JP2020077764A - 半導体センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、エアブリッジ配線を適用した熱型赤外線検出器では、温度センサと断熱支持脚と赤外吸収層が、互いに空間的に分離した異なる平面内に形成され、温度センサと赤外吸収層が赤外線の入射方向から見て断熱支持脚の全面を覆う領域に形成されたことが開示されている(例えば、特許文献2参照)。
また、従来の半導体センサ装置では、信号線と配線構造との接続を図るためにコンタクト部が設けられており、このコンタクト部と信号線段差との間に間隙が形成されたコンタクト構造を備えている。
またさらに、前述した特許文献3に開示された熱型赤外線固体撮像素子では、犠牲層をミクロンオーダーの膜厚で設けると、開口部上の狭い領域に対して開口パターニングを施す必要性があるために、露光時にコンタクト開口不良が発生してしまい、第一犠牲層のコンタクト開口部の下底にレジストが残る可能性があり、この下底のレジスト除去をドライエッチングなどで処理することでサイドウォールによるオーバーハングの発生も起こり得るという問題があった。
また、本願に開示される半導体センサ装置の製造方法は、基板上に複数の信号線とセンサ検知部を形成する工程と、前記複数の信号線と前記センサ検知部の上にそれぞれ開口部を有する犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層および前記開口部の表面上に導電性部材を形成する工程と、前記導電性部材の上に配線構造体を形成する工程と、前記犠牲層を除去する工程と、を備え、前記配線構造体を形成する工程の前に前記導電性部材が先行して設けられたことを特徴とするものである。
さらにまた、本願に開示される半導体センサ装置の製造方法は、基板上に複数の信号線とセンサ検知部を形成する工程と、前記複数の信号線と前記センサ検知部の上にそれぞれ開口部を有する有機材料系からなる第一犠牲層を形成する工程と、前記第一犠牲層および前記開口部の表面上に無機材料系からなる第二犠牲層を成膜する工程と、前記第二犠牲層の上に配線構造体を形成する工程と、前記第二犠牲層をパターニングする工程と、前記第一犠牲層を除去する工程と、を備え、前記配線構造体を形成する工程の前に前記第二犠牲層が成膜されており、前記配線構造体が形成された後に前記第二犠牲層がパターニングされたことを特徴とするものである。
以下、図面に基づいて実施の形態1について説明する。なお、各図面において、同一符号は同一あるいは相当部分を示す。
まず、図1Aは、読み出し回路または端子等が形成された基板200内に配置された半導体センサ装置である赤外線センサアレイ100であり、一画素全体を示した構造平面図である。赤外線センサアレイ100には、垂直方向1aと水平方向1bにそれぞれ設けられた信号線1に囲まれた領域に半導体センサ検知部2が配置されている。半導体センサ検知部2は、例えば、20ミクロンから25ミクロンの正方形の画角サイズで形成されている。また、ここで述べる赤外線センサアレイ100は、基板200内に規則的に2次元配列された状態でマトリックス状に複数個一括して設けられている。また、半導体センサ検知部2では、物体から照射される赤外線の吸収によって生じた温度変化を、温度によって電気特性が変化する温度センサによって電気信号に変換させる検出機能が備わっている。
図1Aまたは図1Bに示すように、赤外線センサアレイ100には、半導体センサ検知部2の下部および信号線1との間に空洞部3が設けられている。また、半導体センサ検知部2は、信号線1とは異なる空間に互いに分離された状態で形成されており、さらに平面内に分かれて配置されている。図1A、図1Bに示すように、例えば二対の配線構造体4(以下、支持脚4a、4bと称す)は、その下部に絶縁膜を挟まない宙に浮いた状態で形成されている。半導体センサ検知部2は、支持脚4a、4bに支えられることで均衡を保ち、信号線1に囲まれた空洞部3の上方に支持脚4a、4bにより浮かせることが可能となっている。
まず、赤外線センサアレイ100が設けられたシリコン等からなる基板200には、例えば、n型の活性層とシリコン酸化膜からなる埋め込み酸化膜ならびに支持基板からなるSilicon on Insulator(以下、SOIと称す)ウェハを用いる。実施の形態1では、直径6インチφでウェハの厚みが625ミクロン仕様のSOIウェハを使用した。
