JP2020047755A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】優れた耐電圧特性と低漏れ電流特性を示し、さらに高耐湿熱性を具備した固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】リン酸エステル化合物を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を用い、誘電体酸化皮膜が形成された弁作用金属上に保持させる処理を施し、次いで該弁作用金属上に導電性高分子からなる固体電解質を形成することで、優れた耐電圧特性と低漏れ電流特性を示し、耐久性、耐湿性が格段に優れる固体電解コンデンサを提供できる。【選択図】なし

Description

本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に関する。

ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の導電性高分子は、優れた安定性及び導電性を有することから、固体電解コンデンサ用電解質に適用されている。

これらの導電性高分子は一般に、溶媒に不溶あるいは難溶、かつ、不融であるため成型、加工が困難である。

固体電解コンデンサは、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属上に、陰極として機能する導電性高分子を含有する固体電解質層を形成してなるものが知られている。

固体電解質層の形成方法としては、化学酸化重合法が知られており、例えば、誘電体酸化皮膜が形成された弁作用金属上にて、モノマー化合物を含む溶液及び酸化剤を付着、接触させることで重合せしめ、前記弁作用金属上に導電性高分子からなる固体電解質層を形成することができる。

しかし、この化学酸化重合法では、重合の際に使用する酸化剤が、誘電体酸化皮膜の損傷を来し、得られる固体電解コンデンサの耐電圧低下及び漏れ電流の増加という問題が生じることが指摘されている。

特許文献１には、固体電解質形成用組成物に、ホウ酸と、３価以上のグリコールを含有しない２価のグリコールを予め添加することで、乾燥固化して固体電解質を形成する際に、該固体電解質中に、誘電体酸化皮膜修復能を有するホウ酸エステルを生成せしめることで、耐電圧の高いコンデンサを得る手法が開示されている。
しかし、該固体電解コンデンサは、耐久性、耐湿性が不十分であるいう問題があった。

以上より、優れた電気特性すなわち高耐電圧及び低漏れ電流を示し、かつ、優れた耐湿熱性を具備する固体電解コンデンサの製造方法が求められていた。

特開２０１７−００４９８６号公報

本発明は、優れた耐電圧特性と低漏れ電流特性を示し、さらに高耐湿熱性を具備した固体電解コンデンサの製造方法を提供するものである。

本発明者等は、リン酸エステル化合物を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を用い、誘電体酸化皮膜が形成された弁作用金属上に保持させる処理を施し、次いで該弁作用金属上に導電性高分子からなる固体電解質を形成することで、優れた耐電圧特性と低漏れ電流特性を示し、耐久性、耐湿性が格段に優れる固体電解コンデンサを提供できることを見出した。

すなわち、本発明は以下に示すものである。

第１の発明は、誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、リン酸エステル化合物を保持させる工程（ａ）、次いで固体電解質層を形成させる工程（ｂ）を少なくとも有する固体電解コンデンサの製造方法において、
前記工程（ａ）が、前記リン酸エステル化合物を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を準備し、該前処理液を前記陽極金属上に接触させ、溶媒を蒸発させることにより、誘電体酸化皮膜上にリン酸エステル化合物を保持させる工程であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。

第２の発明は、前記前処理液は、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒９〜９９重量部にて希釈したものであることを特徴とする第１の発明に記載の固体電解コンデンサの製造方法である。

第３の発明は、前記溶媒がメタノール、エタノール、ブタノール、イソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とした第１又は第２の発明に記載の固体電解コンデンサの製造方法である。

第４の発明は、前記リン酸エステル化合物が、
下記一般式（１）又は（２）で表される化合物であることを特徴とする第１〜第３の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。

上記一般式（１）、（２）中、ｍは６〜２５の整数であり、ｎは１〜２５の整数である。Ｒは、水素、ナトリウム、カリウム及びモノエタノールアミンから選択される少なくとも１種であり、式（１）中に２つ存在するＲは同一又は異なっていてもよい。

第５の発明は、前記誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属が、アルミニウムであることを特徴とする第１〜第４の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。

第６の発明は、前記固体電解質層が、モノマー化合物とドーパントを含む酸化剤溶液とを弁作用金属上で化学酸化重合してなる導電性高分子を含むものであることを特徴とする第１〜第５の発明のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法である。

