TWI824053B - 光學濾光裝置及光學濾光裝置之控制方法 - Google Patents

光學濾光裝置及光學濾光裝置之控制方法 Download PDF

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Abstract

本發明之光學濾光裝置具備法布里-佩洛干涉濾光器及電阻測定部。法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及第2表面；第2構造體，其具有第3表面；第1面鏡部，其設置於第1構造體；第2面鏡部，其以介隔空隙而與第1面鏡部相向之方式設置於第2構造體；第1驅動電極，其設置於第1構造體；第2驅動電極，其設置於第2構造體；第1端子及第3端子，其等電性連接於第1驅動電極；及第2端子，其電性連接於第2驅動電極。第1驅動電極自第1表面與第3表面相向之對向方向觀察時與空隙重疊。對向方向上之第1驅動電極與空隙之間之距離短於第2表面與空隙間之距離。電阻測定部電性連接於第1端子及第3端子，且測定第1驅動電極之電阻值。

Description

光學濾光裝置及光學濾光裝置之控制方法
本揭示之一態樣係關於一種具備法布里-佩洛干涉濾光器之光學濾光裝置、及此種光學濾光裝置之控制方法。
已知有一種具備介隔空隙彼此相向之一對構造體、及分別設置於一對構造體且介隔空隙彼此相向之一對面鏡部的法布里-佩洛干涉濾光器(例如參照專利文獻1)。於此種法布里-佩洛干涉濾光器中，以透過期望波長之光之方式，藉由與施加電壓相應之靜電力而調整面鏡部間之距離。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2012-113133號公報
[發明所欲解決之問題]
上述般之法布里-佩洛干涉濾光器中，透過波長會根據環境溫度而變化。因此，若要要求例如較高之波長精度，必須根據環境溫度調整施加電壓。專利文獻1記載之法布里-佩洛干涉濾光器中，於外表面設置熱阻器等之溫度感測器，測定法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。且，基於測定出之溫度而調整施加電壓。
另一方面，於法布里-佩洛干涉濾光器中，尺寸極為重要。然而，上述關聯技術中，因需要溫度感測器及其配線等之配置空間，故有難以小型化之虞。
因此，本揭示之一態樣之目的在於提供一種可高精度掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器之小型化之光學濾光裝置、及於環境溫度變化之情形下亦可實現較高之波長精度之光學濾光裝置之控制方法。 [解決問題之技術手段]
本揭示之一態樣之光學濾光裝置具備：法布里-佩洛干涉濾光器；及電阻測定部，其電性連接於法布里-佩洛干涉濾光器；法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及與第1表面相反側之第2表面；第2構造體，其具有介隔空隙而與第1表面相向之第3表面；第1面鏡部，其設置於第1構造體；第2面鏡部，其以介隔空隙而與第1面鏡部相向之方式設置於第2構造體，調整光透過區域中與第1面鏡部間之距離；第1驅動電極，其設置於第1構造體；第2驅動電極，其以介隔空隙而與第1驅動電極相向之方式設置於第2構造體；第1端子，其電性連接於第1驅動電極；第2端子，其電性連接於第2驅動電極；及第3端子，其電性連接於第1驅動電極；第1驅動電極自第1表面與第3表面彼此相向之對向方向觀察時與空隙重疊；對向方向上之第1驅動電極與空隙之間之距離，短於對向方向上之第2表面與空隙間之距離；電阻測定部電性連接於第1端子及第3端子，且測定第1驅動電極之電阻值。
於該光學濾光裝置中，例如，藉由將電壓或電流施加於第1端子與第2端子間，可調整第1面鏡部與第2面鏡部間之距離。又，於該光學濾光裝置中，藉由電阻測定部測定設置於第1構造體之第1驅動電極之電阻值。因第1驅動電極之電阻值會根據溫度而變化，故可基於測定出之電阻值而掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。此處，於該光學濾光裝置中，第1驅動電極自對向方向觀察時與空隙重疊，且對向方向上之第1驅動電極與空隙間之距離，短於對向方向上之第2表面與空隙間之距離。法布里-佩洛干涉濾光器之透過波長係由空隙之厚度(換言之，第1面鏡部與第2面鏡部間之距離)決定。因此，藉由使用配置於空隙附近之第1驅動電極之電阻值，可高精度掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。再者，於該光學濾光裝置中，因可基於第1驅動電極之電阻值掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度，故不必如上述關聯技術般設置溫度感測器及其配線等。其結果，可謀求法布里佩洛-干涉濾光器之小型化。藉此，根據該光學濾光裝置，可高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度，且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器之小型化。
亦可為，第1構造體為積層體，第1驅動電極為構成積層體之半導體層中之雜質區域。該情形時，因第1驅動電極是由與溫度相應之電阻值之變化較大之半導體層構成，故可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。再者，可提高第1驅動電極之配置及特性之至少一者相關之設計自由度。
亦可為，第1驅動電極自對向方向觀察時與光透過區域重疊，且構成第1面鏡部。該情形時，可將第1驅動電極配置於第1面鏡部與第2面鏡部間之空隙之附近，可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。
亦可為，第1驅動電極於空隙中露出。該情形時，可將第1驅動電極進而配置於空隙之附近，可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。
亦可為，第1端子及第3端子以自對向方向觀察時隔著光透過區域而彼此相向之方式設置於第1構造體。該情形時，可延長介隔第1驅動電極之第1端子與第3端子間之距離，可增大與溫度相應之第1驅動電極之電阻值之變化。其結果，可進而高精度地掌握法布里佩洛-干涉濾光器之溫度。
亦可為，第1面鏡部為可相對於第2面鏡部移動之可動面鏡，第2面鏡部為位置經固定之固定面鏡。該情形時，可進而高精度地掌握法布里佩洛-干涉濾光器之溫度。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置亦可進而具備收納法布里-佩洛干涉濾光器之封裝，且電阻測定部配置於封裝內。該情形，可謀求光學濾光裝置之小型化。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置亦可進而具備收納法布里-佩洛干涉濾光器之封裝，且封裝具有底座、及設置有光入射部之蓋，法布里-佩洛干涉濾光器以自與底座分開之狀態相對於底座固定。該情形時，可介隔底座抑制熱之影響波及法布里-佩洛干涉濾光器。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置亦可進而具備電性連接於第1端子第1外部端子、及電性連接於上述第2端子之第2外部端子。該情形時，例如，藉由將電壓或電流施加於第1外部端子與第2外部端子之間，可調整第1驅動電極與第2驅動電極間之距離。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置具備：法布里-佩洛干涉濾光器；及電性連接於上述法布里-佩洛干涉濾光器之第1外部端子、第2外部端子及第3外部端子；法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及與第1表面相反側之第2表面；第2構造體，其具有介隔空隙而與第1表面相向之第3表面；第1面鏡部，其設置於第1構造體；第2面鏡部，其以介隔空隙而與第1面鏡部相向之方式設置於第2構造體，調整光透過區域中與第1面鏡部間之距離；第1驅動電極，其設置於第1構造體；第2驅動電極，其以介隔空隙而與第1驅動電極相向之方式設置於第2構造體；第1端子，其電性連接於第1驅動電極；第2端子，其電性連接於第2驅動電極；及第3端子，其電性連接於第1驅動電極；第1驅動電極自第1表面與第3表面彼此相向之對向方向觀察時與空隙重疊；對向方向上之第1驅動電極與空隙之間之距離，短於對向方向上之第2表面與空隙間之距離；第1外部端子電性連接於第1端子；第2外部端子電性連接於第2端子；第3外部端子電性連接於第3端子。
於該光學濾光裝置中，例如，藉由將電壓或電流施加於第1外部端子與第2外部端子間，可調整第1面鏡部與第2面鏡部間之距離。又，經由第1外部端子及第3外部端子、以及第1端子及第3端子，可測定第1驅動電極之電阻值。因此，根據上述理由，可高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度，且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器之小型化。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置亦可進而具備：電阻測定部，其電性連接於第1外部端子及第3外部端子，且經由第1端子及第3端子測定第1驅動電極之電阻值。該情形時，藉由電阻測定部經由第1外部端子及第3外部端子、以及第1端子及第3端子，可測定第1驅動電極之電阻值。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置亦可進而具備收納法布里-佩洛干涉濾光器之封裝，且電阻測定部配置於封裝外。該情形，可謀求封裝之小型化。
本揭示之一態樣之光學濾光裝置之控制方法係具備法布里-佩洛干涉濾光器之光學濾光裝置之控制方法，且，法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及與第1表面相反側之第2表面；第2構造體，其具有介隔空隙而與第1表面相向之第3表面；第1面鏡部，其設置於第1構造體；第2面鏡部，其以介隔空隙而與第1面鏡部相向之方式設置於第2構造體，調整光透過區域中與第1面鏡部間之距離；第1驅動電極，其設置於第1構造體；第2驅動電極，其以介隔空隙而與第1驅動電極相向之方式設置於第2構造體；第1端子，其電性連接於第1驅動電極；第2端子，其電性連接於第2驅動電極；及第3端子，其電性連接於第1驅動電極；第1驅動電極自第1表面與第3表面彼此相向之對向方向觀察時與空隙重疊；對向方向上之第1驅動電極與空隙之間之距離，短於對向方向上之第2表面與空隙間之距離；光學濾光裝置之控制方法具備：第1步驟，其經由第1端子及第3端子測定第1驅動電極之電阻值；及第2步驟，其基於第1步驟中測定出之電阻值，對施加於第1端子與第2端子間之電壓或電流進行調整。
該光學濾光裝置之控制方法中，經由第1端子及第3端子測定第1驅動電極之電阻值，且基於該測定值，對施加於第1端子與第2端子間之電壓或電流進行調整。如上所述，藉由使用第1驅動電極之電阻值，可高精度掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度。因此，藉由基於第1驅動電極之電阻值而調整電壓或電流，即使於環境溫度變化之情形下亦可實現較高之波長精度。 [發明之效果]
根據本揭示之一態樣，可提供一種能夠高精度掌握法布里-佩洛干涉濾光器之溫度且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器之小型化之光學濾光裝置、及於環境溫度變化之情形下亦可實現較高之波長精度之光學濾光裝置之控制方法。
以下，對本揭示之一實施形態，參照圖式詳細說明。另，於以下之說明中，對相同或相當之構件使用相同符號並省略重複之說明。 [分光感測器之構成]
如圖1及圖2所示，分光感測器(光學濾光裝置、光檢測裝置)1具備配線基板2、光檢測器3、複數個間隔件4、及法布里-佩洛干涉濾光器10。法布里-佩洛干涉濾光器10具有彼此間之距離可變之第1面鏡部31及第2面鏡部41。法布里-佩洛干涉濾光器10使對應於第1鏡部31與第2鏡部41間之距離的波長之光透過。於法布里-佩洛干涉濾光器10設置有供該光沿第1面鏡部31與第2面鏡部41相向之對向方向D通過之開口50a。
光檢測器3具有接收通過開口50a之光的受光部3a。受光部3a於對向方向D上與開口50a相向。光檢測器3為例如紅外線檢測器。可將使用InGaAs等之量子型感測器、或使用熱電堆或輻射熱計等之熱型感測器作為紅外線檢測器使用。如要檢測紫外線(UV)、可見光、近紅外線之各區域，作為光檢測器3，可使用矽光電二極體等。光檢測器3可具有一個受光部3a，亦可具有陣列狀配置之複數個受光部3a。亦可將複數個光檢測器3安裝於配線基板2。
