JP2020091388A - 光学フィルタ装置、及び光学フィルタ装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる光学フィルタ装置、及び、環境温度が変化する場合でも高い波長精度を実現することができる光学フィルタ装置の制御方法を提供する。【解決手段】光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタ１０と、抵抗測定部とを備える。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、第１積層体３０と、第１駆動電極１７と、第１端子１２Ａと、第２端子と、第３端子とを備える。第１駆動電極１７は、対向方向Ｄから見た場合に空隙Ｓと重なっており、対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と空隙Ｓとの間の距離は、対向方向Ｄにおける第１積層体３０の第２表面３０ｂと空隙Ｓとの間の距離よりも短い。抵抗測定部は、第１端子１２Ａ及び第３端子に電気的に接続されており、第１駆動電極１７の抵抗値を測定する。【選択図】図３

Description

本発明は、ファブリペロー干渉フィルタを備える光学フィルタ装置、及びそのような光学フィルタ装置の制御方法に関する。

空隙を介して互いに向かい合う一対の構造体と、一対の構造体にそれぞれ設けられ、空隙を介して互いに向かい合う一対のミラー部と、を備えるファブリペロー干渉フィルタが知られている（例えば特許文献１参照）。このようなファブリペロー干渉フィルタでは、所望の波長の光が透過するように、印加電圧に応じた静電気力によってミラー部間の距離が調整される。

特開２０１２−１１４１３３号公報

上述したようなファブリペロー干渉フィルタでは、環境温度に応じて透過波長が変化する。そのため、例えば高い波長精度が要求される場合には、環境温度に応じて印加電圧を調整することが必要となる。特許文献１に記載のファブリペロー干渉フィルタでは、外面にサーミスタ等の温度センサが設けられ、ファブリペロー干渉フィルタの温度が測定されている。そして、測定された温度に基づいて印加電圧が調整されている。

一方、ファブリペロー干渉フィルタにおいては、サイズが極めて重要である。しかし、上記従来技術では、温度センサ及びその配線等の配置スペースが必要であるため、小型化が困難となるおそれがある。

そこで、本発明は、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる光学フィルタ装置、及び、環境温度が変化する場合でも高い波長精度を実現することができる光学フィルタ装置の制御方法を提供することを目的とする。

本発明の光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタと、ファブリペロー干渉フィルタに電気的に接続された抵抗測定部と、を備え、ファブリペロー干渉フィルタは、第１表面、及び第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、空隙を介して第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、第１構造体に設けられた第１ミラー部と、空隙を介して第１ミラー部と向かい合うように第２構造体に設けられ、光透過領域における第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、第１構造体に設けられた第１駆動電極と、空隙を介して第１駆動電極と向かい合うように第２構造体に設けられた第２駆動電極と、第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、第１駆動電極は、第１表面と第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に空隙と重なっており、対向方向における第１駆動電極と空隙との間の距離は、対向方向における第２表面と空隙との間の距離よりも短く、抵抗測定部は、第１端子及び第３端子に電気的に接続されており、第１駆動電極の抵抗値を測定する。

この光学フィルタ装置では、例えば、第１端子と第２端子との間に電圧又は電流を印加することにより、第１ミラー部と第２ミラー部との間の距離を調整することができる。また、この光学フィルタ装置では、第１構造体に設けられた第１駆動電極の抵抗値が抵抗測定部により測定される。第１駆動電極の抵抗値は温度に応じて変化するため、測定された抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタの温度を把握することができる。ここで、この光学フィルタ装置では、第１駆動電極が、対向方向から見た場合に空隙と重なっており、対向方向における第１駆動電極と空隙との間の距離が、対向方向における第２表面と空隙との間の距離よりも短くなっている。ファブリペロー干渉フィルタの透過波長は、空隙の厚さ（換言すれば、第１ミラー部と第２ミラー部との間の距離）により決定される。そのため、空隙の近くに配置された第１駆動電極の抵抗値を用いることにより、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができる。更に、この光学フィルタ装置では、第１駆動電極の抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタの温度を把握することができるため、上述した従来技術のように温度センサ及びその配線等を設ける必要がない。その結果、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる。よって、この光学フィルタ装置によれば、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる。

本発明の光学フィルタ装置では、第１構造体は、積層体であり、第１駆動電極は、積層体を構成する半導体層における不純物領域であってもよい。この場合、温度に応じた抵抗値の変化が大きい半導体層により第１駆動電極が構成されるため、ファブリペロー干渉フィルタの温度をより精度良く把握することができる。更に、第１駆動電極の配置や特性についての設計自由度を向上することができる。

本発明の光学フィルタ装置では、第１駆動電極は、対向方向から見た場合に光透過領域と重なっており、第１ミラー部を構成していてもよい。この場合、第１駆動電極を第１ミラー部と第２ミラー部との間の空隙の近くに配置することができ、ファブリペロー干渉フィルタの温度をより一層精度良く把握することができる。

本発明の光学フィルタ装置では、第１駆動電極は、空隙に露出していてもよい。この場合、第１駆動電極をより空隙の近くに配置することができ、ファブリペロー干渉フィルタの温度をより一層精度良く把握することができる。

本発明の光学フィルタ装置では、第１端子及び第３端子は、対向方向から見た場合に光透過領域を挟んで互いに向かい合うように、第１構造体に設けられていてもよい。この場合、第１駆動電極を介した第１端子と第３端子との間の距離を長くすることができ、温度に応じた第１駆動電極の抵抗値の変化を大きくすることができる。その結果、ファブリペロー干渉フィルタの温度をより一層精度良く把握することができる。

本発明の光学フィルタ装置では、第１ミラー部は、第２ミラー部に対して移動可能な可動ミラーであり、第２ミラー部は、位置が固定された固定ミラーであってもよい。この場合、ファブリペロー干渉フィルタの温度をより一層精度良く把握することができる。

本発明の光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、抵抗測定部は、パッケージ内に配置されていてもよい。この場合、光学フィルタ装置の小型化を図ることができる。

本発明の光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、パッケージは、ステムと、光入射部が設けられたキャップと、を有し、ファブリペロー干渉フィルタは、ステムから離間した状態で、ステムに対して固定されていてもよい。この場合、ステムを介してファブリペロー干渉フィルタに熱の影響が及ぶのを抑制することができる。

本発明の光学フィルタ装置は、第１端子に電気的に接続された第１外部端子と、前記第２端子に電気的に接続された第２外部端子と、を更に備えてもよい。この場合、例えば、第１外部端子と第２外部端子との間に電圧又は電流を印加することにより、第１駆動電極と第２駆動電極との間の距離を調整することができる。