本発明によれば、優れた電気特性すなわち、高耐電圧特性と低漏れ電流特性を示し、かつ、耐湿熱試験において電気特性の経時変化が極めて少なく、高信頼性の固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。

以下に本発明について説明する。

本発明によって製造される固体電解コンデンサは、誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、固体電解質が形成されてなる固体電解コンデンサである。

［誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属］
陽極金属としては、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン等の弁作用金属を例示することができる。陽極金属の形状としては、微細な粒子を焼結させた焼結体、エッチング等により粗面化処理した箔状あるいは板状の形状で用いられる。
これらの陽極金属の中でも、本発明の作用効果を呈し易いという面からエッチング等により粗面化処理した箔状のアルミニウムが極めて好適である。

陽極金属に公知の化成処理を施すことによって弁作用金属の表面に誘電体酸化皮膜を形成することができる。例えば、アジピン酸二アンモニウム等の水溶液中で陽極酸化処理を行い、陽極金属上に誘電体酸化皮膜を形成することができる。

［リン酸エステル化合物］
本発明に用いられるリン酸エステル化合物は、ポリオキシエチレンアルキル（Ｃ１２、Ｃ１３）エーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキル（Ｃ８）エーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンスチレン化フェニルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレントリデシルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレントリデシルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸エステル・モノエタノールアミン塩、ポリオキシプロピレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル・Ｎａ塩を例示することができる。

上記の中でも、本発明に用いるリン酸エステル化合物としては、下記一般式（１）又は（２）で示される化合物であることが好ましい。

上記式（１）、（２）中、ｍは６〜２５の整数であり、ｎは１〜２５の整数である。Ｒは、水素、ナトリウム、カリウム及びエタノールアミンから選択される少なくとも一種であり、式（１）中に２つ存在するＲは同一又は異なっていてもよい。

市販されている上記一般式（１）又は（２）で表される化合物としては、例えば、プライサーフＡ２０８Ｆ（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレンアルキル（Ｃ８）エーテルリン酸エステル）、プライサーフＡ２１２Ｃ（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレントリデシルエーテルリン酸エステル）、プライサーフＡ２１５Ｃ（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレントリデシルエーテルリン酸エステル）、プライサーフＡ２１０Ｄ（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレンアルキル（Ｃ１０）エーテルリン酸エステル）、プライサーフＤＢ−０１（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸エステル・モノエタノールアミン塩）、プライサーフＡ２０８Ｂ（商品名、第一工業製薬株式会社製、ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸エステル）、フォスファノールＲＤ−７２０（商品名、東邦化学工業株式会社製、ポリオキシエチレンオレイルエーテルリン酸ナトリウム）等が挙げられる。

［前処理液の溶媒］
本発明の前処理液の溶媒は、水又は有機溶媒を用いることができる。

有機溶媒としては、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、セロソルブ類、芳香族炭化水素類、脂肪族炭化水素類等を用いることができる。

アルコール類としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、ｓ−ブタノール、ｔ−ブタノール、ｎ−アミルアルコール、ｓ−アミルアルコール、ｔ−アミルアルコール、アリルアルコール、イソアミルアルコール、イソブチルアルコール、２−エチルブタノール、２−オクタノール、ｎ−オクタノール、シクロヘキサノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、ｎ−ヘキサノール、ｎ−ヘプタノール、２−ヘプタノール、３−ヘプタノール、ベンジルアルコール、メチルシクロヘキサノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、グリセリン、ジエチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。

ケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、メチル−ｎ−プロピルケトン等が挙げられる。

エステル類としては、アセト酢酸エチル、安息香酸エチル、安息香酸メチル、蟻酸イソブチル、蟻酸エチル、蟻酸プロピル、蟻酸メチル、酢酸イソブチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸メチル、サリチル酸メチル、シュウ酸ジエチル、酒石酸ジエチル、酒石酸ジブチル、フタル酸エチル、フタル酸メチル、フタル酸ブチル、γ−ブチロラクトン、マロン酸エチル、マロン酸メチル等が挙げられる。

セロソルブ類としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等が挙げられる。

芳香族炭化水素類としては、ベンゼン、トルエン、キシレン等が挙げられる。

脂肪族炭化水素類としては、ヘキサン、シクロヘキサン等が挙げられる。

前記溶媒は単独で用いる他、混合して用いることができる。

前記溶媒の中でも特に、メタノール、エタノール、ブタノール、イソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることが、好ましく挙げられる。

