JP2003287655A - 光コネクタ型波長フィルタ - Google Patents
光コネクタ型波長フィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製品歩留まりの高い光コネクタ型波長フィル
タを提供する。 【解決手段】 屈折率の異なる２つの誘電体層１５４，
１５５を交互に複数回繰り返し積層したミラー層とキャ
ビティ層１５１とを積層した１または複数のフィルタブ
ロックと、１つのミラー層と、該１つのミラー層の上に
積層した所定の厚さの１／２のハーフキャビティ層１５
２とを、端面に順次積層した一対のフェルール１４と、
ハーフキャビティ層１５２を対向して一対のフェルール
１４を結合するための、フェルール１３を内挿するスリ
ーブ１７と、一対のフェルール１４を端面方向に押圧す
る押圧手段１６とを備えた。
タを提供する。 【解決手段】 屈折率の異なる２つの誘電体層１５４，
１５５を交互に複数回繰り返し積層したミラー層とキャ
ビティ層１５１とを積層した１または複数のフィルタブ
ロックと、１つのミラー層と、該１つのミラー層の上に
積層した所定の厚さの１／２のハーフキャビティ層１５
２とを、端面に順次積層した一対のフェルール１４と、
ハーフキャビティ層１５２を対向して一対のフェルール
１４を結合するための、フェルール１３を内挿するスリ
ーブ１７と、一対のフェルール１４を端面方向に押圧す
る押圧手段１６とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光コネクタ型波長
フィルタに関し、より詳細には、一対の光コネクタのフ
ェルール端面に誘電体多層膜を形成し、光コネクタの結
合により波長フィルタとして機能する光コネクタ型波長
フィルタに関する。
フィルタに関し、より詳細には、一対の光コネクタのフ
ェルール端面に誘電体多層膜を形成し、光コネクタの結
合により波長フィルタとして機能する光コネクタ型波長
フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、光伝送システムの高速広帯域化を
図るために、波長分割多重伝送方式（ＷＤＭ：Waveleng
th Division Multiplexing）が導入されている。ＷＤＭ
方式においては、１ｎｍ程度の波長間隔で分割多重を行
うことから、波長選択性のよい狭帯域波長フィルタが必
要とされている。
図るために、波長分割多重伝送方式（ＷＤＭ：Waveleng
th Division Multiplexing）が導入されている。ＷＤＭ
方式においては、１ｎｍ程度の波長間隔で分割多重を行
うことから、波長選択性のよい狭帯域波長フィルタが必
要とされている。
【０００３】このような狭帯域波長フィルタとして、誘
電体多層膜フィルタが知られている。誘電体多層膜フィ
ルタは、厚さが中心波長λの１／４ｎ（ｎは屈折率）の
高屈折率誘電体層と低屈折率誘電体層とを、複数回繰り
返し積層したミラー層と、２つのミラー層に挟まれた厚
さがλ／２ｎのキャビティ層とから構成されている。こ
のような多層膜フィルタを、光コネクタのフェルールに
装着して、光ファイバを伝搬する光信号の波長選択を行
っている。
電体多層膜フィルタが知られている。誘電体多層膜フィ
ルタは、厚さが中心波長λの１／４ｎ（ｎは屈折率）の
高屈折率誘電体層と低屈折率誘電体層とを、複数回繰り
返し積層したミラー層と、２つのミラー層に挟まれた厚
さがλ／２ｎのキャビティ層とから構成されている。こ
のような多層膜フィルタを、光コネクタのフェルールに
装着して、光ファイバを伝搬する光信号の波長選択を行
っている。
【０００４】例えば、特開２０００−９９４０号公報に
記載されたフィルタ付き光コネクタフェルールは、予め
凹部を設けたフェルールホールドに、光ファイバを貫
通、接着した後、光ファイバを含めて溝を形成して、こ
の溝に多層膜光フィルタを挿入している。このようなフ
ィルタ作製方法は、高い溝加工精度が要求され、製作工
程が複雑であり、生産性が低かった。
記載されたフィルタ付き光コネクタフェルールは、予め
凹部を設けたフェルールホールドに、光ファイバを貫
通、接着した後、光ファイバを含めて溝を形成して、こ
の溝に多層膜光フィルタを挿入している。このようなフ
ィルタ作製方法は、高い溝加工精度が要求され、製作工
程が複雑であり、生産性が低かった。
【０００５】例えば、特開２０００−１８０６３０号公
報には、光コネクタフェルールの先端面に接着剤を介し
て光学フィルタを接着する光コネクタの製造方法が記載
されている。光学フィルタは、基板上に誘電体多層膜を
成膜して作製する。この製造方法においては、他の光コ
ネクタと接続を行う際の接続損失を低減するために、光
学フィルタの薄片化と接着剤の厚みを薄くすることが重
要な課題として残っていた。
報には、光コネクタフェルールの先端面に接着剤を介し
て光学フィルタを接着する光コネクタの製造方法が記載
されている。光学フィルタは、基板上に誘電体多層膜を
成膜して作製する。この製造方法においては、他の光コ
ネクタと接続を行う際の接続損失を低減するために、光
学フィルタの薄片化と接着剤の厚みを薄くすることが重
要な課題として残っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した課題を解決す
るために、例えば、特開２０００−２６６９３９号公報
には、光コネクタのフェルールの先端面に、直接誘電体
多層膜を成膜する方法が記載されている。この方法は、
光学フィルタを作製するための基板を必要としないこと
から、接続損失の低減を図ることができる。しかしなが
ら、フェルールの先端面への成膜精度が、光学フィルタ
の特性に大きく影響し、製品の歩留まりが悪いという問
題があった。
るために、例えば、特開２０００−２６６９３９号公報
には、光コネクタのフェルールの先端面に、直接誘電体
多層膜を成膜する方法が記載されている。この方法は、
光学フィルタを作製するための基板を必要としないこと
から、接続損失の低減を図ることができる。しかしなが
ら、フェルールの先端面への成膜精度が、光学フィルタ
の特性に大きく影響し、製品の歩留まりが悪いという問
題があった。
【０００７】図１は、従来のフィルタ付き光コネクタを
示す構成図である。図１（ａ）に、光コネクタの全体構
成を示す。光コネクタ１に固定された光ファイバ２のフ
ァイバ心線３は、フェルール４に固定されている。フェ
ルール４の先端面には、誘電体多層膜を成膜した光学フ
ィルタ５が形成されている。図１（ｂ）に、フェルール
４の先端面の拡大図を示す。フェルール４の先端面に形
成された光学フィルタ５は、３つのキャビティ層５１〜
５３を有するマルチキャビティ型波長フィルタである。
光学フィルタ５は、厚さがλ／４ｎの高屈折率誘電体層
５４と低屈折率誘電体層５５とを、複数回繰り返し積層
したミラー層と、厚さがλ／２ｎのキャビティ層とを、
交互に成膜して作製する。
示す構成図である。図１（ａ）に、光コネクタの全体構
成を示す。光コネクタ１に固定された光ファイバ２のフ
ァイバ心線３は、フェルール４に固定されている。フェ
ルール４の先端面には、誘電体多層膜を成膜した光学フ
ィルタ５が形成されている。図１（ｂ）に、フェルール
４の先端面の拡大図を示す。フェルール４の先端面に形
成された光学フィルタ５は、３つのキャビティ層５１〜
５３を有するマルチキャビティ型波長フィルタである。
光学フィルタ５は、厚さがλ／４ｎの高屈折率誘電体層
５４と低屈折率誘電体層５５とを、複数回繰り返し積層
したミラー層と、厚さがλ／２ｎのキャビティ層とを、
交互に成膜して作製する。
【０００８】図２に、従来のフィルタ付き光コネクタの
透過率特性を示す。図２（ａ）に、誘電体層の膜厚に誤
差が無い場合の光学フィルタ５の透過率特性を示す。膜
厚に誤差が無い場合には、光学フィルタ５の設計上の透
過中心波長１５５０ｎｍに対して±０．３５ｎｍの波長
域で、良好な透過率特性を有している。図２（ｂ）に
は、キャビティ層５１とキャビティ層５３との厚みが、
０．０１％の誤差を有する場合の光学フィルタ５の透過
率特性を示す。１５５０±０．３５ｎｍの波長域で、透
過率−０．３ｄＢ以下の透過率を示しており、透過率特
性も非対称である。図２（ｂ）では、ＷＤＭ方式におい
て、２００ＧＨｚ帯域のバンドパスフィルタに要求され
る条件を満たすことができない。
透過率特性を示す。図２（ａ）に、誘電体層の膜厚に誤
差が無い場合の光学フィルタ５の透過率特性を示す。膜
厚に誤差が無い場合には、光学フィルタ５の設計上の透
過中心波長１５５０ｎｍに対して±０．３５ｎｍの波長
域で、良好な透過率特性を有している。図２（ｂ）に
は、キャビティ層５１とキャビティ層５３との厚みが、
０．０１％の誤差を有する場合の光学フィルタ５の透過
率特性を示す。１５５０±０．３５ｎｍの波長域で、透
過率−０．３ｄＢ以下の透過率を示しており、透過率特
性も非対称である。図２（ｂ）では、ＷＤＭ方式におい
て、２００ＧＨｚ帯域のバンドパスフィルタに要求され
る条件を満たすことができない。
【０００９】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、フェルール端面に
高精度な成膜を行うことにより、製品歩留まりの高い光
コネクタ型波長フィルタを提供することにある。
たもので、その目的とするところは、フェルール端面に
高精度な成膜を行うことにより、製品歩留まりの高い光
コネクタ型波長フィルタを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、屈折率
の異なる２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層し
たミラー層と、該ミラー層の上に積層した所定の厚さの
１／２のハーフキャビティ層とを、端面に積層した一対
のフェルールと、前記ハーフキャビティ層を対向して前
記一対のフェルールを結合するための、前記フェルール
を内挿するスリーブと、前記一対のフェルールを前記端
面方向に押圧する押圧手段とを備えたことを特徴とす
る。
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、屈折率
の異なる２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層し
たミラー層と、該ミラー層の上に積層した所定の厚さの
１／２のハーフキャビティ層とを、端面に積層した一対
のフェルールと、前記ハーフキャビティ層を対向して前
記一対のフェルールを結合するための、前記フェルール
を内挿するスリーブと、前記一対のフェルールを前記端
面方向に押圧する押圧手段とを備えたことを特徴とす
る。
【００１１】請求項２に記載の発明は、屈折率の異なる
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層とキャビティ層とを積層した１または複数のフィルタ