本発明の光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタと、ファブリペロー干渉フィルタに電気的に接続された第１外部端子、第２外部端子及び第３外部端子と、を備え、ファブリペロー干渉フィルタは、第１表面、及び第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、空隙を介して第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、第１構造体に設けられた第１ミラー部と、空隙を介して第１ミラー部と向かい合うように第２構造体に設けられ、光透過領域における第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、第１構造体に設けられた第１駆動電極と、空隙を介して第１駆動電極と向かい合うように第２構造体に設けられた第２駆動電極と、第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、第１駆動電極は、第１表面と第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に空隙と重なっており、対向方向における第１駆動電極と空隙との間の距離は、対向方向における第２表面と空隙との間の距離よりも短く、第１外部端子は、第１端子に電気的に接続されており、第２外部端子は、第２端子に電気的に接続されており、第３外部端子は、第３端子に電気的に接続されている。

この光学フィルタ装置では、例えば、第１外部端子と第２外部端子との間に電圧又は電流を印加することにより、第１ミラー部と第２ミラー部との間の距離を調整することができる。また、第１外部端子及び第３外部端子、並びに第１端子及び第３端子を介して、第１駆動電極の抵抗値を測定することができる。そのため、上述した理由により、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる。

本発明の光学フィルタ装置は、第１外部端子及び第３外部端子に電気的に接続され、第１端子及び第３端子を介して第１駆動電極の抵抗値を測定する抵抗測定部を更に備えていてもよい。この場合、抵抗測定部により、第１外部端子及び第３外部端子、並びに第１端子及び第３端子を介して、第１駆動電極の抵抗値を測定することができる。

本発明の光学フィルタ装置は、ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、抵抗測定部は、パッケージ外に配置されていてもよい。この場合、パッケージの小型化を図ることができる。

本発明の光学フィルタ装置の制御方法は、ファブリペロー干渉フィルタを備える光学フィルタ装置の制御方法であって、ファブリペロー干渉フィルタは、第１表面、及び第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、空隙を介して第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、第１構造体に設けられた第１ミラー部と、空隙を介して第１ミラー部と向かい合うように第２構造体に設けられ、光透過領域における第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、第１構造体に設けられた第１駆動電極と、空隙を介して第１駆動電極と向かい合うように第２構造体に設けられた第２駆動電極と、第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、第１駆動電極は、第１表面と第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に空隙と重なっており、対向方向における第１駆動電極と空隙との間の距離は、対向方向における第２表面と空隙との間の距離よりも短く、光学フィルタ装置の制御方法は、第１端子及び第３端子を介して第１駆動電極の抵抗値を測定する第１ステップと、第１ステップで測定された抵抗値に基づいて、第１端子と第２端子との間に印加される電圧又は電流を調整する第２ステップと、を備える。

この光学フィルタ装置の制御方法では、第１端子及び第３端子を介して第１駆動電極の抵抗値を測定し、当該測定値に基づいて、第１端子と第２端子との間に印加される電圧又は電流を調整する。上述したとおり、第１駆動電極の抵抗値を用いることにより、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができる。したがって、第１駆動電極の抵抗値に基づいて電圧又は電流を調整することにより、環境温度が変化する場合でも高い波長精度を実現することができる。

本発明によれば、ファブリペロー干渉フィルタの温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタの小型化を図ることができる光学フィルタ装置、及び、環境温度が変化する場合でも高い波長精度を実現することができる光学フィルタ装置の制御方法を提供できる。

実施形態に係る分光センサの断面図である。 分光センサの一部の分解斜視図である。 図２のIII−III線に沿ってのファブリペロー干渉フィルタの断面図である。 分光センサの平面図である。 （ａ）は、図４の矢印Ａの方向から見た場合の分光センサの側面図であり、（ｂ）は、図４の矢印Ｂの方向から見た場合の分光センサの側面図である。 （ａ）は、ファブリペロー干渉フィルタの温度と第１駆動電極の抵抗値との間の関係を示すグラフであり、（ｂ）は、ファブリペロー干渉フィルタの温度と第２駆動電極の抵抗値との間の関係を示すグラフである。 ファブリペロー干渉フィルタの温度と第１駆動電極の抵抗値との間の関係を示すグラフである。 （ａ）は、第１変形例に係る分光センサの平面図であり、（ｂ）は、第２変形例に係る分光センサの平面図であり、（ｃ）は、第３変形例に係る分光センサの平面図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
［分光センサの構成］

図１及び図２に示されるように、分光センサ（光学フィルタ装置、光検出装置）１は、配線基板２と、光検出器３と、複数のスペーサ４と、ファブリペロー干渉フィルタ１０と、を備えている。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、互いの間の距離が可変とされた第１ミラー部３１及び第２ミラー部４１を有している。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離に応じた波長の光を透過させる。ファブリペロー干渉フィルタ１０には、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１とが向かい合う対向方向Ｄに沿って当該光が通過する開口５０ａが設けられている。

光検出器３は、開口５０ａを通過した光を受光する受光部３ａを有している。受光部３ａは、対向方向Ｄにおいて開口５０ａと向かい合っている。光検出器３は、例えば赤外線検出器である。赤外線検出器としては、ＩｎＧａＡｓ等が用いられた量子型センサ、又は、サーモパイル若しくはボロメータ等が用いられた熱型センサを用いることができる。紫外（ＵＶ）、可視、近赤外の各領域を検出する場合には、光検出器３として、シリコンフォトダイオード等を用いることができる。光検出器３は、１つの受光部３ａを有していてもよいし、複数の受光部３ａをアレイ状に有していてもよい。複数の光検出器３が配線基板２に実装されていてもよい。

配線基板２には、光検出器３が実装されている。より具体的には、配線基板２には、光検出器３が実装された実装部２ａ、及び複数の電極パッド２ｂ，２ｃ，２ｄが設けられている。電極パッド２ｂは、配線２ｅを介して実装部２ａに電気的に接続されている。配線基板２は、例えば、シリコン、石英、ガラス、セラミック、プラスチック等により構成されている。

複数のスペーサ（支持部）４は、配線基板２上に固定されている。複数のスペーサ４は、ファブリペロー干渉フィルタ１０を光出射側（後述する第２積層体４０側）から支持している。複数のスペーサ４は、例えばシリコン、セラミック、石英、ガラス、プラスチック等により構成されている。スペーサ４は、配線基板２と一体に形成されていてもよい。この場合、配線基板２及びスペーサ４によって構成される部材が、ファブリペロー干渉フィルタ１０を支持する支持部となる。なお、スペーサ４は、ファブリペロー干渉フィルタ１０と一体的に形成されていてもよい。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、１つのスペーサ９により支持されていてもよい。

