JP2018156112A - ファブリペロー干渉フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタは、固定ミラーと、空隙を介して固定ミラーと対向するように配置され、光透過領域に対応する第1部分、光透過領域を囲む包囲部、及び包囲部の外側の第2部分を有し、静電気力によって包囲部及び第2部分が変形することで第1部分において固定ミラーとの距離が調整される可動ミラーと、を備える。可動ミラーのうち光透過領域を囲む包囲部には、光透過領域を囲む複数の第1環状溝、及び、空隙側及びその反対側に開口する複数の第1貫通孔が形成されている。複数の第1貫通孔の少なくとも一部は、隣り合う第1環状溝間の領域と重なっている。
【選択図】図2
Description
[第1実施形態]
[分光センサ]
[ファブリペロー干渉フィルタ]
[ファブリペロー干渉フィルタの製造方法]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
Claims (14)
- 固定ミラーと、
空隙を介して前記固定ミラーと対向するように配置され、光透過領域に対応する第1部分、前記光透過領域を囲む包囲部、及び前記包囲部の外側の第2部分を有し、静電気力によって前記包囲部及び前記第2部分が変形することで前記第1部分において前記固定ミラーとの距離が調整される可動ミラーと、を備え、
前記可動ミラーのうち前記光透過領域を囲む前記包囲部には、前記光透過領域を囲む複数の第1環状溝、及び、前記空隙側及びその反対側に開口する複数の第1貫通孔が形成されており、
前記複数の第1貫通孔の少なくとも一部は、隣り合う前記第1環状溝間の領域と重なっている、ファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記第1部分には、前記空隙側及びその反対側に開口する複数の第2貫通孔が形成されている、請求項1記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 前記固定ミラーのうち、前記固定ミラーと前記可動ミラーとが対向する対向方向において前記第2部分と対向する部分には、前記光透過領域を囲むように第1駆動電極が設けられており、
前記可動ミラーには、前記対向方向において前記第1駆動電極と対向するように、前記静電気力を発生させるために前記第1駆動電極との間に電圧が印加される第2駆動電極が設けられている、請求項1又は2記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記対向方向において、前記複数の第1環状溝にそれぞれ対応する複数の第2環状溝が形成されており、
前記第1駆動電極は、前記固定ミラーのうち前記複数の第2環状溝の外側の部分に設けられている、請求項3記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記光透過領域を含むように、前記第2駆動電極と同電位に接続された補償電極が設けられており、
前記補償電極は、前記対向方向において、前記第1駆動電極に対して前記第2駆動電極の反対側に位置している、請求項4記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記光透過領域を含むように、前記第2駆動電極と同電位に接続された補償電極が設けられており、
前記補償電極は、前記複数の第2環状溝を介して前記第1駆動電極の内側に位置している、請求項4記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーと前記可動ミラーとが対向する対向方向に平行であり且つ前記光透過領域の中心を通る断面において、前記第1貫通孔の幅は、最も外側の前記第1環状溝の外縁と最も内側の前記第1環状溝の内縁との間の幅よりも小さい、請求項1〜6のいずれか一項記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 固定ミラーと、
空隙を介して前記固定ミラーと対向するように配置され、光透過領域に対応する第1部分、前記光透過領域を囲む包囲部、及び前記包囲部の外側の第2部分を有し、静電気力によって前記包囲部及び前記第2部分が変形することで前記第1部分において前記固定ミラーとの距離が調整される可動ミラーと、を備え、
前記可動ミラーのうち前記光透過領域を囲む前記包囲部には、前記光透過領域を囲む第1環状溝が形成されており、
前記固定ミラーと前記可動ミラーとが対向する対向方向に平行であり且つ前記光透過領域の中心を通る断面において、前記第1環状溝の内側の領域における前記空隙の幅は、前記第1環状溝の外側の一方及び他方のそれそれぞれの領域における前記空隙の幅よりも大きい、ファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記包囲部には、前記第1環状溝が複数形成されている、請求項8記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 前記対向方向に平行であり且つ前記光透過領域の中心を通る前記断面において、隣り合う前記第1環状溝間の幅は、前記包囲部の内側の領域における前記空隙の幅よりも小さく、且つ前記包囲部の外側の一方及び他方のそれそれぞれの領域における前記空隙の幅よりも小さい、請求項9記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 前記固定ミラーのうち、前記対向する対向方向において前記第2部分と対向する部分には、前記光透過領域を囲むように第1駆動電極が設けられており、
前記可動ミラーには、前記対向方向において前記第1駆動電極と対向するように、前記静電気力を発生させるために前記第1駆動電極との間に電圧が印加される第2駆動電極が設けられている、請求項8〜10のいずれか一項記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記対向方向において、前記第1環状溝に対応する第2環状溝が形成されており、
前記第1駆動電極は、前記固定ミラーのうち前記第2環状溝の外側の部分に設けられている、請求項11記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記光透過領域を含むように、前記第2駆動電極と同電位に接続された補償電極が設けられており、
前記補償電極は、前記対向方向において、前記第1駆動電極に対して前記第2駆動電極の反対側に位置している、請求項12記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記固定ミラーには、前記光透過領域を含むように、前記第2駆動電極と同電位に接続された補償電極が設けられており、
前記補償電極は、前記第2環状溝を介して前記第1駆動電極の内側に位置している、請求項12記載のファブリペロー干渉フィルタ。
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