快门部件30的旋转域彼此相对的位置。根据第3实施方式，在快门部件30不论在第1方向和第2方向中的哪一个上脱离正常形状范围而变形的情况下，都能够将其检测出。
在第3实施方式中，与第1实施方式同样地，光学传感器43、43’的组只要是边缘30e通过的区域的周边，则可以被配置到任意位置。另外，也可以配置多组光学传感器43、43’。
以下，参照图10、图11，说明第4实施方式的曝光装置EXP及快门装置120。未作为第4实施方式言及的事项能够依照第1至第3实施方式。第4实施方式的光学传感器43的配置与第1至第3实施方式不同。
快门部件30具有通过由马达31对快门部件30进行旋转驱动而横穿光束32的边缘30f。光学传感器43的光路43c能够通过检测边缘30f在与快门部件30的旋转轴31a平行的方向上的位置的变化来检测快门部件30的变形。光路43c的方向与平行于旋转轴31a的直线Dax所成的角度θ1例如能够为30度以上并且60度以下，优选为40度以上并且50度以下，在一个例子中为45度。
在一个例子中，能够在快门部件30被整定(停止)为图3的(a)、(b)、(c)、(d)的某一个状态的状态下，通过光学传感器43检测快门部件30的变形。具体而言，在该状态下，在快门部件30的圆弧状的边缘30e在与旋转轴31平行的方向上的位移超过容许位移Δd时，光学传感器43的输出信号能够成为Low(切断)。因此，判断部60能够根据光学传感器43的输出信号来判断快门部件30的异常。
在图11中，例示在快门部件30中无异常的情况下的光学传感器43的输出信号。光学传感器43的输出信号能够是具有周期T的周期信号。在快门部件30中发生异常时，光学传感器43的输出信号的波形可能从正常状态下的波形变化。例如，在快门部件30中发生异常时，光学传感器43的输出信号的波形可能相对正常状态下的波形延迟。例如，以快门控制部182向驱动器184发送驱动指令的定时等为基准的光学传感器43的输出信号的相位可能由于在快门部件30中发生异常而变化。因此，判断部60能够根据光学传感器43的输出信号的波形来判断快门部件30的异常。在第4实施方式中，也可以配置多个光学传感器43。
以下，参照图12，说明第5实施方式的曝光装置EXP及快门装置120。未作为第5实施方式言及的事项能够依照第1至第4实施方式。第5实施方式的光学传感器43的规格与第1至第4实施方式不同。在图12的(a)中示意地示出了第5实施方式的快门装置120中的光学传感器43的配置例。
第5实施方式的快门装置120具备输出模拟信号的光学传感器43。第5实施方式中的光学传感器43能够具有比第1至第4实施方式中的光学传感器43的光路43c粗的光路43d。光路43d能够是平行光束通过的空间。光学传感器43例如能够是具有隔着光路43c相对地配置的投光部43a和受光部43b的透射型传感器。或者，光学传感器43也可以是在相对反射镜相对地配置的传感器单元中并入有投光部和受光部的反射型传感器。受光部43b能够是光量传感器。光学传感器43能够输出具有与由受光部43b接受的光的强度对应的振幅的模拟信号。光学传感器43的光路43d能够被配置为光路43d的中心轴(光轴)43ax通过正常状态的快门部件30的边缘30e的附近并且光路43d的一部分被正常状态的快门部件30的边缘30e切断。
在图12的(b)中例示了光学传感器43的输出信号Sout。输出信号Sout能够在期间ta、tc具有依赖于快门部件30的边缘30e的振动等的波形。判断部60能够通过比较正常状态下的输出信号Sout和曝光装置EXP的使用时的输出信号Sout来判断快门部件30的异常。正常状态下的输出信号Sout和曝光装置EXP的使用时的输出信号Sout的比较既可以是输出信号Sout本身的比较，也可以根据从输出信号Sout抽取的特征量来进行。
本发明的实施方式中的物品制造方法例如适合于制造物品(半导体元件、磁存储介质、液晶显示元件等)、滤光片等物品。上述制造方法包括使用上述曝光装置对涂敷有感光剂的基板进行曝光的曝光工序以及对在曝光工序中曝光后的基板进行显影的显影工序。另外，该制造方法能够包括其他公知的工序(氧化、成膜、蒸镀、掺杂、平坦化、蚀刻、抗蚀剂剥离、切割、键合、封装等)。本实施方式中的物品的制造方法相比于以往，对物品的性能、品质、生产率以及生产成本中的至少1个更有利。
发明不限制于上述实施方式，能够不脱离发明的精神和范围而进行各种变更和变形。因此，为了公开发明的范围添附权利要求。

Claims (13)

1.一种快门装置，具有切断光束的快门部件以及对所述快门部件进行旋转驱动的旋转机构，其特征在于，
具备配置有光路以检测所述快门部件的变形的光学传感器，
所述光路的方向是在包含所述快门部件的旋转轴的剖面中，并且相对与所述旋转轴平行的直线倾斜的方向，
所述光路的方向与所述直线所成的角度是30度以上并且60度以下。
2.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述光路被配置为检测所述快门部件的形状脱离了正常形状范围。
3.根据权利要求2所述的快门装置，其特征在于，
所述光路被配置为在所述快门部件的形状脱离了所述正常形状范围时被所述快门部件切断。
4.根据权利要求2所述的快门装置，其特征在于，
所述光路被配置为在所述快门部件的形状收敛于所述正常形状范围时被所述快门部件切断。
5.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述光路包括：第1光路，被配置为检测所述快门部件的形状从正常形状范围向第1方向脱离；以及第2光路，被配置为检测所述快门部件的形状从所述正常形状范围向与所述第1方向不同的第2方向脱离。
6.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述快门部件具有以所述快门部件的旋转中心为中心的圆弧状的边缘，所述光路通过检测所述边缘在与所述快门部件的旋转轴平行的方向上的位置的变化来检测所述快门部件的变形。
7.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述快门部件具有通过由所述旋转机构对所述快门部件进行旋转驱动而横穿所述光束的边缘，所述光路通过检测所述边缘在与所述快门部件的旋转轴平行的方向上的位置的变化来检测所述快门部件的变形。
8.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
还具备根据所述光学传感器的输出来判断所述快门部件的异常的判断部。
9.根据权利要求8所述的快门装置，其特征在于，
所述光学传感器输出2值信号。
10.根据权利要求8所述的快门装置，其特征在于，
所述光学传感器输出模拟信号，所述判断部根据所述模拟信号的波形来判断所述快门部件的异常。
11.根据权利要求1所述的快门装置，其特征在于，
所述光学传感器具有隔着所述光路相对地配置的投光部和受光部。
12.一种曝光装置，其特征在于，具备：
保持原版的原版保持部；
保持基板的基板保持部；
光源；
照明光学系统，使用来自所述光源的光对所述原版进行照明；
投影光学系统，将所述原版的图案投影到所述基板；以及
权利要求1至11中的任意一项所述的快门装置，
所述快门装置被配置为能够在所述光源与所述原版保持部之间的光路中切断光束。
13.一种物品制造方法，其特征在于，包括：
曝光工序，使用权利要求12所述的曝光装置对基板进行曝光；以及
显影工序，对在所述曝光工序中曝光后的所述基板进行显影，
用经由所述显影工序后的所述基板制造物品。
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