一方、半導体センサ検知部2は、信号線1間であって、空洞部3の上方に支持脚4a、4bによって宙吊りで支えられており、半導体センサ検知部2には単結晶シリコン薄膜で設けられたダイオードが複数個配列されている。実施の形態1では、このダイオードは赤外線を検出する温度センサとして用いられている。
図2の2Aに示すように、まずSOIウェハからなる基板200の全面を覆うように、例えば厚膜用フォトレジストまたはポリイミドなどの有機感光性材料を用いてスピンコートなどにより塗布を行い、熱処理を行う。続いてアライナーまたはステッパーなどの露光機と現像で接続されるコンタクト開口部5が開口したマスクパターンニングを行い犠牲層12が設けられる。この犠牲層12は、例えば信号線1のコンタクト開口部5上に厚さが1μmから3μmの範囲内で設けられる条件で塗布されている。なおこの犠牲層形成工程では、コンタクト開口部5の形成領域以外の基板200全面がフォトマスクで覆われる。
次に、図2の2Cに示すように、上層絶縁膜8aであるTEOSを例えば下層絶縁膜8bと同じ膜厚で成膜する。上層絶縁膜8aは先に設けた電極9と下層絶縁膜8bを足した膜応力に対して、支持脚4a、4bを宙吊り保持させるために膜質をコントロールしており、引っ張り応力になるように膜質を制御して成膜を行っている。上層絶縁膜8aおよび下層絶縁膜8bの膜厚は上下合わせて200nmとした。
この支持脚4a、4bを形成するための写真製版では、支持脚4a、4bと橋桁先端23が交わる(重なる)箇所に対して、曲げまたは捻れに対する負荷を改善させる目的として円弧状の曲線加工45が両方の角に施されている。他にも支持脚4a、4bが折り曲げられる箇所も同様に曲線加工45が設けられている。
最後に、半導体センサ検知部2の下部に空洞部3を設けるためのエッチング処理を行う。例えば、濃度が20%を超える水酸化テトラメチルアンモニウム(以下TMAHと称す)と水の混合液を浴槽に準備して、薬液を加温しながら半導体センサ装置である赤外線センサアレイ100が設けられた基板200を浸漬する湿式エッチングをおこなう。このようにして、図1Aおよび図1Bで示した半導体センサ装置である赤外線センサアレイ100の製造方法のプロセスが完了する。
実施の形態1の赤外線センサアレイ100では、左側と右側で支持脚4a、4bの形状または折り返される位置が異なっているが、この形状に限定される必要はなく、コンタクト開口部5の位置も同様に図示されたエリアに限定される必要はない。また、半導体センサ検知部2の中心付近を境に、左右に配置される支持脚4a、4bは同等の配線長で設けるとしているが、コンタクト開口部5の配置によっては左右の支持脚4a、4bの長さが異なることもあり得る。その場合は、支持脚4a、4bの形状、配線長の両方を考慮して、半導体センサ検知部2のバランスが崩れないようにコンタクト開口部5の位置または支持脚4a、4bの長さを設計する必要がある。
また、配線構造体4を構成する上層絶縁膜8aおよび下層絶縁膜8bにテトラエトキシシラン(以下TEOSと称す)酸化膜を用いたが、他の材料としてシリコン窒化膜またはシリコン酸窒化膜、ダイヤモンドライクカーボンまたはアルミナを絶縁材料として用いても構わない。また、支持脚4a、4bを構成する上層絶縁膜8a、下層絶縁膜8bおよび電極9を同時に成膜できる機能を有する設備を保有していれば積層して形成する際に連続的に設けても良い。また支持脚4a、4bの厚みは200nmとしているが、更に薄くして成膜しても構わない。
また、橋桁10をパターニングする際に、混酸液に浸漬させる湿式エッチングを例として取り上げたが、他の方法として例えばミリングなどの物理エッチングあるいは塩素ガスによるメタルエッチングで処理することも可能である。
また、半導体センサ検知部2の下部に空洞部3を設けるためのエッチング処理に、TMAHと水の混合液を用いて空洞部3形成を行っているがこれに限定される訳ではなく、例えば二フッ化キセノン昇華ガスによる等方性エッチングを用いても良い。また、支持脚4a、4bまたは半導体センサ検知部2へのプラズマまたはチャージによるダメージを考慮しない構造であれば、ドライエッチングによる等方性エッチングを用いることは可能である。
実施の形態1では、コンタクト開口部5と接続する橋桁10の下底側の直径を1として、橋桁先端23が得られる上部側を下底側の1.5倍の直径で設けているが、橋桁10の下底側よりも上部側を広くすることが目的であるためであり、この数値に限定される訳ではない。
