CN111520441A - 偏心摆动型减速装置及偏心体的制造方法 - Google Patents

Abstract

若对偏心体的表面实施磨削加工，则根据加工条件有时会导致偏心体的寿命变短。本发明是鉴于这种课题而完成的，其目的在于提供一种能够抑制偏心体的寿命下降的偏心摆动型减速装置。偏心摆动型减速装置(10)具备内齿轮(16)、外齿轮(14)及使外齿轮(14)摆动的偏心体(12a)，其中，偏心体(12a)的距表面20μm的处残余应力为压缩应力。

Description

偏心摆动型减速装置及偏心体的制造方法

本申请主张基于2019年2月5日申请的日本专利申请第2019-019056号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种偏心摆动型减速装置及偏心体的制造方法。

背景技术

本申请人在专利文献1中公开了一种偏心摆动型减速机，其具备外齿轮及具有偏心体的偏心体轴，并且经由偏心体轴的偏心体使外齿轮偏心摆动。专利文献1中记载的减速机具有配置于外齿轮与偏心体之间的偏心滚子轴承，并且对该偏心体实施赋予了热负荷时偏心体的材料特性发生变化的特殊的固化处理。

专利文献1：日本特开2016-098860号公报

就实施了热处理的偏心体而言，由于在实施热处理时产生热变形，因此有时对热处理后的偏心体的表面实施磨削加工而消除热变形。作为偏心体的磨削加工，可以采用包括专利文献1中记载的基于切削抛光的方法在内的各种方法。但是，根据磨削加工的条件，偏心体的寿命有时会变短。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够抑制偏心体的寿命下降的偏心摆动型减速装置。

为了解决上述课题，本发明的一种实施方式的偏心摆动型减速装置具备内齿轮、外齿轮及使外齿轮摆动的偏心体，该偏心摆动型减速装置中，偏心体的距表面20μm处的残余应力为压缩应力。

本发明的另一实施方式为偏心体的制造方法。偏心体为偏心摆动型减速装置的偏心体，该偏心摆动型减速装置具备内齿轮、外齿轮及使外齿轮摆动的偏心体，所述具有如下工序：热处理工序，对偏心体实施热处理；及磨削工序，对热处理后的偏心体实施磨削。在磨削工序中，以使磨削后的偏心体的距表面20μm处的残余应力成为负的磨削条件进行磨削。

另外，以上构成要件的任意组合或将本发明的构成要件或表现在方法、系统等之间互相替换的方式也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，提供一种能够抑制偏心体的寿命下降的偏心摆动型减速装置。

附图说明

图1是概略地表示第1实施方式的偏心摆动型减速装置的侧视剖视图。

图2是表示图1的偏心体的残余应力及耐久性试验结果的表。

图3是表示图1的偏心体的残余应力的曲线图。

图4是表示图1的偏心体的残余奥氏体量的曲线图。

图5是表示图1的偏心体的残余奥氏体量及残余应力的曲线图。

图6是示意地表示图1的偏心体的磨削工序的示意图。

图7是表示图1的偏心体的平均切屑厚度与残余应力之间的关系的散布图。

图8是表示第2实施方式的偏心摆动型减速装置的侧视剖视图。

图中：10-偏心摆动型减速装置，12-输入轴，12a-偏心体，14-外齿轮，16-内齿轮，18、20-轮架，24、26-主轴承，32-内销，70-输入齿轮。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的优选实施方式进行说明。在实施方式及比较例及变形例中，对相同或同等的构成要件及部件标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，在各附图中，为了便于理解，适当放大或缩小表示部件的尺寸。并且，在各附图中，省略了在第1实施方式的说明中并不重要的部件的一部分。

并且，包含第1、第2等编号的术语用于说明各种构成要件，但是，该术语仅用于将一个构成要件区别于其他构成要件的目的，该术语并不用于限定构成要件。

[第1实施方式]

以下，参考附图对第1实施方式所涉及的偏心摆动型减速装置10的结构进行说明。图1是表示第1实施方式的偏心摆动型减速装置10的侧视剖视图。本实施方式的偏心摆动型减速装置10构成为，通过使与内齿轮啮合的外齿轮摆动，使内齿轮及外齿轮中的一个齿轮自转，并将所产生的运动成分从输出部件输出至被驱动装置。

