JP2020113766A - 3次元半導体メモリ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
110 埋め込み絶縁膜
120 層間絶縁膜
CAR セルアレイ領域
CNR 連結領域
CL 連結配線
DCP ダミーコンタクトプラグ
DP1、DP2 ダミーパターン
DS1、DS2 ダミー階段構造
DST1、DST2 ダミー構造体
EL 電極
ILD 絶縁膜
LCP、MCP、UCP コンタクトプラグ
LS1、LS2 下部階段構造
LST 下部構造体
MS1、MS2 中間階段構造
MST 中間構造体
PR1、PR2 パッド領域
ST 電極構造体
US1、US2 上部階段構造
UST 上部構造体
Claims (25)
- セルアレイ領域及び前記セルアレイ領域と第1方向に隣接する連結領域を含む基板を準備し、前記連結領域は前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された第1及び第2パッド領域を含むことと、
前記基板上に交互に積層された水平膜及び絶縁膜を含む薄膜構造体を形成することと、
前記第1及び第2パッド領域で前記薄膜構造体の一部に対する単層エッチング工程を繰り返しに遂行してダミー構造体を形成することと、
前記第1パッド領域で前記ダミー構造体の一部及び前記薄膜構造体の一部に対する第1多層エッチング工程を遂行して、前記第1パッド領域の第1ダミー構造体及び前記第2パッド領域の第2ダミー構造体を形成し、第1及び第2ダミー構造体は前記基板から互いに異なるレベルに位置することと、
前記第1及び第2パッド領域で前記第1及び第2ダミー構造体の一部分及び前記薄膜構造体の他の一部に対する第2多層エッチング工程を繰り返しに遂行して電極構造体を形成することと、を含む3次元半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記ダミー構造体は、前記第1方向に沿って形成され、互いに対向する第1階段構造及び前記第2方向に沿って形成され、互いに対向する第2階段構造を含む請求項1に記載の3次元半導体メモリ装置の製造方法。
- 前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、前記第1方向に沿って形成された第1階段構造及び前記第2方向に沿って形成された第2階段構造を含む請求項1に記載の3次元半導体メモリ装置の製造方法。
- 前記電極構造体は、
前記第1パッド領域で前記第1ダミー構造体の前記第2階段構造が転写されて形成された第1中間階段構造と、
前記第2パッド領域で前記第2ダミー構造体の前記第2階段構造が転写されて形成された第2中間階段構造と、を含み、
前記第1中間階段構造は、前記基板から第2中間階段構造と異なるレベルに位置する請求項3に記載の3次元半導体メモリ装置の製造方法。 - 前記単層エッチング工程は、前記第1及び第2パッド領域で前記薄膜構造体の一部を覆う第1マスクパターンを利用して前記水平膜の垂直ピッチに該当する深さに前記薄膜構造体をエッチングする請求項1に記載の3次元半導体メモリ装置の製造方法。
- セルアレイ領域及び前記セルアレイ領域と第1方向に隣接する連結領域を含む基板であって、前記連結領域は前記第1方向と交差する第2方向に互いに隣接する第1及び第2パッド領域を含むことと、
前記基板上に垂直に積層された複数の電極を含む電極構造体であって、前記電極構造体の上部部分は前記連結領域で前記第1方向に沿って形成された上部階段構造を含むことと、
前記電極構造体の前記上部部分と水平に離隔され、前記第1パッド領域に提供される第1ダミー構造体と、
前記電極構造体の前記上部部分と水平に離隔され、前記第2パッド領域に提供される第2ダミー構造体と、を含み、
前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、前記第1方向及び前記第2方向に沿って形成されたダミー階段構造を含み、
前記第1ダミー構造体は、前記基板から第1レベルに位置し、前記第2ダミー構造体は、前記第1レベルより低い第2レベルに位置する3次元半導体メモリ装置。 - 前記電極構造体は、前記セルアレイ領域で前記第2方向に第1幅を有し、
前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、前記第2方向に前記第1幅の1/2より小さい第2幅を有する請求項6に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1ダミー構造体の前記ダミー階段構造は、前記第2ダミー構造体の前記ダミー階段構造に対して反対方向に配置されている請求項6に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、垂直に積層された複数のダミーパターンを含み、前記ダミーパターンは、垂直に互いに整列された一側壁を有する請求項6に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記電極構造体は、
前記第1パッド領域で前記第1方向に沿って形成された第1下部階段構造、第1中間階段構造、及び第1上部階段構造を含み、
前記第2パッド領域で前記第1方向に沿って形成された第2下部階段構造、第2中間階段構造、及び第2上部階段構造を含み、