ブロックと、１つのミラー層と、該１つのミラー層の上
に積層した所定の厚さの１／２のハーフキャビティ層と
を、端面に順次積層した一対のフェルールと、前記ハー
フキャビティ層を対向して前記一対のフェルールを結合
するための、前記フェルールを内挿するスリーブと、前
記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手段
とを備えたことを特徴とする。
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層とキャビティ層とを積層した１または複数のフィルタ
ブロックと、１つのミラー層と、該１つのミラー層の上
に積層した所定の厚さの１／２のハーフキャビティ層と
を、端面に順次積層した一対のフェルールと、前記ハー
フキャビティ層を対向して前記一対のフェルールを結合
するための、前記フェルールを内挿するスリーブと、前
記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手段
とを備えたことを特徴とする。
【００１２】請求項３に記載の発明は、屈折率の異なる
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層を、端面に積層した一対のフェルールと、前記ミラー
層を対向して前記一対のフェルールを結合するための、
前記フェルールを内挿するスリーブと、対向した前記ミ
ラー層によりキャビティ層となるギャップを設けるため
のスペーサと、前記一対のフェルールを前記端面方向に
押圧する押圧手段とを備えたことを特徴とする。
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層を、端面に積層した一対のフェルールと、前記ミラー
層を対向して前記一対のフェルールを結合するための、
前記フェルールを内挿するスリーブと、対向した前記ミ
ラー層によりキャビティ層となるギャップを設けるため
のスペーサと、前記一対のフェルールを前記端面方向に
押圧する押圧手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】請求項４に記載の発明は、屈折率の異なる
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層とキャビティ層とを積層した１または複数のフィルタ
ブロックと、１つのミラー層とを、端面に順次積層した
一対のフェルールと、前記１つのミラー層を対向して前
記一対のフェルールを結合するための、前記フェルール
を内挿するスリーブと、対向した前記１つのミラー層に
よりキャビティ層となるギャップを設けるためのスペー
サと、前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する
押圧手段とを備えたことを特徴とする。
２つの誘電体層を交互に複数回繰り返し積層したミラー
層とキャビティ層とを積層した１または複数のフィルタ
ブロックと、１つのミラー層とを、端面に順次積層した
一対のフェルールと、前記１つのミラー層を対向して前
記一対のフェルールを結合するための、前記フェルール
を内挿するスリーブと、対向した前記１つのミラー層に
よりキャビティ層となるギャップを設けるためのスペー
サと、前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する
押圧手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項３または
４に記載の前記スペーサは、前記一対の光コネクタに接
続された圧電アクチュエータであることを特徴とする。
４に記載の前記スペーサは、前記一対の光コネクタに接
続された圧電アクチュエータであることを特徴とする。
【００１５】請求項６に記載の発明は、請求項３または
４に記載の前記スペーサは、前記一対の光コネクタに接
続された弾性部材であることを特徴とする。
４に記載の前記スペーサは、前記一対の光コネクタに接
続された弾性部材であることを特徴とする。
【００１６】請求項７に記載の発明は、請求項３ないし
６のいずれかに記載の前記ギャップに、屈折率整合材を
充填したことを特徴とする。
６のいずれかに記載の前記ギャップに、屈折率整合材を
充填したことを特徴とする。
【００１７】請求項８に記載の発明は、請求項１ないし
７のいずれかに記載の光コネクタ型波長フィルタにおい
て、前記一対の光コネクタの前記フェルールに、前記ミ
ラー層と前記キャビティ層と前記ハーフキャビティ層と
を、成膜装置内で同時に形成したことを特徴とする。
７のいずれかに記載の光コネクタ型波長フィルタにおい
て、前記一対の光コネクタの前記フェルールに、前記ミ
ラー層と前記キャビティ層と前記ハーフキャビティ層と
を、成膜装置内で同時に形成したことを特徴とする。
【００１８】請求項９に記載の発明は、請求項１ないし
８のいずれかに記載の前記誘電体層は、ＳｉＯｘＮｙで
あることを特徴とする。
８のいずれかに記載の前記誘電体層は、ＳｉＯｘＮｙで
あることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態について詳細に説明する。図３に、本発明の
第１の実施形態にかかる光コネクタ型波長フィルタのフ
ェルールの先端面を示す。本実施形態は、図１に示した
光学フィルタと同様に、３つのキャビティ層を有するマ