偏心摆动型减速装置10主要具备：输入轴12；外齿轮14；内齿轮16；轮架18、20；壳体22；及主轴承24、26。以下，将沿着内齿轮16的中心轴线La的方向称为“轴向”，将以该中心轴线La为中心的圆的圆周方向及半径方向分别称为“周向”及“径向”。并且，以下，为了便于说明，将轴向上的一侧(图中右侧)称为输入侧，将另一侧(图中左侧)称为输入相反侧。

输入轴12通过从驱动装置(未图示)输入过来的旋转动力而以旋转中心线为中心进行转动。本实施方式的偏心摆动型减速装置10为输入轴12的旋转中心线与内齿轮16的中心轴线La设置在同一轴线上的中心曲柄式的偏心摆动型减速装置。驱动装置例如为马达、齿轮马达、发动机等。

本实施方式的输入轴12为具有用于使外齿轮14摆动的多个偏心体12a的偏心体轴。偏心体12a的轴心相对于输入轴12的旋转中心线偏心。在本实施方式中，设置有三个偏心体12a，相邻的偏心体12a的偏心相位彼此错开120°。在输入轴12的输入侧的端部形成有用于从驱动装置的输出部件接受动力的花键12b。

在偏心体12a的外周，经由滚子轴承30组装有三个外齿轮14。各外齿轮14与内齿轮16内啮合。将外齿轮14排列成三列来组装的目的是为了实现传递容量的增大、基于偏心相位的偏离的低振动及低噪音化。各列的外齿轮的结构除了偏心相位不同以外均相同。

外齿轮14分别对应于各个偏心体12a而设置。外齿轮14经由滚子轴承30旋转自如地支承于对应的偏心体12a。外齿轮14设置有供内销32贯穿的第1贯穿孔13及与滚子轴承30抵接的第2贯穿孔15。

第1贯穿孔13设置在外齿轮14的从其中心偏移的位置。第1贯穿孔13对应于后述的内销32而设置有多个。在该例子中，在周向上以60°间隔设置有六个第1贯穿孔13。第2贯穿孔15设置于外齿轮14的中心，且其为供偏心体12a插通的孔。

如图1所示，壳体22整体上呈筒状，在其内周部设置有内齿轮16。内齿轮16与外齿轮14啮合。本实施方式的内齿轮16具备与壳体22一体化的内齿轮主体及旋转自如地支承于该内齿轮主体且构成该内齿轮16的内齿的外销16a(销部件)。内齿轮16的内齿数(外销16a的数量)稍多于外齿轮14的外齿数(在该例子中，仅多出1个)。

轮架18、20配置于外齿轮14的轴向侧部。轮架18、20包含配置于外齿轮14的输入侧的侧部的第1轮架18及配置于外齿轮14的输入相反侧的侧部的第2轮架20。轮架18、20呈圆盘状，且其经由输入轴轴承34将输入轴12支承为旋转自如。

第1轮架18与第2轮架20经由内销32连结在一起。内销32在从外齿轮14的轴心沿径向偏移的位置上沿轴向贯穿多个外齿轮14。本实施方式的内销32与第2轮架20形成为一体。内销32也可以与轮架18、20分体设置。内销32围绕内齿轮16的中心轴线La隔着规定的间隔而设置有多个。在本实施方式中，沿周向上隔着60°间隔设置有六个内销32。

关于内销32，其前端部嵌入于形成在第1轮架18的有底凹部18c中，并且与从第1轮架18的输入侧插入的螺栓36一同连结第1轮架18与第2轮架20。

内销32贯穿形成于外齿轮14的第1贯穿孔13。在内销32的外周面32s，旋转自如地套有滚筒35作为滑动促进部件。滚筒35的轴向移动被第1轮架18的输入相反侧及第2轮架20的输入侧限制。在滚筒35与第1贯穿孔13之间设置有用于吸收外齿轮14的摆动成分的游隙即间隙。滚筒35与第1贯穿孔13的内壁面局部接触。

在此，将向被驱动装置(未图示)输出旋转动力的部件称为输出部件，将固定于用于支承偏心摆动型减速装置10的外部部件上的部件称为被固定部件。本实施方式的输出部件为第2轮架20，被固定部件为壳体22。输出部件经由主轴承24、26旋转自如地支承于被固定部件。

