JP2020085919A - 板状部材の製造方法及び積層体 - Google Patents

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Abstract

【課題】板状部材の形状不良を抑制することができ、歩留りを向上させることができる、板状部材の製造方法を提供する。【解決手段】板状部材の母材１１を割断することにより複数の板状部材を製造する方法であって、対向し合う第１の主面１１ａ及び第２の主面１１ｂを有する板状部材の母材１１を用意する工程と、板状部材の母材１１の第１の主面１１ａに分割溝１２ａ，１３ａを形成する工程と、板状部材の母材１１の第２の主面１１ｂ側に支持フィルム１４を貼り付ける工程と、板状部材の母材１１の第１の主面１１ａを覆うように、粘着フィルム１７を貼り付ける工程と、板状部材の母材１１に粘着フィルム１７を貼り付けた状態で、板状部材の母材１１の分割溝１２ａ，１３ａが形成された領域を支持フィルム１４側から押圧することにより、分割溝１２ａ，１３ａに沿って板状部材の母材１１を割断する割断工程と、を備えることを特徴とする。【選択図】図７

Description

本発明は、波長変換部材等の板状部材の製造方法及び該板状部材の製造方法に用いられる積層体に関する。
近年、蛍光ランプや白熱灯に変わる次世代の光源として、ＬＥＤやＬＤを用いた発光デバイス等に対する注目が高まってきている。そのような次世代光源の一例として、青色光を出射するＬＥＤと、ＬＥＤからの光の一部を吸収して黄色光に変換する波長変換部材とを組み合わせた発光デバイスが開示されている。この発光デバイスは、ＬＥＤから出射され、波長変換部材を透過した青色光と、波長変換部材から出射された黄色光との合成光である白色光を発する。
波長変換部材の製造方法としては、波長変換部材の母材を個片化することにより、一度に複数の波長変換部材を得る方法が採用されることがある。下記の特許文献１には、このような波長変換部材の製造方法の一例として、波長変換部材の母材に格子状のパターンの分割溝を形成し、分割溝に沿って割断し個片化することにより、複数の波長変換部材を得る方法が記載されている。この個片化は、波長変換部材の母材を、格子状のパターンにおける一方の方向に延びる分割溝に沿って割断した後、他方の方向に延びる分割溝に沿って割断することにより行われる。
特開２０１８−０９７０６０号公報
このような波長変換部材等の板状部材の母材における個片化に際しては、分割溝を起点として、板状部材の母材の厚み方向に延びるクラックが生じ、それによって、板状部材の母材が割断される。しかしながら、分割溝を起点として、上記厚み方向からずれた方向に延びるクラックが生じることがある。そのため、個片化された板状部材においてバリなどの形状不良が生じる場合がある。
本発明は、板状部材の形状不良を抑制することができ、歩留りを向上させることができる、板状部材の製造方法及び該板状部材の製造方法に用いられる積層体を提供することを目的とする。
本発明の板状部材の製造方法は、板状部材の母材を割断することにより複数の板状部材を製造する方法であって、対向し合う第１の主面及び第２の主面を有する板状部材の母材を用意する工程と、板状部材の母材の第１の主面に分割溝を形成する工程と、板状部材の母材の第２の主面に支持フィルムを貼り付ける工程と、板状部材の母材の第１の主面を覆うように、粘着フィルムを貼り付ける工程と、板状部材の母材に粘着フィルムを貼り付けた状態で、板状部材の母材の分割溝が形成された領域を支持フィルム側から押圧することにより、分割溝に沿って板状部材の母材を割断する割断工程と、を備えることを特徴とする。
分割溝が、互いに交差する第１の分割溝及び第２の分割溝であり、割断工程が、板状部材の母材を第１の分割溝に沿って割断する第１の割断工程と、第１の割断工程後に、板状部材の母材を第２の分割溝に沿って割断する第２の割断工程とを有することが好ましい。この場合、第１の分割溝と第２の分割溝とが直交することがより好ましい。
割断工程において、板状部材の母材の第１の主面に平行に、かつ直線状に延びる押圧部材によって、支持フィルム側から板状部材の母材を押圧することにより、分割溝に沿って板状部材の母材を割断することが好ましい。この場合、割断工程において、スリットを有する支持部材によって板状部材の母材を粘着フィルム側から支持した状態で、押圧部材によって支持フィルム側から板状部材の母材を押圧し、支持部材及び押圧部材によって板状部材の母材を挟圧することにより、分割溝に沿って板状部材の母材を割断することがより好ましい。