分光センサ１は、配線基板２、光検出器３、複数のスペーサ４、及びファブリペロー干渉フィルタ１０を収容するＣＡＮパッケージ（パッケージ）８１を更に備えている。ＣＡＮパッケージ８１は、ステム８２及びキャップ８３を有している。ステム８２及びキャップ８３は、例えば金属からなり、互いに気密に接合されている。

キャップ８３は、側壁８５及び天壁８６によって一体的に構成されている。天壁８６には、開口８６ａが形成されている。天壁８６の内面には、開口８６ａを塞ぐように光透過部材８７が配置されている。光透過部材８７は、開口８６ａ内及び側壁８５の内面に至っており、開口８６ａを気密に封止している。対向方向Ｄから見た場合に、光透過部材８７の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置している。光透過部材８７の光入射面８７ａは、開口８６ａにおいて天壁８６の外面と略面一となっている。光透過部材８７は、少なくとも分光センサ１の測定波長範囲の光を透過させる。光透過部材８７のうち開口８６ａ内に位置する部分は、外部からＣＡＮパッケージ８１内に光を入射させる光入射部８９として機能する。光透過部材８７は、例えば融着ガラスからなる。光透過部材８７の光出射面８７ｂには、板状のバンドパスフィルタ８８が結合されている。バンドパスフィルタ８８は、分光センサ１の測定波長範囲の光を選択的に透過させる。光透過部材８７の外縁がファブリペロー干渉フィルタ１０の外縁よりも外側に位置していることにより、光透過部材８７の熱容量、及び光透過部材８７とＣＡＮパッケージ８１との間の熱的な接続面積を大きくすることができる。その結果、ＣＡＮパッケージ８１の温度の均一化を図ることができる。

配線基板２は、ステム８２上に固定されている。すなわち、複数のスペーサ４は、ステム８２上においてファブリペロー干渉フィルタ１０を支持している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、ステム８２から離間した状態で、ステム８２に対して固定されている。光検出器３は、複数のスペーサ４によって配線基板２とファブリペロー干渉フィルタ１０との間に形成された空間に配置されている。配線基板２の電極パッド２ｂ，２ｃ、光検出器３の端子、及びファブリペロー干渉フィルタ１０の端子１２Ａ〜１２Ｄは、それぞれ、ステム８２を貫通する複数のリードピン８４にワイヤ８を介して電気的に接続されている。これにより、光検出器３及びファブリペロー干渉フィルタ１０に対する電気信号の入出力等が行われる。各部の電気的接続の詳細については後述する。

以上のように構成された分光センサ１では、光入射部８９を介して外部からファブリペロー干渉フィルタ１０に測定光が入射すると、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離に応じて、所定の波長を有する光が第１ミラー部３１及び第２ミラー部４１を透過する。第１ミラー部３１及び第２ミラー部４１を透過した光は、開口５０ａを通過して光検出器３の受光部３ａに入射し、光検出器３により検出される。分光センサ１では、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０に印加する電圧を変化させながら（すなわち、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離を変化させながら）、ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過した光を光検出器３によって検出することにより、分光スペクトルを得ることができる。
［ファブリペロー干渉フィルタの構成］

図３に示されるように、ファブリペロー干渉フィルタ１０は、基板１４を備えている。基板１４の光入射側の表面１４ａには、反射防止層１５、第２積層体（第２構造体）４０、中間層１６及び第１積層体（第１構造体）３０が、この順序で積層されている。第１積層体３０と第２積層体４０との間には、枠状の中間層１６によって空隙（エアギャップ）Ｓが形成されている。すなわち、第１積層体３０及び第２積層体４０は、基板１４によって支持されている。より具体的には、第２積層体４０は、反射防止層１５を介して基板１４の表面１４ａ上に配置されており、第１積層体３０は、中間層１６を介して第２積層体４０上に配置されている。

ファブリペロー干渉フィルタ１０においては、第１積層体３０に対して基板１４とは反対側から測定光が入射する。ファブリペロー干渉フィルタ１０は、その中央部に画定された光透過領域１１において、所定の波長を有する光を透過させる。光透過領域１１は、例えば円柱状の領域である。基板１４は、例えば、シリコン、石英、ガラス等からなる。基板１４がシリコンからなる場合には、反射防止層１５及び中間層１６は、例えば、酸化シリコンからなる。

第１積層体３０は、第１表面３０ａと、第１表面３０ａとは反対側の第２表面３０ｂと、を有している。第１表面３０ａ及び第２表面３０ｂは、例えば、対向方向Ｄに垂直な平坦面である。第１積層体３０のうち光透過領域１１に対応する部分（対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１と重なる部分）は、第１ミラー部３１として機能する。すなわち、第１ミラー部３１は、第１積層体３０に設けられている。第１ミラー部３１は、第２ミラー部４１に対して移動可能な可動ミラーである。第１積層体３０は、例えば、複数のポリシリコン層（半導体層）と複数の窒化シリコン層（半導体層）とが一層ずつ交互に積層されることにより構成されている。第１ミラー部３１を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層の各々の光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。

第２積層体４０は、空隙Ｓを介して第１積層体３０の第１表面３０ａと向かい合う第３表面４０ａと、第３表面４０ａとは反対側の第４表面４０ｂと、を有している。第３表面４０ａ及び第４表面４０ｂは、例えば、対向方向Ｄに垂直な平坦面である。第２積層体４０のうち光透過領域１１に対応する部分（対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１と重なる部分）は、第２ミラー部４１として機能する。すなわち、第２ミラー部４１は、第２積層体４０に設けられている。第２ミラー部４１は、位置が固定された固定ミラーである。第２ミラー部４１は、第１ミラー部３１と基板１４との間に配置され、空隙Ｓを介して第１ミラー部３１と向かい合っている。第２積層体４０は、例えば、複数のポリシリコン層と複数の窒化シリコン層とが一層ずつ交互に積層されることにより構成されている。第２ミラー部４１を構成するポリシリコン層及び窒化シリコン層の各々の光学厚さは、中心透過波長の１／４の整数倍であることが好ましい。

なお、第１積層体３０及び第２積層体４０では、窒化シリコン層の代わりに酸化シリコン層が用いられてもよい。第１積層体３０及び第２積層体４０を構成する各層の材料としては、酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、フッ化マグネシウム、酸化アルミニウム、フッ化カルシウム、シリコン、ゲルマニウム、硫化亜鉛等が用いられてもよい。