主轴承24、26包含配置于第1轮架18与壳体22之间的第1主轴承24及配置于第2轮架20与壳体22之间的第2主轴承26。在本实施方式中，主轴承24、26以所谓的背对背组合状态配置。第1轮架18及第2轮架20的外周分别构成第1主轴承24及第2主轴承26的内圈。在本实施方式中，作为主轴承24、26，例示了具有球状转动体42的角接触球轴承。此外，主轴承24、26也可以是圆锥滚子轴承、角接触滚子轴承等滚子轴承。

接着，对如上构成的偏心摆动型减速装置10的动作进行说明。若旋转动力从驱动装置传递至输入轴12，则输入轴12的偏心体12a围绕穿过输入轴12的旋转中心线进行旋转。进行偏心运动的偏心体12a与第2贯穿孔15局部接触从而使外齿轮14进行摆动。此时，外齿轮14以自身的轴心围绕输入轴12的旋转中心线旋转的方式进行摆动。若外齿轮14摆动，则外齿轮14与内齿轮16的啮合位置依次偏离。其结果，输入轴12每旋转一次，外齿轮14及内齿轮16中的一个齿轮自转相当于外齿轮14与内齿轮16的齿数差的量。在本实施方式中，外齿轮14自转，并且经由内销32从第2轮架20输出减速后的旋转。

下面，参考图2～图5，对偏心体12a的耐久性进行说明。发明人等经过研究确认到，偏心体12a的耐久性会根据磨削后的残余应力(以下，有时标记为“Sr”)及磨削后的残余奥氏体量(以下，有时标记为“残余γ”)而发生变化。因此，本发明人等制作出了残余应力Sr及残余γ不同的样品A～D，并对该样品进行了耐久性试验。

以下，在以数值方式表示残余应力时，压缩应力以标有“-”的负的数值来表示，拉伸应力以未标有符号的正的数值来表示。并且，“某值以上”表示从该值起正方向侧的值，“某值以下”表示从该值起负方向侧的值，“小于某值”表示比该值更靠负方向侧的值。并且，压缩残余应力“高于某值”表示残余应力为比该值更靠负方向侧的值，压缩残余应力“低于某值”表示残余应力为比该值更靠正方向侧的值。

图2是表示样品A～D的残余应力及耐久性试验结果的表。图3是表示样品A～D的磨削后的残余应力的曲线图。图4是表示样品A～D的磨削后的残余奥氏体量的曲线图。在图3及图4中，横轴表示测量位置，纵轴表示测量结果。图2中的残余应力表示距表面20μm处的磨削后的残余应力Sr。图2中的切削深度、工件转速、切屑厚度为表示后述的磨削工序的条件的指标。

关于样品A～D，对以相同的热处理条件(例如，专利文献1中记载的固化处理例1)进行热处理后的偏心体(以下，称为“工件”)以加工应力不同的条件进行磨削而成。在图3及图4中，测量位置表示距表面的深度，通过电解抛光从表面逐渐去除表层并且从表面每隔20μm获取了各深度处的数据。

图5是表示样品A～D的残余γ与残余应力Sr之间的关联性的曲线图。由该图可知，在距表面20μm处，随着残余γ的增加，残余应力Sr向负方向侧变位。并且，即使在表面，残余γ与残余应力Sr也具有相同的倾向。

对图2的耐久性试验结果进行说明。该结果用作表示耐久性的指标。该耐久性试验为对试样反复赋予被解释为与在额定使用期间内施加额定负荷相同的应力负荷的所谓的加速试验。耐久性试验结果中，用记号示出了试验后的老化状态。在图2中，记号×表示在耐久性试验中产生了异常噪声而中断了试验的情况。记号△表示耐久性试验后观察到了断裂(表面损伤)的情况。记号〇表示耐久性试验后观察到能够实际使用的范围的轻微损伤的情况。记号◎表示耐久性试验后几乎未观察到损伤的情况。

在耐久性试验的结果中，如图2所示，样品A为“×”，样品B为“△”，样品C为“〇”，样品D为“◎”。即，关于样品A、B，磨削烧伤的影响大导致耐久性变差，关于样品C、D，具有能够实际使用的范围的耐久性。因此，可以说，只要能够区分样品C、D与样品A、B，就能够提供减少了磨削烧伤的影响的偏心体12a。

