JP2020125820A - 偏心揺動型減速装置、偏心体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】偏心体の表面に研削加工を施す場合、その加工条件によっては偏心体の寿命が短くなることがある。本発明は、このような課題に鑑みなされたもので、偏心体の寿命の低下を抑制した偏心揺動型減速装置を提供することを目的の一つとしている。【解決手段】内歯歯車１６と、外歯歯車１４と、外歯歯車１４を揺動させる偏心体１２ａと、を備えた偏心揺動型減速装置１０において、偏心体１２ａの表面から２０μｍにおける残留応力が圧縮応力である。【選択図】図１

Description

本発明は、偏心揺動型減速装置および偏心体の製造方法に関する。

本出願人は、特許文献１において、外歯歯車と、偏心体を有する偏心体軸とを有し、偏心体軸の偏心体を介して外歯歯車を偏心揺動させる偏心揺動型の減速機を開示した。特許文献１に記載の減速機は、外歯歯車と偏心体との間に配置されるころ偏心体軸受を有しており、この偏心体に熱負荷を付与したときに偏心体の材料特性が変化する特殊な硬化処理が施される。

特開２０１６−０９８８６０号公報

熱処理が施された偏心体は、熱処理を施す際に熱歪が発生するため、熱処理後の偏心体の表面に研削加工を施して熱歪を除去する場合がある。偏心体の研削加工としては、特許文献１に記載の切削研磨による方法を含めて、種々の方法が考えられる。しかし、研削加工の条件によっては偏心体の寿命が短くなる場合がある。

本発明は、偏心体の寿命の低下を抑制した偏心揺動型減速装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のある態様の偏心揺動型減速装置は、内歯歯車と、外歯歯車と、外歯歯車を揺動させる偏心体と、を備えた偏心揺動型減速装置であって、偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力が圧縮応力である。

本発明の別の態様は、偏心体の製造方法である。この方法は、内歯歯車と、外歯歯車と、外歯歯車を揺動させる偏心体と、を備えた偏心揺動型減速装置の偏心体の製造方法であって、偏心体に熱処理を施す熱処理工程と、熱処理後の偏心体に研削を施す研削工程と、を有する。研削工程においては、研削後の偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力がマイナスとなる研削条件により研削を行う。

なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。

本発明によれば、偏心体の寿命の低下を抑制した偏心揺動型減速装置を提供することができる。

第１実施形態の偏心揺動型減速装置を概略的に示す側面断面図である。 図１の偏心体の残留応力と耐久試験結果を示す表である。 図１の偏心体の残留応力を示すグラフである。 図１の偏心体の残留オーステナイト量を示すグラフである。 図１の偏心体の残留オーステナイト量と残留応力とを示すグラフである。 図１の偏心体の研削工程を模式的に示す模式図である。 図１の偏心体の平均切り粉厚みと残留応力との関係を示す散布図である。 第２実施形態の偏心揺動型減速装置を示す側面断面図である。

以下、本発明を好適な実施形態をもとに各図面を参照しながら説明する。実施形態、比較例および変形例では、同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において第１実施形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
また、第１、第２などの序数を含む用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、この用語によって構成要素が限定されるものではない。

［第１実施形態］
以下、図面を参照して、第１実施形態に係る偏心揺動型減速装置１０の構成について説明する。図１は、第１実施形態の偏心揺動型減速装置１０を示す側面断面図である。本実施形態の偏心揺動型減速装置１０は、内歯歯車と噛み合う外歯歯車を揺動させることで、内歯歯車及び外歯歯車の一方の自転を生じさせ、その生じた運動成分を出力部材から被駆動装置に出力する偏心揺動型減速装置である。

偏心揺動型減速装置１０は、主に、入力軸１２と、外歯歯車１４と、内歯歯車１６と、キャリヤ１８、２０と、ケーシング２２と、主軸受２４、２６とを備える。以下、内歯歯車１６の中心軸線Ｌａに沿った方向を「軸方向」といい、その中心軸線Ｌａを中心とする円の円周方向、半径方向をそれぞれ「周方向」、「径方向」とする。また、以下、便宜的に、軸方向の一方側（図中右側）を入力側といい、他方側（図中左側）を反入力側という。