第１積層体３０において空隙Ｓに対応する部分（対向方向Ｄから見た場合に空隙Ｓと重なる部分）には、複数の貫通孔３２が形成されている。貫通孔３２は、第１積層体３０の第２表面３０ｂから空隙Ｓに至っている。貫通孔３２は、第１ミラー部３１の機能に実質的に影響を与えない程度に形成されている。貫通孔３２は、エッチングにより中間層１６の一部を除去して空隙Ｓを形成するために用いられてもよい。

第１積層体３０には、第１駆動電極１７が設けられている。第１駆動電極１７は、対向方向Ｄから見た場合に、例えば円形状を呈し、空隙Ｓと重なっている。この例では、第１駆動電極１７は、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１と重なっており、第１ミラー部３１を構成している。第１駆動電極１７は、第１積層体３０を構成する複数の層のうち、中間層１６に接触している層（ポリシリコン層）に形成されており、空隙Ｓに露出している。対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と空隙Ｓとの間の距離（最短距離）は、対向方向Ｄにおける第２表面３０ｂと空隙Ｓとの間の距離（最短距離）よりも短い。この例では、対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と空隙Ｓとの間の距離は、ゼロであり、対向方向Ｄにおける第２表面３０ｂと空隙Ｓとの間の距離は、第１積層体３０の厚さに等しい。対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と空隙Ｓとの間の距離は、対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と第２表面３０ｂとの間の距離よりも短い。第１駆動電極１７は、例えば、不純物をドープしてポリシリコン層を低抵抗化することにより形成されている。すなわち、この例では、第１駆動電極１７は、ポリシリコン層における不純物領域である。

第２積層体４０には、第２駆動電極１８及び補償電極１９が設けられている。第２駆動電極１８は、対向方向Ｄから見た場合に、例えば円環状を呈し、光透過領域１１を囲み、空隙Ｓと重なっている。第２駆動電極１８は、空隙Ｓを介して第１駆動電極１７と向かい合っている。第２駆動電極１８は、第２積層体４０を構成する複数の層のうち、中間層１６に接触している層（ポリシリコン層）に形成されており、空隙Ｓに露出している。対向方向Ｄにおける第２駆動電極１８と空隙Ｓとの間の距離（最短距離）は、対向方向Ｄにおける第４表面４０ｂと空隙Ｓとの間の距離（最短距離）よりも短い。この例では、対向方向Ｄにおける第２駆動電極１８と空隙Ｓとの間の距離は、ゼロであり、対向方向Ｄにおける第４表面４０ｂと空隙Ｓとの間の距離は、第１積層体３０の厚さに等しい。対向方向Ｄにおける第２駆動電極１８と空隙Ｓとの間の距離は、対向方向Ｄにおける第２駆動電極１８と第４表面４０ｂとの間の距離よりも短い。第２駆動電極１８は、例えば、不純物をドープしてポリシリコン層を低抵抗化することにより形成されている。すなわち、この例では、第２駆動電極１８は、ポリシリコン層における不純物領域である。

補償電極１９は、対向方向Ｄから見た場合に、例えば円形状を呈し、光透過領域１１と重なっている。補償電極１９の大きさは、光透過領域１１の全体を含む大きさであるが、光透過領域１１の大きさと略同一であってもよい。補償電極１９は、空隙Ｓを介して第１駆動電極１７と向かい合っている。補償電極１９は、第２積層体４０を構成する複数の層のうち、中間に接触している層（ポリシリコン層）に形成されており、空隙Ｓに露出している。対向方向Ｄにおける補償電極１９と空隙Ｓとの間の距離は、対向方向Ｄにおける第４表面４０ｂと空隙Ｓとの間の距離よりも短い。補償電極１９は、第２ミラー部４１を構成している。補償電極１９は、例えば、不純物をドープしてポリシリコン層を低抵抗化することにより形成されている。

第１積層体３０には、第１端子１２Ａ、第２端子１２Ｂ、第３端子１２Ｃ及び第４端子１２Ｄが設けられている。各端子１２Ａ〜１２Ｄは、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１及び空隙Ｓよりも外側に配置されている。各端子１２Ａ〜１２Ｄは、例えば、アルミニウム又はその合金等の金属膜により形成されている。第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃは、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１を挟んで互いに向かい合っており、第２端子１２Ｂ及び第４端子１２Ｄは、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１を挟んで互いに向かい合っている。第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃが向かい合う方向は、例えば、第２端子１２Ｂ及び第４端子１２Ｄが向かい合う方向と直交している（図２参照）。

第１端子１２Ａと第３端子１２Ｃとは、同様に構成されている。各端子１２Ａ，１２Ｃは、第１積層体３０において第２表面３０ｂから中間部に至る貫通孔内に配置されている。各端子１２Ａ，１２Ｃは、配線部２１を介して第１駆動電極１７と電気的に接続されると共に、配線部２２を介して補償電極１９と電気的に接続されている。配線部２１，２２は、例えば、不純物をドープしてポリシリコン層を低抵抗化することにより形成されている。

第２端子１２Ｂと第４端子１２Ｄとは、同様に構成されている。各端子１２Ｂ，１２Ｄは、第１積層体３０の第２表面３０ｂから第２積層体４０に至る貫通孔内に配置されている。各端子１２Ｂ，１２Ｄは、配線部２３を介して第２駆動電極１８と電気的に接続されている。配線部２３は、例えば、不純物をドープしてポリシリコン層を低抵抗化することにより形成されている。

第１積層体３０の第２表面３０ｂには、一対のトレンチ２６が設けられている。各トレンチ２６は、端子１２Ｂ又は１２Ｄを囲むように環状に延在している。各トレンチ２６の底面は、中間層１６に達している。各トレンチ２６は、端子１２Ｂ又は１２Ｄと第１駆動電極１７とを電気的に絶縁している。各トレンチ２６内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。

第２積層体４０の第３表面４０ａには、一対のトレンチ２７、及びトレンチ２８が設けられている。各トレンチ２７は、配線部２２における端子１２Ａ又は１２Ｃとの接続部分を囲むように環状に延在している。各トレンチ２７は、第２駆動電極１８と配線部２２とを電気的に絶縁している。トレンチ２８は、第２駆動電極１８の内縁に沿って環状に延在している。トレンチ２８は、第２駆動電極１８と第２駆動電極１８の内側の領域とを電気的に絶縁している。各トレンチ２７，２８内の領域は、絶縁材料であっても、空隙であってもよい。