如图3及图5所示，可以根据距表面20μm处的残余应力Sr区分样品A、B与样品C、D。可以参考距表面20μm处的样品C的残余应力Sr来确定基准范围。从该观点出发，在本实施方式中，将偏心体12a的距表面20μm处的残余应力Sr设为压缩应力(Sr＜0MPa)，从而将耐久性控制为比样品C更好的级别。通过将距表面20μm处的残余应力Sr设为压缩应力，能够抑制磨削烧伤的影响，从而能够实现偏心体12a的实用的耐久性。

从具有应对制造偏差或使用条件的偏差的余量的观点出发，也可以将距表面20μm处的残余应力Sr设为-200MPa以下。例如，样品D的残余应力Sr为-374MPa，其实现了该条件。此时，能够进一步抑制磨削烧伤的影响，即便考虑到制造偏差或使用条件的偏差，也能够实现偏心体12a的实用的耐久性。

如图4及图5所示，根据距表面20μm处的残余γ也能够区分样品A、B与样品C、D。例如，可以参考距表面20μm处的样品C的残余γ来确定基准范围。从该观点出发，可以将偏心体12a的距表面20μm处的残余奥氏体量设为30～45体积％。此时，由于除了使用残余应力Sr以外还使用残余γ的另一指标，因此能够提供进一步提高耐久性的偏心体12a。

如图3及图5所示，根据表面上的残余应力Sr也能够区分样品A、B与样品C、D。例如，可以参考表面的样品D的残余应力Sr来确定基准范围。从该观点出发，可以将偏心体12a的表面上的残余应力Sr设为-800MPa以下。此时，由于除了使用距表面20μm处的残余应力Sr以外还使用表面上的残余应力Sr，因此能够提供进一步提高耐久性的偏心体12a。

如图4及图5所示，根据表面上的残余γ也能够区分样品A、B与样品C、D。例如，可以参考表面上的样品C的残余γ来确定基准范围。从该观点出发，可以将偏心体12a的表面上的残余奥氏体量设为25～40体积％。此时，由于除了使用距表面20μm处的残余应力Sr以外还使用表面上的残余奥氏体量，因此能够提供进一步提高耐久性的偏心体12a。

接着，对偏心体12a的制造方法进行说明。该制造方法主要包括通过机械加工形成材料外形的粗加工工序、对偏心体12a实施热处理的热处理工序及对热处理后的偏心体12a实施磨削的磨削工序。该例子中的偏心体12a与输入轴12一体地制造。

对热处理工序进行说明。虽然不是限定偏心体12a的热处理，但作为一例，热处理工序的热处理可以是具有碳化物量的增加特性的固化处理。碳化物量的增加特性是指：与使材料特性发生变化的热负荷(试验用热负荷)赋予之前相比，赋予热负荷后的偏心体12a的表面部的碳化物量增加的特性。通过赋予试验用热负荷，能够轻松地确认碳化物量的增加特性。作为能够满足碳化物量的增加特性的固化处理，例如可以采用专利文献1中记载的固化处理例1～4及其变形例。虽然不是限定试验用热负荷，但作为一例，试验用热负荷可以是将偏心体12a在300℃以上的状态下爆嗮3个小时以上的热负荷。

接着，参考图6及图7对磨削工序进行说明。图6是示意地表示本实施方式的磨削工序的示意图。如图6所示，在磨削工序中，使旋转的砂轮82以规定的切削深度Ae在偏心体(以下，在该说明中称为“工件81”)的表面相对移动，从而对工件81的表面进行磨削。发明人等进行研究的结果确认到，磨削后的残余应力Sr主要与砂轮82的圆周速度Vc(m/s)、工件81的进给速度Vw(mm/min)及砂轮82的每次行程中的切削深度Ae(mm)相关。即，通过调整这些磨削条件，能够实现所期望的残余应力Sr。由此，在本实施方式的磨削工序中，以使磨削后的偏心体的距表面20μm处的残余应力Sr成为负(Sr＜0MPa)的磨削条件进行磨削。另外，残余应力Sr为负意味着残余应力Sr为压缩应力。通过使距表面20μm处的残余应力Sr成为负，能够抑制磨削烧伤的影响，从而能够实现偏心体12a的实用的耐久性。

