JP2020038006A - ダイヤフラムバルブ - Google Patents
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Abstract
Description
1.高圧気体で弁軸のピストンを駆動して開閉する;
2.手動機構で開閉する;
3.電動機構で開閉する;
4.機構により流量を調節する;
5.輸送液体が発生する静電気を排除できる;
6.金属ボルトを採用して弁体をしっかり締める;
7.非金属のねじ山を採用して弁体をしっかり締める;
8.パーティクル放出構造がない;
9.構造のクリープを防止する;
10.漏洩を検出する。
操作温度: 80℃未満、少数の特殊設計では160℃未満
常温耐圧等級: 3kg/cm2、5kg/cm2
ダイヤフラムに特殊設計と弁体構造の厚み追加を採用したとき常温耐圧7kg/cm2も達成可能であるが、これら従来技術はいずれも200℃の操作温度要求を満たすことはできない。
問題1:熱伝導制限について、伝熱面積とは熱源エリアの熱伝導経路上の構造断面積を指し、制限を受けることで熱伝導の熱量を抑える目的を達する必要がある。熱源エリアは方形部の方形板、積厚、流路側壁、垂直リブ板を経由して環状部と上弁体へ伝導し、より多くの熱量がシリンダ構造体へ伝達される。ダイヤフラム中心部は大きな面積が輸送液体中に浸り、大量の熱源が弁軸上に伝達される。かつ出入口管上方の積厚が大きい伝熱面積を有し、出口熱源エリアと入口熱源エリアの熱量を直接方形板、環状部、上弁体に伝導する。環状部と上弁体はいずれも大きい伝熱面積を有し、熱伝導の主要経路となる。出入口管コネクタも積厚エリアと相互に連結される。4つのボルトカラムも厚い体積と面積を有し、大量の熱伝達を形成する。4つの金属ボルト自体も熱量伝達の良い導体となる。
問題2:自然冷却について、外側表面は十分な自然冷却ができなければならず、さもないと十分な放熱量を提供して構造の温度勾配と構造強度を維持することができない。特に方形部の内部の熱空気を外へ放熱できず、たくさんの熱量が上の環状部へと伝達されることになり、たくさんの熱量が環状部と上弁体の大断面積を介して上弁体に伝達される。
問題3:内部冷却について、ダイヤフラムが熱源エリアに隣接し、かつダイヤフラムの円周部が環状部に密着しているため、熱量が集中する区域となり、また変形して漏洩を生じやすい位置でもある。ダイヤフラム中心部の大面積が輸送液体中に浸り、大量の熱源が集中して弁軸上へ伝達される。外部から引き込む冷却気体はダイヤフラムの円周部と弁軸の冷却受容を満たす必要がある。次に、さらに弁部と駆動シリンダの構造にも圧力を受ける問題と往復運動の問題があり、加えて環境腐蝕気体の問題も含まれ、いずれも密封の失効を引き起こす。以下で説明する。
問題4:圧迫密封は、構造強度、ピストン往復運動、環境気体腐蝕等の3つの要素を含む。構造強度について、シリンダ構造体と弁体が4本の金属ボルトの圧迫力を受けて密封されており、部材自体の構造強度が不足すると、クリープが発生する。例えば構造の厚みが薄すぎると、高温で変形が大きくなり、ボルトの圧迫力が低下してダイヤフラムの漏洩を引き起こす。ピストン往復運動について、ピストン往復運動、ばねの反作用力、駆動気体圧力のすべてをシリンダ構造体が受けており、かつ作用力が直接上弁体に加えられてから弁体に伝達され、ダイヤフラムの圧迫力に影響する。シリンダ構造体と弁体も振動によりクリープと変形が生じて、ボルトの圧迫力が低下し、ダイヤフラム円周部の圧迫力が低下して漏洩が引き起こされる。環境気体腐蝕について、4本の緊締ボルトはボルトカラムの保護があるが、腐蝕気体の高浸透力でボルトカラムの第1密封面と第2密封面に侵入し、ボルトの破損が生じて圧迫力が低下する。特に、ボルトカラムの第2密封面の位置がダイヤフラム外縁に接近しており、ボルト腐蝕のリスクと双方向浸透汚染の恐れが大幅に高まる。
以上の問題1から問題4はダイヤフラムバルブが高温200℃の条件下で持続運用されるときに直面する問題であり、その他の重要な要件面でさらに次の問題がある。
問題5:防振装置について、ピストン往復運動とばねの反作用力が振動を発生し、長時間の運用下で構造がクリープにより変形して圧迫度の低下を引き起こす。多くの従来技術がばね、防振ゴム等を用いて振動を減少し、ダイヤフラムの漏洩を回避しており、振動を低下させると同時に摩擦パーティクルの発生も減少することができる。
問題6:摩擦パーティクルについて、弁軸の同心度と垂直度を確保する必要がある。特に200℃のとき、ダイヤフラムと弁座を正面で圧接できるよう確保し、両者間に摩擦がなければパーティクルの発生もない。弁体、上弁体、弁上蓋の構造に変形が生じ、弁軸が同心度と垂直度を維持できなくなると、ダイヤフラムと弁座を正面で圧接できなくなり、ダイヤフラムと弁座に摩擦が生じてパーティクルが発生する。これ以外は即ち防振方法の採用である。
問題7:静電除去について、非導電性液体の輸送時、弁体とダイヤフラムの両方に静電気累積の問題があり、重大な場合放電の火花によってダイヤフラムに破損を生じることがある。多くの従来技術が導電材料をダイヤフラムの非接液背面側に貼付し、累積した静電気を導き出して放電によるダイヤフラム破損を回避する方法を採用している。
問題1:熱伝導制限について、方形板と入口管及び出口管の間に1つの管路直径幅の積厚エリアが残されており、このような大きな伝熱面積は大量の熱を環状部と上弁体に伝達することになり、流路側壁の厚みも熱伝導面積を大幅に増加する。ダイヤフラムの円周部に固定リングを増設しても熱伝導面積が増加する。4つの金属ボルトとボルトカラムが環状部に隣接しており、これも大量の熱の伝達を形成する。
問題2:自然冷却について、表面積の自然冷却しかなく、上弁体と弁上蓋はいずれも表面の自然放熱だけで、第1型方形部の格子状垂直リブ板はまったく効果的に放熱することができず、熱量が継続してダイヤフラムバルブ内に累積し、全体構造がすべて高温になる。第2型方形部の格子状垂直リブ板はまったく効果的に放熱することができない。
問題3:内部冷却について、外部気体冷却を引き込む内部メカニズムがなく、弁軸ユニットの冷却がない。
