JPH1078510A - フィルタ - Google Patents
フィルタInfo
- Publication number
- JPH1078510A JPH1078510A JP23500996A JP23500996A JPH1078510A JP H1078510 A JPH1078510 A JP H1078510A JP 23500996 A JP23500996 A JP 23500996A JP 23500996 A JP23500996 A JP 23500996A JP H1078510 A JPH1078510 A JP H1078510A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- spacer layer
- refractive index
- thickness
- index material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造を容易にし歩留りを向上させたフィルタ
を実現する。 【解決手段】 高屈折率の物質で形成した層と低屈折率
の物質で形成した層とを交互に積層して構成したλ／４
型多層膜、及び、前記λ／４型多層膜に挟み込まれてい
て透過特性を決定するスペーサ層とからなり、フィルタ
を構成する膜の厚さを面方向に異ならせることにより複
数の中心波長をもたせているフィルタにおいて、前記λ
／４型多層膜は膜厚が一定で、前記スペーサ層だけが面
方向に異なる膜厚になっていることを特徴とするフィル
タである。
を実現する。 【解決手段】 高屈折率の物質で形成した層と低屈折率
の物質で形成した層とを交互に積層して構成したλ／４
型多層膜、及び、前記λ／４型多層膜に挟み込まれてい
て透過特性を決定するスペーサ層とからなり、フィルタ
を構成する膜の厚さを面方向に異ならせることにより複
数の中心波長をもたせているフィルタにおいて、前記λ
／４型多層膜は膜厚が一定で、前記スペーサ層だけが面
方向に異なる膜厚になっていることを特徴とするフィル
タである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多層膜で構成され
複数の中心波長をもったフィルタに関するものである。
更に詳しくは、膜の製造を容易にするための改良を施し
たフィルタに関するものである。
複数の中心波長をもったフィルタに関するものである。
更に詳しくは、膜の製造を容易にするための改良を施し
たフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】連続スペクトルから特定のスペクトルを
取り出すために、高屈折率の物質で形成した層と低屈折
率の物質で形成した層とを交互に積層して構成した多層
膜による単色フィルタが用いられる。この単色フィルタ
は狭帯域干渉フィルタという。狭帯域干渉フィルタに
は、λ／４型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多
層膜の順に積層してなるＳＨＷ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｈａｌ
ｆ Ｗａｖｅ Ｓｙｓｔｅｍ）型フィルタや、λ／４型
多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜、ｍλ／
２スペーサ層、λ／４型多層膜の順に積層したようにス
ペーサ層を２個設けたＤＷＨ（Ｄｏｕｂｌｅ Ｈａｌｆ
Ｗａｖｅ Ｓｙｓｔｅｍ）型フィルタがある。ここ
で、ｍ＝１，２，３…で、ｍの値は干渉条件によって決
める。
取り出すために、高屈折率の物質で形成した層と低屈折
率の物質で形成した層とを交互に積層して構成した多層
膜による単色フィルタが用いられる。この単色フィルタ
は狭帯域干渉フィルタという。狭帯域干渉フィルタに
は、λ／４型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多
層膜の順に積層してなるＳＨＷ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｈａｌ
ｆ Ｗａｖｅ Ｓｙｓｔｅｍ）型フィルタや、λ／４型
多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜、ｍλ／
２スペーサ層、λ／４型多層膜の順に積層したようにス
ペーサ層を２個設けたＤＷＨ（Ｄｏｕｂｌｅ Ｈａｌｆ
Ｗａｖｅ Ｓｙｓｔｅｍ）型フィルタがある。ここ
で、ｍ＝１，２，３…で、ｍの値は干渉条件によって決
める。
【０００３】図６はＳＨＷ型フィルタの構成例を示した
図である。図６で、１はフィルタが形成される基板、２
は高屈折率の物質で形成した高屈折率物質層、３は低屈
折率の物質で形成した低屈折率物質層である。高屈折率
物質層２、低屈折率物質層３、高屈折率物質層２を積層
した部分でλ／４型多層膜４をなしている。基板１は透
光性がある基板で、例えば、ガラス、ゲルマニウム、シ
リコン等によって構成される。５は２つのλ／４型多層
膜の間に挟み込まれたスペーサ層である。図６に示すよ
うにλ／４型多層膜４が、高屈折率物質層、低屈折率物
質層、高屈折率物質層の順に積層されている場合は、そ
れと隣合うスペーサ層５は低屈折率の物質で構成され、
低屈折率物質層、高屈折率物質層、低屈折率物質層の順
に積層されている場合は、スペーサ層５は高屈折率の物
質で構成される。λ／４型多層膜４の高屈折率物質層２
と低屈折率物質層３の積層数は、フィルタの透過特性の
設計によって決められる。スペーサ層５は透過特性を決
定する膜となる。
図である。図６で、１はフィルタが形成される基板、２
は高屈折率の物質で形成した高屈折率物質層、３は低屈