平面視において、支持フィルムの面積が、板状部材の母材の第２の主面の面積より大きく、板状部材の母材の第１の主面を覆うように、粘着フィルムを貼り付けるに際し、粘着フィルムが第１の主面から支持フィルムに至るように貼り付けることが好ましい。
粘着フィルムが、自己粘着性のフィルムであることが好ましい。
支持フィルムの表面に粘着層が設けられており、支持フィルムにおける粘着層を板状部材の母材の第２の主面に貼り付けることが好ましい。
粘着フィルムの接着力が、支持フィルムの接着力より低いことが好ましい。
板状部材が、無機マトリクス中に蛍光体粒子が分散された波長変換部材であってもよい。
本発明の積層体は、板状部材の母材を割断することにより複数の板状部材を製造する際に用いられる積層体であって、対向し合う第１の主面及び第２の主面を有し、第１の主面に分割溝が設けられている、板状部材の母材と、板状部材の母材の第２の主面に貼り付けられている、支持フィルムと、板状部材の母材の第１の主面を覆うように貼り付けられている、粘着フィルムと、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、板状部材の形状不良を抑制することができ、歩留りを向上させることができる、板状部材の製造方法及び該板状部材の製造方法に用いられる積層体を提供することができる。
本発明に係る板状部材の製造方法により製造される板状部材の一例を示す模式的正面断面図である。 本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる第１の分割溝及び第２の分割溝が形成された板状部材の母材を示す模式的平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法における積層体の作製工程を説明するための模式的正面断面図である 本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる支持フィルムの模式的拡大正面断面図である。 本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる粘着フィルムの模式的拡大正面断面図である。 本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる粘着フィルムの変形例を示す模式的拡大正面断面図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法における割断工程を説明するための模式的正面断面図である。 板状部材の形状不良の例を示す模式的平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、比較例の板状部材の製造方法を説明するための模式的正面断面図である。
以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。
（板状部材）
図１は、本発明に係る板状部材の製造方法により製造される板状部材の一例を示す模式的正面断面図である。図１に示す板状部材は、対向し合う第１の主面１ａ及び第２の主面１ｂを有する矩形板状の波長変換部材１である。なお、波長変換部材１の形状は矩形板状には限定されない。
波長変換部材１は、蛍光体粒子２が無機マトリクス３中に分散されてなる。蛍光体粒子２は励起光Ａの入射により蛍光を出射する。従って、励起光Ａが波長変換部材１に入射すると、波長変換部材１から励起光及び蛍光の合成光Ｂが出射される。
蛍光体粒子２は、励起光の入射により蛍光を出射するものであれば、特に限定されるものではない。蛍光体粒子２の具体例としては、例えば、酸化物蛍光体、窒化物蛍光体、酸窒化物蛍光体、塩化物蛍光体、酸塩化物蛍光体、硫化物蛍光体、酸硫化物蛍光体、ハロゲン化物蛍光体、カルコゲン化物蛍光体、アルミン酸塩蛍光体、ハロリン酸塩化物蛍光体及びガーネット系化合物蛍光体から選ばれた１種以上等が挙げられる。励起光として青色光を用いる場合、例えば、緑色光、黄色光または赤色光を蛍光として出射する蛍光体を用いることができる。
蛍光体粒子２の平均粒子径は、１μｍ〜５０μｍであることが好ましく、５μｍ〜３０μｍであることがより好ましい。蛍光体粒子２の平均粒子径が小さすぎると、発光強度が低下する場合がある。一方、蛍光体粒子２の平均粒子径が大きすぎると、発光色が不均一になる場合がある。
波長変換部材１における蛍光体粒子２の含有量は、好ましくは１体積％以上、１．５体積％以上、特に２体積％以上であることが好ましく、好ましくは７０体積％以下、５０体積％以下、特に３０体積％以下であることが好ましい。蛍光体粒子２の含有量が少なすぎると、所望の発光色を得るために波長変換部材１を厚くする必要があり、その結果、得られる波長変換部材の内部散乱が増加することで、光取り出し効率が低下する場合がある。一方、蛍光体粒子２の含有量が多すぎると、所望の発光色を得るために波長変換部材１を薄くする必要があるため、波長変換部材１の機械的強度が低下する場合がある。