ルチキャビティ型波長フィルタを例に説明する。なお、
各ミラー層は、Ｔａ２Ｏ５を使用した高屈折率誘電体層
５層と、ＳｉＯ２を使用した低屈折率誘電体層４層とを
積層する。
の実施形態について詳細に説明する。図３に、本発明の
第１の実施形態にかかる光コネクタ型波長フィルタのフ
ェルールの先端面を示す。本実施形態は、図１に示した
光学フィルタと同様に、３つのキャビティ層を有するマ
ルチキャビティ型波長フィルタを例に説明する。なお、
各ミラー層は、Ｔａ２Ｏ５を使用した高屈折率誘電体層
５層と、ＳｉＯ２を使用した低屈折率誘電体層４層とを
積層する。
【００２０】波長フィルタ１５ａ，１５ｂは、最初にフ
ェルール１４ａ，１４ｂの先端面に、高屈折率誘電体層
１５４ａ，１５４ｂと低屈折率誘電体層１５５ａ，１５
５ｂとを繰り返し積層したミラー層を形成する。次に、
第１及び第３のキャビティ層となるキャビティ層１５１
ａ，１５１ｂを積層し、その上にミラー層を形成する。
さらに、第２のキャビティ層となるキャビティ層１５２
ａ，１５２ｂを積層する。キャビティ層１５２ａ，１５
２ｂの厚さは、各々λ／４ｎの厚さとなるように成膜す
る。すなわち、キャビティ層１５２ａとキャビティ層１
５２ｂとが対向接触したときに、第２のキャビティ層と
して所望の厚さλ／２ｎとなるように、各々半分の厚さ
のキャビティ層を成膜する。
ェルール１４ａ，１４ｂの先端面に、高屈折率誘電体層
１５４ａ，１５４ｂと低屈折率誘電体層１５５ａ，１５
５ｂとを繰り返し積層したミラー層を形成する。次に、
第１及び第３のキャビティ層となるキャビティ層１５１
ａ，１５１ｂを積層し、その上にミラー層を形成する。
さらに、第２のキャビティ層となるキャビティ層１５２
ａ，１５２ｂを積層する。キャビティ層１５２ａ，１５
２ｂの厚さは、各々λ／４ｎの厚さとなるように成膜す
る。すなわち、キャビティ層１５２ａとキャビティ層１
５２ｂとが対向接触したときに、第２のキャビティ層と
して所望の厚さλ／２ｎとなるように、各々半分の厚さ
のキャビティ層を成膜する。
【００２１】同一の成膜装置内で、同時にフェルール１
４ａ，１４ｂの先端面に成膜することにより、対向接触
面に対して、鏡面対称の波長フィルタを作製することが
できる。多層膜であるミラー層の厚みのばらつきが少な
く、特に、第１及び第３のキャビティ層となるキャビテ
ィ層１５１ａ，１５１ｂの厚さを、原理的に等しくでき
るので、波長フィルタの製品歩留まりを向上することが
できる。
４ａ，１４ｂの先端面に成膜することにより、対向接触
面に対して、鏡面対称の波長フィルタを作製することが
できる。多層膜であるミラー層の厚みのばらつきが少な
く、特に、第１及び第３のキャビティ層となるキャビテ
ィ層１５１ａ，１５１ｂの厚さを、原理的に等しくでき
るので、波長フィルタの製品歩留まりを向上することが
できる。
【００２２】図４は、本発明の第１の実施形態にかかる
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ１１ａ，１１ｂに固定された光ファイバ１２
ａ，１２ｂのファイバ心線１３ａ，１３ｂは、フェルー
ル１４ａ，１４ｂに固定されている。フェルール１４
ａ，１４ｂの先端面には、誘電体多層膜を成膜した波長
フィルタ１５ａ，１５ｂが形成されている。
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ１１ａ，１１ｂに固定された光ファイバ１２
ａ，１２ｂのファイバ心線１３ａ，１３ｂは、フェルー
ル１４ａ，１４ｂに固定されている。フェルール１４
ａ，１４ｂの先端面には、誘電体多層膜を成膜した波長
フィルタ１５ａ，１５ｂが形成されている。
【００２３】このような構成により、フェルール１４
ａ，１４ｂを精密スリーブ１７に挿入して、光コネクタ
１１ａ，１１ｂを結合する。光コネクタ１１ａ，１１ｂ
をコイルばね１６ａ，１６ｂにより押圧して、波長フィ
ルタ１５ａ，１５ｂを、対向接触面で結合する。このよ
うにして、３つのキャビティ層を有するマルチキャビテ
ィ型波長フィルタを構成する。なお、コイルばね１６
ａ，１６ｂに代えて、波長フィルタ１５ａ，１５ｂを、
対向する接触面の方向に押圧することができる手段を用
いることができる。
ａ，１４ｂを精密スリーブ１７に挿入して、光コネクタ
１１ａ，１１ｂを結合する。光コネクタ１１ａ，１１ｂ
をコイルばね１６ａ，１６ｂにより押圧して、波長フィ
ルタ１５ａ，１５ｂを、対向接触面で結合する。このよ
うにして、３つのキャビティ層を有するマルチキャビテ
ィ型波長フィルタを構成する。なお、コイルばね１６
ａ，１６ｂに代えて、波長フィルタ１５ａ，１５ｂを、
対向する接触面の方向に押圧することができる手段を用
いることができる。
【００２４】図５に、本発明の第２の実施形態にかかる
光コネクタ型波長フィルタのフェルールの先端面を示
す。第２の実施形態は、図１に示した光学フィルタと同
様に、３つのキャビティ層を有するマルチキャビティ型
波長フィルタを例に説明する。なお、各ミラー層は、Ｔ
ａ２Ｏ５を使用した高屈折率誘電体層５層と、ＳｉＯ２
を使用した低屈折率誘電体層４層とを積層する。第２の
キャビティ層は空気層で構成する。
光コネクタ型波長フィルタのフェルールの先端面を示
す。第２の実施形態は、図１に示した光学フィルタと同
様に、３つのキャビティ層を有するマルチキャビティ型
波長フィルタを例に説明する。なお、各ミラー層は、Ｔ
ａ２Ｏ５を使用した高屈折率誘電体層５層と、ＳｉＯ２
を使用した低屈折率誘電体層４層とを積層する。第２の
キャビティ層は空気層で構成する。
【００２５】波長フィルタ１９ａ，１９ｂは、最初にフ
ェルール１４ａ，１４ｂの先端面に、高屈折率誘電体層
１５４ａ，１５４ｂと低屈折率誘電体層１５５ａ，１５
５ｂとを繰り返し積層したミラー層を形成する。次に、
第１及び第３のキャビティ層となるキャビティ層１５１
ａ，１５１ｂを積層し、その上にミラー層を形成する。
第２のキャビティ層は、フェルール１４ａ，１４ｂを精
密スリーブ１７に挿入したときに生ずるギャップ１５６
で構成する。
ェルール１４ａ，１４ｂの先端面に、高屈折率誘電体層
１５４ａ，１５４ｂと低屈折率誘電体層１５５ａ，１５
５ｂとを繰り返し積層したミラー層を形成する。次に、
第１及び第３のキャビティ層となるキャビティ層１５１
ａ，１５１ｂを積層し、その上にミラー層を形成する。
第２のキャビティ層は、フェルール１４ａ，１４ｂを精
密スリーブ１７に挿入したときに生ずるギャップ１５６
で構成する。
【００２６】このようにして、同一の成膜装置内で、同
時にフェルール１４ａ，１４ｂの先端面に成膜すること
により、対向接触面に対して、鏡面対称の波長フィルタ
を作製することができる。多層膜であるミラー層の厚み
のばらつきが少なく、特に、第１及び第３のキャビティ
層となるキャビティ層１５１ａ，１５１ｂの厚さを、原
理的に等しくできるので、波長フィルタの製品歩留まり
を向上することができる。
時にフェルール１４ａ，１４ｂの先端面に成膜すること
により、対向接触面に対して、鏡面対称の波長フィルタ
を作製することができる。多層膜であるミラー層の厚み
のばらつきが少なく、特に、第１及び第３のキャビティ
層となるキャビティ層１５１ａ，１５１ｂの厚さを、原
理的に等しくできるので、波長フィルタの製品歩留まり
を向上することができる。
【００２７】図６は、本発明の第２の実施形態にかかる
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ１１ａ，１１ｂに固定された光ファイバ１２
ａ，１２ｂのファイバ心線１３ａ，１３ｂは、フェルー
ル１４ａ，１４ｂに固定されている。フェルール１４
ａ，１４ｂの先端面には、誘電体多層膜を成膜した波長
フィルタ１９ａ，１９ｂが形成されている。
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ１１ａ，１１ｂに固定された光ファイバ１２
ａ，１２ｂのファイバ心線１３ａ，１３ｂは、フェルー
ル１４ａ，１４ｂに固定されている。フェルール１４
ａ，１４ｂの先端面には、誘電体多層膜を成膜した波長
フィルタ１９ａ，１９ｂが形成されている。
【００２８】このような構成により、フェルール１４
ａ，１４ｂを精密スリーブ１７に挿入して、光コネクタ
１１ａ，１１ｂを、圧電アクチュエータ１８を介して結
合する。光コネクタ１１ａ，１１ｂをコイルばね１６
ａ，１６ｂにより押圧し、圧電アクチュエータ１８によ
り、ギャップ１５６の間隔を調整しながら、波長フィル
タ１９ａ，１９ｂを対向させる。このようにして、３つ
のキャビティ層を有するマルチキャビティ型波長フィル
タを構成する。
ａ，１４ｂを精密スリーブ１７に挿入して、光コネクタ
１１ａ，１１ｂを、圧電アクチュエータ１８を介して結
合する。光コネクタ１１ａ，１１ｂをコイルばね１６
ａ，１６ｂにより押圧し、圧電アクチュエータ１８によ
り、ギャップ１５６の間隔を調整しながら、波長フィル
タ１９ａ，１９ｂを対向させる。このようにして、３つ
のキャビティ層を有するマルチキャビティ型波長フィル
タを構成する。
【００２９】波長フィルタ１９ａ，１９ｂの成膜工程に
おいて、膜厚のばらつきが生じた場合でも、第２のキャ
ビティ層であるギャップ１５６の間隔を調整することに
よって、透過中心波長を所望の波長に設定することがで
きる。なお、ギャップ１５６の間隔を調整するためスペ
ーサとして、圧電アクチュエータ１８を用いたが、これ
に限定されない。例えば、弾性部材を介して光コネクタ
１１ａ，１１ｂを結合し、コイルばね１６ａ，１６ｂの
押圧力により、ギャップ１５６の間隔を調整してもよ
い。
おいて、膜厚のばらつきが生じた場合でも、第２のキャ
ビティ層であるギャップ１５６の間隔を調整することに
よって、透過中心波長を所望の波長に設定することがで
きる。なお、ギャップ１５６の間隔を調整するためスペ
ーサとして、圧電アクチュエータ１８を用いたが、これ
に限定されない。例えば、弾性部材を介して光コネクタ
１１ａ，１１ｂを結合し、コイルばね１６ａ，１６ｂの
押圧力により、ギャップ１５６の間隔を調整してもよ
い。
【００３０】図７に、本発明の第３の実施形態にかかる
光コネクタ型波長フィルタのフェルールの先端面を示
す。第３の実施形態は、図１に示した光学フィルタと同
様に、３つのキャビティ層を有するマルチキャビティ型
波長フィルタを例に説明する。第２のキャビティ層は屈
折率整合材１５７で構成する点で、第２の実施形態と異
なる。
光コネクタ型波長フィルタのフェルールの先端面を示
す。第３の実施形態は、図１に示した光学フィルタと同
様に、３つのキャビティ層を有するマルチキャビティ型
波長フィルタを例に説明する。第２のキャビティ層は屈
折率整合材１５７で構成する点で、第２の実施形態と異
なる。
【００３１】図８は、本発明の第３の実施形態にかかる
