JP5783139B2 - ファブリペロー干渉計 - Google Patents
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Description
本実施形態に係るファブリペロー干渉計の構造及び製造方法は、本出願人による特開2008−134388号公報等に記載のものと基本的に同じである。したがって、同じ部分についての説明は簡略化する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
本実施形態において、上記実施形態に示したファブリペロー干渉計10と共通する部分についての説明は割愛する。
Claims (5)
- ギャップ(AG)を介して対向配置された一対のミラー構造体(30,50)を備え、
積層配置された一対の高屈折率層(31,32,51,52)と、前記高屈折率層間に局所的に介在された空気層(33,53)と、を用いて、各ミラー構造体が形成され、
前記一対のミラー構造体における前記ギャップを架橋する架橋部(34,54)の少なくとも一方が、変位可能なメンブレン(MEM1,MEM2)とされ、
前記一対のミラー構造体における前記架橋部は、前記高屈折率層間に前記空気層が介在されてなる少なくとも1つのミラー(M1,M2)をそれぞれ有し、
前記一対のミラー構造体において、前記ミラー同士が対向しており、
前記一対のミラー構造体の対向方向と直交する面に沿う方向の長さを幅とすると、前記一対のミラー構造体のうち、少なくとも入射側の前記ミラー構造体における全ての前記ミラーは、透過波長域2μm〜10μmの上限値10μmの7倍よりも広く、150μm以下の前記幅を有する回折抑制ミラーとされ、
少なくとも入射側の前記ミラー構造体における前記架橋部は、前記ミラーを1つのみ有し、
前記ミラーを1つのみ有する前記ミラー構造体は、
一対の前記高屈折率層として、第1層(31,51)及び第2層(32,52)をそれぞれ有するとともに、
前記第2層のうちの前記空気層の上面を覆う上部(32a,52a)を前記第1層上に支持する支持部として、前記ミラーの外形輪郭を円形状に規定するように支持する外形支持部(32b,52b)と、前記ミラーの面内において前記上部の中心に設けられるととともに、前記空気層を複数に区画しないように支持する中心支持部(32c,52c)と、を有し、
前記外形支持部から前記中心支持部までの長さが、前記幅の寸法関係を満たしていることを特徴とするファブリペロー干渉計。 - 前記回折抑制ミラーの幅は、前記上限値10μmの10倍以上、150μm以下とされていることを特徴とする請求項1に記載のファブリペロー干渉計。
- 前記回折抑制ミラーの幅は、150μmとされていることを特徴とする請求項2に記載のファブリペロー干渉計。
- 前記支持部(32b,32c,52b,52c)は、前記第2層の一部として構成されていることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載のファブリペロー干渉計。
- 入射側の前記ミラー構造体における前記ミラーの幅は、出射側の前記ミラー構造体における前記ミラーの幅よりも広いことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項に記載のファブリペロー干渉計。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012137237A JP5783139B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | ファブリペロー干渉計 |
US13/915,830 US8994955B2 (en) | 2012-06-18 | 2013-06-12 | Fabry-Perot interferometer |
CN201310240744.6A CN103513415A (zh) | 2012-06-18 | 2013-06-18 | 法布里-珀罗干涉仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012137237A JP5783139B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | ファブリペロー干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014002261A JP2014002261A (ja) | 2014-01-09 |
JP5783139B2 true JP5783139B2 (ja) | 2015-09-24 |
Family
ID=49755616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012137237A Active JP5783139B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | ファブリペロー干渉計 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8994955B2 (ja) |
JP (1) | JP5783139B2 (ja) |
CN (1) | CN103513415A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6356427B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2018-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | ファブリペロー干渉フィルタ |
JP6187376B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2017-08-30 | 株式会社デンソー | ファブリペロー干渉計 |
JP6575179B2 (ja) * | 2015-07-06 | 2019-09-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び撮像装置 |
DE102015012429B4 (de) * | 2015-09-25 | 2019-09-05 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Verfahren zur Signalerfassung in einem Gasanalysesystem |
JP6517309B1 (ja) * | 2017-11-24 | 2019-05-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 異物除去方法、及び光検出装置の製造方法 |
JP6710721B2 (ja) * | 2018-06-14 | 2020-06-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | ファブリペロー干渉フィルタ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6324192B1 (en) * | 1995-09-29 | 2001-11-27 | Coretek, Inc. | Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same |
US6590710B2 (en) * | 2000-02-18 | 2003-07-08 | Yokogawa Electric Corporation | Fabry-Perot filter, wavelength-selective infrared detector and infrared gas analyzer using the filter and detector |
US6996312B2 (en) * | 2003-04-29 | 2006-02-07 | Rosemount, Inc. | Tunable fabry-perot filter |
JP4768289B2 (ja) | 2005-03-15 | 2011-09-07 | 株式会社リコー | 面型光変調素子および面型光変調素子ユニットおよび面型光変調素子ユニットアレイ |
KR100869066B1 (ko) * | 2006-04-17 | 2008-11-17 | 한국기술산업 (주) | 일 방향으로 정렬된 패턴의 바이오 칩, 이를 제조하는방법, 및 바이오 칩에 구비되는 대상물을 검출하는 방법 |
JP4784495B2 (ja) | 2006-11-28 | 2011-10-05 | 株式会社デンソー | 光学多層膜ミラーおよびそれを備えたファブリペロー干渉計 |
CN101576636B (zh) * | 2008-05-09 | 2010-07-21 | 中国科学院半导体研究所 | 可调谐光纤f-p腔滤波器 |
FI124072B (fi) * | 2009-05-29 | 2014-03-14 | Valtion Teknillinen | Mikromekaaninen säädettävä Fabry-Perot -interferometri, välituote ja menetelmä niiden valmistamiseksi |
JP5170025B2 (ja) * | 2009-07-28 | 2013-03-27 | 株式会社デンソー | ファブリペロー干渉計 |
JP2011128516A (ja) | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Nikon Corp | 分光フィルタ光学系および分光計測装置 |
JP5177209B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2013-04-03 | 株式会社デンソー | ファブリペロー干渉計 |
-
2012
- 2012-06-18 JP JP2012137237A patent/JP5783139B2/ja active Active
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2013
- 2013-06-12 US US13/915,830 patent/US8994955B2/en active Active
- 2013-06-18 CN CN201310240744.6A patent/CN103513415A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130335748A1 (en) | 2013-12-19 |
CN103513415A (zh) | 2014-01-15 |
US8994955B2 (en) | 2015-03-31 |
JP2014002261A (ja) | 2014-01-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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R250 | Receipt of annual fees |
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