無機マトリクス３に用いられる無機材料は、蛍光体粒子２の分散媒として用いることができるものであれば特に限定されないが、例えばガラスを用いることができる。無機マトリクス３に用いられるガラスとしては、例えば、ホウ珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラス、スズリン酸塩系ガラス、ビスマス酸塩系ガラス等を用いることができる。ホウ珪酸塩系ガラスとしては、質量％で、ＳｉＯ２ ３０％〜８５％、Ａｌ２Ｏ３ ０％〜３０％、Ｂ２Ｏ３ ０％〜５０％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ０％〜１０％、及びＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ ０％〜５０％を含有するものが挙げられる。スズリン酸塩系ガラスとしては、モル％で、ＳｎＯ ３０％〜９０％、Ｐ２Ｏ５ １％〜７０％を含有するものが挙げられる。
図１を参照して、本発明に係る板状部材の製造方法により製造される板状部材の一例として、波長変換部材を示したが、板状部材は波長変換部材には限定されない。本発明に係る製造方法により製造される板状部材としては、波長変換部材以外に、例えば、ガラス板やセラミック板などの無機材料により構成される脆性材料基板、あるいは板状の半導体素子等を挙げることができる。
［板状部材の製造方法］
以下において、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法の一例を説明する。なお、本実施形態における板状部材は、上述した板状の波長変換部材である。
（積層体の作製工程）
図２は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる第１の分割溝及び第２の分割溝が形成された板状部材の母材を示す模式的平面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法における積層体の作製工程を説明するための模式的正面断面図である。図４は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる支持フィルムの模式的拡大正面断面図である。図５は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法に用いられる粘着フィルムの模式的拡大正面断面図である。
まず、図２に示すような矩形板状の波長変換部材の母材１１を用意する。波長変換部材の母材１１は対向し合う第１の主面１１ａ及び第２の主面１１ｂを有する（図３（ａ）参照）。波長変換部材の母材１１は、蛍光体粒子が無機マトリクス中に分散されてなる。波長変換部材の母材１１は、上述の波長変換部材１と同じ材料により構成することができる。なお、板状部材の母材は、波長変換部材の母材１１以外に、例えば、ガラス板やセラミック板などの無機材料により構成される脆性材料基板、あるいは板状の半導体素子等であってもよい。
次に、図２に示すように、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに分割溝を形成する。具体的には、互いに交差する第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａを形成する。本実施形態においては、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａが直交している。
ここで、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに平行に延びており、かつ互いに直交する方向をｘ方向及びｙ方向とする。ｘ方向及びｙ方向に直交する方向をｚ方向とする。本実施形態において、複数の第１の分割溝１２ａはｙ方向に延びており、ｘ方向に並んでいる。一方で、複数の第２の分割溝１３ａはｘ方向に延びており、ｙ方向に並んでいる。なお、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａは必ずしも直交していなくともよい。また、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａのうち一方のみが設けられていてもよい。あるいは、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３とは異なる他の分割溝がさらに設けられていてもよい。