於配線基板2安裝有光檢測器3。更具體而言，於配線基板2設置有經安裝光檢測器3之安裝部2a、及複數個電極焊墊2b、2c、2d。電極焊墊2b經由配線2e電性連接於安裝部2a。配線基板2例如由矽、石英、玻璃、陶瓷、塑膠、環氧玻璃材等構成。
複數個間隔件(支持部)4固定於配線基板2上。複數個間隔件4自光出射側(後述之第2積層體40側)支持法布里-佩洛干涉濾光器10。複數個間隔件4由例如矽、陶瓷、石英、玻璃、塑膠等構成。間隔件4可與配線基板2一體形成。該情形時，由配線基板2及間隔件4構成之構件為支持法布里-佩洛干涉濾光器10之支持部。另，間隔件4亦可與法布里-佩洛干涉濾光器10一體形成。法布里-佩洛干涉濾光器10亦可由1個間隔件4予以支持。
分光感測器1進而具備收納配線基板2、光檢測器3、複數個間隔件4、及法布里-佩洛干涉濾光器10的CAN封裝(封裝)81。CAN封裝81具有底座82及蓋83。底座82及蓋83例如包含金屬，且彼此氣密性接合。
蓋83由側壁85及頂壁86一體構成。於頂壁86形成有開口86a。於頂壁86之內表面，以封閉開口86a之方式配置有光透過構件87。光透過構件87及至開口86a內及側壁85之內表面，氣密性地密封開口86a。若自對向方向D觀察，光透過構件87之外緣位於較法布里-佩洛干涉濾光器10之外緣更外側。光透過構件87之光入射面87a於開口86a中與頂壁86之外表面大致齊平面。光透過構件87至少使分光感測器1之測定波長範圍之光透過。光透過構件87中位於開口86a內之部分，作為使光自外部入射至CAN封裝81內之光入射部89發揮功能。光透過構件87包含例如熔合玻璃。於光透過構件87之光出射面87b，結合板狀之帶通濾波器88。帶通濾波器88使分光感測器1之測定波長範圍之光選擇性透過。光透過構件87之外緣位於較法布里-佩洛干涉濾光器10之外緣更外側，藉此，可增大光透過構件87之熱容量、及光透過構件87與CAN封裝81間之熱連接面積。其結果，可謀求CAN封裝81之溫度均一化。光透過構件87之光入射面87a亦可成為於開口86a中相對於頂壁86之外表面朝法布里-佩洛干涉濾光器10側凹陷之凹面狀。
配線基板2固定於底座82上。即，複數個間隔件4於底座82上支持法布里-佩洛干涉濾光器10。藉此，法布里-佩洛干涉濾光器10以與底座82分開之狀態相對於底座82固定。光檢測器3配置在藉由複數個間隔件4而於配線基板2與法布里-佩洛干涉濾光器10間形成之空間。配線基板2之電極焊墊2b、2c、光檢測器3之端子、及法布里-佩洛干涉濾光器10之端子12A～12D分別經由導線8電性連接於貫通底座82之複數個引線接腳84。藉此，進行對光檢測器3及法布里-佩洛干涉濾光器10之電性信號之輸出入等。關於各部之電性連接之細節予以後述。
如上述構成之分光感測器1中，若經由光入射部89自外部對法布里-佩洛干涉濾光器10入射測定光，則根據第1面鏡部31與第2面鏡部41間之距離，具有特定波長之光會透過第1面鏡部31及第2面鏡部41。透過第1面鏡部31及第2面鏡部41之光通過開口50a入射至光檢測器3之受光部3a，由光檢測器3予以檢測。於分光感測器1中，例如，一面使施加於法布里-佩洛干涉濾光器10之電壓變化(即，使第1面鏡部31與第2面鏡部41之間之距離變化)，一面由光檢測器3檢測透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光，藉此可獲得分光光譜。 [法布里-佩洛干涉濾光器之構成]
如圖3所示，法布里-佩洛干涉濾光器10具備基板14。於基板14之光入射側之表面14a，依序積層有反射防止層15、第2積層體(第2構造體)40、中間層16及第1積層體(第1構造體)30。於第1積層體30與第2積層體40之間，藉由框狀之中間層16而形成空隙(氣隙)S。即，第1積層體30及第2積層體40由基板14予以支持。更具體而言，第2積層體40介隔反射防止層15而配置於基板14之表面14a上，第1積層體30介隔中間層16而配置於第2積層體40上。
於法布里-佩洛干涉濾光器10中，測定光自基板14之相對於第1積層體30之相反側入射。法布里-佩洛干涉濾光器10於其中央部劃定之光透過區域11使具有特定波長之光透過。光透過區域11為例如圓柱狀之區域。基板14例如包含矽、石英、玻璃等。於基板14包含矽之情形，反射防止層15及中間層16例如包含氧化矽。
第1積層體30具有第1表面30a、及與第1表面30a為相反側之第2表面30b。第1表面30a及第2表面30b為例如垂直於對向方向D之平坦面。第1積層體30中與光透過區域11對應之部分(自對向方向D觀察時與光透過區域11重疊之部分)作為第1面鏡部31發揮功能。即，第1面鏡部31設置於第1積層體30。第1面鏡部31為可相對於第2面鏡部41移動之可動面鏡。第1積層體30例如藉由複數個多晶矽層(半導體層)與複數個氮化矽層(半導體層)逐層交替積層而構成。構成第1面鏡部31之多晶矽層及氮化矽層各者之光學厚度較佳為中心透過波長之1/4之整數倍。
第2積層體40具有介隔空隙S而與第1積層體30之第1表面30a相向之第3表面40a、及與第3表面40a為相反側之第4表面40b。第3表面40a及第4表面40b為例如垂直於對向方向D之平坦面。第2積層體40中與光透過區域11對應之部分(自對向方向D觀察時與光透過區域11重疊之部分)作為第2面鏡部41發揮功能。即，第2面鏡部41設置於第2積層體40。第2面鏡部41為位置經固定的固定面鏡。第2面鏡部41配置於第1面鏡部31與基板14之間，且介隔空隙S而與第1面鏡部31相向。第2積層體40例如藉由複數個多晶矽層與複數個氮化矽層逐層交替積層而構成。構成第2面鏡部41之多晶矽層及氮化矽層之各者之光學厚度較佳為中心透過波長之1/4之整數倍。
另，第1積層體30及第2積層體40中，可使用氧化矽層取代氮化矽層。作為構成第1積層體30及第2積層體40之各層之材料，可使用氧化鈦、氧化鉭、氧化鋯、氟化鎂、氧化鋁、氟化鈣、矽、鍺、硫化鋅等。
於第1積層體30中與空隙S對應之部分(自對向方向D觀察時與空隙S重疊之部分)形成有複數個貫通孔32。貫通孔32自第1積層體30之第2表面30b及至空隙S。貫通孔32形成為未實質性對第1面鏡部31之功能賦予影響之程度。貫通孔32可供用於藉由蝕刻去除中間層16之一部分而形成空隙S。
於第1積層體30設置有第1驅動電極17。第1驅動電極17自對向方向D觀察時例如呈圓形狀，且與空隙S重疊。於該例中，第1驅動電極17自對向方向D觀察時與光透過區域11重疊，且構成第1面鏡部31。第1驅動電極17形成於構成第1積層體30之複數層中與中間層16接觸之層(多晶矽層)，且於空隙S中露出。對向方向D上之第1驅動電極17與空隙S之間之距離(最短距離)，短於對向方向D上之第2表面30b與空隙S之間之距離(最短距離)。於該例中，對向方向D上之第1驅動電極17與空隙S之間之距離為零，對向方向D上之第2表面30b與空隙S之間之距離等於第1積層體30之厚度。對向方向D上之第1驅動電極17與空隙S之間之距離，短於對向方向D上之第1驅動電極17與第2表面30b之間之距離。第1驅動電極17例如藉由摻雜雜質將多晶矽層低電阻化而形成。即，於該例中，第1驅動電極17為多晶矽層中之雜質區域。
於第2積層體40，設置有第2驅動電極18及補償電極19。第2驅動電極18自對向方向D觀察時例如呈圓環狀，包圍光透過區域11並與空隙S重疊。第2驅動電極18介隔空隙S而與第1驅動電極17相向。第2驅動電極18形成於構成第2積層體40之複數層中與中間層16接觸之層(多晶矽層)，且於空隙S中露出。對向方向D上之第2驅動電極18與空隙S之間之距離(最短距離)，短於對向方向D上之第4表面40b與空隙S之間之距離(最短距離)更短。於該例中，對向方向D上之第2驅動電極18與空隙S之間之距離為零，對向方向D上之第4表面40b與空隙S之間之距離等於第1積層體30之厚度。對向方向D上之第2驅動電極18與空隙S之間之距離，短於對向方向D上之第2驅動電極18與第4表面40b之間之距離更短。第2驅動電極18例如藉由摻雜雜質將多晶矽層低電阻化而形成。即，於該例中，第2驅動電極18為多晶矽層中之雜質區域。
補償電極19自對向方向D觀察時例如呈圓形狀，且與光透過區域11重疊。補償電極19之大小可為包含光透過區域11整體之大小，但亦可與光透過區域11之大小大致相同。補償電極19介隔空隙S而與第1驅動電極17相向。補償電極19形成於構成第2積層體40之複數層中於中間接觸之層(多晶矽層)，且於空隙S中露出。對向方向D上之補償電極19與空隙S之間之距離，短於對向方向D中第4表面40b與空隙S之間之距離。補償電極19構成第2面鏡部41。補償電極19例如藉由摻雜雜質將多晶矽層低電阻化而形成。
於第1積層體30設置有第1端子12A、第2端子12B、第3端子12C及第4端子12D。各端子12A～12D自對向方向D觀察時配置於較光透過區域11及空隙S更外側。各端子12A～12D例如藉由鋁或其合金等之金屬膜而形成。第1端子12A及第3端子12C自對向方向D觀察時隔著光透過區域11彼此相向，第2端子12B及第4端子12D自對向方向D觀察時隔著光透過區域11彼此相向。第1端子12A及第3端子12C相向之方向，例如與第2端子12B及第4端子12D相向之方向正交(參照圖2)。
第1端子12A與第3端子12C同樣地構成。各端子12A、12C配置於第1積層體30中自第2表面30b至中間部之貫通孔內。各端子12A、12C經由配線部21與第1驅動電極17電性連接，且經由配線部22與補償電極19電性連接。配線部21、22例如藉由摻雜雜質將多晶矽層低電阻化而形成。
第2端子12B與第4端子12D同樣地構成。各端子12B、12D配置於自第1積層體30之第2表面30b至第2積層體40之貫通孔內。各端子12B、12D經由配線部23與第2驅動電極18電性連接。配線部23例如藉由摻雜雜質將多晶矽層低電阻化而形成。
於第1積層體30之第2表面30b，設置有一對溝槽26。各溝槽26以包圍端子12B或12D之方式環狀延伸。各溝槽26之底面到達中間層16。各溝槽26將端子12B或12D與第1驅動電極17電性絕緣。各溝槽26內之區域可為絕緣材料，亦可為空隙。
於第2積層體40之第3表面40a，設置有一對溝槽27及溝槽28。各溝槽27以包圍配線部22中與端子12A或12C之連接部分之方式環狀延伸。各溝槽27使第2驅動電極18與配線部22電性絕緣。溝槽28沿第2驅動電極18之內緣環狀延伸。溝槽28將第2驅動電極18與第2驅動電極18之內側之區域電性絕緣。各溝槽27、28內之區域可為絕緣材料，亦可為空隙。
於基板14之光出射側之表面14b，依序積層有反射防止層51、第3積層體52、中間層53及第4積層體54。反射防止層51及中間層53分別具有與反射防止層15及中間層16同樣之構成。第3積層體52及第4積層體54分別具有以基板14為基準而與第2積層體40及第1積層體30對稱之積層構造。藉由反射防止層51、第3積層體52、中間層53及第4積層體54，構成應力調整層50。應力調整層50配置於基板14之光出射側，具有抑制基板14翹曲之功能。
於應力調整層50，以自對向方向D觀察時與光透過區域11重疊之方式設置有開口50a。開口50a例如具有與光透過區域11之大小大致相同之徑。開口50a於光出射側開口。開口50a之底面及至反射防止層51。於應力調整層50之光出射側之表面50b，形成有遮光層29。遮光層29例如包含鋁或其合金等之金屬膜。
於如上構成之法布里-佩洛干涉濾光器10中，若例如經由第1端子12A及第2端子12B於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間施加電壓，則於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生與該電壓(電位差)相應之靜電力。藉由該靜電力，將第1面鏡部31朝固定於基板14之第2面鏡部41側吸引，而調整第1面鏡部31與第2面鏡部41之距離。
透過法布里-佩洛干涉濾光器10之光之波長依存於光透過區域11中之第11面鏡部31與第2面鏡部41間之距離。因此，藉由調整施加於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間之電壓，可適宜選擇透過之光之波長。此時，補償電極19與第1驅動電極17同電位。因此，補償電極19以於光透過區域11中將第1面鏡部31及第2面鏡部41保持平坦之方式發揮功能。 [分光感測器之構成]
圖4係分光感測器1之俯視圖。圖5(a)係自圖4之箭頭A之方向觀察時之分光感測器1之側視圖，圖5(b)係自圖4之箭頭B之方向觀察時之分光感測器1之側視圖。圖4～圖5(b)中，未顯示蓋83。