基板１４の光出射側の表面１４ｂには、反射防止層５１、第３積層体５２、中間層５３及び第４積層体５４が、この順序で積層されている。反射防止層５１及び中間層５３は、それぞれ、反射防止層１５及び中間層１６と同様の構成を有している。第３積層体５２及び第４積層体５４は、それぞれ、基板１４を基準として第２積層体４０及び第１積層体３０と対称の積層構造を有している。反射防止層５１、第３積層体５２、中間層５３及び第４積層体５４により、応力調整層５０が構成されている。応力調整層５０は、基板１４の光出射側に配置されており、基板１４の反りを抑制する機能を有している。

応力調整層５０には、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１と重なるように開口５０ａが設けられている。開口５０ａは、例えば、光透過領域１１の大きさと略同一の径を有している。開口５０ａは、光出射側に開口している。開口５０ａの底面は、反射防止層５１に至っている。応力調整層５０の光出射側の表面５０ｂには、遮光層２９が形成されている。遮光層２９は、例えば、アルミニウム又はその合金等の金属膜からなる。

以上のように構成されたファブリペロー干渉フィルタ１０においては、例えば、第１端子１２Ａ及び第２端子１２Ｂを介して第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に電圧が印加されると、当該電圧（電位差）に応じた静電気力が第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に発生する。当該静電気力によって、第１ミラー部３１は、基板１４に固定された第２ミラー部４１側に引き付けられ、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との距離が調整される。

ファブリペロー干渉フィルタ１０を透過する光の波長は、光透過領域１１における第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離に依存する。したがって、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に印加する電圧を調整することにより、透過する光の波長を適宜選択することができる。このとき、補償電極１９は、第１駆動電極１７と同電位である。したがって、補償電極１９は、光透過領域１１において第１ミラー部３１及び第２ミラー部４１を平坦に保つように機能する。
[分光センサの構成]

図４は、分光センサ１の平面図である。図５（ａ）は、図４の矢印Ａの方向から見た場合の分光センサ１の側面図であり、図５（ｂ）は、図４の矢印Ｂの方向から見た場合の分光センサ１の側面図である。図４〜図５（ｂ）では、キャップ８３は示されていない。

図４〜図５（ｂ）に示されるように、分光センサ１は、抵抗測定部６０を更に備えている。抵抗測定部６０は、第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃに電気的に接続されており、第１駆動電極１７の抵抗値を測定する。抵抗測定部６０は、例えば、抵抗測定用の回路（抵抗計）である。抵抗測定部６０は、例えば、第１駆動電極１７に電圧を印加して当該電圧の印加中に第１駆動電極１７に流れる電流を検出することにより、第１駆動電極１７の抵抗値を測定する。抵抗測定部６０は、ＣＡＮパッケージ８１内に配置されている。抵抗測定部６０は、例えば、ステム８２上に配置されており、配線基板２とリードピン８４との間に位置している。

分光センサ１における各部の電気的接続は、例えば次のとおりである。この例では、ステム８２には、周方向に沿って並んだ８本のリードピン（外部端子）８４が設けられている。配線基板２の電極パッド２ｂは、ワイヤ（配線）８を介してリードピン８４に接続されている。これにより、光検出器３の裏面側の端子がリードピン８４に接続されている。配線基板２の電極パッド２ｃは、ワイヤ８を介してリードピン８４に接続されている。これにより、光検出器３の表面側の端子がリードピン８４に接続されている。光検出器３の表面側の端子が接続されたリードピン８４は、光検出器３の裏面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合っている。

第１端子１２Ａは、ワイヤ８を介してリードピン８４（第１外部端子）に接続されている。第２端子１２Ｂは、ワイヤ８を介してリードピン８４（第２外部端子）に接続されている。第１端子１２Ａが接続されたリードピン８４は、ファブリペロー干渉フィルタ１０に対して、第２端子１２Ｂが接続されたリードピン８４とは反対側に位置している。第１端子１２Ａが接続されたリードピン８４は、光検出器３の裏面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合っており、第２端子１２Ｂが接続されたリードピン８４は、光検出器３の表面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合っている。複数のリードピン８４のうちの１つは、ワイヤ８を介してステム８２に接続されている。

抵抗測定部６０は、一対の第１電極６０ａと、複数（この例では３個）の第２電極６０ｂと、を有している。第１電極６０ａの一方は、ワイヤ８を介して第１端子１２Ａに接続されている。第１電極６０ａの他方は、ワイヤ８を介して第３端子１２Ｃに接続されている。これにより、抵抗測定部６０は、第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃを介して第１駆動電極１７に対する電気信号の入出力を行うことができる。複数の第２電極６０ｂは、それぞれ、ワイヤ８を介してリードピン８４に接続されている。これにより、抵抗測定部６０は、外部との間で電気信号の入出力を行うことができ、例えば、測定結果を外部に出力することができる。
［作用効果]

分光センサ１では、リードピン８４を介して第１端子１２Ａと第２端子１２Ｂとの間に駆動電圧を印加することにより、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に電位差を発生させ、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離を調整することができる。また、分光センサ１では、第１積層体３０に設けられた第１駆動電極１７の抵抗値が抵抗測定部６０により測定される。第１駆動電極１７の抵抗値は温度に応じて変化するため、測定された抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を検出（把握）することができる。測定された抵抗値に基づくファブリペロー干渉フィルタ１０の温度の検出は、例えば、制御部により実施される。当該制御部は、例えば、プロセッサ（ＣＰＵ）、記録媒体であるＲＡＭ及びＲＯＭを含むコンピュータにより構成され得る。制御部は、分光センサ１に備えられてもよいし、分光センサ１の外部に配置されてもよい。制御部は、検出された温度に基づいて、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に印加される駆動電圧を調整する。これにより、環境温度が変化する場合でも、高い波長精度を実現することができる。検出温度に基づく駆動電圧の調整は、例えば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の駆動開始前に実施される。なお、制御部は、測定された抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を検出することなく、測定された抵抗値に基づいて直接に駆動電圧を調整してもよい。以下、図６及び図７を参照しつつ、第１駆動電極１７及び第２駆動電極１８の抵抗値と温度との間の関係を説明する。