本実施形態においては、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａのパターンが格子状に形成されている。もっとも、分割溝のパターンは、特に限定されず、最終的に製造される板状部材の形状に対応したパターンを適宜選択することができる。
第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａの深さは、特に限定されないが、それぞれ波長変換部材の母材１１の厚みの０．１％〜１０％の範囲であることが好ましく、０．５％〜５％の範囲であることがより好ましい。分割溝の深さが浅すぎると、分割溝による割断が困難になる場合がある。分割溝の深さが深すぎると、分割溝を形成する際の荷重が大きくなりすぎ、意図しない方向にクラックが伸展しまい、第１の主面１１ａと垂直方向に割断できなくなる場合がある。
第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａの幅は、それぞれ、０．００１ｍｍ以上であることが好ましく、さらに０．００２ｍｍ以上であることがより好ましく、また０．０１０ｍｍ以下であることが好ましく、さらに０．００５ｍｍで以下であることがより好ましい。幅が大きすぎると、割断された際に欠損部となる場合がある。幅が小さすぎると、分割溝による割断が困難になる場合がある。
第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａは、スクライブにより形成することが好ましい。第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａを形成する具体的な方法としては、無機マトリクスの材質に応じて適宜選択することができ、無機マトリクスがガラスである場合、ダイヤモンド粒子等を用いたスクライバー等で形成することが好ましい。また、無機マトリクスの材質に応じて、レーザー光の照射により第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａを形成してもよい。
次に、図３（ａ）に示すように、波長変換部材の母材１１の第２の主面１１ｂ側に支持フィルム１４を貼り付ける。図４に示すように、支持フィルム１４は、支持層１４ａと、支持層１４ａ上に設けられている、粘着層１４ｂとを備える。
本実施形態において、支持層１４ａは、ポリオレフィンフィルムからなる。もっとも、支持層１４ａとしては、特に限定されず、適宜の樹脂フィルムにより構成することができる。また、本実施形態において、粘着層１４ｂは、紫外線硬化樹脂からなる。紫外線硬化樹脂としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等を用いることができる。もっとも、粘着層１４ｂは、他の樹脂等で構成されていてもよく、特に限定されない。本実施形態では、波長変換部材の母材１１の第２の主面１１ｂに支持フィルム１４の粘着層１４ｂを貼り付けることにより、波長変換部材の母材１１に支持フィルム１４を貼り付けることができる。
次に、図３（ｂ）に示すように、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａを覆うように、粘着フィルム１７を貼り付ける。本実施形態では、第１の主面１１ａの全面に粘着フィルム１７を貼り付ける。本発明においては、第１の主面１１ａの一部に粘着フィルム１７を貼り付ければよく、必ずしも第１の主面１１ａの全面に貼り付けなくともよい。もっとも、後述するように、波長変換部材１の形状不良をより一層抑制する観点からは、第１の主面１１ａの全面に粘着フィルム１７を貼り付けることが好ましい。
また、本実施形態では、平面視において、支持フィルム１４の面積が、板状部材の母材１１の第２の主面１１ｂの面積より大きい。そして、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａから支持フィルム１４に至るように粘着フィルム１７を貼り付けている。そのため、第１の主面１１ａに粘着フィルム１７をより一層確実に密着させることができる。
図５に示すように、粘着フィルム１７は、それ自体が粘着性を有するフィルムである。粘着フィルム１７の、板状部材などの被着体に対する接着力は１ｇ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。なお、接着力の値は、ＪＩＳ−Ｚ−０２３７に基づき測定することができる。本実施形態では、粘着フィルム１７が、ポリ塩化ビニルにより構成されている。もっとも、粘着フィルム１７は、他の樹脂により構成されていてもよい。