并且，发明人等通过改变切削深度Ae来评价了残余应力Sr，发现调整平均切屑厚度hm能够有效地设定磨削条件。图7是表示平均切屑厚度hm与距表面20μm处的残余应力Sr之间的关系的散布图。在图7中，符号K所示的白点为切削深度Ae＝0.015mm时的结果，符号J所示的黑点为切削深度Ae＝0.010mm时的结果。并且，虚线表示平均切屑厚度hm与残余应力Sr之间的回归直线M。

符号K、J的结果从回归直线M的偏离均较少，因此可以说，在任何切削深度Ae下，根据平均切屑厚度hm均能够控制残余应力Sr。只要平均切屑厚度hm从回归直线M偏离0.01μm以下，就能够实现上述的磨削条件(距表面20μm处的残余应力Sr为负(Sr＜0MPa))。由此，在本实施方式的磨削工序中，将平均切屑厚度设为0.01μm以下来进行磨削。

接着，参考图6对平均切屑厚度hm进行说明。在砂轮82旋转一圈的期间，砂轮82从实线的位置相对移动到虚线的位置(实际上是工件81在移动)。平均切屑厚度hm为砂轮82开始切削到切削结束为止所生成的切屑厚度的平均，可以根据下式1计算出。

hm＝(Ae·Vw)/(Vc·60·1000)……(1)

(其中，hm为平均切屑厚度[mm]，Ae为砂轮82的每次行程中的切削深度[mm]，Vw为工件81的进给速度[mm/min]，Vc为砂轮82的圆周速度Vc[m/s]。)

如式1所示，平均切屑厚度hm为与切削深度Ae及速度Vw成正比且与圆周速度Vc成反比的指标，是将这些磨削条件综合的指标。通过使用平均切屑厚度hm，能够有效地设定磨削条件。

进一步对图2进行说明。图2中的样品E～G表示以平均切屑厚度hm成为0.009μm～0.010μm的方式调整了切削深度Ae等的样品的耐久性试验结果。在这些样品中，残余应力Sr在-200MPa～-500MPa的范围，几乎观察不到耐久性试验后的损伤，其状态良好。样品E～G的结果也支持上述磨削条件恰当。另外，从确保生产率的观点出发，距表面20μm处的残余应力Sr可以是-1000MPa以上，平均切屑厚度hm可以是0.001μm以上。

以上为第1实施方式的说明。根据第1实施方式的偏心摆动型减速装置10，提供一种能够抑制磨削烧伤对偏心体12a带来的影响从而能够抑制偏心体12a的寿命下降的偏心摆动型减速装置。

[第2实施方式]

接着，参考图8对第2实施方式所涉及的偏心摆动型减速装置10的结构进行说明。在第2实施方式的附图及说明中，对与第1实施方式相同或同等的构成要件及部件标注相同的符号。适当省略与第1实施方式重复的说明，重点对与第1实施方式不同的结构进行说明。图8是表示第2实施方式的偏心摆动型减速装置10的侧视剖视图，其对应于图1。

第1实施方式中举例说明了中心曲柄式的偏心摆动型减速装置。而本实施方式的偏心摆动型减速装置为所谓的分配式的偏心摆动型减速装置。偏心摆动型减速装置10主要具备：输入齿轮70；输入轴12；外齿轮14；内齿轮16；、轮架18、20；壳体22；及主轴承24、26。本实施方式与第1实施方式的主要不同点在于具备多个输入齿轮70及输入轴12，以及外齿轮14的数量不同。

多个输入齿轮70围绕内齿轮16的中心轴线La而配置。图8中仅示出了一个输入齿轮70。输入齿轮70被插入于其中央部的输入轴12支承，且设置成能够与输入轴12一体地旋转。输入齿轮70与设置于中心轴线La上的旋转轴(未图示)的外齿部啮合。旋转动力从未图示的驱动装置传递至旋转轴，并通过该旋转轴的旋转，输入齿轮70与输入轴12一体地旋转。

本实施方式的输入轴12在从内齿轮16的中心轴线La偏移的位置上沿周向隔着间隔配置有多个(例如，三个)。在图8中仅示出了一个输入轴12。在各输入轴12上，沿轴向排列设置有偏心相位彼此错开180°的两个偏心体12a。