入力軸１２は、駆動装置（不図示）から入力される回転動力によって回転中心線周りに回転させられる。本実施形態の偏心揺動型減速装置１０は、入力軸１２の回転中心線が内歯歯車１６の中心軸線Ｌａと同軸線上に設けられるセンタークランクタイプである。駆動装置は、たとえば、モータ、ギヤモータ、エンジン等である。

本実施形態の入力軸１２は、外歯歯車１４を揺動させるための複数の偏心体１２ａを有する偏心体軸である。偏心体１２ａの軸芯は、入力軸１２の回転中心線に対して偏心している。本実施形態では３個の偏心体１２ａが設けられ、隣り合う偏心体１２ａの偏心位相は１２０°ずれている。入力軸１２の入力側の端部には、駆動装置の出力部材から動力を受けるためのスプライン１２ｂが形成される。

偏心体１２ａの外周には、ころ軸受３０を介して３枚の外歯歯車１４が組み込まれている。各外歯歯車１４は、内歯歯車１６に内接噛合している。外歯歯車１４が３列に並んで組み込まれているのは、伝達容量の増大、および偏心位相をずらすことによる低振動、低騒音化を意図したためである。各列の構成は、偏心位相が異なっている以外は同一である。

外歯歯車１４は、複数の偏心体１２ａのそれぞれに対応して個別に設けられる。外歯歯車１４は、ころ軸受３０を介して対応する偏心体１２ａに回転自在に支持される。外歯歯車１４には、内ピン３２が貫通する第１貫通孔１３と、ころ軸受３０が当接する第２貫通孔１５とが設けられる。

第１貫通孔１３は、外歯歯車１４の中心からオフセットして設けられる。第１貫通孔１３は、後述する内ピン３２に対応して複数設けられる。この例では、周方向に６０°間隔で６つの第１貫通孔１３が設けられる。第２貫通孔１５は、外歯歯車１４の中心に設けられ、偏心体１２ａが挿通される孔である。

図１に示すように、ケーシング２２は、全体として筒状をなし、その内周部には内歯歯車１６が設けられる。内歯歯車１６は、外歯歯車１４と噛み合う。本実施形態の内歯歯車１６は、ケーシング２２と一体化された内歯歯車本体と、この内歯歯車本体に回転自在に支持され、当該内歯歯車１６の内歯を構成する外ピン１６ａ（ピン部材）とで構成されている。内歯歯車１６の内歯数（外ピン１６ａの数）は、外歯歯車１４の外歯数よりも僅かだけ（この例では１だけ）多い。

キャリヤ１８、２０は、外歯歯車１４の軸方向側部に配置される。キャリヤ１８、２０には、外歯歯車１４の入力側の側部に配置される第１キャリヤ１８と、外歯歯車１４の反入力側の側部に配置される第２キャリヤ２０とを含む。キャリヤ１８、２０は円盤状をなし、入力軸軸受３４を介して入力軸１２を回転自在に支持する。

第１キャリヤ１８と第２キャリヤ２０は内ピン３２を介して連結される。内ピン３２は、外歯歯車１４の軸芯から径方向にオフセットした位置において、複数の外歯歯車１４を軸方向に貫通する。本実施形態の内ピン３２は、第２キャリヤ２０と一体的に設けられる。内ピン３２は、キャリヤ１８、２０と別体に設けられていてもよい。内ピン３２は、内歯歯車１６の中心軸線Ｌａ周りに所定の間隔で複数設けられる。本実施形態では、周方向に６０°間隔で６つの内ピン３２が設けられる。

内ピン３２は、その先端部が第２キャリヤ２０に形成された有底凹部１８ｃに嵌入されており、第２キャリヤ２０の入力側から挿入されたボルト３６と共に第１キャリヤ１８と第２キャリヤ２０とを連結している。