問題4:圧迫密封について、環状部、圧迫部、ダイヤフラム円周部、ダイヤフラム中心部が継続的に熱量を伝達し、かつ継続してシリンダ構造体内に累積されるため、シリンダ構造体全体に高温による構造のクリープと変形が増加し、緊締された4本の金属ボルトの緩みを引き起こす。シリンダ室が上弁体に位置し、ピストンの往復運動とシリンダ室の圧力が上弁体に直接加えられ、上弁体の圧迫部がダイヤフラムの円周部を効果的に圧迫できなくなりやすい。方形板が入口管と出口管を緊密に連結し、また積厚の存在もあり、入口管と出口管に高温高圧流体が充満されて変形が発生すると、方形板が共に変形し、かつ流路側壁の真円度を維持できなくなる。本参考例はカップ状構造体の外縁の変形に対してのみ改善されており、最終的なダイヤフラムバルブは160℃未満の温度下で動作できるのみであり、200℃未満の高温要求を満たすことができない。第2型弁体は方形部のリブ板の支持がない状態下で、動作圧力は常温下動作圧力3kg/cm2の要求を満たせるのみである。
1996年の日本特許公開第H08152078(A)号エアーオペレートバルブは、ダイヤフラムの開閉状態を検出できるリニア磁気構造を備え、この参考例の構造は、高温用途に用いるのではなく、常温用途に適しているが、これは管コネクタが外部に露出された構造であり、入口コネクタ熱源エリアと出口コネクタ熱源エリアがなく、比較的小さい入口管熱源エリアと出口管熱源エリアがあり、その他従来技術の構造に比べて熱源エリアが相対的に小さいという特徴を備えている。但し、その入口管と出口管にはやはり大面積の積厚エリアがあり、熱伝導通路を形成して直接方形板と環状部に連接される。本参考例の上弁体はねじ山を用いて弁体の環状部外側に緊締され、環状部の伝熱断面積が縮小されている。ダイヤフラムを固定する環状部材が環状部内側に緊締され、かつ大きな伝熱断面積を有し、ダイヤフラム中心部上側にやはり大きな伝熱面積があり、このような構造は熱源隔離設計を欠いている。弁上蓋の中心にある駆動気体コネクタが弁軸中心の駆動気体ガイド孔に連結され、気体をシリンダ内部に深く進入させてピストンの一側に到達させ、ピストンの駆動に用いるが、該通気孔は弁軸上の冷却要求を満たすために用いることはできず、強制冷却を実行する設計メカニズムもない。放熱メカニズムの面では、弁体が直接空気中に暴露され、直接自然冷却を行い、高温度勾配の設計を欠いている。1992年の日本の特許公開第H04181079(A)号空気圧作動弁も、類似した弁軸に駆動気体ガイド孔を設けた従来技術である。
問題1:熱伝導制限について、環状部とダイヤフラム円周部が分離されており、環状部を介して伝達される熱量はダイヤフラムの円周部に集中せず、ダイヤフラムを固定する環状部材は大きな伝熱断面積を有し、ダイヤフラム中心部上側にも大きな伝熱面積があるため、大量の熱源がダイヤフラムから伝達される。
問題2:自然冷却について、ダイヤフラムは大量の熱源を伝達する問題があり、表面の自然冷却のみでは大量の放熱を提供して温度勾配を維持することができない。
問題3:内部冷却について、外部から気体を取り込んで冷却するメカニズムがなく、軸心の駆動気体ガイド孔は弁軸の冷却を補助するが、ダイヤフラムの冷却には役立たない。
問題4:圧迫密封について、環状部材が環状部内側に緊締固定され、ダイヤフラムの円周部を圧迫するために用いられ、上弁体の圧迫の有効性を増加し、ピストン往復運動のダイヤフラム圧迫に対する影響を低下させることができる。
1997年の日本の特許公開第H09217845(A)号ダイヤフラム弁は、防振ばねを有するノーマルクローズ型のダイヤフラムバルブである。この参考例の構造は、高温用途ではなく常温用途に適用され、ピストン上方にノーマルクローズ型のスプリングがあり、ダイヤフラムを弁座上に押し当てることができ、ピストン下方に補助ばねがあり、ダイヤフラムが閉じるとき円滑に閉じられるようにする。これにより弁座が発生するパーティクルを大幅に抑制することができる。
問題1:熱伝導制限について、大面積の積厚エリアがあり、かつ出入口管コネクタも積厚エリアに連結されており、環状部がダイヤフラム円周部でより大きな熱伝導面積を有し、流路側壁の厚みも伝熱面積を大幅に増加している。4つの金属ボルト及びボルトカラムも大量の熱伝達を形成し、高温下でこれらの熱量が上弁体に伝達され、構造強度が低下し、重度のクリープと変形が発生する。
問題2:自然冷却について、外側表面の自然冷却のみで、特別な冷却策はなく、高温度勾配の設計が欠落している。
問題3:内部冷却について、外部から気体を取り込んで冷却するメカニズムがない。
問題4:圧迫密封について、常温で用いられ、熱量が継続的にダイヤフラムバルブ内に累積される問題を考慮しておらず、高温による構造のクリープと変形の問題も考慮していない。
問題5:防振装置について、ピストン往復運動とばねの反作用力が振動を発生し、長時間の運用下で構造がクリープにより変形して圧迫度の低下を引き起こす。本参考例はばねを用いて振動を減少し、ダイヤフラムの漏洩を回避しており、振動を低下させると同時に摩擦パーティクルの発生も減少することができる。
問題6:摩擦パーティクルについて、本参考例は弁体、上弁体、弁上蓋の高温変形に対して特別な設計はなく、特に200℃のとき、弁軸の同心度と垂直度を確保してパーティクルの発生を減少することができない。
2015年の中国特許第104633171(A)号弁装置は、高温用途ではなく常温用途に適用され、これは弁軸の中心に導電材が設置され、設置輸送液体に接触してダイヤフラムの静電気を排除できる弁構造である。非導電性の高純度水またはその他非導電性液体を輸送する状況下で、非導電性のダイヤフラムと弁体に摩擦静電気が蓄積され、ダイヤフラムに高電圧の静電気が発生して上弁体に対し放電すると、ダイヤフラムが破損することもある。弁軸上の導電材は通常熱の導体でもあり、弁室から熱源をその他構造に伝達しやすく、熱源隔離設計上非常に不利である。2010年の日本の特許公開第2010121689(A)号ダイヤフラム弁は、ダイヤフラムの非接液側に導電性の材料を設置している。
問題1:熱伝導制限について、大面積の積厚エリアがあり、かつ出入口管コネクタも積厚エリアに連結されている。流路側壁の厚みも熱伝導面積を大幅に増加しており、ダイヤフラム中心部も大きな伝熱面積がある。
問題2:自然冷却について、外側表面の自然冷却のみで、特別な冷却策はなく、高温度勾配の設計が欠落している。
問題3:内部冷却について、外部から気体を取り込んで冷却するメカニズムがない。
問題4:圧迫密封について、上弁体が弁体上に緊締され、弁上蓋が上弁体に緊締されており、上弁体がピストンの運動とばねの作用力及び高圧駆動気体の圧力を直接受け、上弁体のダイヤフラム円周部に対する圧迫に影響する。
問題5:防振装置について、本参考例は上弁体に弾性ゴムを設置して振動を減少し、ダイヤフラムの漏洩を回避している。
