JP6770356B2 - ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 - Google Patents
ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6770356B2 JP6770356B2 JP2016136813A JP2016136813A JP6770356B2 JP 6770356 B2 JP6770356 B2 JP 6770356B2 JP 2016136813 A JP2016136813 A JP 2016136813A JP 2016136813 A JP2016136813 A JP 2016136813A JP 6770356 B2 JP6770356 B2 JP 6770356B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated body
- fabry
- interference filter
- perot interference
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 89
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 53
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 196
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 39
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 39
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 39
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 27
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 18
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 18
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
[光検出装置の構成]
[ファブリペロー干渉フィルタの構成]
[ファブリペロー干渉フィルタの製造方法]
Claims (6)
- 互いに対向する第1表面及び第2表面を有する基板と、
前記第1表面に配置された第1層構造体と、
前記第2表面に配置された第2層構造体と、を備え、
前記第1層構造体には、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部が設けられており、
前記第2層構造体には、前記第2表面に沿った方向における一方の側と他方の側とに前記第2層構造体の一部を分離する分離領域が形成されており、
前記分離領域における前記基板とは反対側の端部は、前記第2層構造体の内部に位置している、ファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記第1層構造体は、
前記第1表面に配置され、前記第1ミラー部を含む第1積層体と、
前記第1積層体に対して前記基板とは反対側に配置され、前記第2ミラー部を含む第2積層体と、
前記第1積層体と前記第2積層体との間に配置され、前記空隙を画定する第1中間層と、を有し、
前記第2層構造体は、
前記第2表面に配置され、前記第1積層体に対応するように構成された第3積層体と、
前記第3積層体に対して前記基板とは反対側に配置され、前記第2積層体に対応するように構成された第4積層体と、
前記第3積層体と前記第4積層体との間に配置され、前記第1中間層に対応するように構成された第2中間層と、を有し、
前記分離領域は、少なくとも前記第3積層体及び前記第2中間層の両方に渡るように形成されている、請求項1に記載のファブリペロー干渉フィルタ。 - 前記分離領域は、溝として構成されている、請求項1又は2に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 前記分離領域は、割れとして構成されている、請求項1又は2に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 前記分離領域は、前記第2表面に垂直な方向から見た場合に直線状に延在している、請求項1〜4のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載のファブリペロー干渉フィルタと、
前記ファブリペロー干渉フィルタを透過した光を検出する光検出器と、
前記ファブリペロー干渉フィルタを前記第2層構造体側から支持する支持部と、を備える光検出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016136813A JP6770356B2 (ja) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 |
US15/633,863 US11054560B2 (en) | 2016-07-11 | 2017-06-27 | Fabry-Perot interference filter and light-detecting device |
CN201710556846.7A CN107608017B (zh) | 2016-07-11 | 2017-07-10 | 法布里-珀罗干涉滤光片以及光检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016136813A JP6770356B2 (ja) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018010037A JP2018010037A (ja) | 2018-01-18 |
JP6770356B2 true JP6770356B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=60995337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016136813A Active JP6770356B2 (ja) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6770356B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001338932A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Canon Inc | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2002026069A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の実装方法 |
WO2003052506A1 (en) * | 2001-12-18 | 2003-06-26 | Nokia Corporation | Electrically tunable interferometric filter |
JP5428805B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光センサー、および光モジュール |
JP2013222169A (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-28 | Seiko Epson Corp | 干渉フィルター、光学モジュールおよび電子機器 |
JP6211315B2 (ja) * | 2013-07-02 | 2017-10-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | ファブリペロー干渉フィルタ |
JP6211833B2 (ja) * | 2013-07-02 | 2017-10-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | ファブリペロー干渉フィルタ |
-
2016
- 2016-07-11 JP JP2016136813A patent/JP6770356B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018010037A (ja) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6356427B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ | |
JP6211833B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ | |
JP6211315B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ | |
JP6770840B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 | |
US11054560B2 (en) | Fabry-Perot interference filter and light-detecting device | |
JP6861213B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ | |
US11609420B2 (en) | Wafer | |
JP6770356B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置 | |
JP6710721B2 (ja) | ファブリペロー干渉フィルタ | |
JP5515314B2 (ja) | 波長選択型赤外線検出器 | |
JP6902571B2 (ja) | ウェハ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200901 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200925 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6770356 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |