JP2010186147A - 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外線透過材料(Si)からなる基板1と、基板1の一表面側で並設された複数のフィルタ部21,22とを備え、各フィルタ部21,22は、互いに屈折率が異なり且つ光学膜厚が等しい2種類の薄膜21b,21aが交互に積層された第1のλ/4多層膜21と、第1のλ/4多層膜21における基板1側とは反対側に形成され2種類の薄膜21a,21bが交互に積層された第2のλ/4多層膜22と、第1のλ/4多層膜21と第2のλ/4多層膜22との間に介在し所望の選択波長に応じて光学膜厚を各薄膜21a,21bの光学膜厚とは異ならせた波長選択層231,232とを備える。薄膜21bの低屈折率材料としてAl2O3を採用し、薄膜21aの高屈折率材料としてGeを採用する。
【選択図】図1
Description
21,22 フィルタ部
21 第1のλ/4多層膜
21a 薄膜
21b 薄膜
22 第2のλ/4多層膜
231,232 波長選択層
Claims (5)
- 赤外線透過材料からなる基板と、基板の一表面側で並設された複数のフィルタ部とを備え、各フィルタ部は、互いに屈折率が異なり且つ光学膜厚が等しい2種類の薄膜を交互に積層された第1のλ/4多層膜と、第1のλ/4多層膜における基板側とは反対側に形成され前記2種類の薄膜を交互に積層された第2のλ/4多層膜と、第1のλ/4多層膜と第2のλ/4多層膜との間に介在し所望の選択波長に応じて光学膜厚を各薄膜の光学膜厚とは異ならせた波長選択層とを備え、第1のλ/4多層膜および第2のλ/4多層膜の低屈折率材料が酸化物であるとともに、高屈折率材料がGeからなる半導体材料であり、波長選択層の材料を第1のλ/4多層膜の上から2番目の薄膜の材料と同じ材料としてあることを特徴とする赤外線光学フィルタ。
- 前記第2のλ/4多層膜のうち前記基板から最も遠い前記薄膜が低屈折率材料により形成されてなることを特徴とする請求項1記載の赤外線光学フィルタ。
- 前記低屈折率材料は、Al2O3もしくはSiO2からなるとを特徴とする請求項1または請求項2記載の赤外線光学フィルタ。
- 前記赤外線透過材料がSiであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の赤外線光学フィルタ。
- 基板の一表面側に互いに屈折率が異なり且つ光学膜厚が等しい2種類の薄膜を交互に積層する基本工程の途中で、当該途中における積層膜の上から2番目の層と同じ材料からなる波長選択層であって各フィルタ部のうちの任意の1つのフィルタ部の選択波長に応じて光学膜厚を設定した波長選択層を前記積層膜上に成膜する波長選択層成膜工程と、波長選択層成膜工程にて成膜した波長選択層のうち前記任意の1つのフィルタ部に対応する部分以外の不要部分を前記積層膜の1番上の層をエッチングストッパ層としてエッチングする波長選択層パターニング工程とからなる波長選択層形成工程を少なくとも1回行うことを特徴とする赤外線光学フィルタの製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5838347B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2016-01-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線式炎検知器 |
WO2016002639A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 旭硝子株式会社 | 帯域透過フィルタ |
US9443993B2 (en) | 2013-03-28 | 2016-09-13 | Seiko Epson Corporation | Spectroscopic sensor and method for manufacturing same |
KR20190095543A (ko) * | 2013-01-29 | 2019-08-14 | 비아비 솔루션즈 아이엔씨. | 가변 광 필터 및 그에 기반한 파장선택 센서 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5114032B1 (ja) * | 1970-03-11 | 1976-05-06 | ||
JPH03215803A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Minolta Camera Co Ltd | 帯域フィルター |
JPH1078510A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-24 | Yokogawa Electric Corp | フィルタ |
WO2005069376A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及びこれを用いたカメラ |
-
2009
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5114032B1 (ja) * | 1970-03-11 | 1976-05-06 | ||
JPH03215803A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Minolta Camera Co Ltd | 帯域フィルター |
JPH1078510A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-24 | Yokogawa Electric Corp | フィルタ |
WO2005069376A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及びこれを用いたカメラ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5838347B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2016-01-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線式炎検知器 |
KR20190095543A (ko) * | 2013-01-29 | 2019-08-14 | 비아비 솔루션즈 아이엔씨. | 가변 광 필터 및 그에 기반한 파장선택 센서 |
KR102401136B1 (ko) | 2013-01-29 | 2022-05-24 | 비아비 솔루션즈 아이엔씨. | 가변 광 필터 및 그에 기반한 파장선택 센서 |
US9443993B2 (en) | 2013-03-28 | 2016-09-13 | Seiko Epson Corporation | Spectroscopic sensor and method for manufacturing same |
WO2016002639A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 旭硝子株式会社 | 帯域透過フィルタ |
JP2016012096A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 旭硝子株式会社 | 帯域透過フィルタ |
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