問題7:静電気除去について、弁軸の中心に導電材を設置すると静電気の伝導に有利であるが、熱源隔離には不利である。日本特許公告第2010121689(A)号ダイヤフラム弁の静電気ガイド形態は熱量伝達の問題を回避できる。
2003年米国特許第6612538(B2)号二方弁は、高温用途ではなく常温用途に適用され、本参考例の対策は、弁軸の中心に金属ボルトを設置し、金属ボルトでダイヤフラムをしっかりと弁軸上に緊締し、上弁体の二端にねじ山が設けられ、弁体上への緊締と弁上蓋の連結に用いられ、弁の外側表面に金属ボルトがなく、環境気体による腐蝕を回避できる。本参考例はさらに回動可能な環状部材が設置され、駆動気体コネクタの取り付けに用い、高圧駆動気体管路の配置をより便利にしている。該環状部材は本体と弁上蓋により圧迫密封される。本参考例は上弁体に防振パッドが設置され、ピストン運動の振動を減少し、上弁体のねじ山の緩みを回避している。本参考例に設置された環状部材は重要な特徴であるが、実務上高圧気体管路は環境気体管路の構造部材上に固定される必要があり、かつこれらの管路はすべて設定された配置方向があるため、このような装置は弁の価値を高めることはできず、かつ別途追加の密封要求があり、高温用途での使用により不利で、部材数が多くなるとより多くの構造がクリープのリスクに晒される。その出入口管は大面積の積厚エリアがあり、熱伝導チャネルを形成して方形板と環状部に直接連接され、ダイヤフラム外環部が流路側壁の上方に設置され、上弁体が環状部内側に緊締されてダイヤフラム外環部を圧迫し、かつダイヤフラム外側の環状部に大きな伝熱面積がある。弁軸の金属ボルトが熱源隔離を失効させ、高い温度勾配を確立することができない。弁体の環状部と上弁体の圧迫部はいずれも熱量を外部へ伝達する主要経路であり、かつ環状部と積厚エリアが熱伝導チャネルを形成し、高温下で、これらの熱量が上弁体に伝達され、構造強度を低下させ、重度のクリープと変形を生じる。ダイヤフラム中心部の大面積が輸送液体中に浸漬され、大量の熱が弁軸上に伝達される。軸心の金属ボルトが熱伝達の高速チャネルを形成し、弁軸に接触するフッ素Oリングは160℃を超過する条件下でシール機能を喪失する。軸心の金属軸はダイヤフラム漏洩時金属腐蝕と汚染の問題がある。ダイヤフラムの円周部が大量の熱源の問題があり、また特別な冷却策もなく、高い温度勾配を確立することもできない。
問題1:熱伝導制限について、大面積の積厚エリアがあり、かつ出入口管コネクタも積厚エリアに連結されている。流路側壁の厚みも熱伝導面積を大幅に増加しており、環状部の構造が大きな伝熱面積を有し、かつダイヤフラム中心部も大きな伝熱面積がある。
問題2:自然冷却について、外側表面の自然冷却のみで、特別な冷却策はなく、高温度勾配の設計が欠落している。
問題3:内部冷却について、外部から気体を取り込んで冷却するメカニズムがない。
問題4:圧迫密封について、これはダイヤフラムバルブの外部の緊締に用いる4本のボルトが使用環境の腐蝕気体による侵蝕を受け、ボルトに緩み、さらには断裂が生じ、ダイヤフラムの圧迫力不足が引き起こされ、実質的な漏洩が生じることを回避するためのものである。上弁体が弁体上に緊締され、弁上蓋が上弁体に緊締されており、上弁体がピストンの運動とばねの作用力及び高圧駆動動気体の圧力を直接受け、上弁体のダイヤフラム円周部に対する圧迫に影響する。回動可能な環状部材が弁体と弁上蓋の間に設置され、かつ上弁体の外周面で密封を形成し、上弁体の緩みのリスクも増加している。
2014年中国特許第103717954(A)号流体制御弁は高温用途に適用され、本参考例の駆動シリンダは、上弁体を含み、ここではシリンダ本体と呼ぶ。この特許の特徴は、シリンダ室と弁体との当接面の間にくびれが設けられていることであり、該当接面が弁部と駆動シリンダの間に位置し、ダイヤフラム円周部を圧迫するために用いられる。該当接面が弁体にある部分をここでは環状部と呼び、くびれはシリンダ本体の断面積を小さくする。くびれ下方に円板状のフランジ部が設けられ、金属ボルトで弁体と金属固定板を固定し、ダイヤフラム円周部が固定板と円板状のフランジ部の挟持下で圧迫力を維持することができる。次に、ダイヤフラムの非接液側に冷却気体コネクタが設置され、かつ軸心の中心孔を経由してシリンダ室の排気口に連接される。目的は200℃〜250℃の高温用途に提供することにある。本参考例の最良の実施例は、弁部にフッ素樹脂を採用し、駆動シリンダが密封部材以外すべて金属材質である。弁本体の熱量が限定され環状部を経由して円板状のフランジ部に伝達され、熱量の伝達経路がさらにくびれの断面積減少による制限を受けるため、熱量を駆動シリンダに効果的に伝達できず、加えて外部気体の冷却で高温運用を問題なく確保することができる。フッ素樹脂材質の弁部は200℃を超過すると大量のクリープが発生するが、弁体の環状部が固定板と円板状のフランジ部により挟持されており、金属ボルトが固定板上に緊締され高温の影響を受けず、弁体が発生するクリープも金属ボルトに緩みを生じさせることがない。
問題1:熱伝導制限について、ダイヤフラムの円周部が流路熱源エリアに隣接しており、環状部の密封溝とダイヤフラムの円周部が最も熱変形により漏洩が発生しやすい位置となり、かつ弁体の環状部が熱量伝達の主要経路となる。熱量が非金属の円板状フランジに累積し、非金属の固定板がダイヤフラム円周部の圧迫量維持をサポートできるが、高温による構造の変形で生じる漏洩のリスクがやはり高い。実質的に有効な熱伝導制限エリアは上弁体のくびれにあり、フッ素樹脂構造の高温変形を引き起こしやすい。
問題2:自然冷却について、ダイヤフラムの円周部が流路熱源エリアに隣接しており、環状部の密封溝とダイヤフラムの円周部が最も熱変形により漏洩が発生しやすい位置となる。弁体と上弁体はいずれも表面からの自然放熱に依存し、全フッ素樹脂のくびれの構造強度を確保できず、また弁軸の同心度と垂直度を維持することもできない。
問題3:内部冷却について、外部気体を取り込む冷却メカニズムがあり、ダイヤフラムの非接液側に冷却気体コネクタが設置され、かつ軸心の中心孔を経由してシリンダの排気口に連接されており、このような配置はダイヤフラムの円周部に対して更なる冷却を提供することはできない。
問題4:圧迫密封について、フッ素材料の円板状フランジと非金属の固定板は多くの熱量を受けるため変形し、それにより緊締ボルトが緩み、ダイヤフラム円周部の圧迫力が低下する。高温も駆動シリンダの往復振動でくびれ構造の変形を直接引き起こす。