図６（ａ）は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度と第１駆動電極１７の抵抗値との間の関係を示すグラフであり、図６（ｂ）は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度と第２駆動電極１８の抵抗値との間の関係を示すグラフである。図６（ａ）及び図６（ｂ）の各々に示される２つの線分は、異なるサンプルについての測定結果を示している。当該測定は、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に駆動電圧が印加されていない状態で実施した。ファブリペロー干渉フィルタ１０を恒温槽に入れ、恒温槽の設定温度をファブリペロー干渉フィルタ１０の温度とみなした。図６（ａ）から、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度と第１駆動電極１７の抵抗値との間には対応関係があることが分かる。図６（ｂ）から、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度と第２駆動電極１８の抵抗値との間には対応関係があることが分かる。すなわち、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度が増加した場合、第１駆動電極１７及び第２駆動電極１８の抵抗値は減少し、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度が減少した場合、第１駆動電極１７及び第２駆動電極１８の抵抗値は増加する。したがって、第１駆動電極１７の抵抗値又は第２駆動電極１８の抵抗値に基づいて、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を把握することできる。

図７は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度と第１駆動電極１７の抵抗値との間の関係を示すグラフである。符号７１は、第１駆動電極１７の抵抗値の経時変化を示している。符号７２は、ファブリペロー干渉フィルタ１０の環境温度の経時変化を示している。ここでは、ファブリペロー干渉フィルタ１０を恒温槽に入れ、恒温槽内に設置した温度モニタにより計測した恒温槽内の温度をファブリペロー干渉フィルタ１０の環境温度とした。符号７３は、配線基板２上に配置されたサーミスタによって検出された温度の経時変化を示している。図７から、サーミスタによる検出温度は、環境温度と略等しく変化することが分かる。また、第１駆動電極１７の抵抗値の変化は、環境温度の変化に対応することが分かる。すなわち、環境温度が増加した場合、第１駆動電極１７の抵抗値は減少し、環境温度が減少した場合、第１駆動電極１７の抵抗値は増加する。したがって、第１駆動電極１７の抵抗値に基づいて、サーミスタを用いる場合と同程度に精度良くファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を把握することができる。

更に、分光センサ１では、第１駆動電極１７が、対向方向Ｄから見た場合に空隙Ｓと重なっており、対向方向Ｄにおける第１駆動電極１７と空隙Ｓとの間の距離が、対向方向Ｄにおける第２表面３０ｂと空隙Ｓとの間の距離よりも短くなっている。ファブリペロー干渉フィルタ１０の透過波長は、空隙Ｓの厚さ（換言すれば、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離）により決定される。そのため、空隙Ｓの近くに配置された第１駆動電極１７の抵抗値を用いることにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を精度良く把握することができる。更に、分光センサ１では、第１駆動電極１７の抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を把握することができるため、上述した従来技術のように温度センサ及びその配線等を設ける必要がない。その結果、ファブリペロー干渉フィルタ１０の小型化、ひいては低コスト化を図ることができる。よって、分光センサ１によれば、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の小型化を図ることができる。更に、第１駆動電極１７は、上述した従来技術において使用されるサーミスタと比べて熱容量が小さいため、熱的なレスポンスが速い。そのため、分光センサ１では、短時間で正確な温度を把握することができ、温度に基づく駆動電圧の調整を精度良く実施することができる。

分光センサ１では、第１駆動電極１７が、第１積層体３０を構成するポリシリコン層における不純物領域である。これにより、温度に応じた抵抗値の変化が大きい半導体層により第１駆動電極１７が構成されるため、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより精度良く把握することができる。更に、第１駆動電極１７の配置や特性の変更についての設計自由度を向上することができる。

分光センサ１では、第１駆動電極１７が、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１と重なっており、第１ミラー部３１を構成している。これにより、第１駆動電極１７を第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の空隙Ｓの近くに配置することができ、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより一層精度良く把握することができる。

分光センサ１では、第１駆動電極１７が空隙Ｓに露出している。これにより、第１駆動電極１７をより空隙Ｓの近くに配置することができ、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより一層精度良く把握することができる。

分光センサ１では、第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃが、対向方向Ｄから見た場合に光透過領域１１を挟んで互いに向かい合うように、第１積層体３０に設けられている。これにより、第１駆動電極１７を介した第１端子１２Ａと第３端子１２Ｃとの間の距離を長くすることができ、温度に応じた第１駆動電極１７の抵抗値の変化を大きくすることができる。その結果、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより一層精度良く把握することができる。

分光センサ１では、第１ミラー部３１が、第２ミラー部４１に対して移動可能な可動ミラーであり、第２ミラー部４１が、位置が固定された固定ミラーである。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより一層精度良く把握することができる。

分光センサ１では、抵抗測定部６０がＣＡＮパッケージ８１内に配置されている。これにより、分光センサ１の小型化を図ることができる。また、ファブリペロー干渉フィルタ１０が、ステム８２から離間した状態で、ステム８２に対して固定されている。これにより、ステム８２を介してファブリペロー干渉フィルタ１０に熱の影響が及ぶのを抑制することができる。

分光センサ１では、第１駆動電極１７及び補償電極１９の双方が空隙Ｓに露出している。これにより、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度をより一層精度良く把握することができる。分光センサ１は、第１端子１２Ａに電気的に接続されたリードピン８４（第１外部端子）と、第２端子１２Ｂに電気的に接続されたリードピン８４（第２外部端子）とを備えている。これにより、これらのリードピン８４間に駆動電圧を印加することにより、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に静電気力を生じさせることができる。
［変形例］

本発明は、上記実施形態に限られない。例えば、分光センサ１は、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示される第１〜第３変形例のように構成されてもよい。第１〜第３変形例では、抵抗測定部６０は、ＣＡＮパッケージ８１外に配置されている。

第１変形例における各部の電気的接続は、例えば次のとおりである。第１端子１２Ａは、ワイヤ８を介してリードピン８４（第１外部端子）に接続されている。第２端子１２Ｂは、リードピン８４に接続されておらず、第４端子１２Ｄが、ワイヤ８を介してリードピン８４（第２外部端子）に接続されている。この場合、第４端子１２Ｄを第２端子とみなすことができる。第３端子１２Ｃは、ワイヤ８を介してリードピン８４（第３外部端子）に接続されている。複数のリードピン８４のうちの２つが、ワイヤ８を介してステム８２に接続されている。第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃに接続されたリードピン８４は、ＣＡＮパッケージ８１外において抵抗測定部６０に接続されている。第１端子１２Ａが接続されたリードピン８４と、光検出器３の裏面側の端子が接続されたリードピン８４との間に、ステム８２に接続されたリードピン８４が位置しており、第３端子１２Ｃが接続されたリードピン８４と、光検出器３の表面側の端子が接続されたリードピン８４との間に、ステム８２に接続されたリードピン８４が位置している。これにより、光検出器３が接続されたリードピン８４を第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃに接続されたリードピン８４から遠ざけることできる。その結果、ステム８２上の汚れ等に起因して光検出器３からの出力信号にノイズが生じる事態を抑制することができる。