まず、図3の3Aおよび3Bに示すように、赤外線吸収構造20の支柱21は、半導体センサ検知部2の中心部に設けられており、半導体センサ検知部2と接続されている。この支柱21により赤外線吸収構造20が支えられている。赤外線吸収構造20の形成領域は、半導体センサ検知部2と空洞部3までの領域であり、隣接する赤外線吸収構造20との接触が起きない範囲で設けられている。
図3の3Bは、赤外線吸収構造20が半導体センサ検知部2に接続された状態を示している。図3の3Bに示すように、赤外線吸収構造20はT型の断面構造を有しており、この半導体センサ検知部2と赤外線吸収構造20との間には支持脚4a、4bが設けられている。この支持脚4a、4bは下層絶縁膜8b、電極9、上層絶縁膜8aの順で設けられており、支持脚4a、4bと赤外線吸収構造20は接触しないように一定の空間を保った状態で配置される。また赤外線吸収構造20を支持脚4a、4bの上方に張り出した状態で設けたことで、赤外線検出器となる半導体センサ検知部2の開口率を高めることが可能となるため高感度化が達成できる利点が得られる。
図4は、実施の形態2よる半導体センサ装置の平面図および平面図におけるC‐C´線の断面図である。
実施の形態2による半導体センサ装置では、犠牲層12を二層に分けることを特徴としており、犠牲層12の高さを確保するために最初に有機材料系からなる第一犠牲層25を設けて、その第一犠牲層25の上に無機材料系からなる第二犠牲層26を積層構造で形成している。ここで、無機材料系からなる第二犠牲層26は、例えば、アルミニウムからなる導電性部材である。
図5は、実施の形態2による半導体センサ装置の製造方法を示す断面図および平面図であり、左側に断面図を示し、右側にその断面図に対応した平面図を示している。図5に示すように、実施の形態2による半導体センサ装置の製造方法は、第二犠牲層26を橋桁10として利用した赤外線センサアレイ100の構造を得るためのフローである。
次に、信号線1の間隙11まで開口を広げた犠牲層開口側壁24を有する開口部の上に、例えば純アルミニウムからなる膜厚100から1000nmの第二犠牲層26を成膜する。第二犠牲層26を成膜する時に、例えば第一犠牲層25上に純アルミニウムを200nmほど成膜したのちに、基板200側にバイアス印加を加えて残りの第二犠牲層26の膜厚分をバイアススパッタすることで第一犠牲層25の下地形状によって出来る凸凹またはうねりを第二犠牲層26で平坦になるよう改善させている。
図5の5Cに示すように、例えばTESO酸化膜からなる上層絶縁膜8aの成膜を行う。続けて図5の5Dに示すように、配線構造体4(具体的には支持脚4a、4b)の形状を得るためのパターニング加工を行う。パターニングは、例えばリアクティブイオンエッチャー(RIE)またはイオンエッチャー(IE)などのエッチャーまたは物理エッチングで処理されている。この配線構造体4のパターニングを行う際に、第二犠牲層26はエッチストッパーとしての役割も兼ねている。例えば、有機材料系の犠牲層12上に形成された配線構造体4をパターニングする際に、犠牲層12のプラズマダメージにより装置内を有機材料で汚染してしまう場合もがあったが、実施の形態2では、無機材料系からなる第二犠牲層26で有機材料系からなる第一犠牲層25の全面を覆うことで、汚染の心配は無くなる。配線構造体4のパターニングが完了したら、パターニング時に用いたレジストマスクを除去する。
また、第一犠牲層25の膜厚は信号線1のコンタクト開口部5の面位置から0.5〜2ミクロン高くなるよう膜厚調整して設けるとしているが、コンタクト開口部5の開口径を広く設計できるのであれば、2ミクロンを超えた厚さで設けても構わない。
また、第二犠牲層26の膜厚を100から1000nmとしているが、これに限定される訳ではなく、橋桁先端23への配線構造体4の支持脚4a、4bの乗り上げが無いので厚くする方向で設けても良い。また、厚くすることでバイアススパッタの効果が得られるため、犠牲層平坦化の改善効果のためには望ましい。また、実施の形態2では、第二犠牲層26をバイアススパッタするとしているが、第一犠牲層25のうねりによる影響が配線構造体4などへ認められないのであれば通常のスパッタ法で成膜しても構わない。