内ピン３２は、外歯歯車１４に形成された第１貫通孔１３を貫通している。内ピン３２の外周面３２ｓには、摺動促進部材としてローラ３５が回転自在に被せられている。ローラ３５は、第１キャリヤ１８の反入力側と、第２キャリヤ２０の入力側とによって軸方向に移動規制される。ローラ３５と第１貫通孔１３の間には外歯歯車１４の揺動成分を吸収するための遊びとなる隙間が設けられる。ローラ３５と第１貫通孔１３の内壁面とは一部で接触する。

被駆動装置（不図示）に回転動力を出力する部材を出力部材とし、偏心揺動型減速装置１０を支持するための外部部材に固定される部材を被固定部材とする。本実施形態の出力部材は第２キャリヤ２０であり、被固定部材はケーシング２２である。出力部材は、被固定部材に主軸受２４、２６を介して回転自在に支持される。

主軸受２４、２６には、第１キャリヤ１８とケーシング２２の間に配置される第１主軸受２４と、第２キャリヤ２０とケーシング２２の間に配置される第２主軸受２６とが含まれる。本実施形態において、主軸受２４、２６は、いわゆる背面組み合わせの状態で配置される。第１、第２キャリヤ１８、２０の外周は、それぞれ第１、第２主軸受２４、２６の内輪を構成している。本実施形態では、主軸受２４、２６として、球状の転動体４２を有するアンギュラ玉軸受を例示する。主軸受２４、２６は、この他にも、テーパーローラ軸受、アンギュラころ軸受等の転がり軸受であってもよい。

以上のように構成された偏心揺動型減速装置１０の動作を説明する。駆動装置から入力軸１２に回転動力が伝達されると、入力軸１２の偏心体１２ａが入力軸１２を通る回転中心線周りに回転する。偏心運動する偏心体１２ａが第２貫通孔１５と部分的に接触することにより外歯歯車１４が揺動する。このとき、外歯歯車１４は、自らの軸芯が入力軸１２の回転中心線周りを回転するように揺動する。外歯歯車１４が揺動すると、外歯歯車１４と内歯歯車１６の噛合位置が順次ずれる。この結果、入力軸１２が一回転する毎に、外歯歯車１４と内歯歯車１６との歯数差に相当する分、外歯歯車１４及び内歯歯車１６の一方の自転が発生する。本実施形態においては、外歯歯車１４が自転し、内ピン３２を介して第２キャリヤ２０から減速回転が出力される。

図２〜図５を参照して、偏心体１２ａの耐久性を説明する。発明者らの検討の結果、偏心体１２ａの耐久性は、研削後の残留応力（以下、「Ｓｒ」と、表記することがある）および研削後の残留オーステナイト量（以下、「残留γ」と、表記することがある）と、によって変化することが判明している。このため、本発明者らは、残留応力Ｓｒと、残留γとを変化させたサンプルＡ〜Ｄを作成し、このサンプルについて耐久試験を行った。

以下、残留応力を数値で示すとき、圧縮応力は「マイナス」を付した負の数値で示し、引張応力は符号を付さない正の数値で表される。また、「ある値以上」はその値から正方向側の値を意味し、「ある値以下」はその値から負方向側の値を意味し、「ある値未満」はその値より負方向側の値を意味する。また、圧縮残留応力が「ある値より高い」とは、残留応力がその値より負方向側の値であることを意味し、圧縮残留応力が「ある値より低い」とは、残留応力がその値より正方向側の値であることを意味する。

図２は、サンプルＡ〜Ｄの残留応力と、耐久試験の結果を示す表である。図３は、サンプルＡ〜Ｄの研削後の残留応力を示すグラフである。図４は、サンプルＡ〜Ｄの研削後の残留オーステナイト量を示すグラフである。これらは、横軸に測定位置を示し、縦軸に測定結果を示している。図２の残留応力は、表面から２０μｍにおける研削後の残留応力Ｓｒを示す。図２の、切込量、ワーク回転数、切り粉厚みは、後述する研削工程の条件を示す指標である。

サンプルＡ〜Ｄは、同じ熱処理条件（例えば、特許文献１記載の硬化処理例１）により熱処理された偏心体（以下、「ワーク」という）を、加工ストレスが異なる条件で研削されたものである。図３、図４において、測定位置は表面からの深さを意味し、電解研磨によって表面から徐々に表層を除去し、表面から２０μｍ毎に各深さのデータを取得した。