第１変形例では、リードピン８４を介して第１端子１２Ａと第４端子１２Ｄとの間に駆動電圧を印加することにより、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に電位差を発生させ、第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間の距離を調整することができる。また、リードピン８４及び第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃを介して、第１駆動電極１７の抵抗値を測定することができる。そのため、上記実施形態と同様に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の小型化を図ることができる。更に、抵抗測定部６０がＣＡＮパッケージ８１外に配置されているため、ＣＡＮパッケージ８１の小型化を図ることができる。

第２変形例では、第１端子１２Ａが接続されたリードピン８４が、光検出器３の裏面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合っている。第３変形例では、第１端子１２Ａが接続されたリードピン８４が、光検出器３の裏面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合うと共に、第２端子１２Ｂが接続されたリードピン８４が、光検出器３の表面側の端子が接続されたリードピン８４と隣り合っている。このような第２変形例及び第３変形例によっても、上記実施形態と同様に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を精度良く把握することができると共に、ファブリペロー干渉フィルタ１０の小型化を図ることができる。

上記実施形態及び第１〜第３変形例において、分光センサ１の構成は図示の例に限られない。例えば、ワイヤ８の接続位置、リードピン８４の数、配置及び用途、ＣＡＮパッケージ８１及び配線基板２の形状、配線基板２における電極パッドの形状及び配置、光検出器３のリードピン８４に対する接続態様、抵抗測定部６０の形状及び配置、並びに、ファブリペロー干渉フィルタ１０及び配線基板２のステム８２に対する角度及び配置は、図示の例に限られない。複数のリードピン８４は、ワイヤ８を介してステム８２に接続されたリードピン８４を含んでいなくてもよい。複数のリードピン８４は、ステム８２に直接に接続されたリードピン８４を含んでいてもよい。上記実施形態及び第１〜第３変形例において、いずれの要素とも接続されていないリードピン８４は省略されてもよい。

抵抗測定部６０は、電圧の印加中に第１駆動電極１７に流れる電流を検出することに代えて、第１駆動電極１７に電流（例えば、１ｍＡ程度の固定電流）を印加して当該電流の印加中に第１駆動電極１７にかかる電圧を検出することにより、第１駆動電極１７の抵抗値を測定してもよい。このような構成は、第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に電流のリークが生じる場合に特に有効である。

上記実施形態では、抵抗測定部６０は、第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃに電気的に接続され、第１駆動電極１７の抵抗値を測定したが、これに代えて又は加えて、抵抗測定部６０は、第２端子１２Ｂ及び第４端子１２Ｄに電気的に接続され、第２駆動電極１８の抵抗値を測定してもよい。図６（ｂ）を参照して上述したように、この場合、第２駆動電極１８の抵抗値に基づいてファブリペロー干渉フィルタ１０の温度を把握することができる。この場合、第１積層体３０、第２積層体４０、第１ミラー部３１、第２ミラー部４１、第１駆動電極１７、第２駆動電極１８、第１端子１２Ａ、第２端子１２Ｂ、第４端子１２Ｄが、それぞれ、第２構造体、第１構造体、第２ミラー部、第１ミラー部、第２駆動電極、第１駆動電極、第２端子、第１端子、第３端子に対応し、抵抗測定部６０が第１駆動電極の抵抗値を測定するとみなすことができる。この場合、第１ミラー部が固定ミラーであり、第２ミラー部が可動ミラーである。すなわち、第１ミラー部と第２ミラー部との間の相対距離が調整可能であればよく、第１ミラー部及び第２ミラー部のいずれが可動ミラーであってもよい。上記第１変形例において第２駆動電極１８の抵抗値が測定される場合、例えば、第２端子１２Ｂがリードピン８４に接続される。第１駆動電極１７の抵抗値が測定されない場合、第１端子１２Ａ及び第３端子１２Ｃのいずれか一方のみがリードピン８４に接続されてもよい。

上記実施形態において、第１駆動電極１７は第１ミラー部３１を構成していなくてもよい。第１駆動電極１７は、光透過領域１１を囲むように配置されてもよい。第１駆動電極１７は、第１積層体３０（第１構造体）の第１表面３０ａ上に配置された金属膜であってもよい。同様に、第２駆動電極１８は、第２積層体４０（第２構造体）の第３表面４０ａ上に配置された金属膜であってもよい。この場合、第１構造体及び第２構造体は、積層体でなくてもよく、例えば基板であってもよい。上記実施形態では、電圧を印加することにより第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に静電気力が生じさせられたが、電流を印加することにより第１駆動電極１７と第２駆動電極１８との間に静電気力が生じさせられてもよい。

第１駆動電極１７は、対向方向Ｄから見た場合に空隙Ｓと重なっていない部分を有していてもよく、第１駆動電極１７の少なくとも一部が対向方向Ｄから見た場合に空隙Ｓと重なっていればよい。第１駆動電極１７は、第１積層体３０を構成する複数の層のうち、中間に位置する層（ポリシリコン層）に形成され、空隙Ｓに露出していなくてもよい。第２駆動電極１８は、第２積層体４０を構成する複数の層のうち、中間に位置する層（ポリシリコン層）に形成され、空隙Ｓに露出していなくてもよい。第１ミラー部３１と第２ミラー部４１との間には、他の層が配置されていてもよい。すなわち、或る要素同士が「空隙を介して向かい合う」とは、直接的に対向する場合に加え、他の層が間に配置された状態で空隙Ｓを介して互いに対向する場合を含む。第１端子１２Ａと第３端子１２Ｃとの間に、第１駆動電極１７と補償電極１９とが並列に接続されていてもよい。基板１４及び／又は補償電極１９は、省略されてもよい。光検出器３は、ＣＡＮパッケージ８１外に配置されていてもよい。この場合、例えば、ＣＡＮパッケージ８１に光出射部が設けられ、当該光出射部から出射した光が光検出器３により検出されてもよい。この場合、分光センサ１から光検出器３を除いた構成を光学フィルタ装置とみなすことができる。

１…分光センサ（光学フィルタ装置）、３…光検出器、１０…ファブリペロー干渉フィルタ、１２Ａ…第１端子，１２Ｂ…第２端子、１２Ｃ…第３端子、１７…第１駆動電極、１８…第２駆動電極、３０…第１積層体（第１構造体）、３０ａ…第１表面、３０ｂ…第２表面、３１…第１ミラー部、４０…第２積層体（第２構造体）、４０ａ…第３表面、４１…第２ミラー部、６０…抵抗測定部、８１…ＣＡＮパッケージ、８２…ステム、８３…キャップ、８４…リードピン（第１外部端子、第２外部端子、第３外部端子）、８９…光入射部、Ｄ…対向方向、Ｓ…空隙。