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ型波長フィルタの構成は、第２の実施形態と同
じであり、フェルール１４ａ，１４ｂを精密スリーブ１
７に挿入して、光コネクタ１１ａ，１１ｂを、圧電アク
チュエータ１８を介して結合する。光コネクタ１１ａ，
１１ｂをコイルばね１６ａ，１６ｂにより押圧し、圧電
アクチュエータ１８により、屈折率整合材１５７の厚さ
を調整しながら、波長フィルタ１９ａ，１９ｂを対向さ
せる。
光コネクタ型波長フィルタを示す全体構成図である。光
コネクタ型波長フィルタの構成は、第２の実施形態と同
じであり、フェルール１４ａ，１４ｂを精密スリーブ１
７に挿入して、光コネクタ１１ａ，１１ｂを、圧電アク
チュエータ１８を介して結合する。光コネクタ１１ａ，
１１ｂをコイルばね１６ａ，１６ｂにより押圧し、圧電
アクチュエータ１８により、屈折率整合材１５７の厚さ
を調整しながら、波長フィルタ１９ａ，１９ｂを対向さ
せる。
【００３２】波長フィルタ１９ａ，１９ｂの成膜工程に
おいて、膜厚のばらつきが生じた場合でも、第２のキャ
ビティ層である屈折率整合材１５７の間隔を調整するこ
とによって、透過中心波長を所望の波長に設定すること
ができる。
おいて、膜厚のばらつきが生じた場合でも、第２のキャ
ビティ層である屈折率整合材１５７の間隔を調整するこ
とによって、透過中心波長を所望の波長に設定すること
ができる。
【００３３】次に、誘電体多層膜の材料について説明す
る。誘電体多層膜を用いて波長フィルタを作製する場合
に、設計式に従って多層膜の膜厚と屈折率とを適正に選
択する必要がある。このうち、膜厚は、成膜時間により
制御することができるが、屈折率は物質固有の定数であ
るために、設計値にできる限り近い屈折率を有する材料
を選択することによっていた。
る。誘電体多層膜を用いて波長フィルタを作製する場合
に、設計式に従って多層膜の膜厚と屈折率とを適正に選
択する必要がある。このうち、膜厚は、成膜時間により
制御することができるが、屈折率は物質固有の定数であ
るために、設計値にできる限り近い屈折率を有する材料
を選択することによっていた。
【００３４】そこで、多層膜材料としてＳｉＯｘＮｙを
用いると、例えば、ＥＣＲプラズマ成膜装置において、
成膜時の炉内ガス条件によって、屈折率を制御すること
ができる。図９に、ＥＣＲプラズマ成膜装置における炉
内ガス条件と屈折率の関係を示す。炉内ガス条件を変え
ることにより、屈折率を１．４７〜１．９３の範囲で制
御することができる。従って、設計値に等しい屈折率の
多層膜を形成することができるので、従来の材料を用い
た場合に比較して、多層膜の層数を削減することができ
る。さらに、多層膜の層数を削減することにより、波長
フィルタの製造工数を削減することができ、歩留まりを
向上することができる。
用いると、例えば、ＥＣＲプラズマ成膜装置において、
成膜時の炉内ガス条件によって、屈折率を制御すること
ができる。図９に、ＥＣＲプラズマ成膜装置における炉
内ガス条件と屈折率の関係を示す。炉内ガス条件を変え
ることにより、屈折率を１．４７〜１．９３の範囲で制
御することができる。従って、設計値に等しい屈折率の
多層膜を形成することができるので、従来の材料を用い
た場合に比較して、多層膜の層数を削減することができ
る。さらに、多層膜の層数を削減することにより、波長
フィルタの製造工数を削減することができ、歩留まりを
向上することができる。
【００３５】なお、本実施形態においては、単一光ファ
イバのコネクタについて説明したが、複数ファイバを同
時に接続する多芯光コネクタ、ファイバアレイにも適用
することができる。
イバのコネクタについて説明したが、複数ファイバを同
時に接続する多芯光コネクタ、ファイバアレイにも適用
することができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ミラー層と、ミラー層の上に積層した所定の厚さの１／
２のハーフキャビティ層とを、端面に積層した一対のフ
ェルールと、ハーフキャビティ層を対向して一対のフェ
ルールを結合するための、フェルールを内挿するスリー
ブと、一対のフェルールを端面方向に押圧する押圧手段
とを備えたので、対向接触面に対して、鏡面対称の波長
フィルタを作製することができ、多層膜であるミラー層
の厚みのばらつきが少なく、波長フィルタの製品歩留ま
りを向上することが可能となる。
ミラー層と、ミラー層の上に積層した所定の厚さの１／
２のハーフキャビティ層とを、端面に積層した一対のフ
ェルールと、ハーフキャビティ層を対向して一対のフェ
ルールを結合するための、フェルールを内挿するスリー
ブと、一対のフェルールを端面方向に押圧する押圧手段
とを備えたので、対向接触面に対して、鏡面対称の波長
フィルタを作製することができ、多層膜であるミラー層
の厚みのばらつきが少なく、波長フィルタの製品歩留ま
りを向上することが可能となる。
【００３７】また、本発明によれば、ミラー層をフェル
ールの端面に積層した一対のフェルールと、ミラー層を
対向して一対のフェルールを結合するための、フェルー
ルを内挿するスリーブと、対向したミラー層によりキャ
ビティ層となるギャップを設けるためのスペーサと、一
対のフェルールを端面方向に押圧する押圧手段とを備え
たので、成膜工程において膜厚のばらつきが生じた場合
でも、キャビティ層の間隔を調整することによって、透
過中心波長を所望の波長に設定することが可能となる。