図５は、サンプルＡ〜Ｄの残留γと残留応力Ｓｒとの関連性を示すグラフである。この図から、表面から２０μｍでは、残留γが増加するにつれて残留応力Ｓｒが負方向側にシフトするといえる。また、表面でも、残留γと残留応力Ｓｒとは、同様の傾向を有する。

図２の耐久試験の結果を説明する。この結果は、耐久性を表す指標として使用されうる。この耐久試験は、試料に、定格使用期間に定格負荷が加えられたものと同様と解される応力負荷を繰り返して付与するいわゆる加速試験である。耐久試験の結果は、試験後の劣化状態を記号で示している。図２において、記号×は、耐久試験中に異音が発生して試験を中断した場合を示す。記号△は、耐久試験後にフレーキング（表面損傷）が観察された場合を示す。記号〇は、耐久試験後に実使用可能な範囲の軽微な損傷が観察された場合を示す。記号◎は、耐久試験後に損傷は殆ど観察されなかった場合を示す。

耐久試験の結果は、図２に示すように、サンプルＡは「×」、サンプルＢは「△」、サンプルＣは「〇」、サンプルＤは「◎」であった。つまり、サンプルＡ、Ｂは研削焼けの影響が大きく耐久性が劣り、サンプルＣ、Ｄは実使用可能な範囲の耐久性を有する。したがって、サンプルＣ、ＤをサンプルＡ、Ｂと区分できれば、研削焼けの影響を減らした偏心体１２ａを提供できるといえる。

図３、図５に示すように、サンプルＡ、ＢとサンプルＣ、Ｄとは、表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒによって区分できる。表面から２０μｍでのサンプルＣの残留応力Ｓｒを参考に基準範囲を定めうる。この観点から、本実施形態では、偏心体１２ａの表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒを圧縮応力（Ｓｒ＜０ＭＰａ）として、耐久性をサンプルＣより良いレベルでコントロールしている。表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒを圧縮応力とすることにより、研削焼けの影響を抑え、偏心体１２ａについて実用的な耐久性を実現できる。

製造バラツキや使用条件のバラツキに対するマージンを持たせる観点から、表面から２０μｍにおける残留応力Ｓｒを−２００ＭＰａ以下としてもよい。例えば、サンプルＤの残留応力Ｓｒは−３７４ＭＰａであり、この条件を実現している。この場合、研削焼けの影響をさらに抑制して、製造バラツキや使用条件のバラツキを考慮しても、偏心体１２ａについて実用的な耐久性を実現できる。

図４、図５に示すように、サンプルＡ、ＢとサンプルＣ、Ｄとは、表面から２０μｍにおける残留γによっても区分できる。例えば、表面から２０μｍでのサンプルＣの残留γを参考に基準範囲を定めうる。この観点から、偏心体１２ａの表面から２０μｍにおける残留オーステナイト量は３０〜４５体積％としてもよい。この場合、残留応力Ｓｒに加えて、残留γという別の指標も用いるので耐久性を一層向上した偏心体１２ａを提供できる。

図３、図５に示すように、サンプルＡ、ＢとサンプルＣ、Ｄとは、表面における残留応力Ｓｒによっても区分できる。例えば、表面におけるサンプルＤの残留応力Ｓｒを参考に基準範囲を定めうる。この観点から、偏心体１２ａの表面における残留応力Ｓｒは−８００ＭＰａ以下としてもよい。この場合、表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒに加えて、表面における残留応力Ｓｒも用いるので耐久性を一層向上した偏心体１２ａを提供できる。

図４、図５に示すように、サンプルＡ、ＢとサンプルＣ、Ｄとは、表面における残留γによっても区分できる。例えば、表面におけるサンプルＣの残留γを参考に基準範囲を定めうる。この観点から、偏心体１２ａの表面における残留オーステナイト量は２５〜４０体積％としてもよい。この場合、表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒに加えて、表面における残留オーステナイト量も用いるので耐久性を一層向上した偏心体１２ａを提供できる。

次に、偏心体１２ａの製造方法を説明する。この製造方法は、機械加工により素材の外形を形成する粗加工工程と、偏心体１２ａに熱処理を施す熱処理工程と、熱処理後の偏心体１２ａに研削を施す研削工程と、を主に含む。この例の偏心体１２ａは、入力軸１２と一体に製造される。

熱処理工程を説明する。偏心体１２ａの熱処理を限定するものではないが、一例として、熱処理工程の熱処理は、炭化物量の増加特性を有する硬化処理であってもよい。炭化物量の増加特性とは、材料特性が変化する熱負荷（試験用熱負荷）を付与する前と比較して付与後の方が、偏心体１２ａの表面部の炭化物量が増加する特性である。炭化物量の増加特性は試験用熱負荷を付与することによって容易に確認できる。炭化物量の増加特性を満足しうる硬化処理としては、例えば、特許文献１記載の硬化処理例１〜４およびそのバリエーションを採用することができる。試験用熱負荷を限定するものではないが、一例として、試験用熱負荷は、偏心体１２ａを３００℃以上の状態に３時間以上を晒すという熱負荷であってもよい。

次に、図６、図７を参照して研削工程を説明する。図６は、本実施形態の研削工程を模式的に示す模式図である。図６に示すように、研削工程は、回転する砥石８２を所定の切込量Ａｅで偏心体（以下、この説明で「ワーク８１」という）の表面を相対移動させることによりワーク８１の表面を研削する。発明者らの検討の結果、主に、砥石８２の周速Ｖｃ（ｍ／ｓ）と、ワーク８１の送り速度Ｖｗ（ｍｍ／ｍｉｎ）と、砥石８２のストローク当たりの切込量Ａｅ（ｍｍ）とが研削後の残留応力Ｓｒに関連していることが判明している。つまり、これらの研削条件を調整することにより所望の残留応力Ｓｒを実現できる。これらから、本実施形態の研削工程においては、研削後の偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力Ｓｒがマイナス（Ｓｒ＜０ＭＰａ）となる研削条件により研削を行う。なお、残留応力Ｓｒがマイナスとは、残留応力Ｓｒが圧縮応力であることを意味する。表面から２０μｍでの残留応力Ｓｒをマイナスとすることにより、研削焼けの影響を抑え、偏心体１２ａについて実用的な耐久性を実現できる。

また、発明者らは、切込量Ａｅを変えて残留応力Ｓｒを評価し、平均切り粉厚みｈｍを調整することによって効率的に研削条件を設定できることを見出した。図７は、平均切り粉厚みｈｍと、表面から２０μｍにおける残留応力Ｓｒとの関係を示す散布図である。この図で、符号Ｋで示す白点は切込量Ａｅ＝０．０１５ｍｍの場合の結果で、符号Ｊで示す黒点は切込量Ａｅ＝０．０１０ｍｍの場合の結果である。また、破線は、平均切り粉厚みｈｍと残留応力Ｓｒとの回帰直線Ｍを示す。

符号Ｋ、Ｊの結果は、いずれも回帰直線Ｍとの乖離が少ないので、いずれの切込量Ａｅであっても、平均切り粉厚みｈｍによって、残留応力Ｓｒをコントロールできるといえる。回帰直線Ｍから、平均切り粉厚みｈｍが０．０１μｍ以下であれば、上述の研削条件（表面から２０μｍにおける残留応力Ｓｒがマイナス（Ｓｒ＜０ＭＰａ））を実現できる。これらから、本実施形態の研削工程においては、平均切り粉厚みを０．０１μｍ以下に設定して研削を行う。

図６を参照して平均切り粉厚みｈｍを説明する。砥石８２が１回転する間に、砥石８２は実線の位置から破線の位置に相対移動する（実際はワーク８１が移動する）。平均切り粉厚みｈｍは、砥石８２が削り初めから削り終わりまでに生成する切り粉の厚みの平均であり、以下の式１により算出できる。
ｈｍ＝（Ａｅ・Ｖｗ）／（Ｖｃ・６０・１０００）・・（１）
（但し、ｈｍは平均切り粉厚み［ｍｍ］、Ａｅは砥石８２のストローク当たりの切込量［ｍｍ］、Ｖｗはワーク８１の送り速度［ｍｍ／ｍｉｎ］、Ｖｃは砥石８２の周速Ｖｃ［ｍ／ｓ］である。）