［リン酸エステル化合物を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液］
上述した前処理液は、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒９〜９９重量部で希釈したものが好ましく、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒１３〜９９重量部であることがより好ましく、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒１９〜３５重量部であることが特に好ましく挙げられる。該範囲にすることで、リン酸エステル化合物を弁作用金属上に効率よく保持させることができ、特に高耐電圧と低漏れ電流特性を有する固体電解コンデンサを製造することができる。
すなわち、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒９９重量部以上で希釈したものを使用して固体電解コンデンサを製造した場合には、耐電圧特性が向上しない場合がある他、耐湿熱試験後に、静電容量の減少、ＥＳＲの増加が顕著になる場合がある。
また、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒９重量部以下で希釈したものを使用して固体電解コンデンサを製造した場合には、初期特性において、静電容量の減少、ＥＳＲの増加が顕著になる場合がある。

［リン酸エステル化合物を保持させる工程］
上述したリン酸エステル化合物を保持させる工程を次に述べる。上述した前処理液を、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属に接触させた後、乾燥し溶媒除去させることで、リン酸エステル化合物を保持させる。接触させる方法は、任意の方法でよいが、好ましくは、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を前処理液中に浸漬させる方法が挙げられる。

つまり、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を上述した前処理液に浸漬し引き上げた後乾燥して、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属上にリン酸エステル化合物を付着させる工程を有することが好ましく挙げられる。

誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を、上記前処理液に浸漬し、引き上げた後、乾燥する工程を複数回繰り返してもよい。

乾燥は室温での自然乾燥から加熱乾燥までのいずれでもよいが、８０℃以上に加熱して乾燥させるのが好ましく挙げられる。

より具体的な工程の一例として、前処理液中に誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を３０秒間浸漬後、８５℃にて１５分乾燥し、次いで、１５５℃にて１５分乾燥する工程を例示することができる。

［固体電解質］
前記固体電解質層を形成させる工程に用いられる導電性高分子は、好ましくはドーパントをドープした重合体である。重合体を製造するのに用いるモノマー化合物としては、特に制限されるものではなく、例えば、ピロール類、チオフェン類、アニリン類等を用いることができるが、導電性に優れることから、下記一般式（３）で表されるチオフェン化合物であることがより好ましい。

上記一般式（３）中、Ｒaは水素原子又は炭素数１〜６の直鎖又は分岐状のアルキル基を示し、Ｘはそれぞれ同一でも異なっていても良い酸素原子又は硫黄原子を示す。

上記一般式（３）で表されるチオフェン化合物として、具体的には、３，４−エチレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、プロピル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、３，４−プロピレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、プロピル−３，４−プロピレンジオキシチオフェン、３，４−エチレンジチアチオフェン、メチル−３，４−エチレンジチアチオフェン、エチル−３，４−エチレンジチアチオフェン、プロピル−３，４−エチレンジチアチオフェン、３，４−プロピレンジチアチオフェン、メチル−３，４−プロピレンジチアチオフェン、エチル−３，４−プロピレンジチアチオフェン、プロピル−３，４−プロピレンジチアチオフェン等が挙げられる。

これらの中でも特に固体電解コンデンサにおける電気特性に優れる点より、３，４−エチレンジオキシチオフェン、メチル−３，４−エチレンジオキシチオフェン、エチル−３，４−エチレンジオキシチオフェンが特に好ましく挙げられる。

本発明に用いることができる導電性高分子は、上記一般式（３）で表されるチオフェン化合物等のモノマー化合物を、上記ドーパントの存在下で化学酸化重合することによって得ることができる。化学酸化重合のための酸化剤は例えば特開２０１０−３１１６０号公報記載の公知の酸化剤を用いることができる。

該ドーパントとしては、高分子への化学酸化ドープが起こりうる官能基を有していればよく、硫酸エステル基、リン酸エステル基、リン酸基、カルボキシル基、スルホ基等が好ましく挙げられる。これらの中でも、ドープ効果の点より、硫酸エステル基、カルボキシル基、スルホ基がより好ましく挙げられ、スルホ基が特に好ましく挙げられる。