ールの端面に積層した一対のフェルールと、ミラー層を
対向して一対のフェルールを結合するための、フェルー
ルを内挿するスリーブと、対向したミラー層によりキャ
ビティ層となるギャップを設けるためのスペーサと、一
対のフェルールを端面方向に押圧する押圧手段とを備え
たので、成膜工程において膜厚のばらつきが生じた場合
でも、キャビティ層の間隔を調整することによって、透
過中心波長を所望の波長に設定することが可能となる。
【図１】従来のフィルタ付き光コネクタを示す構成図で
ある。
ある。
【図２】従来のフィルタ付き光コネクタの透過率特性を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
【図４】本発明の第１の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタを示す全体構成図である。
波長フィルタを示す全体構成図である。
【図５】本発明の第２の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
【図６】本発明の第２の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタを示す全体構成図である。
波長フィルタを示す全体構成図である。
【図７】本発明の第３の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
波長フィルタのフェルールの先端面を示す拡大図であ
る。
【図８】本発明の第３の実施形態にかかる光コネクタ型
波長フィルタを示す全体構成図である。
波長フィルタを示す全体構成図である。
【図９】ＥＣＲプラズマ成膜装置における炉内ガス条件
と屈折率の関係を示す図である。
と屈折率の関係を示す図である。
１，１１ａ，１１ｂ 光コネクタ
２，１２ａ，１２ｂ 光ファイバ
３，１３ａ，１３ｂ ファイバ心線
４，１４ａ，１４ｂ フェルール
５ 光学フィルタ
１５ａ，１５ｂ，１９ａ，１９ｂ 波長フィルタ
１６ａ，１６ｂ コイルばね
１７ 精密スリーブ
１８ 圧電アクチュエータ
５１〜５３，１５１ａ，１５１ｂ，１５２ａ，１５２ｂ
キャビティ層 ５４，１５４ａ，１５４ｂ 高屈折率誘電体層 ５５，１５５ａ，１５５ｂ 低屈折率誘電体層 １５６ ギャップ １５７ 屈折率整合層
キャビティ層 ５４，１５４ａ，１５４ｂ 高屈折率誘電体層 ５５，１５５ａ，１５５ｂ 低屈折率誘電体層 １５６ ギャップ １５７ 屈折率整合層
フロントページの続き
(72)発明者 田中 富三男
東京都三鷹市下連雀４丁目16番30号 エ
ヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社内
(72)発明者 松尾 誠太郎
東京都三鷹市下連雀４丁目16番30号 エ
ヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社内
(72)発明者 廣野 滋
東京都三鷹市下連雀４丁目16番30号 エ
ヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社内
Ｆターム(参考） 2H036 QA22 QA43 QA44
2H038 AA21 BA23
2H048 GA04 GA13 GA23 GA24 GA26
GA43 GA56 GA62
Claims (9)
- 【請求項１】 屈折率の異なる２つの誘電体層を交互に
複数回繰り返し積層したミラー層と、該ミラー層の上に
積層した所定の厚さの１／２のハーフキャビティ層と
を、端面に積層した一対のフェルールと、 前記ハーフキャビティ層を対向して前記一対のフェルー
ルを結合するための、前記フェルールを内挿するスリー
ブと、 前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手
段とを備えたことを特徴とする光コネクタ型波長フィル
タ。 - 【請求項２】 屈折率の異なる２つの誘電体層を交互に
複数回繰り返し積層したミラー層とキャビティ層とを積
層した１または複数のフィルタブロックと、１つのミラ
ー層と、該１つのミラー層の上に積層した所定の厚さの
１／２のハーフキャビティ層とを、端面に順次積層した
一対のフェルールと、 前記ハーフキャビティ層を対向して前記一対のフェルー
ルを結合するための、前記フェルールを内挿するスリー
ブと、 前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手
段とを備えたことを特徴とする光コネクタ型波長フィル
タ。 - 【請求項３】 屈折率の異なる２つの誘電体層を交互に
複数回繰り返し積層したミラー層を、端面に積層した一
対のフェルールと、 前記ミラー層を対向して前記一対のフェルールを結合す
るための、前記フェルールを内挿するスリーブと、 対向した前記ミラー層によりキャビティ層となるギャッ
プを設けるためのスペーサと、 前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手
段とを備えたことを特徴とする光コネクタ型波長フィル
タ。 - 【請求項４】 屈折率の異なる２つの誘電体層を交互に
複数回繰り返し積層したミラー層とキャビティ層とを積
層した１または複数のフィルタブロックと、１つのミラ
ー層とを、端面に順次積層した一対のフェルールと、 前記１つのミラー層を対向して前記一対のフェルールを
結合するための、前記フェルールを内挿するスリーブ