折率の物質で形成した低屈折率物質層である。高屈折率
物質層２、低屈折率物質層３、高屈折率物質層２を積層
した部分でλ／４型多層膜４をなしている。基板１は透
光性がある基板で、例えば、ガラス、ゲルマニウム、シ
リコン等によって構成される。５は２つのλ／４型多層
膜の間に挟み込まれたスペーサ層である。図６に示すよ
うにλ／４型多層膜４が、高屈折率物質層、低屈折率物
質層、高屈折率物質層の順に積層されている場合は、そ
れと隣合うスペーサ層５は低屈折率の物質で構成され、
低屈折率物質層、高屈折率物質層、低屈折率物質層の順
に積層されている場合は、スペーサ層５は高屈折率の物
質で構成される。λ／４型多層膜４の高屈折率物質層２
と低屈折率物質層３の積層数は、フィルタの透過特性の
設計によって決められる。スペーサ層５は透過特性を決
定する膜となる。
【０００４】図７は図６のＳＨＷ型フィルタの透過特性
の例を示した図である。従来より、ＳＨＷ型フィルタの
中心波長の変更は、ＳＨＷ型フィルタを構成している全
ての光学膜厚を変えることによって実現していた。中心
波長λと光学膜厚ｎｄの関係は次式で与えられる。 ｎｄ＝λ／４ ｎ：屈折率，ｄ：膜厚
の例を示した図である。従来より、ＳＨＷ型フィルタの
中心波長の変更は、ＳＨＷ型フィルタを構成している全
ての光学膜厚を変えることによって実現していた。中心
波長λと光学膜厚ｎｄの関係は次式で与えられる。 ｎｄ＝λ／４ ｎ：屈折率，ｄ：膜厚
【０００５】図８及び図９は複数の中心波長をもったフ
ィルタの従来における構成例を示した図である。図８及
び図９で図６と同一のものは同一符号を付ける。図８は
３種類の中心波長をもったフィルタ、図９は中心波長が
連続的な値をとるフィルタである。図８では、基板１上
に膜厚の異なる３種類のフィルタを形成している。図９
はフィルタを構成する全ての膜の厚さが基板面方向に異
なる構成になっている。図８のフィルタでは中心波長が
断続的な値をとり、図９のフィルタでは連続的な値をと
る。
ィルタの従来における構成例を示した図である。図８及
び図９で図６と同一のものは同一符号を付ける。図８は
３種類の中心波長をもったフィルタ、図９は中心波長が
連続的な値をとるフィルタである。図８では、基板１上
に膜厚の異なる３種類のフィルタを形成している。図９
はフィルタを構成する全ての膜の厚さが基板面方向に異
なる構成になっている。図８のフィルタでは中心波長が
断続的な値をとり、図９のフィルタでは連続的な値をと
る。
【０００６】従来のフィルタでは、中心波長が異なるフ
ィルタを作るときにフィルタを構成する全ての膜の厚さ
を変えていた。フィルタは、高屈折率物質層、低屈折率
物質層及びスペーサ層の３種類の膜からなる。このた
め、中心波長が異なるフィルタを作るときには、（３種
類）×（中心波長の数）だけ膜厚を変えなければならず
製造が繁雑になる。また、中心波長を長くするときは、
全ての膜の膜厚を厚くするため、総膜厚が大きくなる。
これにより、膜が剥離する確立が高くなり、歩留りが低
下する。さらに、成膜時間が長くなって製造コストが高
くなる。
ィルタを作るときにフィルタを構成する全ての膜の厚さ
を変えていた。フィルタは、高屈折率物質層、低屈折率
物質層及びスペーサ層の３種類の膜からなる。このた
め、中心波長が異なるフィルタを作るときには、（３種
類）×（中心波長の数）だけ膜厚を変えなければならず
製造が繁雑になる。また、中心波長を長くするときは、
全ての膜の膜厚を厚くするため、総膜厚が大きくなる。
これにより、膜が剥離する確立が高くなり、歩留りが低
下する。さらに、成膜時間が長くなって製造コストが高
くなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した問題
点を解決するためになされたものであり、中心波長が異
なるフィルタを作るときにスペーサ層の膜厚だけを変え
ることによって、製造を容易にし歩留りを向上させたフ
ィルタを実現することを目的とする。
点を解決するためになされたものであり、中心波長が異
なるフィルタを作るときにスペーサ層の膜厚だけを変え
ることによって、製造を容易にし歩留りを向上させたフ
ィルタを実現することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、高屈折率の物
質で形成した層と低屈折率の物質で形成した層とを交互
に積層して構成したλ／４型多層膜、及び、前記λ／４
型多層膜に挟み込まれていて透過特性を決定するスペー
サ層とからなり、フィルタを構成する膜の厚さを面方向
に異ならせることにより複数の中心波長をもたせている
フィルタにおいて、前記λ／４型多層膜は膜厚が一定
で、前記スペーサ層だけが面方向に異なる膜厚になって
いることを特徴とするフィルタである。
質で形成した層と低屈折率の物質で形成した層とを交互
に積層して構成したλ／４型多層膜、及び、前記λ／４
型多層膜に挟み込まれていて透過特性を決定するスペー
サ層とからなり、フィルタを構成する膜の厚さを面方向
に異ならせることにより複数の中心波長をもたせている
フィルタにおいて、前記λ／４型多層膜は膜厚が一定
で、前記スペーサ層だけが面方向に異なる膜厚になって
いることを特徴とするフィルタである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明を説明
する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
図１のフィルタでは、高屈折率物質層２と低屈折率物質
層３の膜厚は一定で、スペーサ層５の膜厚だけが基板面
の方向に連続的に変化している。スペーサ層５の膜厚
は、基準となる中心波長λ0を得るための膜厚ｄ0からλ
／４型多層膜４の不透過帯域内の最大中心波長λnを得