如圖4～圖5(b)所示，分光感測器1進而具備電阻測定部60。電阻測定部60電性連接於第1端子12A及第3端子12C，測定第1驅動電極17之電阻值。電阻測定部60為例如電阻測定用之電路(電阻計)。電阻測定部60藉由例如對第1驅動電極17施加電壓且於該電壓之施加中檢測流動於第1驅動電極17之電流，而測定第1驅動電極17之電阻值。電阻測定部60配置於CAN封裝81內。電阻測定部60例如配置於底座82上，且位於配線基板2與引線接腳84之間。
分光感測器1中之各部之電性連接如下所述。該例中，於底座82設置有沿周向排列之8條引線接腳(外部端子)84。配線基板2之電極焊墊2b經由導線(配線)8而連接於引線接腳84。藉此，光檢測器3之背面側之端子連接於引線接腳84。配線基板2之電極焊墊2c經由導線8而連接於引線接腳84。藉此，光檢測器3之表面側之端子連接於引線接腳84。光檢測器3之表面側之端子所連接之引線接腳84與光檢測器3之背面側之端子所連接之引線接腳84相鄰。
第1端子12A經由導線8而連接於引線接腳84(第1外部端子)。第2端子12B經由導線8而連接於引線接腳84(第2外部端子)。第1端子12A所連接之引線接腳84相對於法布里-佩洛干涉濾光器10，位於與第2端子12B所連接之引線接腳84相反側。第1端子12A所連接之引線接腳84與光檢測器3之背面側之端子所連接之引線接腳84相鄰，第2端子12B所連接之引線接腳84與光檢測器3之表面側之端子所連接之引線接腳84相鄰。複數個引線接腳84中之1者經由導線8連接於底座82。
電阻測定部60具有一對第1電極60a、及複數個(於該例中為3個)第2電極60b。第1電極60a之一者經由導線8而連接於第1端子12A。第1電極60a之另一者經由導線8而連接於第3端子12C。藉此，電阻測定部60可經由第1端子12A及第3端子12C進行對第1驅動電極17之電信號輸出入。複數個第2電極60b分別經由導線8而連接於引線接腳84。藉此，電阻測定部60可與外部之間進行電信號之輸出入，例如，可將測定結果輸出至外部。 [作用效果]
於分光感測器1中，可藉由經由引線接腳84對第1端子12A與第2端子12B之間施加驅動電壓，使第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生電位差，而調整第1面鏡部31與第2面鏡部41之間之距離。又，於分光感測器1中，由電阻測定部60測定設置於第1積層體30之第1驅動電極17之電阻值。因第1驅動電極17之電阻值根據溫度而變化，故可基於測定出之電阻值而檢測(掌握)法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。基於測定出之電阻值之法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度檢測，例如由控制部實施。該控制部可由例如包含處理器(CPU：Central Processing Unit：中央處理單元)、記錄媒體即RAM(Random Access Memory：隨機存取記憶體)及ROM(Read-Only Memory：唯讀記憶體)之電腦構成。控制部可為分光感測器1所具備，亦可配置於分光感測器1之外部。控制部基於檢測出之溫度，調整施加於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間之驅動電壓。藉此，即使環境溫度變化，亦可實現較高之波長精度。基於檢測溫度之驅動電壓之調整例如於法布里-佩洛干涉濾光器10之驅動開始前實施。另，控制部亦可不基於測定出之電阻值檢測法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度，而是基於測定出之電阻值直接調整驅動電壓。以下，參照圖6及圖7，說明第1驅動電極17及第2驅動電極18之電阻值與溫度間之關係。
圖6(a)係顯示法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與第1驅動電極17之電阻值之間之關係之圖表，圖6(b)係顯示法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與第2驅動電極18之電阻值之間之關係之圖表。圖6(a)及圖6(b)各者所示之2條線段顯示不同樣本之測定結果。該測定在未於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間施加驅動電壓之狀態下實施。將法布里-佩洛干涉濾光器10置入恆溫槽，將恆溫槽之設定溫度視為法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。由圖6(a)可知，法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與第1驅動電極17之電阻值之間存在對應關係。由圖6(b)可知，法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與第2驅動電極18之電阻值之間存在對應關係。即，若法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度增加，則第1驅動電極17及第2驅動電極18之電阻值減少，若法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度減少，則第1驅動電極17及第2驅動電極18之電阻值增加。因此，基於第1驅動電極17之電阻值或第2驅動電極18之電阻值，可掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。
圖7係顯示法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度與第1驅動電極17之電阻值之間之關係之圖表。符號71顯示第1驅動電極17之電阻值之歷時變化。符號72顯示法布里-佩洛干涉濾光器10之環境溫度之歷時變化。此處，將法布里-佩洛干涉濾光器10置入恆溫槽，將藉由設置於恆溫槽內之溫度監視器計測出之恆溫槽內之溫度作為法布里-佩洛干涉濾光器10之環境溫度。符號73顯示藉由配置於配線基板2上之熱阻器檢測出之溫度之歷時變化。由圖7可知，熱阻器之檢測溫度與環境溫度大致同等變化。又，已知第1驅動電極17之電阻值之變化與環境溫度之變化相對應。即，若環境溫度增加，則第1驅動電極17之電阻值減少，若環境溫度較少，則第1驅動電極17之電阻值增加。因此，基於第1驅動電極17之電阻值，可掌握與使用熱阻器之情形時精度相同程度地良好之法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。