図6は、実施の形態2による半導体センサ装置の変形例を示す平面図および平面図におけるC‐C´線の断面図である。図6は図4と比較すると、橋桁10構造に屈曲された部分が設けられず第二犠牲層26の厚みにより橋桁10の厚みが形成されている点が異なっている。実施の形態2の変形例においても、橋桁10をウェットエッチングで形成するため橋桁凸部28は同じように設けられる。
実施の形態2による赤外線センサアレイ100の変形例の製造方法の特徴は、橋桁10を第二犠牲層26の膜厚で代用しているために、配線構造体4の屈曲部13が無く、電極9が段差を乗り上げる回数が下層絶縁膜8bでできた絶縁膜開口部27の1箇所だけで済むことである。信号線1のコンタクト開口部5の直上には第二犠牲層26が設けられるが、第一犠牲層25の開口のための工程が不要であるため、第二犠牲層26には橋桁先端23が設けられる程度で、明らかな段差は発生しない。
付け根22の構造は、標準エッジ44とテーパー加工47、円弧状の曲線加工46の3通りについて解析を行っている。また、強制変位させる方向は、X方向、Z方向(高さ方向)、XとZを足した方向の3方向とした。また、片エッジ型、両エッジ型で得られた解析結果は標準エッジ44との相対比を数字で示しており、標準エッジ44を基準となる100としている。この値が100を超過する程、標準エッジ44の形状よりも応力が高い事を示している。また、この解析で得られる応力値はMPa(メガパスカル)である。
片エッジ型の結果も同じように、付け根22がテーパー加工47のものは強制変位させる方向に係わらず標準エッジ44の形状を越えているのに対して、円弧状の曲線加工46の方はZ方向の結果が標準エッジ44の形状と同じ結果であった以外は低い応力値を示す結果となった。
以上の結果により、配線構造体4である支持脚4a、4bの付け根22の応力緩和に適した形状は、円弧状の曲線加工46であることが明らかになった。
図9の9Aに示す平面構造図と9Bに示す断面構造図ならびに9Cに示すグラフは、アイランド39状のコンタクトパターンを2列に直列配置して、その間を配線構造体4で接続を行ったコンタクト評価用TEG(Test Element Group Chip:TEG)41である。このコンタクト評価用TEG41には、コンタクト径が1μm2(square micrometer)を切るものから最大200μm2を超えるものまでがそれぞれ設けられており、マニュアルプローバーで端子40に針当てして得られた接触抵抗変化をグラフ化している。
図9の9Bは9AのD−D´線をカットして得られる構造をイメージした断面構造図である。2つあるコンタクトパターンを配線構造体4で繋いでおり、先に橋桁10を設けて、その上に配線構造体4を形成する構造で接続されている。
図9の9Cは、接触抵抗の変化とコンタクトパターンのコンタクト径をグラフ化したグラフである。この評価では、橋桁10を設けない従来の配線構造体4と橋桁10を設けた本願の配線構造体4の2種類の比較を行った。
また、橋桁10の膜厚を厚くすることで、オーバー露光またはオーバー現像などで信号線段差14にまで達したコンタクト開口部5に出来た落ち込み段差を橋桁10の膜厚で埋めてしまうことも出来る。更に、信号線1にできたサイドウォールによるオーバーハングも橋桁10の膜で埋めてしまうことが可能である。
また、橋桁10を配置することで、配線構造体4の中で最も弱いとされる屈曲部13の補強効果が得られると共に、エアブリッジ配線の屈曲部13に加わる曲げまたは捻じれ等の負荷集中を橋桁先端23に支点移動させることが可能となる。
さらに、支点移動された橋桁先端23の付け根22には、配線構造を構成する下層絶縁膜8b、電極9、上層絶縁膜8aの3層が成膜されたそのままの状態で配置されるので、従来の配線構造体4の下層絶縁膜8bが残ることによる曲げまたは捻れなどに比べて配線構造体4の機械的強度向上が図れる。
さらに、橋桁先端23と配線構造体4が交わる(重なる)付け根22の部分に対して、少なくとも何れか一方の配線構造体4に円弧で構成される曲線加工45を施すことで、更なる配線構造体4の機械的強度向上が図れる。
また、配線構造体4は半導体センサ検知部2上に配置されており、その一部は信号線1ならびに隣接する半導体センサ装置を跨いでU字に複数回折り曲げられたのちに各々のコンタクト開口部5に接続されて半導体センサ検知部2を宙吊り状態で保持することで、配線長を長く設計することができるため半導体センサ装置の高性能化が期待できる。
