JP2010032659A - 波長選択フィルタ、フィルタ装置、光源装置、光学装置及び屈折率センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射光が入射する面に形成され、X軸方向に関して矩形波形状の凹凸構造部を有する基板101aと、該凹凸構造部を覆う透明膜101bとを有し、透明膜101bの屈折率は、基板101aの屈折率よりも大きい。また、各凸部の+X側に隣接する透明膜101bと、各凸部の−X側に隣接する透明膜101bとの間に空気の層を有している。この場合には、波長選択性が高く、かつ光の入射角の許容範囲を従来よりも広くすることが可能となる。
【選択図】図7
Description
Claims (11)
- 入射光に含まれる特定波長の光を選択的に共鳴反射する波長選択フィルタであって、
前記入射光が入射する面に形成され、一の軸方向に関して矩形波形状の凹凸構造部を有する基板と;
前記一の軸方向に関して、前記凹凸構造部における各凸部の一側の面を覆う第1の層と、前記各凸部の他側の面を覆う第2の層とを含む多層構造体と;を有し、
前記第1の層の屈折率及び前記第2の層の屈折率は、いずれも前記基板の屈折率よりも大きいことを特徴とする波長選択フィルタ。 - 前記第1の層の屈折率と前記第2の層の屈折率は等しいことを特徴とする請求項1に記載の波長選択フィルタ。
- 前記多層構造体は、前記一の軸方向に関して、前記第1の層と前記第2の層との間に位置する第3の層を有し、
前記第3の層の屈折率は、前記基板の屈折率よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載の波長選択フィルタ。 - 前記第3の層は、空気の層であることを特徴とする請求項3に記載の波長選択フィルタ。
- 前記一の軸方向に関して、前記凹凸構造部における凸部の幅、前記第1の層の幅、前記第2の層の幅、及び前記第3の層の幅は、いずれも互いに等しいことを特徴とする請求項3又は4に記載の波長選択フィルタ。
- 前記凹凸構造部における凸部の高さは、該凸部の前記一の軸方向に関する幅の2倍であることを特徴とする請求項5に記載の波長選択フィルタ。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の波長選択フィルタと;
前記波長選択フィルタを、前記基板の表面に平行で前記一の軸方向に直交する軸まわりに回動させる回動機構と;を備えるフィルタ装置。 - 光源と;
前記光源からの光束を略平行光とする光学素子と;
前記光学素子を介した光束が入射される請求項1〜6のいずれか一項に記載の波長選択フィルタと;を備え、
前記波長選択フィルタで反射された光束を出力することを特徴とする光源装置。 - 光源と;
前記光源からの光束を略平行光とする光学素子と;
前記光学素子を介した光束が入射される請求項7に記載のフィルタ装置と;を備え、
前記フィルタ装置の波長選択フィルタで反射された光束を出力することを特徴とする光源装置。 - 請求項8又は9に記載の光源装置と;
前記光源装置から出力された光束が入射される光学系と;を備える光学装置。 - 対象物の屈折率を検出するための屈折率センサであって、
光源と;
前記光源からの光束を略平行光とする第1の光学素子と;
前記第1の光学素子を介した光束を直線偏光とする第2の光学素子と;
前記第2の光学素子から射出され、対象物を透過した光束が入射される請求項1〜6のいずれか一項に記載の波長選択フィルタと;
前記波長選択フィルタで反射された光束のピーク波長を求め、該ピーク波長に基づいて前記対象物の屈折率を検出する検出装置と;を備える屈折率センサ。
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