ドーパントとして、例えば、ヨウ素、臭素、塩素等のハロゲンイオン、ヘキサフルオロリン、ヘキサフルオロヒ素、ヘキサフルオロアンチモン、テトラフルオロホウ素、過塩素酸等のハロゲン化物イオン、又はメタンスルホン酸、ドデシルスルホン酸等のアルキル置換有機スルホン酸イオン、カンファースルホン酸イオン等の環状スルホン酸イオン、又はベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ベンゼンジスルホン酸等のアルキル置換もしくは無置換のベンゼンモノもしくはジスルホン酸イオン、２−ナフタレンスルホン酸、１，７−ナフタレンジスルホン酸等のスルホン酸基を１〜４個置換したナフタレンスルホン酸のアルキル置換もしくは無置換イオン、アントラセンスルホン酸イオン、アントラキノンスルホン酸イオン、アルキルビフェニルスルホン酸、ビフェニルジスルホン酸等のアルキル置換もしくは無置換のビフェニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合体等の高分子スルホン酸イオン等、またはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸イオン、メトキシベンゼンスルホン酸、エトキシベンゼンスルホン酸、キシレンスルホン酸が挙げられる。これらの中でも、ポリスチレンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、メトキシベンゼンスルホン酸、エトキシベンゼンスルホン酸、キシレンスルホン酸から選ばれる少なくとも一種がより好ましく挙げられ、パラトルエンスルホン酸が特に好ましく挙げられる。

［固体電解質層を形成させる工程］
前記固体電解質層を形成させる工程を次に述べる。上述したモノマー化合物とドーパント及び酸化剤を含む混合溶液を、リン酸エステル化合物を保持した弁作用金属に接触させた後、重合させることで、リン酸エステル化合物を保持した弁作用金属に、導電性高分子を形成さしたコンデンサ素子を作製する。接触させる方法は、任意の方法でよいが、好ましくは、上述したモノマー化合物とドーパント及び酸化剤を含む混合溶液に浸漬させる方法が挙げられる。

つまり、リン酸エステル化合物を保持した弁作用金属を、上述したモノマー化合物とドーパントを含む溶液に浸漬し引き上げた後加熱して、誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属上で化学酸化重合し導電性高分子を形成させる工程を有することが好ましく挙げられる。

誘電体酸化皮膜を有する弁作用金属を、上述したモノマー化合物とドーパント及び酸化剤を含む混合溶液に浸漬し、引き上げた後、乾燥する工程を複数回繰り返してもよい。

固体電解質を形成させる工程は、モノマー化合物とドーパントを含む酸化剤溶液を交互に接触させる化学重合法や、電解重合法や、導電性高分子分散液を前記弁作用金属に接触させる方法も挙げられる。

乾燥は室温での自然乾燥から加熱乾燥までのいずれでもよいが、導電性高分子分散液に高沸点有機溶媒を含有させている場合には、１５０℃以上に加熱して乾燥させるのが好ましく挙げられる。

［固体電解コンデンサ］
用いる弁作用金属の種類、形状により、固体電解コンデンサはチップ型、巻回型とすることができる。

（実施例１）
弁作用金属として大きさが７×１００ｍｍのアルミニウム陽極箔を準備し、セパレータ紙を介して対向させた陰極箔とともに巻回し、陽極箔、陰極箔にそれぞれリードを取り付けることでコンデンサ素子を準備した。なお、アルミニウム陽極箔には誘電体酸化皮膜を形成するために予め化成処理を施した。

（前処理液の製造）
リン酸エステル化合物としてプライサーフＡ２０８Ｆ（第一工業製薬株式会社製)５重量部をエタノール９５重量部で希釈し前処理液を得た。

（導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液の製造）
４部の２−エチル−２，３−ジヒドロチエノ［３，４−ｂ］−１，４−ジオキシン（２−エチル−ＥＤＯＴ）と１０部の５０％パラトルエンスルホン酸第二鉄／エタノール溶液を混合し、導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液を得た。

（リン酸エステル化合物を保持させる工程）
次に、上記前処理液に、上記コンデンサ素子を３０秒間浸漬し、素子をゆっくり引き上げた後、８５℃で１５分、ついで１５５℃で１５分送風乾燥させた。

（固体電解質層を形成する工程）
次に、上記で得られた導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液に、上記コンデンサ素子を３０秒間浸漬し、８５℃で３０分乾燥させる工程を行った後、さらに２３０℃で３分間熱処理を行って固体電解質層を形成させ、コンデンサ素子を製造し、評価に供した。