また、粘着フィルム１７は、図６に変形例で示すように、基材層１７ａと、基材層１７ａ上に積層された粘着層１７ｂとを備えていてもよい。基材層１７ａとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリ塩化ビニル等を用いることができる。また、粘着層１７ｂとしては、特に限定されず、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の適宜の粘着剤を用いることができる、粘着層１７ｂは、紫外線硬化樹脂により構成されていてもよい。
本実施形態では、特に、粘着フィルム１７として、自己粘着性のフィルムを用いている。自己粘着性とは、他の粘着剤を用いることなしに、押圧することなく、フィルムの自重により被着体に貼り付く性質をいう。
粘着フィルム１７の接着力は、３ｇ／２５ｍｍ以上、５ｇ／２５ｍｍ以上、７ｇ／２５ｍｍ以上、９ｇ／２５ｍｍ以上、１１ｇ／２５ｍｍ以上、特に１３ｇ／２５ｍｍ以上であることがより好ましい。この場合、第１の主面１１ａに粘着フィルム１７をより一層確実に密着させることができる。
粘着フィルム１７の厚みは０．０１〜１ｍｍ、０．０５〜０．５ｍｍ、特に０．１〜０．２ｍｍであることが好ましい。粘着フィルム１７の厚みが小さすぎると、粘着フィルム１７の機械的強度が低くなり、割断工程で破損したり、波長変換部材の母材１１の固定が不十分になるおそれがある。一方、粘着フィルム１７の厚みが大きすぎると、割断精度が低下し、板状部材の形状不良が発生しやすくなる。
もっとも、粘着フィルム１７の接着力は支持フィルム１４の接着力より低いことが好ましい。この場合、粘着フィルム１７を波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａからより一層容易に剥離することができる。
粘着フィルム１７を波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａから、より一層容易に剥離する観点から、粘着フィルム１７の接着力は、好ましくは１００ｇ／２５ｍｍ以下、５０ｇ／２５ｍ以下、特に３０ｇ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。また、粘着フィルム１７を波長変換部材の母材１１から剥離する際には、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに糊残りが生じないことが好ましい。
以上のようにして、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａを覆うように、粘着フィルム１７を貼り付けることにより、波長変換部材１を製造する際の中間体となる積層体１０を得ることができる。
（割断工程）
図７（ａ）〜図７（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る板状部材の製造方法における割断工程を説明するための模式的正面断面図である。
割断工程は、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す第１の割断工程と、図７（ｃ）及び図７（ｄ）に示す第２の割断工程とを有する。本実施形態の割断工程においては、押圧部材１８及び支持体１９を用いる。押圧部材１８は、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに平行に、かつ直線状に延びるブレード１８ａを有する。一方で、支持体１９はスリット１９ａを有する。
まず、第１の割断工程を行う。図７（ａ）に示すように、支持体１９を、粘着フィルム１７に接するように配置する。このとき、粘着フィルム１７側から見たときに、スリット１９ａと、割断する第１の分割溝１２ａとが重なるように支持体１９を配置する。一方で、割断する第１の分割溝１２ａと対向する位置に、押圧部材１８を配置する。このとき、押圧部材１８のブレード１８ａ及び支持体１９のスリット１９ａは、それぞれｙ方向に直線状に延びている。
次に、上記のように支持体１９を配置した状態で、押圧部材１８のブレード１８ａによって支持フィルム１４側から波長変換部材の母材１１を押圧する。このように、支持体１９及び押圧部材１８によって波長変換部材の母材１１を挟圧することにより、図７（ｂ）に示すように、第１の分割溝１２ａを起点としてクラックを波長変換部材の母材１１の厚み方向に伸展させる。これにより、波長変換部材の母材１１を第１の分割溝１２ａに沿って割断する。なお、このとき、割断面１２ｂが形成される。