在偏心体12a的外周，经由滚子轴承30组装有两个外齿轮14。各外齿轮14与内齿轮16内啮合。各外齿轮14的结构除了偏心相位不同以外均相同。

接着，对以上的本实施方式的偏心摆动型减速装置10的动作进行说明。若旋转动力从驱动装置传递至旋转轴，则旋转动力从旋转轴分配到多个输入齿轮70，各输入齿轮70以相同的相位进行旋转。若各输入齿轮70旋转，则输入轴12的偏心体12a围绕穿过输入轴12的旋转中心线进行旋转，并且该偏心体12a使外齿轮14摆动。若外齿轮14摆动，则与第1实施方式相同地，外齿轮14与内齿轮16的啮合位置依次偏移，外齿轮14及内齿轮16中的一个齿轮进行自转。输入轴12的旋转以与外齿轮14与内齿轮16的齿数差相应的减速比减速后从输出部件输出至被驱动装置。

本实施方式的偏心体12a也同样具备在第1实施方式中进行说明的偏心体12a的残余应力Sr及残余γ的特征。

在第1实施方式中进行说明的偏心体12a的制造方法也能够适用于本实施方式的偏心体12a中。

以上为第2实施方式的说明。根据第2实施方式的偏心摆动型减速装置10，也具有与第1实施方式相同的作用效果，提供一种能够抑制磨削烧伤对偏心体12a带来的影响并且能够抑制了偏心体12a的寿命下降的偏心摆动型减速装置。

以上，对本发明的实施方式的例子进行了详细说明。上述的实施方式只不过是用于实施本发明的具体例。实施方式的内容并不限定本发明的技术范围，在不脱离技术方案中规定的发明的思想的范围内，能够进行构成要件的变更、追加、删除等多种设计变更。在上述的实施方式中，关于能够进行这种设计变更的内容，标注了“实施方式的”及“实施方式中”等语句来进行了说明，但这并不表示没有这种语句的内容就不允许进行设计变更。

以下，对变形例进行说明。在变形例的附图及说明中，对与实施方式相同或同等的构成要件及部件标注相同的符号。适当省略与实施方式重复的说明，重点对与第1实施方式不同的结构进行说明。

在第1实施方式中示出了设置有三个外齿轮14的例子，在第2实施方式中示出了设置有两个外齿轮14的例子，但是，根据所期望的特性，可以设置一个外齿轮14，也可以设置四个以上外齿轮14。

在第1实施方式中，对第1主轴承24及第2主轴承26不具有内圈的例子进行了说明，但是本发明并不只限于此。第1主轴承24及第2主轴承26中的至少一个也可以是具有内圈的轴承。

以上，对实施方式的输出部件为轮架18、20且壳体22固定于外部部件的例子进行了说明。此外，也可以将壳体22作为输出部件，将轮架18、20固定在外部部件。

上述各变形例也具有与第1实施方式相同的作用效果。

上述各实施方式与变形例的任意组合也作为本发明的实施方式而有效。通过组合而产生的新的实施方式兼具所组合的各实施方式及变形例各自的效果。

Claims (7)

1.一种偏心摆动型减速装置，其具备内齿轮、外齿轮及使所述外齿轮摆动的偏心体，所述偏心摆动型减速装置的特征在于，

所述偏心体的距表面20μm处的残余应力为压缩应力。

2.根据权利要求1所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体的距表面20μm处的残余应力为-200MPa以下。

3.根据权利要求1或2所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体的距表面20μm处的残余奥氏体量为30～45体积％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体的表面上的残余应力为-800MPa以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体的表面上的残余奥氏体量为25～40体积％。

6.一种偏心体的制造方法，所述偏心体为偏心摆动型减速装置的偏心体，所述偏心摆动型减速装置具备内齿轮、外齿轮及使所述外齿轮摆动的偏心体，所述制造方法的特征在于，具有如下工序：

热处理工序，对偏心体实施热处理；及

磨削工序，对热处理后的偏心体实施磨削，

在所述磨削工序中，以使磨削后的偏心体的距表面20μm处的残余应力成为负的磨削条件进行磨削。

7.根据权利要求6所述的偏心体的制造方法，其特征在于，

在所述磨削工序中，将平均切屑厚度设定为0.01μm以下来进行磨削。

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