再者，分光感測器1中，第1驅動電極17自對向方向D觀察時與空隙S重疊，且對向方向D上之第1驅動電極17與空隙S之間之距離，短於對向方向D上之第2表面30b與空隙S之間之距離。法布里-佩洛干涉濾光器10之透過波長係由空隙S之厚度(換言之，第1面鏡部31與第2面鏡部41間之距離)決定。因此，藉由使用配置於空隙S附近之第1驅動電極17之電阻值，可高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。再者，分光感測器1中，因可基於第1驅動電極17之電阻值而掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度，故不必如上述關聯技術般設置溫度感測器及其配線等。其結果，可謀求法布里佩洛-干涉濾光器10之小型化或低成本化。因此，根據分光感測器1，可高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度，且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器10之小型化。再者，第1驅動電極17與上述關聯技術中使用之熱阻器相比，熱容量較小，因而熱反應較快。因此，於分光感測器1中，可在短時間內掌握正確之溫度，且可高精度實施基於溫度之驅動電壓之調整。
分光感測器1中，第1驅動電極17為構成第1積層體30之多晶矽層中之雜質區域。藉此，因由與溫度相應之電阻值之變化較大之半導體層構成第1驅動電極17，故可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。再者，可提高第1驅動電極17之配置及特性之至少一者之變更相關之設計自由度。
分光感測器1中，第1驅動電極17自對向方向D觀察時與光透過區域11重疊，且構成第1面鏡部31。藉此，可將第1驅動電極17配置於第1面鏡部31與第2面鏡部41間之空隙S之附近，可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。
分光感測器1中，第1驅動電極17於空隙S中露出。藉此，可將第1驅動電極17進而配置於空隙S之附近，可更高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。
分光感測器1中，第1端子12A及第3端子12C以自對向方向D觀察時隔著光透過區域11彼此相向之方式設置於第1積層體30。藉此，可延長介隔第1驅動電極之第1端子12A與第3端子12C間之距離，可增大與溫度相應之第1驅動電極17之電阻值之變化。其結果，可進而高精度地掌握法布里佩洛-干涉濾光器10之溫度。
分光感測器1中，第1面鏡部31為可相對於第2面鏡部41移動之可動面鏡，第2面鏡部41為位置經固定之固定面鏡。藉此，可進而高精度地掌握法布里佩洛-干涉濾光器10之溫度。
分光感測器1中，電阻測定部60配置於CAN封裝81內。藉此，可謀求分光感測器1之小型化。又，法布里-佩洛干涉濾光器10以與底座82分開之狀態相對於底座82固定。藉此，可介隔底座82抑制熱之影響波及法布里-佩洛干涉濾光器10。
分光感測器1中，第1驅動電極17及補償電極19兩者於空隙S中露出。藉此，可進而高精度地掌握法布里佩洛-干涉濾光器10之溫度。分光感測器1具備電性連接於第1端子12A之引線接腳84(第1外部端子)、及電性連接於第2端子12B之引線接腳84(第2外部端子)。藉此，藉由於該等引線接腳84間施加驅動電壓，可於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生靜電力。 [變化例]
本揭示不限於上述實施形態。例如，分光感測器1亦可構成為圖8(a)～圖8(c)所示之第1～第3變化例。第1～第3變化例中，電阻測定部60配置於CAN封裝81外。
第1變化例中之各部之電性連接例如下述。第1端子12A經由導線8而連接於引線接腳84(第1外部端子)。第2端子12B未連接於引線接腳84，第4端子12D經由導線8而連接於引線接腳84(第2外部端子)。該情形時，可將第4端子12D視為第2端子。第3端子12C經由導線8而連接於引線接腳84(第3外部端子)。複數個引線接腳84中之2個經由導線8連接於底座82。連接於第1端子12A及第3端子12C之引線接腳84於CAN封裝81外連接於電阻測定部60。連接於底座82之引線接腳84位在第1端子12A所連接之引線接腳84與光檢測器3之背面側之端子所連接之引線接腳84之間，連接於底座82之引線接腳84位在第3端子12C連接之引線接腳84、與光檢測器3之表面側之端子連接之引線接腳84之間。藉此，可使光檢測器3所連接之引線接腳84與連接於第1端子12A及第3端子12C之引線接腳84遠離。其結果，可抑制因底座82上之髒污等而導致來自光檢測器3之輸出信號中產生雜訊的事態。
於第1變化例中，可藉由經由引線接腳84對第1端子12A與第4端子12D之間施加驅動電壓，使第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生電位差，而調整第1面鏡部31與第2面鏡部41之間之距離。又，經由引線接腳84及第1端子12A及第3端子12C，可測定第1驅動電極17之電阻值。因此，與上述實施形態同樣地，可高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度，且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器10之小型化。再者，因電阻測定部60配置於CAN封裝81外，故可謀求CAN封裝81之小型化。
於第2變化例中，第1端子12A所連接之引線接腳84與光檢測器3之背面側之端子所連接之引線接腳84相鄰。於第3變化例中，第1端子12A所連接之引線接腳84與光檢測器3之背面側之端子所連接之引線接腳84相鄰，且第2端子12B所連接之引線接腳84與光檢測器3之表面側之端子所連接之引線接腳84相鄰。藉由此種第2變化例及第3變化例，亦可與上述實施形態同樣地，高精度地掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度，且可謀求法布里-佩洛干涉濾光器10之小型化。
於上述實施形態及第1～第3變化例中，分光感測器1之構成不限於圖示之例。例如，導線8之連接位置、引線接腳84之數量、配置及用途、CAN封裝81及配線基板2之形狀、配線基板2中之電極焊墊之形狀及配置、光檢測器3對於引線接腳84之連接態樣、電阻測定部60之形狀及配置、以及法布里-佩洛干涉濾光器10及配線基板2對於底座82之角度及配置，不限於圖示之例。複數個引線接腳84亦可不包含經由導線8連接於底座82之引線接腳84。複數個引線接腳84亦可包含直接連接於底座82之引線接腳84。於上述實施形態及第1～第3變化例中，未與任意構件連接之引線接腳84亦可省略。
電阻測定部60可不於電壓之施加中檢測流通於第1驅動電極17之電流，而取而代之為，藉由對第1驅動電極17施加電流(例如，1 mA左右之固定電流)且於該電流之施加中檢測第1驅動電極17之電壓而測定第1驅動電極17之電阻值。此種構成於第1驅動電極17與第2驅動電極18間產生電流洩漏之情形時尤為有效。
上述實施形態中，電阻測定部60電性連接於第1端子12A及第3端子12C，測定第1驅動電極17之電阻值，但亦可取而代之，將電阻測定部60電性連接於第2端子12B及第4端子12D，測定第2驅動電極18之電阻值。參照圖6(b)，如上所述，此時，可基於第2驅動電極18之電阻值而掌握法布里-佩洛干涉濾光器10之溫度。該情形時，第1積層體30、第2積層體40、第1面鏡部31、第2面鏡部41、第1驅動電極17、第2驅動電極18、第1端子12A、第2端子12B、第4端子12D可視為分別對應於第2構造體、第1構造體、第2面鏡部、第1面鏡部、第2驅動電極、第1驅動電極、第2端子、第1端子、第3端子，且由電阻測定部60測定第1驅動電極之電阻值。該情形時，第1面鏡部為固定面鏡，第2面鏡部為可動面鏡。即，只要可調整第1面鏡部與第2面鏡部間之相向距離即可，且第1面鏡部及第2面鏡部之任一者亦可為可動面鏡。於上述第1變化例中測定第2驅動電極18之電阻值之情形時，例如將第2端子12B連接於引線接腳84。不測定第1驅動電極17之電阻值之情形，亦可僅將第1端子12A及第3端子12C之任一者連接於引線接腳84。
於上述實施形態中，第1驅動電極17亦可不構成第1面鏡部31。第1驅動電極17亦可以包圍光透過區域11之方式配置。第1驅動電極17亦可為配置於第1積層體30(第1構造體)之第1表面30a上之金屬膜。同樣地，第2驅動電極18亦可為配置於第2積層體40(第2構造體)之第3表面40a上之金屬膜。該情形時，第1構造體及第2構造體亦可不為積層體，例如可為基板。於上述實施形態中，藉由施加電壓而於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生靜電力，亦可藉由施加電流而於第1驅動電極17與第2驅動電極18之間產生靜電力。
第1驅動電極17亦可於自對向方向D觀察時具有不與空隙S重疊之部分，只要第1驅動電極17之至少一部分於自對向方向D觀察時與空隙S重疊即可。第1驅動電極17亦可形成於構成第1積層體30之複數層中位於中間之層(多晶矽層)，且不於空隙S中露出。第2驅動電極18亦可形成於構成第2積層體40之複數層中位於中間之層(多晶矽層)，且不於空隙S中露出。於第1面鏡部31與第2面鏡部41之間亦可配置其他層。即，某構件彼此為「介隔空隙而相向」意指除直接相向之情形外，亦包含在其他層配置於其間之狀態下介隔空隙而彼此相向之情形。於第1端子12A與第3端子12C之間，亦可排列連接有第1驅動電極17與補償電極19。基板14及/或補償電極19亦可省略。光檢測器3亦可配置於CAN封裝81外。該情形時，亦可例如於CAN封裝81設置光出射部，藉由光檢測器3檢測自該光出射部出射之光。該情形時，可將自分光感測器1除去光檢測器3之構成視為光學濾光裝置。
1:分光感測器(光學濾光裝置) 2:配線基板 2a:安裝部 2b～2d:電極 2e:配線 3:光檢測器 3a:受光部 4:間隔件 8:導線 10:法布里-佩洛干涉濾光器 11:光透過區域 12A～12D:端子 14:基板 14a:基板表面 14b:表面 15:反射防止層 16:中間層 17:第1驅動電極 18:第2驅動電極 19:補償電極 21:配線部 22:配線部 23:配線部 26:溝槽 27:溝槽 28:溝槽 29:遮光層 30:第1積層體(第1構造體) 30a:第1表面 30b:第2表面 31:第1面鏡部 32:貫通孔 40:第2積層體(第2構造體) 40a:第3表面 40b:第4表面 41:第2面鏡部 50:應力調整層 50a:開口 50b:表面 51:反射防止層 52:第3積層體 53:中間層 54:第4積層體 60:電阻測定部 60a:第1電極 60b:第2電極 81:CAN封裝 82:底座 83:蓋 84:引線接腳(第1外部端子、第2外部端子、第3外部端子) 85:側壁 86:頂壁 86a:開口 87:光透過構件 87a:光入射面 87b:光出射面 88:帶通濾波器 89:光入射部 D:對向方向 S:空隙
圖1係實施形態之分光感測器之剖視圖。 圖2係分光感測器之一部分之分解立體圖。 圖3係沿圖2之III-III線之法布里-佩洛干涉濾光器之剖視圖。 圖4係分光感測器之俯視圖。 圖5(a)係自圖4之箭頭A之方向觀察時之分光感測器之側視圖，(b)係自圖4之箭頭B之方向觀察時之分光感測器之側視圖。 圖6(a)係顯示法布里-佩洛干涉濾光器之溫度與第1驅動電極之電阻值之間之關係之圖表，(b)係顯示法布里-佩洛干涉濾光器之溫度與第2驅動電極之電阻值之間之關係之圖表。 圖7係顯示法布里-佩洛干涉濾光器之溫度與第1驅動電極之電阻值之間之關係之圖表。 圖8(a)係第1變化例之分光感測器之俯視圖，(b)係第2變化例之分光感測器之俯視圖，(c)係第3變化例之分光感測器之俯視圖。
10:法布里-佩洛干涉濾光器
11:光透過區域
12A:端子
12D:端子
14:基板
14a:基板表面
14b:表面
15:反射防止層
16:中間層
17:第1驅動電極
18:第2驅動電極
19:補償電極
21:配線部
22:配線部
23:配線部
26:溝槽
27:溝槽
28:溝槽
29:遮光層
30:第1積層體
30a:第1表面
30b:第2表面
31:第1面鏡部
32:貫通孔
40:第2積層體
40a:第3表面
40b:第4表面
41:第2面鏡部
50:應力調整層
50a:開口
50b:表面
51:反射防止層
52:第3積層體
53:中間層
54:第4積層體
D:對向方向
S:空隙

Claims (22)

  1. 一種光學濾光裝置，其具備：法布里-佩洛干涉濾光器；及電阻測定部，其電性連接於上述法布里-佩洛干涉濾光器；上述法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及與上述第1表面相反側之第2表面；第2構造體，其具有介隔空隙而與上述第1表面相向之第3表面；第1面鏡部，其設置於上述第1構造體；第2面鏡部，其以介隔上述空隙而與上述第1面鏡部相向之方式設置於上述第2構造體，調整光透過區域中與上述第1面鏡部間之距離；第1驅動電極，其設置於上述第1構造體；第2驅動電極，其以介隔上述空隙而與上述第1驅動電極相向之方式設置於上述第2構造體，且上述第1面鏡部與上述第2面鏡部之間之距離係藉由在上述第1驅動電極與上述第2驅動電極之間發生之靜電力而調整；第1端子，其電性連接於上述第1驅動電極；第2端子，其電性連接於上述第2驅動電極；及第3端子，其電性連接於上述第1驅動電極；上述第1驅動電極自上述第1表面與上述第3表面彼此相向之對向方向觀察時與上述空隙重疊； 上述對向方向上之上述第1驅動電極與上述空隙之間之距離，短於上述對向方向上之上述第2表面與上述空隙間之距離；上述電阻測定部電性連接於上述第1端子及上述第3端子，且測定上述第1驅動電極之電阻值。
  2. 如請求項1之光學濾光裝置，其中上述第1構造體為積層體；且上述第1驅動電極為構成上述積層體之半導體層中之雜質區域。
  3. 如請求項2之光學濾光裝置，其中上述第1驅動電極自上述對向方向觀察時與上述光透過區域重疊，且構成上述第1面鏡部。
  4. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其中上述第1驅動電極於上述空隙中露出。
  5. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其中上述第1端子及上述第3端子以自上述對向方向觀察時隔著上述光透過區域而彼此相向之方式設置於上述第1構造體。
  6. 如請求項4之光學濾光裝置，其中上述第1端子及上述第3端子以自上述對向方向觀察時隔著上述光透過區域而彼此相向之方式設置於上述第1構造體。
  7. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其中上述第1面鏡部為可相對於上述第2面鏡部移動之可動面鏡；且上述第2面鏡部為位置經固定之固定面鏡。
  8. 如請求項4之光學濾光裝置，其中上述第1面鏡部為可相對於上述第2面鏡部移動之可動面鏡；且上述第2面鏡部為位置經固定之固定面鏡。
  9. 如請求項5之光學濾光裝置，其中上述第1面鏡部為可相對於上述第2面鏡部移動之可動面鏡；且上述第2面鏡部為位置經固定之固定面鏡。
  10. 如請求項6之光學濾光裝置，其中上述第1面鏡部為可相對於上述第2面鏡部移動之可動面鏡；且上述第2面鏡部為位置經固定之固定面鏡。
  11. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝內。
  12. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述封裝具有底座、及設置有光入射部之蓋； 上述法布里-佩洛干涉濾光器以與上述底座分開之狀態相對於上述底座固定。
  13. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其進而具備電性連接於上述第1端子之第1外部端子、及電性連接於上述第2端子之第2外部端子。
  14. 如請求項1至3中任一項之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  15. 如請求項4之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  16. 如請求項5之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  17. 如請求項6之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  18. 如請求項7之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  19. 如請求項8之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  20. 如請求項9之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  21. 如請求項10之光學濾光裝置，其進而具備收納上述法布里-佩洛干涉濾光器之封裝；且上述電阻測定部配置於上述封裝外。
  22. 一種光學濾光裝置之控制方法，其係具備法布里-佩洛干涉濾光器之光學濾光裝置之控制方法，且上述法布里-佩洛干涉濾光器具備：第1構造體，其具有第1表面、及與上述第1表面相反側之第2表面；第2構造體，其具有介隔空隙而與上述第1表面相向之第3表面；第1面鏡部，其設置於上述第1構造體； 第2面鏡部，其以介隔上述空隙而與上述第1面鏡部相向之方式設置於上述第2構造體，調整光透過區域中與上述第1面鏡部間之距離；第1驅動電極，其設置於上述第1構造體；第2驅動電極，其以介隔上述空隙而與上述第1驅動電極相向之方式設置於上述第2構造體，且上述第1面鏡部與上述第2面鏡部之間之距離係藉由在上述第1驅動電極與上述第2驅動電極之間發生之靜電力而調整；第1端子，其電性連接於上述第1驅動電極；第2端子，其電性連接於上述第2驅動電極；及第3端子，其電性連接於上述第1驅動電極；上述第1驅動電極自上述第1表面與上述第3表面彼此相向之對向方向觀察時與上述空隙重疊；上述對向方向上之上述第1驅動電極與上述空隙之間之距離，短於上述對向方向上之上述第2表面與上述空隙間之距離；上述光學濾光裝置之控制方法具備：第1步驟，其經由上述第1端子及上述第3端子測定上述第1驅動電極之電阻值；及第2步驟，其基於上述第1步驟中測定出之上述電阻值，對施加於上述第1端子與上述第2端子間之電壓或電流進行調整。
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