と、 対向した前記１つのミラー層によりキャビティ層となる
ギャップを設けるためのスペーサと、 前記一対のフェルールを前記端面方向に押圧する押圧手
段とを備えたことを特徴とする光コネクタ型波長フィル
タ。 - 【請求項５】 前記スペーサは、前記一対の光コネクタ
に接続された圧電アクチュエータであることを特徴とす
る請求項３または４に記載の光コネクタ型波長フィル
タ。 - 【請求項６】 前記スペーサは、前記一対の光コネクタ
に接続された弾性部材であることを特徴とする請求項３
または４に記載の光コネクタ型波長フィルタ。 - 【請求項７】 前記ギャップに、屈折率整合材を充填し
たことを特徴とする請求項３ないし６のいずれかに記載
の光コネクタ型波長フィルタ。 - 【請求項８】 前記一対の光コネクタの前記フェルール
に、前記ミラー層と前記キャビティ層と前記ハーフキャ
ビティ層とを、成膜装置内で同時に形成したことを特徴
とする請求項１ないし７のいずれかに記載の光コネクタ
型波長フィルタ。 - 【請求項９】 前記誘電体層は、ＳｉＯｘＮｙであるこ
とを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の光
コネクタ型波長フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089389A JP2003287655A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 光コネクタ型波長フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002089389A JP2003287655A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 光コネクタ型波長フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003287655A true JP2003287655A (ja) | 2003-10-10 |
Family
ID=29234977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002089389A Pending JP2003287655A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 光コネクタ型波長フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003287655A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007293228A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-11-08 | Fujifilm Corp | 光デバイス、光学部材及びライトガイド |
| JP2008158258A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光干渉フィルタ及びその作製方法 |
| CN102841411A (zh) * | 2012-09-05 | 2012-12-26 | 武汉隽龙科技有限公司 | 具有光滤波功能的sc型光纤连接器及其制造工艺 |
| JP5911648B2 (ja) * | 2014-02-17 | 2016-04-27 | オリンパス株式会社 | 光ファイバコネクタ装置及び内視鏡システム |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002089389A patent/JP2003287655A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007293228A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-11-08 | Fujifilm Corp | 光デバイス、光学部材及びライトガイド |
| KR101258160B1 (ko) * | 2005-11-02 | 2013-04-25 | 후지필름 가부시키가이샤 | 보호 매체를 통해 광학 부재와 접속되는 광 디바이스 |
| JP2008158258A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光干渉フィルタ及びその作製方法 |
| CN102841411A (zh) * | 2012-09-05 | 2012-12-26 | 武汉隽龙科技有限公司 | 具有光滤波功能的sc型光纤连接器及其制造工艺 |
| CN102841411B (zh) * | 2012-09-05 | 2014-07-23 | 武汉隽龙科技有限公司 | 具有光滤波功能的sc型光纤连接器及其制造工艺 |
| JP5911648B2 (ja) * | 2014-02-17 | 2016-04-27 | オリンパス株式会社 | 光ファイバコネクタ装置及び内視鏡システム |
| CN105813541A (zh) * | 2014-02-17 | 2016-07-27 | 奥林巴斯株式会社 | 光纤连接器装置和内窥镜系统 |
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