JP2020136481A - 搬送トレイ及び被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る搬送トレイ及び被加工物の加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る搬送トレイを用いる加工装置の構成例を示す斜視図である。図3は、図2に示された加工装置の加工対象の被加工物の一例を示す斜視図である。図4は、図1に示された搬送トレイがデバイスチップを収容する状態を示す断面図である。図5は、実施形態1に係る被加工物の加工方法の流れを示すフローチャートである。図6は、図5に示された被加工物の加工方法の判別ステップ及び記録ステップを模式的に一部断面で示す図である。
2 トレイ本体
3 タック層
4 記録媒体
5 識別マーク
6 デバイス支持部
6−1 表面
7 枠体
120 トレイ撮像ユニット(撮像手段)
200 被加工物
204 デバイスチップ(チップ)
ST1 加工ステップ
ST2 収容ステップ
ST3 判別ステップ
ST4 記録ステップ
Claims (4)
- 複数のチップを収容して搬送する搬送トレイであって、
複数のチップを支持する表面を有するデバイス支持部と、
該デバイス支持部の外周を囲繞して形成された枠体と、を備えたトレイ本体と、
該トレイ本体に設置されかつ無線通信により情報を書き込み又は読み取り可能な記録媒体と、
該搬送トレイが該記録媒体に書き込み可能な種類であるかを識別する識別マークと、
を備えることを特徴とする搬送トレイ。 - 該搬送トレイは、
該トレイ本体のデバイス支持部の表面に装着されタック力を有するタック層を備える事を特徴とする請求項1に記載の搬送トレイ。 - 請求項1又は請求項2に記載の搬送トレイにチップを収容する被加工物の加工方法であって、
被加工物を加工して複数のチップを形成する加工ステップと、
該複数のチップを該搬送トレイに収容する収容ステップと、
該識別マークを撮像手段で撮像し、該搬送トレイが該記録媒体に書き込み可能な種類であるかを判別する判別ステップと、
該搬送トレイの種類が書き込み可能な種類であると判定した場合、該記録媒体に該加工ステップにおける情報を記録する記録ステップと、を備える事を特徴とする被加工物の加工方法。 - 該搬送トレイは、
該トレイ本体のデバイス支持部の表面に装着されタック力を有するタック層を備える事を特徴とする請求項3に記載の被加工物の加工方法。
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