るための膜厚ｄnまで連続的に変化している。これによ
って、λ0からλnまで連続的な中心波長が得られる。
する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
図１のフィルタでは、高屈折率物質層２と低屈折率物質
層３の膜厚は一定で、スペーサ層５の膜厚だけが基板面
の方向に連続的に変化している。スペーサ層５の膜厚
は、基準となる中心波長λ0を得るための膜厚ｄ0からλ
／４型多層膜４の不透過帯域内の最大中心波長λnを得
るための膜厚ｄnまで連続的に変化している。これによ
って、λ0からλnまで連続的な中心波長が得られる。
【００１０】図２は本発明の他の実施例を示した構成図
である。図２のフィルタでは、基板１上に３つのフィル
タが形成されている。３つのフィルタは、高屈折率物質
層２と低屈折率物質層３の膜厚は等しいが、スペーサ層
５の膜厚だけが異なる。これによって、断続的に３種類
の中心波長が得られる。
である。図２のフィルタでは、基板１上に３つのフィル
タが形成されている。３つのフィルタは、高屈折率物質
層２と低屈折率物質層３の膜厚は等しいが、スペーサ層
５の膜厚だけが異なる。これによって、断続的に３種類
の中心波長が得られる。
【００１１】フィルタのアレイ化や多波長化の条件によ
って、スペーサ層の膜厚変化を連続的または断続的に変
化する構成を選択する。
って、スペーサ層の膜厚変化を連続的または断続的に変
化する構成を選択する。
【００１２】図１及び図２に示すフィルタの動作を説明
する。図１及び図２に示すフィルタは、７層のＳＨＷ型
狭帯域干渉フィルタである。図１及び図２に示すフィル
タで、波長λを２μｍとした場合、多層膜中にスペーサ
層が存在せずに全てλ／４型多層膜とすると、図３に示
すように波長２μｍを中心とする不透過帯域が存在す
る。ここに特定スペクトルを取り出すために必要なｍλ
／２スペーサ層を入れると、図４に示す透過特性にな
る。すなわち、不透過帯域に透過ピークができる。ｍλ
／２スペーサ層はスペーサ層５である。ｍの値はフィル
タ設計によって決める。スペーサ層の膜厚を変えると透
過ピークの中心波長が変わる。従って、異なる膜厚のス
ペーサ層を設けることによって複数の中心波長をもった
フィルタを構成できる。このとき、フィルタの膜は、λ
／４型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜の
順で積層されている。図５はスペーサ層の膜厚増加率を
基準膜厚ｄ0の０％から４０％まで変化させたときの透
過特性の例を示した図である。スペーサ層の膜厚増加率
を４０％よりも大きくすると、λ／４型多層膜の不透過
帯域外に透過ピークが出てしまい、波長選択性の悪化や
迷光成分の増加が発生するため、膜厚増加率の範囲は限
定される。
する。図１及び図２に示すフィルタは、７層のＳＨＷ型
狭帯域干渉フィルタである。図１及び図２に示すフィル
タで、波長λを２μｍとした場合、多層膜中にスペーサ
層が存在せずに全てλ／４型多層膜とすると、図３に示
すように波長２μｍを中心とする不透過帯域が存在す
る。ここに特定スペクトルを取り出すために必要なｍλ
／２スペーサ層を入れると、図４に示す透過特性にな
る。すなわち、不透過帯域に透過ピークができる。ｍλ
／２スペーサ層はスペーサ層５である。ｍの値はフィル
タ設計によって決める。スペーサ層の膜厚を変えると透
過ピークの中心波長が変わる。従って、異なる膜厚のス
ペーサ層を設けることによって複数の中心波長をもった
フィルタを構成できる。このとき、フィルタの膜は、λ
／４型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜の
順で積層されている。図５はスペーサ層の膜厚増加率を
基準膜厚ｄ0の０％から４０％まで変化させたときの透
過特性の例を示した図である。スペーサ層の膜厚増加率
を４０％よりも大きくすると、λ／４型多層膜の不透過
帯域外に透過ピークが出てしまい、波長選択性の悪化や
迷光成分の増加が発生するため、膜厚増加率の範囲は限
定される。
【００１３】なお、狭帯域干渉フィルタの不要な透過帯
域をカットするため、ショートウェーブパスフィルタ
（ＳＷＰＦ）やロングウェーブパスフィルタ（ＬＷＰ
Ｆ）等が必要であるが、本発明では１組の膜厚が固定さ
れたＳＷＰＦとＬＷＰＦで不要な透過帯域をカットでき
る。
域をカットするため、ショートウェーブパスフィルタ
（ＳＷＰＦ）やロングウェーブパスフィルタ（ＬＷＰ
Ｆ）等が必要であるが、本発明では１組の膜厚が固定さ
れたＳＷＰＦとＬＷＰＦで不要な透過帯域をカットでき
る。
【００１４】また、本発明のフィルタはスペーサ層を２
つ持ったＤＷＨ型フィルタにも適用可能なため、透過率
の幅や透過域から不透過域への傾斜を改善することも可
能である。このとき、フィルタを構成する膜は、λ／４
型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜、ｍλ
／２スペーサ層、λ／４型多層膜の順に積層される。
つ持ったＤＷＨ型フィルタにも適用可能なため、透過率
の幅や透過域から不透過域への傾斜を改善することも可
能である。このとき、フィルタを構成する膜は、λ／４
型多層膜、ｍλ／２スペーサ層、λ／４型多層膜、ｍλ
／２スペーサ層、λ／４型多層膜の順に積層される。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、スペーサ層の膜厚だけ
を変えることによって中心波長が異なるフィルタを作っ
ているため、従来におけるフィルタ製造時の繁雑性を改
良できる。中心波長を長くするとスペーサ層の膜厚が大
きくなるが、フィルタの総膜厚が従来例に比べて小さく
なる。これによって、膜が剥離する確立が低下し、歩留