2004年の日本特許公開第2004019792A号ダイヤフラム弁の透過ガス排出構造は、極微量の流体がダイヤフラムを透過して、ダイヤフラムの背面側で継続的に蓄積し、これらの継続的に蓄積した腐蝕性流体がバルブの内部部品を破損させる問題を解決するものである。本参考例の構造は4本の緊締ボルトを使用して、弁体、上弁体、弁上蓋を一緒に緊締し、そのうち弁上蓋の内部チャンバが駆動シリンダであり、かつ駆動気体コネクタを備え、弁軸のピストンがシリンダ室内で往復運動し、上弁体がダイヤフラム非接液側に2つの相互に連通された洗浄気体ガイド孔とコネクタを備え、1つが入口で、1つが出口であり、蓄積した透過流体を排除することができる。
問題1:熱伝導制限について、ダイヤフラムの円周部が流路熱源エリアに隣接しており、環状部の密封溝とダイヤフラムの円周部が最も熱変形により漏洩が発生しやすい位置となり、かつ上弁体が大きな伝熱面積を有し、熱量の蓄積を引き起こす。4つの金属ボルトとボルトカラムも大量の熱伝達を形成し、全体構造が高温で変形して漏洩を発生するリスクがやはり高い。
問題2:自然冷却について、ダイヤフラムの円周部が流路熱源エリアに隣接しており、環状部の密封溝とダイヤフラムの円周部が最も熱変形により漏洩が発生しやすい位置となる。弁体は表面の自然放熱に依存しており、環状部の高温下における構造強度と弁軸の同心度及び垂直度を維持することができない。
問題3:内部冷却について、外部気体を取り込むメカニズムがあり、上弁体がダイヤフラムの非接液側に2つの相互に連通された洗浄気体ガイド孔とコネクタを備え、1つが入口で、1つが出口であり、ダイヤフラムから浸透して蓄積した流体を排除することができる。このような装置はダイヤフラムと弁軸の冷却用途に用い、上弁体の温度を下げることもできるが、ダイヤフラムの円周部に対して更なる冷却を提供することはできない。
問題4:圧迫密封について、環状部が多くの熱量を受けるため変形し、高い温度勾配を確立できず、それにより緊締ボルトが緩み、ダイヤフラム円周部の圧迫力が低下する。
腐蝕性液体:フッ化水素酸、塩酸、硫酸等の流体輸送。
10a 弁部
10a1 固定板
10b 駆動シリンダ
11 気体柱
111 上気体柱
112 下気体柱
113 密封面
12 ばね
13 ボルトカラム
131 上ボルトカラム
132 下ボルトカラム
133 密封面
140a 弁室熱源エリア
140b 流路熱源エリア
140c 入口管熱源エリア
140d 出口管熱源エリア
140e 入口コネクタ熱源エリア
140f 出口コネクタ熱源エリア
141 弁軸熱伝導経路
142 方形板熱伝導経路
143 管コネクタ熱伝導経路
144 環状部熱伝導経路
145 軸孔部熱伝導経路
146 方形部熱伝導経路
147 熱伝導制限エリア
15 外部自然冷却
151 方形部放熱経路
152 方形部リブ板
153 上弁体放熱経路
154 弁上蓋放熱経路
16 内部冷却
161 冷却気体コネクタ
162 冷却気体孔
163 冷却気体環状槽
164 冷却気体ガイド孔
165 ダイヤフラム空間
168 気体回収コネクタ
169 気体柱
171 駆動気体コネクタ
172 駆動気体孔
173 駆動気体環状槽
174 駆動気体ガイド孔
175 シリンダ室
175a 上シリンダ室
175b 下シリンダ室
176 環状シリンダ室
177 弁上蓋シリンダ室
2 弁体
21 入口管
211 管コネクタ
22 出口管
221 管コネクタ
23 弁室
231 弁座
232 流路
233 流路側壁
24 環状部
24a ノンメタル環状部
24b メタル環状部
240 密封面
241 開口部
242 最小直径箇所
243 内周面
244 内ねじ山
245 密封溝
246 外周面
247 外ねじ山
248 放熱リブ板
25 方形部
25a 第1型方形部
25b 第2型方形部
251 方形板
253 水平リブ板
254 縦方向垂直リブ板
255 横方向垂直リブ板
26 カップ状構造体
261 外縁高さ
3 ダイヤフラム
31 円周部
32 弾性片
33 中心部
331 ねじ孔
4 弁軸
4ac ノーマルクローズ型弁軸
4ad ノーマルオープン型弁軸
4bc ノーマルクローズ型弁軸
4bd ノーマルオープン型弁軸
41 緊締部
411 ボルト孔
413 ねじ山部
414 ナット
416 ボルト
42 空心軸棒
425 軸心孔
426 気体ガイド孔
43 ピストン部
431 盤状部
432 下環状リブ板
433 上環状リブ板
434 防振リング
44 導電繊維
5 上弁体
5a 外ねじ山上弁体
5b 凸環上弁体
51 外周面
511 外ねじ山
512 径方向凸環
52 圧迫部
53 軸孔部
54 第1環状溝
55 第2環状溝
551 径方向リブ板
56 ダイヤフラム室
6 弁上蓋
6a ノンメタル弁上蓋
6b メタル弁上蓋
61 内部チャンバ
611 内周面
62 頂部
621 中央通孔
622 密封溝
625 放熱リブ板
63 外周面
631 ボルト孔
632 内ねじ山
633 放熱リブ板
64 密封面
641 凹溝
7 弁軸ユニット構造体
71 外ねじ山弁軸ユニット
71a 外ねじ山ノーマルクローズ型弁軸ユニット
71b 外ねじ山ノーマルオープン型弁軸ユニット
72 凸環弁軸ユニット
73 静電弁軸ユニット
8 シリンダ構造体
8a ノンメタルシリンダ構造体
8b メタルシリンダ構造体
9 ダイヤフラムバルブ
90a 弁部
90b 駆動シリンダ
91 弁体
911 入口管
912 出口管
913 弁室
9131 弁座
9132 流路
9133 密封溝
9134 流路側壁
915 環状部
9151 密封面
9155 呼吸孔
916 方形部
9161 方形板
9162 縦方向垂直リブ板
9163 積厚
92 ダイヤフラム
921 円周部
922 弾性片
923 中心部
93 上弁体
931 外周面
932 内周面
933 密封面
934 圧迫部
935 軸孔部
936 ダイヤフラム室
937 シリンダ室
94 弁上蓋
941 内部チャンバ
942 頂部
943 外周面
944 密封面
95 弁軸
951 ねじ山部
952 軸棒
953 ピストン部
961 ノーマルクローズ型弁軸ユニット
Claims (56)
- 200℃の高温・高腐蝕性の用途に対応でき、ノンメタルダイヤフラムバルブとメタルダイヤフラムバルブに適用されるダイヤフラムバルブであって、弁部と、駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸と、駆動気体コネクタと、冷却気体コネクタを含み、
該ダイヤフラムが、円周部と、弾性片と、中心部を含み、