式１に示すように、平均切り粉厚みｈｍは、切込量Ａｅと速度Ｖｗとに比例し、周速Ｖｃに反比例する指標であり、これらの研削条件を統合した指標といえる。平均切り粉厚みｈｍを用いることによって効率的に研削条件を設定できる。

図２をさらに説明する。図２のサンプルＥ〜Ｇは、平均切り粉厚みｈｍが０．００９μｍ〜０．０１０μｍになるように、切込量Ａｅ等を調整したサンプルの耐久試験の結果を示す。これらのサンプルでは残留応力Ｓｒが−２００ＭＰａ〜−５００ＭＰａの範囲であり、耐久試験後の損傷は殆ど観察されず良好であった。サンプルＥ〜Ｇの結果もまた、上述の研削条件が適切であることを支持する。なお、生産性を確保する観点から、表面から２０μｍにおける残留応力Ｓｒは−１０００ＭＰａ以上であってもよいし、平均切り粉厚みｈｍは０．００１μｍ以上であってもよい。

以上が、第１実施形態の説明である。第１実施形態の偏心揺動型減速装置１０によれば、偏心体１２ａについて研削焼けの影響を抑え、偏心体１２ａの寿命の低下を抑制した偏心揺動型減速装置を提供できる。

［第２実施形態］
次に、図８を参照して、第２実施形態に係る偏心揺動型減速装置１０の構成について説明する。第２実施形態の図面および説明では、第１実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。第１実施形態と重複する説明を適宜省略し、第１実施形態と相違する構成について重点的に説明する。図８は、第２実施形態の偏心揺動型減速装置１０を示す側面断面図であり、図１に対応する。

第１実施形態はセンタークランクタイプの偏心揺動型減速装置を例に説明した。本実施形態の偏心揺動型減速装置は、いわゆる振り分けタイプの偏心揺動型減速装置である。偏心揺動型減速装置１０は、主に、入力歯車７０、入力軸１２と、外歯歯車１４と、内歯歯車１６と、キャリヤ１８、２０と、ケーシング２２と、主軸受２４、２６とを備える。本実施形態は、第１実施形態と比べ、主には、複数の入力歯車７０および入力軸１２を備え、外歯歯車１４の数の点で異なる。

複数の入力歯車７０は、内歯歯車１６の中心軸線Ｌａ周りに配置される。本図では一つの入力歯車７０のみを示す。入力歯車７０は、その中央部に挿通される入力軸１２により支持され、入力軸１２と一体的に回転可能に設けられる。入力歯車７０は、中心軸線Ｌａ上に設けられる回転軸（不図示）の外歯部と噛み合う。回転軸には、不図示の駆動装置から回転動力が伝達され、その回転軸の回転により入力歯車７０が入力軸１２と一体的に回転する。

本実施形態の入力軸１２は、内歯歯車１６の中心軸線Ｌａからオフセットした位置に周方向に間を置いて複数（例えば、３本）配置される。本図では一つの入力軸１２のみを示す。各入力軸１２には、互いに偏心位相は１８０°ずれた２個の偏心体１２ａが軸方向に並んで設けられている。

偏心体１２ａの外周には、ころ軸受３０を介して２枚の外歯歯車１４が組み込まれている。各外歯歯車１４は、内歯歯車１６に内接噛合している。各外歯歯車１４の構成は、偏心位相が異なっている以外は同一である。