りを向上することができる。さらに、成膜時間が短縮し
て製造コストを低減できる。
を変えることによって中心波長が異なるフィルタを作っ
ているため、従来におけるフィルタ製造時の繁雑性を改
良できる。中心波長を長くするとスペーサ層の膜厚が大
きくなるが、フィルタの総膜厚が従来例に比べて小さく
なる。これによって、膜が剥離する確立が低下し、歩留
りを向上することができる。さらに、成膜時間が短縮し
て製造コストを低減できる。
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示した構成図である。
【図３】本発明の動作説明図である。
【図４】本発明の動作説明図である。
【図５】本発明の動作説明図である。
【図６】ＳＨＷ型フィルタの構成例を示した図である。
【図７】図６のＳＨＷ型フィルタの透過特性の例を示し
た図である。
た図である。
【図８】複数の中心波長をもったフィルタの従来におけ
る構成例を示した図である。
る構成例を示した図である。
【図９】複数の中心波長をもったフィルタの従来におけ
る構成例を示した図である。
る構成例を示した図である。
１ 基板 ２ 高屈折率物質層 ３ 低屈折率物質層 ４ λ／４型多層膜 ５ スペーサ層
Claims (1)
- 【請求項１】 高屈折率の物質で形成した層と低屈折率
の物質で形成した層とを交互に積層して構成したλ／４
型多層膜、及び、前記λ／４型多層膜に挟み込まれてい
て透過特性を決定するスペーサ層とからなり、フィルタ
を構成する膜の厚さを面方向に異ならせることにより複
数の中心波長をもたせているフィルタにおいて、 前記λ／４型多層膜は膜厚が一定で、前記スペーサ層だ
けが面方向に異なる膜厚になっていることを特徴とする
フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23500996A JPH1078510A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23500996A JPH1078510A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1078510A true JPH1078510A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16979721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23500996A Pending JPH1078510A (ja) | 1996-09-05 | 1996-09-05 | フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1078510A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010092898A1 (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-19 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP2010186147A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP2010186146A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP2010186145A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| WO2011071011A1 (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線式炎検知器 |
| JP2016513240A (ja) * | 2013-01-29 | 2016-05-12 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドＶｉａｖｉ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｉｎｃ． | 可変光学フィルターおよびそれに基づく波長選択型センサー |
| WO2017026358A1 (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | カナレ電気株式会社 | 波長ロックされたビーム結合型半導体レーザ光源 |
| CN110612001A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 因特瓦克公司 | 多色介电涂层及uv喷墨打印 |
| US11187834B2 (en) * | 2018-06-14 | 2021-11-30 | Intevac, Inc. | Multi-colored dielectric coating |
-
1996
- 1996-09-05 JP JP23500996A patent/JPH1078510A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102326104A (zh) * | 2009-02-13 | 2012-01-18 | 松下电工株式会社 | 红外滤光器及红外滤光器的制造方法 |