前記第1下部、中間、及び上部階段構造は、前記基板から前記第2下部、中間、及び上部階段構造と異なるレベルに位置する請求項6に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1及び第2下部階段構造は、前記第1方向及び前記第2方向の両方で単層階段を含む請求項10に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記第1及び第2中間階段構造は、前記第1方向に沿って形成された多層階段と前記第2方向に沿って形成された単層階段を含む請求項10に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記多層階段の各々の高さは、前記第1レベルと前記第2レベルとの間のレベル差より大きい請求項12に記載の3次元半導体メモリ装置。
- セルアレイ領域及び前記セルアレイ領域を介して第1方向に互いに離隔された第1及び第2連結領域を含む基板であって、前記第1連結領域は前記第1方向と交差する第2方向に配列された第1及び第2パッド領域を含み、第2連結領域は前記第2方向に配列された第3及び第4パッド領域を含むことと、
前記基板上に垂直に積層された複数の電極を含む電極構造体と、
前記第1乃至第4パッド領域に各々配置される第1乃至第4ダミー構造体であって、前記第1乃至第4ダミー構造体の各々は前記電極構造体上に垂直に積層されたダミーパターンを含むことと、を含み、
前記第1乃至第4ダミー構造体は、前記基板から互いに異なるレベルに各々位置する3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1乃至第4ダミー構造体の各々は、前記第1方向及び前記第2方向に沿って形成されたダミー階段構造を含む請求項14に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記電極構造体は、前記セルアレイ領域で前記第2方向に第1幅を有し、
前記第1乃至第4ダミー構造体の各々は、前記第2方向に前記第1幅の1/2より小さい第2幅を有する請求項14に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記電極構造体の下部部分は、前記基板の上面と隣接し、前記第1方向及び前記第2方向の両方で単層階段からなされた下部階段構造を含み、
前記電極構造体の中間部分は、前記第2方向に沿って単層階段からなされた中間階段構造を含み、
前記電極構造体の上部部分は、前記第1方向に沿って単層階段からなされた上部階段構造を含む請求項14に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1乃至第4ダミー構造体は、電極構造体の前記上部部分と水平に離隔される請求項17に記載の3次元半導体メモリ装置。
- セルアレイ領域及び前記セルアレイ領域と隣接する連結領域を含む基板と、
前記基板上に垂直に積層された複数の電極を含む電極構造体であって、前記電極構造体の上部部分は前記連結領域で第1方向に沿って形成された上部階段構造を含むことと、
前記電極構造体の前記上部部分と水平に離隔され、垂直に積層された第1ダミーパターンを含む第1ダミー構造体と、
前記電極構造体の前記上部部分と水平に離隔され、垂直に積層された第2ダミーパターンを含む第2ダミー構造体と、を含み、
前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、前記第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に沿って形成されたダミー階段構造を含み、
前記第1ダミー構造体は、前記基板から第1レベルに位置し、前記第2ダミー構造体は、前記第1レベルより低い第2レベルに位置する3次元半導体メモリ装置。 - 前記電極構造体は、前記セルアレイ領域で前記第2方向に第1幅を有し、
前記第1及び第2ダミー構造体の各々は、前記第2方向に前記第1幅の1/2より小さい第2幅を有する請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1ダミーパターンは、垂直に互いに整列された第1側壁を有し、
前記第2ダミーパターンは、垂直に互いに整列された第2側壁を有する請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記第1ダミー構造体の一側壁は、前記第2ダミー構造体の一側壁と共面をなす請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記第1レベルと前記第2レベルとの間の差は前記電極の垂直ピッチの少なくとも4倍に該当する請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。
- 前記電極構造体は、前記連結領域で前記第1方向に沿って形成された下部階段構造及び中間階段構造を含み、
前記中間階段構造は、前記第1方向に沿って形成された多層階段と前記第2方向に沿って形成された単層階段を含む請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。 - 前記電極構造体は、前記連結領域で前記第1方向に沿って形成された下部階段構造及び中間階段構造を含み、
前記下部階段構造は、前記第1方向及び前記第2方向の両方で単層階段を含む請求項19に記載の3次元半導体メモリ装置。
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