また、犠牲層を有機材料系と無機材料系の2層に分けて設けることで、下地の影響で有機材料系の第一犠牲層25を設けた際に出来るうねり成分または凸凹を無機材料系の第二犠牲層26の形成時に埋めるよう膜付けすることができ、第二犠牲層26の上に設けた配線構造体4の形状変形を改善する事ができる。
さらに、配線構造体4を設けたのちに有機材料系で設けた犠牲層の除去を行うと、配線構造体4に有機材料系固有のポリマー状残渣が残ることがあるが、犠牲層を2層に分けることで配線構造体4が完了したのち先に無機材料系の第二犠牲層26を除去することでポリマー状異物が配線構造体4の裏に残る問題を改善することができる。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
Claims (9)
- 複数の信号線とセンサ検知部とが配置された半導体センサ装置であって、
基板上に配置され、前記信号線を構成すると共に前記信号線の幅よりも小さい幅の開口部により上面が露出された導電膜と、
前記導電膜上に形成され、前記開口部を介して前記導電膜と電気的に接続された導電性部材と、
前記導電性部材の上面に形成され、前記信号線間もしくは前記信号線と前記センサ検知部を接続するエアブリッジ構造からなる配線構造体と、を備え、
前記導電性部材の上部表面は前記配線構造体と接触しており、側面は露出されていることを特徴とする半導体センサ装置。 - 前記導電性部材は、断面形状が屈曲部を有するU型またはV型であり、
前記導電性部材の先端部は、円弧状に丸みを有する形状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体センサ装置。 - 前記センサ検知部は、前記複数の信号線に囲まれた領域に配置され、前記信号線とは異なる空間で互いに分離された状態で形成されており、
前記センサ検知部の下部および前記信号線との間には空洞部が設けられており、
前記配線構造体は、前記信号線または前記センサ検知部とは異なる空間で宙に浮いた状態で支持されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体センサ装置。 - 前記配線構造体は、前記センサ検知部の上方でU字状に複数回折り曲げられた状態で配置されたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。
- 前記導電性部材の先端と前記配線構造体が重なる前記配線構造体の付け根部分には、少なくとも一方に円弧で構成された曲線加工が施されたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。
- 前記センサ検知部の上方に前記配線構造体とは異なる空間に配置された赤外線吸収構造を有し、
前記赤外線吸収構造は、前記センサ検知部が形成された領域を覆うように形成されたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体センサ装置。 - 前記赤外線吸収構造は、中心部に設けられた支柱により前記センサ検知部と接続されたことを特徴とする請求項6に記載の半導体センサ装置。
- 基板上に複数の信号線とセンサ検知部を形成する工程と、
前記複数の信号線と前記センサ検知部の上にそれぞれ開口部を有する犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層および前記開口部の表面上に導電性部材を形成する工程と、
前記導電性部材の上に配線構造体を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、を備え、
前記配線構造体を形成する工程の前に前記導電性部材が先行して設けられたことを特徴とする半導体センサ装置の製造方法。 - 基板上に複数の信号線とセンサ検知部を形成する工程と、
前記複数の信号線と前記センサ検知部の上にそれぞれ開口部を有する有機材料系からなる第一犠牲層を形成する工程と、
前記第一犠牲層および前記開口部の表面上に無機材料系からなる第二犠牲層を成膜する工程と、
前記第二犠牲層の上に配線構造体を形成する工程と、
前記第二犠牲層をパターニングする工程と、
前記第一犠牲層を除去する工程と、を備え、
前記配線構造体を形成する工程の前に前記第二犠牲層が成膜されており、前記配線構造体が形成された後に前記第二犠牲層がパターニングされたことを特徴とする半導体センサ装置の製造方法。
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