（実施例２，３）
リン酸エステル化合物としてプライサーフＡ２０８Ｆをエタノールにて希釈する倍率を表１に対応するように変更した以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを製造した。

（比較例１）
実施例１に記載のリン酸エステル化合物を保持させる工程を行わなかった以外は、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを製造した。

（比較例２，３）
導電性高分子モノマーとドーパント及び酸化剤を含む混合溶液にリン酸エステル化合物を含有させた重合液を用いて固体電解コンデンサを製造した。
すなわち、４部の２−エチル−２，３−ジヒドロチエノ［３，４−ｂ］−１，４−ジオキシン（２−エチル−ＥＤＯＴ）と１０部の５０％パラトルエンスルホン酸第二鉄／エタノール溶液及びプライサーフＡ２０８Ｆ（第一工業製薬株式会社製)を表１のとおり混合し、導電性高分子モノマー、ドーパント、酸化剤及びリン酸エステル化合物を含む混合溶液を得た。
実施例１に記載のリン酸エステル化合物を保持させる工程を行わない以外、実施例１と同様にして固体電解コンデンサを製造した。

＜固体電解コンデンサの耐電圧及び漏れ電流の評価＞
実施例１〜３及び比較例１〜３より得られた固体電解コンデンサについて、０Ｖより印加電圧を１Ｖ刻みで段階的に昇圧していき、各電圧で１０秒間保持した後の漏れ電流を測定し、コンデンサの漏れ電流が５００ｍＡを超えた時の電圧を耐電圧値とした。印加電圧は１００Ｖを上限として測定した。耐電圧（以下、「ＢＤＶ」と記載する。）及び漏れ電流（以下、「ＬＣ」と記載する。）を測定した。
測定結果を表１に示す。

＜固体電解コンデンサの耐熱試験＞
実施例１〜３及び比較例１〜３にて得られた固体電解コンデンサを、１５５℃の恒温槽中で印加電圧なしの条件で１００時間静置し、試験前後の固体電解コンデンサの１２０Ｈｚにおける静電容量（Ｃａｐ.：μＦ）、１００ｋＨｚにおける等価直列抵抗（ＥＳＲ：ｍΩ）を測定した。測定結果を表２に示す。

＜固体電解コンデンサの耐湿性試験＞
実施例１〜３及び比較例１〜３にて得られた固体電解コンデンサを、６０℃、８５％ＲＨの恒温槽中、印加電圧無しの条件で１００時間静置し、試験前後の固体電解コンデンサの１２０Ｈｚにおける静電容量（Ｃａｐ.：μＦ）を測定し、１００ｋＨｚにおける等価直列抵抗（ＥＳＲ：ｍΩ）を測定した。測定結果を表３に示す。

本発明の固体電解コンデンサは信頼性、耐久性に優れるため、高周波数のデジタル機器等に適用できる。

Claims (6)

1. 誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属上に、リン酸エステル化合物を保持させる工程（ａ）、次いで固体電解質層を形成させる工程（ｂ）を少なくとも有する固体電解コンデンサの製造方法において、
   前記工程（ａ）が、前記リン酸エステル化合物を溶媒にて所定濃度に希釈した前処理液を準備し、該前処理液を前記陽極金属上に接触させ、溶媒を蒸発させることにより、誘電体酸化皮膜上にリン酸エステル化合物を保持させる工程であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
2. 前記前処理液は、リン酸エステル化合物１重量部に対し、溶媒９〜９９重量部にて希釈したものであることを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
3. 前記溶媒がメタノール、エタノール、ブタノール、イソプロピルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とした請求項１又は２に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
4. 前記リン酸エステル化合物が、
   下記一般式（１）又は（２）で表される化合物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
   

   

   

   （上記一般式中、ｍは６〜２５の整数であり、ｎは１〜２５の整数である。Ｒは、水素、ナトリウム、カリウム及びモノエタノールアミンから選択される少なくとも１種であり、式（１）中に２つ存在するＲは同一又は異なっていてもよい。）
5. 前記誘電体酸化皮膜を形成させた陽極金属が、アルミニウムであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
6. 前記固体電解質層が、モノマー化合物とドーパントを含む酸化剤溶液とを弁作用金属上で化学酸化重合してなる導電性高分子を含むものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。