JP2020106277A - 厚み計測装置、及び厚み計測装置を備えた加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
D’=D×cosθ
波長 :1064nm
平均出力 :1W
繰り返し周波数 :100kHz
パルス幅 :1ns
スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/秒
6:厚み計測装置
60:厚み計測手段
61:白色光源
62:分光手段
63:拡大光学系
64:集光光学系
65:2次元イメージセンサー
10:制御手段
110:記憶部
120:厚み演算部
20:保持手段
24:チャックテーブル
30:移動手段
31:X軸方向移動手段
32:Y軸方向移動手段
40:レーザー光線照射手段
50:アライメント手段
W:ウエーハ(板状物)
L0:白色光
L1:分光
L2:拡大分光
L3、L4:戻り光
Claims (4)
- 板状物の厚みを計測する厚み計測装置であって、
板状物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状物の厚みを非接触で計測する厚み計測手段と、を少なくとも含み、
該厚み計測手段は、
白色光源と、
該白色光源が発した白色光を波長に対応して時間差を生じさせ分光して照射する分光手段と、
該分光手段により分光された光を該保持手段に保持された板状物に対し所定の角度で傾斜させX軸方向、及びY軸方向の座標で規定される板状物上の2次元領域に照射して、該板状物の上面及び下面から反射した戻り光を受光する受光領域を備えた2次元イメージセンサーと、
該2次元イメージセンサーを構成し該板状物の該2次元領域に対応したX軸方向、及びY軸方向の座標によって規定される受光領域に配設される複数の画素と、
該画素が時間差によって順次受け取る分光された波長に対応する戻り光の強度を分光干渉波形として該画素毎に記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された画素毎の分光干渉波形を演算して板状物の該2次元領域を規定する座標位置の仮の厚みを算出し、該分光手段により分光された光を該板状物に対して照射した際の該板状物における屈折角のコサインの値を該仮の厚みに乗算して板状物の該座標位置における厚みを演算する厚み演算部と、
を備える厚み計測装置。 - 該厚み計測手段は、さらに、該分光手段と該保持手段に保持された板状物との間に配設され分光された光を拡大する拡大光学系と、
該保持手段に保持された板状物からの戻り光を集光して該2次元イメージセンサーに導く集光光学系と、
を備える請求項1に記載の厚み計測装置。 - 該白色光源は、SLD光源、ASE光源、スーパーコンティニウム光源、LED光源、ハロゲン光源、キセノン光源、水銀光源、メタルハライド光源、のいずれかである請求項1、又は2に記載の厚み計測装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の厚み計測装置を備えた加工装置。
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