以上の本実施形態の偏心揺動型減速装置１０の動作を説明する。駆動装置から回転軸に回転動力が伝達されると、回転軸から複数の入力歯車７０に回転動力が振り分けられ、各入力歯車７０が同じ位相で回転する。各入力歯車７０が回転すると、入力軸１２の偏心体１２ａが入力軸１２を通る回転中心線周りに回転し、その偏心体１２ａにより外歯歯車１４が揺動する。外歯歯車１４が揺動すると、第１実施形態と同様、外歯歯車１４と内歯歯車１６の噛合位置が順次ずれ、外歯歯車１４及び内歯歯車１６の一方の自転が発生する。入力軸１２の回転は、外歯歯車１４と内歯歯車１６の歯数差に応じた減速比で減速されて、出力部材から被駆動装置に出力される。

第１実施形態で説明した偏心体１２ａの残留応力Ｓｒおよび残留γの特徴は、本実施形態の偏心体１２ａも同様に備える。

第１実施形態で説明した偏心体１２ａの製造方法は、本実施形態の偏心体１２ａにも適用できる。

以上が、第２実施形態の説明である。第２実施形態の偏心揺動型減速装置１０によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏し、偏心体１２ａについて研削焼けの影響を抑え、偏心体１２ａの寿命の低下を抑制した偏心揺動型減速装置を提供できる。

以上、本発明の実施形態の例について詳細に説明した。上述した実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体例を示したものにすぎない。実施形態の内容は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、請求の範囲に規定された発明の思想を逸脱しない範囲において、構成要素の変更、追加、削除などの多くの設計変更が可能である。上述の実施形態では、このような設計変更が可能な内容に関して、「実施形態の」「実施形態では」等との表記を付して説明しているが、そのような表記のない内容に設計変更が許容されないわけではない。

以下、変形例を説明する。変形例の図面および説明では、実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。実施形態と重複する説明を適宜省略し、第１実施形態と相違する構成について重点的に説明する。

第１実施形態では外歯歯車１４が３枚の例を、第２実施形態では外歯歯車１４が２枚の例を示したが、外歯歯車１４は、所望の特性に応じて、１枚であってもよいし、４枚以上であってもよい。

第１実施形態では、第１主軸受２４および第２主軸受２６が内輪を有しない例を説明したが、本発明はこれに限られない。第１主軸受２４と第２主軸受２６との少なくとも一方は、内輪を有する軸受であってもよい。

実施形態の出力部材はキャリヤ１８、２０であり、外部部材にはケーシング２２が固定される例を説明した。この他にも、出力部材はケーシング２２であり、外部部材にはキャリヤ１８、２０が固定されてもよい。

上述の各変形例は第１実施形態と同様の作用効果を奏する。

上述した各実施形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施形態は、組み合わされる各実施形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。

１０・・偏心揺動型減速装置、 １２・・入力軸、 １２ａ・・偏心体、 １４・・外歯歯車、 １６・・内歯歯車、 １８、２０・・キャリヤ、 ２４、２６・・主軸受、
３２・・内ピン、 ７０・・入力歯車。

Claims (7)

1. 内歯歯車と、外歯歯車と、前記外歯歯車を揺動させる偏心体と、を備えた偏心揺動型減速装置であって、
   前記偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力が圧縮応力であることを特徴とする偏心揺動型減速装置。
2. 前記偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力が−２００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１に記載の偏心揺動型減速装置。
3. 前記偏心体の表面から２０μｍにおける残留オーステナイト量が、３０〜４５体積％であることを特徴とする請求項１または２に記載の偏心揺動型減速装置。
4. 前記偏心体の表面における残留応力が−８００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の偏心揺動型減速装置。
5. 前記偏心体の表面における残留オーステナイト量が、２５〜４０体積％であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の偏心揺動型減速装置。
6. 内歯歯車と、外歯歯車と、前記外歯歯車を揺動させる偏心体と、を備えた偏心揺動型減速装置の偏心体の製造方法であって、
   偏心体に熱処理を施す熱処理工程と、
   熱処理後の偏心体に研削を施す研削工程と、を有し、
   前記研削工程においては、研削後の偏心体の表面から２０μｍにおける残留応力がマイナスとなる研削条件により研削を行うことを特徴とする偏心体の製造方法。
7. 前記研削工程においては、平均切り粉厚みを０．０１μｍ以下に設定して研削を行うことを特徴とする請求項６に記載の偏心体の製造方法。

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