次に、押圧部材１８及び支持体１９をｘ方向に移動させ、隣接する第１の分割溝１２ａに沿って波長変換部材の母材１１を割断する。これを繰り返すことにより、ｘ方向に並んだ全ての第１の分割溝１２ａに沿って波長変換部材の母材１１を割断する。
次に、第２の割断工程を行う。図７（ｃ）に示すように、第２の割断工程においては、押圧部材１８のブレード１８ａ及び支持体１９のスリット１９ａを、それぞれｘ方向に直線状に延びるように配置する。第１の割断工程と同様にして、支持体１９及び押圧部材１８によって板状部材の母材を挟圧することにより、図７（ｄ）に示すように、第２の分割溝１３ａを起点としてクラックを波長変換部材の母材１１の厚み方向に伸展させる。これにより、波長変換部材の母材１１を第２の分割溝１３ａに沿って割断する。
次に、押圧部材１８及び支持体１９をｙ方向に移動させ、隣接する第２の分割溝１３ａに沿って波長変換部材の母材１１を割断する。これを繰り返すことにより、ｙ方向に並んだ全ての第２の分割溝１３ａに沿って波長変換部材の母材１１を割断する。これにより、波長変換部材の母材１１が、複数の波長変換部材１に個片化される。
次に、粘着フィルム１７を波長変換部材の母材１１及び支持フィルム１４から剥離する。次に、支持フィルム１４にＵＶ光を照射することにより、支持フィルム１４の粘着層１４ｂを紫外線硬化させる。しかる後、支持フィルム１４から、個片化された波長変換部材１を剥離する。以上により、複数の波長変換部材１を得る。
本実施形態の特徴は、波長変換部材の母材１１に粘着フィルム１７を貼り付けた状態で、波長変換部材の母材１１を分割溝に沿って割断する割断工程を備えることにある。それによって、板状部材としての波長変換部材１の形状不良を抑制することができ、歩留りを向上させることができる。これを、本実施形態と比較例とを比較することにより、以下において説明する。なお、比較例の製造方法は、粘着フィルム１７を用いない点において本実施形態と異なる。
波長変換部材の母材として、ホウケイ酸系ガラスマトリクス（軟化点８５０℃）中にＹＡＧ蛍光体粉末が分散した蛍光体ガラス母板（５０ｍｍ×５０ｍｍ×０．２ｍｍ、蛍光体濃度８．３体積％）を準備した。この波長変換部材の母材を用いて、本実施形態の製造方法及び比較例の製造方法により、一辺約１ｍｍの略正方形の波長変換部材をそれぞれ２３０４個作製した。本実施形態及び比較例において、形状不良の発生率を比較した。ここで、下記の図８により形状不良の例を示す。
図８は、波長変換部材の形状不良の例を示す模式的平面図である。なお、図８は、複数の波長変換部材１を支持フィルム１４から剥離する前の状態を示す。図８に示すように、波長変換部材１の第１の主面１ａ側から見たときに、第２の主面１ｂの外周縁が第１の主面１ａの外周縁よりも外側に突出する部分をバリＣとする。バリＣの部分における第１の主面１ａの外周縁と第２の主面１ｂの外周縁との距離のうち最も長いものをバリのサイズＤとする。バリのサイズＤが２０μｍ以上である場合を形状不良とする。
比較例の製造方法により波長変換部材１を作製した場合においては、形状不良の発生率は３０％であった。これに対して、本実施形態の製造方法により波長変換部材を作製した場合（粘着フィルムとして、厚み約０．１２ｍｍ、接着力１３ｇ／２５ｍｍのポリ塩化ビニルフィルムを使用）においては、形状不良の発生率は０％であった。このように、本実施形態においては、板状部材としての波長変換部材１の形状不良を抑制することができ、歩留りを向上できることがわかる。これは以下の理由によるものと考えられる。
図９（ａ）に示すように、比較例においては、粘着フィルム１７を用いない点以外においては本実施形態と同様に、第１の分割溝１２ａに沿って波長変換部材の母材１１を割断する。比較例の場合には、第１の割断工程において、波長変換部材の母材１１の個片体（短冊状の個片体）同士が支持体１９上で互いに押し合うことで動きやすくなり、図９（ｂ）に示すように、割断後に波長変換部材の母材１１の個片体の位置ずれが生じる場合がある。この場合、第１の割断工程後においては、第１の主面１１ａに凹凸が生じた状態となっている。この状態において、第２の割断工程が行われると、第２の分割溝１３ａを起点としたクラックの伸展方向が、波長変換部材の母材１１の厚み方向からずれ易くなる。よって、比較例においては、バリによる形状不良が生じ易くなる。