該弁体が環状部と方形部を含み、該方形部が入口管と、出口管と、弁室を備え、該弁室が弁座と流路を含み、該環状部が開口した環状構造を呈し、密封面と、開口部と、内周面と、外周面を含み、該内周面が密封溝と、Oリング溝を含み、
該上弁体が、外周面と、内周面と、圧迫部と、軸孔部と、ダイヤフラム室を含み、該上弁体が該環状部内に設置され、該圧迫部がダイヤフラムの該円周部を該環状部の該密封溝に押圧するために用いられ、
該弁軸が、緊締部と、空心軸棒と、軸心孔と、ピストン部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締するために用いられ、該空心軸棒が該上弁体の該軸孔部に挿通され、複数のOリングにより密封され、
該弁上蓋が、内部チャンバと、頂部と、中央通孔と、外周面と、密封面を含み、該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締されてシリンダ構造体を形成し、該シリンダ構造体がシリンダ室を有し、該シリンダ室が該ピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、
該ダイヤフラムと、該弁軸と、該上弁体を組み立てて弁軸ユニット構造体が構成され、該弁軸の下端部が該弁上蓋の該中央通孔に挿通され、該環状部と該弁室がカップ状構造体を構成し、該弁軸ユニット構造体と該シリンダ構造体が該カップ状構造体により支持され、
熱源エリアを含み、該熱源エリアが、出口管熱源エリアを含み、該方形部と、該環状部と、該上弁体と、該ダイヤフラムにより熱伝達経路が形成され、該方形部が方形板と複数のリブ板を含み、該リブ板が該方形板の下方に連結され、かつ該入口管と該出口管の側壁に連結され、さらに該流路の側壁に連結され、熱伝導制限エリアが、該方形板と該リブ板を含み、該熱伝導制限エリアが伝熱断面厚みを備え、該伝熱断面厚みが該入口管の厚み以下で、かつ3mm未満であり、該方形板が中間に該弁室を収容するための開口を備え、かつ該流路側壁と相互に連接され、該環状部の最小直径箇所が該方形板の上方に連結され、該密封溝の外側壁面が該環状部の内周面であり、該密封溝の内側壁面が該流路の側壁であり、該密封溝の底部が該方形板であり、該熱伝導制限エリアが、該密封溝と、該環状部の最小直径箇所も含み、該外周面に複数の放熱リブ板が設けられ、該方形板に連結され、該熱伝導制限エリアが該放熱リブ板も含み、
複数の放熱構造が、外部の複数の自然冷却構造と内部冷却構造を含み、
該自然冷却構造が、該方形部の外側表面と該環状部の該放熱リブ板と該弁上蓋の複数の弁上蓋リブ板を含んで自然対流冷却を提供し、
該内部冷却構造が気体冷却流路を経由する冷却気体により達成され、該気体冷却流路が、該環状部上の1つ以上の冷却気体孔を含み、該冷却気体孔が冷却気体環状槽に連通され、該冷却気体環状槽がさらに該上弁体の該圧迫部上の複数の冷却気体ガイド孔に連通され、該冷却気体ガイド孔が該ダイヤフラム室の非接液側に連通され、さらに該空心軸棒の複数の気体ガイド孔を経由して該軸心孔に連通される、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - 前記弁室の開口の直径が1インチであり、該熱伝導制限エリアの伝熱断面厚みが1mmより大きいことを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記シリンダ構造体が該環状部の一部を含み、該シリンダ構造体が該方形板と該環状部の熱伝導制限エリア上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記入口管と該出口管の延伸方向が水平方向であり、該方形部が該方形板と、複数の水平リブ板と、縦方向垂直リブ板と、複数の横方向垂直リブ板を含み、相互に連接して水平に開口した格子状リブ板が構成されたことを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記方形部が該弁室熱源エリアと、該流路熱源エリアと、該入口管熱源エリアと、該出口管熱源エリアに連接され、該水平リブ板が該入口管と、該出口管と、該流路の両側及び下方に配置され、該垂直リブ板が該方形板下方及び該入口管と、該出口管と、該流路に横方向に跨ることを特徴とする、請求項4に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記熱伝導制限エリアが該弁室熱源エリアの周辺を含み、該弁室熱源エリアの周辺が該環状部の最小直径箇所と、該弁室の該流路の側壁と該方形板を含むことを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記上弁体に第1環状溝と第2環状溝が設けられ、該熱伝導制限エリアが該上弁体の該第1環状溝と該第2環状溝の底部を含むことを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記内部冷却構造に採用される内部自然冷却が、空心軸棒の高温下における気体浮力を利用して、外部冷却気体を該気体冷却流路から流入させ、さらに空心軸棒を経由して熱気を排出させることを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記内部冷却構造に採用される内部強制冷却が、外部から冷却気体を強制供給し、該冷却気体コネクタに高圧冷却気体を連接して、該気体冷却流路から流入させ、空心軸棒を経由して熱気を排出し、内部強制冷却を達成することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記冷却気体環状槽が該環状部の該内周面に設けられることを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記冷却気体環状槽が該上弁体の該外周面に設けられることを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記冷却気体環状槽の上側に高圧気体を隔絶するOリングが設置されることを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記冷却気体コネクタが該環状部に設置され、かつ該冷却気体コネクタが環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記駆動気体コネクタが該環状部に設置され、かつ該駆動気体コネクタが環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記シリンダ構造体を複数のボルトカラムと複数の金属ボルトで緊締して密封するとき、該ボルトカラムと該金属ボルトがいずれも環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記冷却気体コネクタが該弁上蓋に設置され、該シリンダ構造体外側の複数の気体柱がいずれも環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記駆動気体コネクタが弁上蓋に設置され、該シリンダ構造体外側の複数の気体柱がいずれも環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 