JP2014002261A - ファブリペロー干渉計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ギャップ(AG)を介して対向配置された一対のミラー構造体(30,50)は、積層配置された一対の高屈折率層(31,32,51,52)と、該高屈折率層間に局所的に介在された低屈折率層としての空気層(33,53)をそれぞれ有する。ギャップを架橋する架橋部(34,54)の少なくとも一方は、変位可能なメンブレン(MEM1,MEM2)とされ、各架橋部は、高屈折率層間に低屈折率層が介在された少なくとも1つのミラー(M1,M2)からなる透過部(S1,S2)と、該透過部の周辺に位置する周辺部(T1,T2)をそれぞれ有している。少なくとも入射側の全てのミラーは、透過波長域の上限値の7倍よりも幅が広い回折抑制ミラーとされている。
【選択図】図19
Description
本実施形態に係るファブリペロー干渉計の構造及び製造方法は、本出願人による特開2008−134388号公報等に記載のものと基本的に同じである。したがって、同じ部分についての説明は簡略化する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
Claims (8)
- ギャップ(AG)を介して対向配置された一対のミラー構造体(30,50)を備え、
前記一対のミラー構造体は、積層配置された一対の高屈折率層(31,32,51,52)と、前記高屈折率層間に局所的に介在された空気層(33,53)と、を用いてそれぞれ形成され、
前記一対のミラー構造体における前記ギャップを架橋する架橋部(34,54)の少なくとも一方が、変位可能なメンブレン(MEM1,MEM2)とされ、
前記一対のミラー構造体における前記架橋部は、前記高屈折率層間に前記空気層が介在された少なくとも1つのミラー(M1,M2)からなる透過部(S1,S2)と、該透過部の周辺に位置する周辺部(T1,T2)と、をそれぞれ有し、
前記一対のミラー構造体において、前記透過部同士が対向しており、
前記一対のミラー構造体の対向方向と直交する面に沿う方向の長さを幅とすると、前記一対のミラー構造体のうち、少なくとも入射側の前記ミラー構造体における全ての前記ミラーは、透過波長域の上限値の7倍よりも前記幅の広い回折抑制ミラーとされていることを特徴とするファブリペロー干渉計。 - 前記回折抑制ミラーの幅は、透過波長域の上限値の10倍以上とされていることを特徴とする請求項1に記載のファブリペロー干渉計。
- 前記回折抑制ミラーの幅は、透過波長域の上限値の15倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載のファブリペロー干渉計。
- 少なくとも入射側の前記ミラー構造体における前記透過部は、前記ミラーを1つのみ有することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載のファブリペロー干渉計。
- 前記一対のミラー構造体は、一対の前記高屈折率層として、第1層(31,51)及び第2層(32,52)をそれぞれ有し、
前記空気層を覆う前記第2層の上部(32a,52a)とオーバーラップするように配置され、前記第1層上に前記第2層の上部を支持する支持部(32c,52c)を有することを特徴とする請求項4に記載のファブリペロー干渉計。 - 前記一対のミラー構造体は、一対の前記高屈折率層として、第1層(31,51)及び第2層(32,52)をそれぞれ有し、
前記空気層を覆う前記第2層の上部(32a,52a)を、前記第1層上に支持する支持部(32b,52b)を有し、
少なくとも入射側の前記ミラー構造体における前記透過部は、前記支持部により区画されてなる複数の前記ミラーを有することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載のファブリペロー干渉計。 - 前記支持部(32b,32c,52b,52c)は、前記第2層の一部として構成されていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のファブリペロー干渉計。
- 入射側の前記ミラー構造体における前記ミラーの幅は、出射側の前記ミラー構造体における前記ミラーの幅よりも広いことを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載のファブリペロー干渉計。
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