これに対して、本実施形態においては、図３（ｂ）に示すように、支持フィルム１４と、波長変換部材の母材１１と、支持フィルム１４及び波長変換部材の母材１１に貼り付けられた粘着フィルム１７とを備える積層体１０を形成する。しかる後、第１の割断工程を行う。図７（ａ）に示すように、第１の割断工程は、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに粘着フィルム１７を貼り付けた状態で行われるため、割断に際し第１の分割溝１２ａ周辺及び割断面１２ｂ周辺を効果的に固定することができる。これにより、波長変換部材の母材１１を第１の分割溝１２ａに沿って割断して割断面１２ｂを形成したときに、割断面１２ｂ周辺において、波長変換部材の母材１１の個片体の位置ずれが生じ難い。よって、第１の割断工程後において、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａに凹凸が生じることを抑制することができる。
本実施形態では、波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａにほぼ凹凸が生じていない状態において、図７（ｃ）及び図７（ｄ）に示す第２の割断工程を行う。これにより、波長変換部材の母材１１を第２の分割溝１３ａに沿って割断するに際し、第２の分割溝１３ａを起点としたクラックを、より確実に波長変換部材の母材１１の厚み方向に伸展させることができる。従って、形状不良が生じることを効果的に抑制することができ、歩留りを効果的に向上させることができる。
さらに、本実施形態においては、第１の割断工程及び第２の割断工程において、粘着フィルム１７により波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａを覆っている。それによって、支持体１９を波長変換部材の母材１１に接触させずに、支持体１９及び押圧部材１８により波長変換部材の母材１１を挟圧することができる。従って、個片化後の波長変換部材１の第１の主面１ａに傷が生じ難い。
従って、本実施形態のように、第１の割断工程及び第２の割断工程においては、粘着フィルム１７により波長変換部材の母材１１の全面を覆うことが好ましい。これにより、波長変換部材の母材１１を挟圧するに際し、第１の主面１１ａをより一層確実に保護することができる。よって、個片化後の波長変換部材１の第１の主面１ａにおいて、より一層傷が生じ難い。さらに、第１の割断工程において、第１の分割溝１２ａ周辺及び割断面１２ｂ周辺をより一層固定することができる。よって、波長変換部材の母材１１の第２の割断工程に際し、割断面１２ｂ周辺における位置ずれがより一層生じ難い。従って、板状部材としての波長変換部材１の形状不良の発生をより一層抑制することができる。
また、自己粘着性を有する粘着フィルム１７を用いる場合、波長変換部材の母材１１に接着している部分が、剪断方向（波長変換部材の母材１１の第１の主面１１ａと平行な方向）に動き難い傾向がある。よって、第１の割断工程において、第１の分割溝１２ａ周辺及び割断面１２ｂ周辺をより一層確実に固定することができる。従って、板状部材としての波長変換部材１の形状不良の発生をより一層確実に抑制することができる。
［積層体］
図３（ｂ）に示すように、積層体１０は、波長変換部材の母材１１と、支持フィルム１４と、粘着フィルム１７とを備える。積層体１０は、上述の波長変換部材１を製造する際の中間体である。もっとも、波長変換部材の母材１１は、他の板状部材の母材であってもよい。すなわち、波長変換部材１以外の他の板状部材を製造する際の中間体であってもよい。他の板状部材としては、例えば、ガラス板やセラミック板などの無機材料により構成される脆性材料基板、あるいは板状の半導体素子等を挙げることができる。この場合、波長変換部材の母材１１の代わりに上述の板状部材の母材を用いることができる。
波長変換部材の母材１１は、対向し合う第１の主面１１ａ及び第２の主面１１ｂを有する矩形板状の形状を有する。第１の主面１１ａには、第１の分割溝１２ａ及び第２の分割溝１３ａが設けられている。第２の主面１１ｂには、支持フィルム１４が貼り付けられている。また、第１の主面１１ａを覆うように、粘着フィルム１７が貼り付けられている。本実施形態では、第１の主面１１ａから支持フィルム１４に至るように粘着フィルム１７が貼り付けられている。もっとも、本発明においては、第１の主面１１ａの一部に粘着フィルム１７が貼り付けられていればよく、必ずしも支持フィルム１４に至るように貼り付けられていなくともよい。なお、支持フィルム１４、波長変換部材の母材１１及び粘着フィルム１７は、上述の製造方法で用いたものと同様のものを用いることができる。