| JP2010186147A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP2010186146A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP2010186145A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| WO2010092898A1 (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-19 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
| CN102713540A (zh) * | 2009-12-09 | 2012-10-03 | 松下电器产业株式会社 | 红外线式火焰检测器 |
| WO2011071011A1 (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-16 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線式炎検知器 |
| KR101372989B1 (ko) * | 2009-12-09 | 2014-03-12 | 파나소닉 주식회사 | 적외선 불꽃 검출기 |
| JP5838347B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2016-01-06 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 赤外線式炎検知器 |
| JP2016513240A (ja) * | 2013-01-29 | 2016-05-12 | ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドＶｉａｖｉ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｉｎｃ． | 可変光学フィルターおよびそれに基づく波長選択型センサー |
| WO2017026358A1 (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | カナレ電気株式会社 | 波長ロックされたビーム結合型半導体レーザ光源 |
| CN110612001A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 因特瓦克公司 | 多色介电涂层及uv喷墨打印 |
| US11187834B2 (en) * | 2018-06-14 | 2021-11-30 | Intevac, Inc. | Multi-colored dielectric coating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3844886B2 (ja) | 光フィルタの製造方法 | |
| US9229219B2 (en) | Optical filter, optical filter module, spectrometric instrument, and optical instrument | |
| US7019906B2 (en) | Indium-tin oxide thin film filter for dense wavelength division multiplexing | |
| JP2002311235A (ja) | 複合型の光分散補償素子とその素子を用いた光分散補償方法 | |
| JPH1078510A (ja) | フィルタ | |
| US6407863B1 (en) | Dual transmission band interference filter | |
| US7315420B2 (en) | CWDM filter with four channels | |
| JP5475728B2 (ja) | 光フィルター | |
| JPH11202127A (ja) | ダイクロイックミラー | |
| JPS61141402A (ja) | 偏光分離膜 | |
| JP3584257B2 (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| JPH07209516A (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
| JPH04145414A (ja) | 光導波路型波長フィルタ | |
| JP2003121637A (ja) | ファブリペローフィルタ | |
| JP7251099B2 (ja) | バンドパスフィルタ及びその製造方法 | |
| US20080107874A1 (en) | Optical element including dielectric multilayer film and manufacturing method thereof | |
| JP2012108220A (ja) | 光フィルターおよび光機器 | |
| JP3953788B2 (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
| JP2003248116A (ja) | 多層膜フィルタ及びその製造方法並びにその製造装置 | |
| CN113376748B (zh) | 集成硅基布拉格反射器的合分波器件及制备方法 | |
| JP4071996B2 (ja) | 光学薄膜フィルタ | |
| JP2004020653A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ素子およびこれを用いた光部品 | |
| JP2005114812A (ja) | 複合誘電体多層膜フィルタ | |
| JPH11326633A (ja) | 波長選択素子およびこれを使用した光学装置 | |
| JP2003287655A (ja) | 光コネクタ型波長フィルタ |