Claims (19)

1. ファブリペロー干渉フィルタと、
   前記ファブリペロー干渉フィルタに電気的に接続された抵抗測定部と、を備え、
   前記ファブリペロー干渉フィルタは、
   第１表面、及び前記第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、
   空隙を介して前記第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、
   前記第１構造体に設けられた第１ミラー部と、
   前記空隙を介して前記第１ミラー部と向かい合うように前記第２構造体に設けられ、光透過領域における前記第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、
   前記第１構造体に設けられた第１駆動電極と、
   前記空隙を介して前記第１駆動電極と向かい合うように前記第２構造体に設けられた第２駆動電極と、
   前記第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、
   前記第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、
   前記第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、
   前記第１駆動電極は、前記第１表面と前記第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に前記空隙と重なっており、
   前記対向方向における前記第１駆動電極と前記空隙との間の距離は、前記対向方向における前記第２表面と前記空隙との間の距離よりも短く、
   前記抵抗測定部は、前記第１端子及び前記第３端子に電気的に接続されており、前記第１駆動電極の抵抗値を測定する、光学フィルタ装置。
2. 前記第１構造体は、積層体であり、
   前記第１駆動電極は、前記積層体を構成する半導体層における不純物領域である、請求項１に記載の光学フィルタ装置。
3. 前記第１駆動電極は、前記対向方向から見た場合に前記光透過領域と重なっており、前記第１ミラー部を構成している、請求項２に記載の光学フィルタ装置。
4. 前記第１駆動電極は、前記空隙に露出している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
5. 前記第１端子及び前記第３端子は、前記対向方向から見た場合に前記光透過領域を挟んで互いに向かい合うように、前記第１構造体に設けられている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
6. 前記第１ミラー部は、前記第２ミラー部に対して移動可能な可動ミラーであり、
   前記第２ミラー部は、位置が固定された固定ミラーである、請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
7. 前記ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、
   前記抵抗測定部は、前記パッケージ内に配置されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
8. 前記ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、
   前記パッケージは、ステムと、光入射部が設けられたキャップと、を有し、
   前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記ステムから離間した状態で、前記ステムに対して固定されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
9. 前記第１端子に電気的に接続された第１外部端子と、前記第２端子に電気的に接続された第２外部端子と、を更に備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
10. ファブリペロー干渉フィルタと、
    前記ファブリペロー干渉フィルタに電気的に接続された第１外部端子、第２外部端子及び第３外部端子と、を備え、
    前記ファブリペロー干渉フィルタは、
    第１表面、及び前記第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、
    空隙を介して前記第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、
    前記第１構造体に設けられた第１ミラー部と、
    前記空隙を介して前記第１ミラー部と向かい合うように前記第２構造体に設けられ、光透過領域における前記第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、
    前記第１構造体に設けられた第１駆動電極と、
    前記空隙を介して前記第１駆動電極と向かい合うように前記第２構造体に設けられた第２駆動電極と、
    前記第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、
    前記第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、
    前記第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、
    前記第１駆動電極は、前記第１表面と前記第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に前記空隙と重なっており、
    前記対向方向における前記第１駆動電極と前記空隙との間の距離は、前記対向方向における前記第２表面と前記空隙との間の距離よりも短く、
    前記第１外部端子は、前記第１端子に電気的に接続されており、
    前記第２外部端子は、前記第２端子に電気的に接続されており、
    前記第３外部端子は、前記第３端子に電気的に接続されている、光学フィルタ装置。
11. 前記第１構造体は、積層体であり、
    前記第１駆動電極は、前記積層体を構成する半導体層における不純物領域である、請求項１０に記載の光学フィルタ装置。
12. 前記第１駆動電極は、前記対向方向から見た場合に前記光透過領域と重なっており、前記第１ミラー部を構成している、請求項１１に記載の光学フィルタ装置。
13. 前記第１駆動電極は、前記空隙に露出している、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
14. 前記第１端子及び前記第３端子は、前記対向方向から見た場合に前記光透過領域を挟んで互いに向かい合うように、前記第１構造体に設けられている、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
15. 前記第１ミラー部は、前記第２ミラー部に対して移動可能な可動ミラーであり、
    前記第２ミラー部は、位置が固定された固定ミラーである、請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
16. 前記第１外部端子及び前記第３外部端子に電気的に接続され、前記第１端子及び前記第３端子を介して前記第１駆動電極の抵抗値を測定する抵抗測定部を更に備える、請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
17. 前記ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、
    前記抵抗測定部は、前記パッケージ外に配置されている、請求項１６に記載の光学フィルタ装置。
18. 前記ファブリペロー干渉フィルタを収容するパッケージを更に備え、
    前記パッケージは、ステムと、光入射部が設けられたキャップと、を有し、
    前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記ステムから離間した状態で、前記ステムに対して固定されている、請求項１０〜１７のいずれか一項に記載の光学フィルタ装置。
19. ファブリペロー干渉フィルタを備える光学フィルタ装置の制御方法であって、
    前記ファブリペロー干渉フィルタは、
    第１表面、及び前記第１表面とは反対側の第２表面を有する第１構造体と、
    空隙を介して前記第１表面と向かい合う第３表面を有する第２構造体と、
    前記第１構造体に設けられた第１ミラー部と、
    前記空隙を介して前記第１ミラー部と向かい合うように前記第２構造体に設けられ、光透過領域における前記第１ミラー部との間の距離が調整される第２ミラー部と、
    前記第１構造体に設けられた第１駆動電極と、
    前記空隙を介して前記第１駆動電極と向かい合うように前記第２構造体に設けられた第２駆動電極と、
    前記第１駆動電極に電気的に接続された第１端子と、
    前記第２駆動電極に電気的に接続された第２端子と、
    前記第１駆動電極に電気的に接続された第３端子と、を備え、
    前記第１駆動電極は、前記第１表面と前記第３表面とが互いに向かい合う対向方向から見た場合に前記空隙と重なっており、
    前記対向方向における前記第１駆動電極と前記空隙との間の距離は、前記対向方向における前記第２表面と前記空隙との間の距離よりも短く、
    前記光学フィルタ装置の制御方法は、
    前記第１端子及び前記第３端子を介して前記第１駆動電極の抵抗値を測定する第１ステップと、
    前記第１ステップで測定された前記抵抗値に基づいて、前記第１端子と前記第２端子との間に印加される電圧又は電流を調整する第２ステップと、を備える、光学フィルタ装置の制御方法。

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