このような積層体１０を割断することにより複数の板状部材を製造すると、上述の製造方法の欄で説明したように、得られた板状部材としての波長変換部材１に形状不良が生じることを効果的に抑制することができ、歩留りを効果的に向上させることができる。
１…波長変換部材
１ａ…第１の主面
１ｂ…第２の主面
２…蛍光体粒子
３…無機マトリクス
１０…積層体
１１…波長変換部材の母材
１１ａ…第１の主面
１１ｂ…第２の主面
１２ａ…第１の分割溝
１２ｂ…割断面
１３ａ…第２の分割溝
１４…支持フィルム
１４ａ…支持層
１４ｂ…粘着層
１７…粘着フィルム
１７ａ…基材層
１７ｂ…粘着層
１８…押圧部材
１８ａ…ブレード
１９…支持体
１９ａ…スリット

Claims (11)

  1. 板状部材の母材を割断することにより複数の板状部材を製造する方法であって、
    対向し合う第１の主面及び第２の主面を有する板状部材の母材を用意する工程と、
    前記板状部材の母材の前記第１の主面に分割溝を形成する工程と、
    前記板状部材の母材の前記第２の主面に支持フィルムを貼り付ける工程と、
    前記板状部材の母材の前記第１の主面を覆うように、粘着フィルムを貼り付ける工程と、
    前記板状部材の母材に前記粘着フィルムを貼り付けた状態で、前記板状部材の母材の前記分割溝が形成された領域を前記支持フィルム側から押圧することにより、前記分割溝に沿って前記板状部材の母材を割断する割断工程と、
    を備える、板状部材の製造方法。
  2. 前記分割溝が、互いに交差する第１の分割溝及び第２の分割溝であり、
    前記割断工程が、前記板状部材の母材を前記第１の分割溝に沿って割断する第１の割断工程と、前記第１の割断工程後に、前記板状部材の母材を前記第２の分割溝に沿って割断する第２の割断工程とを有する、請求項１に記載の板状部材の製造方法。
  3. 前記第１の分割溝と前記第２の分割溝とが直交する、請求項２に記載の板状部材の製造方法。
  4. 前記割断工程において、前記板状部材の母材の前記第１の主面に平行に、かつ直線状に延びる押圧部材によって、前記支持フィルム側から前記板状部材の母材を押圧することにより、前記分割溝に沿って前記板状部材の母材を割断する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  5. 前記割断工程において、スリットを有する支持部材によって前記板状部材の母材を前記粘着フィルム側から支持した状態で、前記押圧部材によって前記支持フィルム側から前記板状部材の母材を押圧し、前記支持部材及び前記押圧部材によって前記板状部材の母材を挟圧することにより、前記分割溝に沿って前記板状部材の母材を割断する、請求項４に記載の板状部材の製造方法。
  6. 平面視において、前記支持フィルムの面積が、前記板状部材の母材の前記第２の主面の面積より大きく、
    前記板状部材の母材の前記第１の主面を覆うように、前記粘着フィルムを貼り付けるに際し、前記粘着フィルムが前記第１の主面から前記支持フィルムに至るように貼り付ける、請求項１〜５のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  7. 前記粘着フィルムが、自己粘着性のフィルムである、請求項１〜６のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  8. 前記支持フィルムの表面に粘着層が設けられており、
    前記支持フィルムにおける前記粘着層を前記板状部材の母材の前記第２の主面に貼り付ける、請求項１〜７のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  9. 前記粘着フィルムの接着力が、前記支持フィルムの接着力より低い、請求項１〜８のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  10. 前記板状部材が、無機マトリクス中に蛍光体粒子が分散された波長変換部材である、請求項１〜９のいずれか一項に記載の板状部材の製造方法。
  11. 板状部材の母材を割断することにより複数の板状部材を製造する際に用いられる積層体であって、
    対向し合う第１の主面及び第２の主面を有し、前記第１の主面に分割溝が設けられている、板状部材の母材と、
    前記板状部材の母材の前記第２の主面に貼り付けられている、支持フィルムと、
    前記板状部材の母材の前記第１の主面を覆うように貼り付けられている、粘着フィルムと、
    を備える、積層体。
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