200℃の高温・高腐蝕性の用途に対応でき、ノンメタルダイヤフラムバルブとメタルダイヤフラムバルブに適用されるダイヤフラムバルブであって、弁部と、駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸と、駆動気体コネクタと、駆動気体孔を含み、また冷却気体コネクタと1つ以上の冷却気体孔も含み、
該ダイヤフラムが、円周部と、弾性片と、中心部を含み、
該弁体が環状部と方形部を含み、該方形部が入口管と、出口管と、弁室を備え、該弁室が弁座と流路を含み、該環状部が開口した環状構造を呈し、密封面と、開口部と、内周面と、外周面を含み、該内周面が密封溝と、Oリング溝を含み、
該上弁体が、外周面と、内周面と、圧迫部と、軸孔部と、ダイヤフラム室を含み、該上弁体が該環状部の内側に設置され、該圧迫部がダイヤフラムの該円周部を該環状部の該密封溝に押圧するために用いられ、
該弁軸が、緊締部と、空心軸棒と、ピストン部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締するために用いられ、該空心軸棒が該軸孔部に挿通され、複数のOリングにより密封され、
該弁上蓋が、内部チャンバと、頂部と、中央通孔と、外周面と、密封面を含み、該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締されてシリンダ構造体を形成し、該シリンダ構造体がシリンダ室を有し、
該ダイヤフラムと、該弁軸と、該上弁体を組み立てて弁軸ユニット構造体が構成され、該弁軸の下端部が該弁上蓋の該中央通孔に挿通され、該環状部と該弁室がカップ状構造体を構成し、該カップ状構造体が外縁高さを有し、該外縁高さが該密封溝から該密封面までの高さであり、該弁軸ユニット構造体が該カップ状構造体の中に設置され、該弁軸ユニット構造体と該シリンダ構造体が該カップ状構造体により支持され、
該弁体の該方形部が方形板と複数のリブ板を含み、該方形板の中間の開口に該弁室が収容され、かつ該流路側壁と相互に連接され、該方形板と該リブ板が伝熱断面厚みを有し、該伝熱断面厚みが該入口管と、該出口管の厚みを超過せず、かつ3mm未満であり、該リブ板が該方形板の下側に設置され、該入口管、該出口管、該弁室を連結し、かつ支持を提供するために用いられ、
該環状部が開口した環状構造を呈し、該方形板の上側に設置され、かつ連結箇所が最小直径を有する最小直径箇所であり、該環状部の外周面が円弧形で上に向かって延伸され、増大した直径で該開口部の空間を増大して該上弁体と該弁軸を収納し、該環状部の外周面に、該方形板に連結された複数の垂直な放熱リブ板が設けられ、該放熱リブ板が伝熱断面厚みを有し、該伝熱断面厚みが該入口管と、該出口管の厚みを超過せず、かつ3mm未満であり、該環状部が伝熱断面厚みを有し、かつ該最小直径箇所の伝熱断面厚みが該環状部のその他位置の伝熱断面厚みより小さく、該伝熱断面厚みが該入口管と、該出口管の厚みを超過せず、かつ3mm未満であり、該環状部の該内周面の該最小直径箇所に該密封溝が設けられ、該密封溝の上方にOリング溝が設けられ、該冷却気体孔が該Oリング溝と該密封溝の中間に位置し、
熱伝導制限エリアが、該方形板と、該リブ板と、該最小直径箇所を含み、該熱伝導制限エリアが伝熱断面厚みを備え、該伝熱断面厚みが該入口管の厚み以下で、かつ3mm未満であり、該環状部の最小直径箇所が該方形板の上方に連結され、該密封溝の外側壁面が該環状部の内周面であり、該密封溝の内側壁面が該流路の側壁であり、該密封溝の底部が該方形板であり、該熱伝導制限エリアが、該密封溝と、該環状部の最小直径箇所も含み、該外周面に複数の放熱リブ板が設けられ、該方形板に連結され、該熱伝導制限エリアが該放熱リブ板も含む、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - 前記入口管と該出口管の延伸方向が水平方向であり、該方形部がさらに複数の水平リブ板と、縦方向垂直リブ板と、複数の横方向垂直リブ板を含み、該水平リブ板と、該縦方向垂直リブ板と、該横方向垂直リブ板が相互に連接されて水平に開口した格子状リブ板が構成され、該水平リブ板が該方形板の下方に連結され、かつ該入口管と該出口管に連結され、該水平リブ板が該入口管と、該出口管と、該流路の両側に位置し、該縦方向垂直リブ板と該横方向垂直リブ板が、該方形板下方と該入口管、該出口管、該流路に横方向に跨ることを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記格子状リブ板が該入口管と、該出口管と、該弁室と、該流路を支持するために用いられることを特徴とする、請求項19に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記密封溝の外側壁面が該環状部の最小直径箇所の内周面であり、該密封溝の内側壁面が該流路の側壁であり、該密封溝の底部が該方形板であることを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記カップ状構造体の該外縁高さが該上弁体の高さの80%〜160%であることを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内周面に駆動気体環状槽と駆動気体孔が設けられ、該駆動気体環状槽と該駆動気体孔が相互に連通され、かつ該Oリング溝の上側に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内周面に冷却気体環状槽が設けられ、該冷却気体環状槽と該冷却気体孔が相通され、かつ該Oリング溝の下側及び該密封溝の上側に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内周面に内ねじ山が設けられ、該内ねじ山が該駆動気体環状槽と該駆動気体孔の上方に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記シリンダ室が該内周面に設置されたとき、該シリンダ室が該内ねじ山の上方に位置することを特徴とする、請求項25に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部に複数のボルトカラムを設けたとき、該ボルトカラムと該ボルトカラムを螺着するために用いる金属ボルトがいずれも環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部に複数の気体柱を設けたとき、複数の該気体柱がいずれも環状部の最小直径箇所及び方形板で構成される熱伝導制限エリアの上方に位置し、かつ複数の該気体柱がいずれも気体ガイド孔を備えたことを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部に該駆動気体コネクタを設置したとき、該駆動気体コネクタが環状部の最小直径箇所及び方形板で構成される熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部に該冷却気体コネクタを設置したとき、該冷却気体コネクタが環状部の最小直径箇所及び方形板が構成する熱伝導制限エリアの上方に位置することを特徴とする、請求項18に記載のダイヤフラムバルブ。
- 200℃の高温・高腐蝕性の用途に対応でき、ノンメタルダイヤフラムバルブとメタルダイヤフラムバルブに適用されるダイヤフラムバルブであって、弁部と、駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸と、駆動気体コネクタと、冷却気体コネクタを含み、
該ダイヤフラムが、円周部と、弾性片と、中心部を含み、
該弁体が環状部と方形部を含み、該方形部が入口管と、出口管と、弁室を備え、該弁室が弁座と流路を含み、該環状部が開口した環状構造を呈し、密封面と、開口部と、内周面と、外周面を含み、該内周面が密封溝と、Oリング溝を含み、
該上弁体が、外周面と、内周面と、圧迫部と、軸孔部と、ダイヤフラム室を含み、該上弁体が該環状部の内周面に設置され、該圧迫部がダイヤフラムの該円周部を該環状部の該密封溝に押圧するために用いられ、
該弁軸が、緊締部と、空心軸棒と、ピストン部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締するために用いられ、該空心軸棒が該軸孔部に挿通され、複数のOリングにより密封され、
該弁上蓋が、内部チャンバと、頂部と、中央通孔と、外周面と、密封面を含み、該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締されてシリンダ構造体を形成し、該シリンダ構造体がシリンダ室を有し、メタルダイヤフラムバルブの該シリンダ構造体の4つの角部にそれぞれ金属ボルトが緊締されて密封され、各該ボルトが上ボルトカラムと下ボルトカラムにより保護され、該上ボルトカラムが該弁上蓋の該外周面に位置し、該下ボルトカラムが該環状部の該外周面に位置し、該上ボルトカラムと該下ボルトカラムの間に密封面の位置があり、該相互の密封面が該環状部の開口部と同じ高さの場所に位置し、ノンメタルダイヤフラムバルブの該環状部の該外周面に外ねじ山が設けられ、該弁上蓋の内周面にも内ねじ山が設けられ、該弁上蓋を該弁体上に緊締することができ、該シリンダ構造体の該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締され、該弁軸の下端部が該中央通孔に挿通され、該ダイヤフラムと、該弁軸と、該上弁体が弁軸ユニット構造体を構成し、そのうち、該ダイヤフラムと該弁軸が相対的に回動可能に連接され、該環状部と該弁室がカップ状構造体を構成し、該カップ状構造体が外縁高さを有し、該外縁高さが該密封溝から該密封面までの高さであり、該弁軸ユニット構造体が該カップ状構造体内に設置され、該弁軸ユニット構造体と該シリンダ構造体が該カップ状構造体により支持され、該弁体の該方形部が、方形板と複数のリブ板を含み、該環状部が該方形板の上側に設置され、かつ連結箇所が最小直径を有する最小直径箇所であり、該シリンダ構造体が該環状部の最小直径箇所及び該方形板の上方に位置し、該シリンダ構造体が、該上弁体と、該弁上蓋と、該弁軸と、該弁体の該環状部の一部構造を含み、該上弁体の上方がシリンダ室を含み、該シリンダ室がピストンにより上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、該シリンダ室の該下シリンダ室が駆動気体流路を含み、該駆動気体流路が該環状部の1つの駆動気体孔を含み、該駆動気体孔が駆動気体環状槽に連通され、該駆動気体環状槽がさらに該上弁体の該圧迫部の複数の駆動気体ガイド孔に連通され、該駆動気体ガイド孔が第2環状溝に連通され、該シリンダ室が気体冷却流路を含み、該気体冷却流路が該環状部の1つ以上の冷却気体孔を含み、該冷却気体孔が冷却気体環状槽に連通され、該冷却気体環状槽が該上弁体の該圧迫部の複数の冷却気体ガイド孔に連通され、さらに該ダイヤフラム室の非接液側に連通された後、該空心軸棒の複数の気体ガイド孔を経由して該軸心孔に連通され、該下シリンダ室の気密性が該ピストン部の外縁Oリング、該駆動気体孔下方の該Oリング、該上弁体の弁軸部に設けた複数のOリングにより構成され、かつ該ダイヤフラム室が隔離され、該環状部の該駆動気体孔のみが外部に連通される、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - 前記シリンダ室が該環状部の内周面に設置されたとき、該シリンダ室下方の該環状部の内周面に内ねじ山が設けられ、かつ該シリンダ室が該内ねじ山の上方に位置することを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内周面に内ねじ山が設けられたとき、該内ねじ山が該駆動気体環状槽と該駆動気体孔の上方に位置し、かつ該上弁体が該内ねじ山に緊締されることを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記カップ状構造体の該外縁高さが該上弁体の高さの80%〜160%であることを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記上弁体の上縁に径方向凸環が設けられ、かつ該上弁体が該内周面中に直接設置され、該弁上蓋と該環状部が該径方向凸環を密封面上に直接押圧し、同時に該上弁体の該圧迫部も該ダイヤフラムの該円周部を押圧することを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルクローズ型式ダイヤフラムバルブの駆動気体が、該第2環状溝を経由し、該ピストンを駆動して上に移動させ、該上シリンダ室の該ピストン上方に該ダイヤフラムバルブをノーマルクローズの状態に保持するばねが設置され、該ピストンが上に移動して該ダイヤフラムが開かれたとき、上シリンダ室と該中央通孔が気密にならないことを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルオープン型式ダイヤフラムバルブの高圧気体が、弁上蓋から該上シリンダ室に直接進入し、該ピストンを駆動して下へ移動させ、該上シリンダ室の気密性は該弁上蓋の該中央通孔に設置されたOリングにより該弁軸が気密にされ、該弁体の該開口部の密封面と該弁上蓋の該密封面を凹溝用Oリングで気密にすることができ、該下シリンダ室の該ピストン下方に該ダイヤフラムバルブをノーマルオープンの状態に保持するばねが設置され、該ピストンが下に移動して該ダイヤフラムが閉じられたとき、下シリンダ室が該駆動気体流路に連通されることを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルクローズ型式ダイヤフラムバルブの該ピストン下側に複数の下環状リブ板と1つの防振リングが設置され、該ピストン上側に複数の上環状リブ板が設置され、該上環状リブ板の内側にノーマルクローズの状態に保持するばねが設置され、該第1環状溝が該防振リングを収容でき、該第2環状溝内に複数の径方向リブ板が設けられ、環状溝の空間を分割して複数の弧形空間とし、該下環状リブ板の収容に用いられ、該第1環状溝と該防振リングの間に摺動面があり、該第2環状溝と該下環状リブ板の間に複数の軸方向摺動面があることを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルオープン型式ダイヤフラムバルブの該ピストン下側に複数の下環状リブ板が設置され、該ピストン上側に複数の上環状リブ板が設置され、該ピストン下側の該第1環状溝にノーマルオープンの状態に保持するばねを収容でき、該第2環状溝内に複数の径方向リブ板が設けられ、環状溝の空間を分割して複数の弧形空間とし、該下環状リブ板の収容に用いられ、該第2環状溝と該下環状リブ板の間に複数の摺動面がある、ことを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノンメタルダイヤフラムバルブにおいて、該環状部の該内周面に内ねじ山を設けたとき、該環状部の該外周面の該外ねじ山と該内ねじ山が相互に重なる長さを有し、該相互に重なる長さが該内ねじ山の2つのピッチ距離以上である、ことを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- メタルダイヤフラムバルブの該ボルトカラムの該密封面と該密封溝の間に高度差があり、高度差が該外縁高さに等しい、ことを特徴とする、請求項31に記載のダイヤフラムバルブ。
- 200度以下の流体輸送の使用に供され、200℃の高温・高腐蝕性の用途に対応でき、ノンメタルダイヤフラムバルブとメタルダイヤフラムバルブに適用されるダイヤフラムバルブであって、弁部と、駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸と、駆動気体コネクタと、冷却気体コネクタを含み、
該ダイヤフラムが、円周部と、弾性片と、中心部を含み、
該弁体が環状部と方形部を含み、該方形部が入口管と、出口管と、弁室を備え、該弁室が弁座と流路を含み、該環状部が開口した環状構造を呈し、密封面と、開口部と、内周面と、外周面を含み、該内周面が密封溝と、Oリング溝を含み、
該上弁体が、外周面と、内周面と、圧迫部と、軸孔部と、ダイヤフラム室を含み、該上弁体が該環状部の内周面に設置され、該圧迫部がダイヤフラムの該円周部を該環状部の該密封溝に押圧するために用いられ、
該弁軸が、緊締部と、空心軸棒と、ピストン部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締するために用いられ、該空心軸棒が該軸孔部に挿通され、複数のOリングにより密封され、
該弁上蓋が、内部チャンバと、頂部と、中央通孔と、外周面と、密封面を含み、該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締されてシリンダ構造体を形成し、該シリンダ構造体がシリンダ室を有し、メタルダイヤフラムバルブの該シリンダ構造体の4つの角部にそれぞれ金属ボルトが緊締されて密封され、各該ボルトが上ボルトカラムと下ボルトカラムにより保護され、該上ボルトカラムが該弁上蓋の該外周面に位置し、該下ボルトカラムが該環状部の該外周面に位置し、該上ボルトカラムと該下ボルトカラムの間に密封面の位置があり、該相互の密封面が該環状部の開口部と同じ高さの場所に位置し、ノンメタルダイヤフラムバルブの該環状部の該外周面に緊締ねじ山が設けられ、該弁上蓋の内周面にも内ねじ山が設けられ、該弁上蓋を該弁体上に緊締することができ、該シリンダ構造体の該弁上蓋が気密に該弁体上に緊締され、該弁軸の下端部が該中央通孔に挿通され、該ダイヤフラムと、該弁軸と、該上弁体が弁軸ユニット構造体を構成し、該環状部と該弁室がカップ状構造体を構成し、該カップ状構造体が外縁高さを有し、該外縁高さが該密封溝から該密封面までの高さであり、該弁軸ユニット構造体が該カップ状構造体内に設置され、該空心軸棒が軸心孔を備え、組立て時まず該上弁体の該軸孔部に挿通され、該緊締部を用いて該ダイヤフラムの該中心部が緊締され、該空心軸棒が該緊締部のある一側に該軸心孔に連通する複数の気体ガイド孔を備え、該ピストン部が該上弁体の上方に位置し、かつ該空心軸棒と相互に結合され、該ピストン部の外縁にフッ素Oリングが設置され、該環状部の内周面と相互に接して密封し、かつ該シリンダ室の空間を2つに隔て、該上弁体の該圧迫部に複数の冷却気体ガイド孔が設けられ、該冷却気体ガイド孔の位置が該環状部の内周面の冷却気体環状槽に相対し、該冷却気体ガイド孔が該ダイヤフラム室に連通され、該ダイヤフラム室が該弁軸の該気体ガイド孔に連通され、該上弁体が第1環状溝と第2環状溝を備え、該第2環状溝が4つの径方向リブ板を有し、該第2環状溝を複数の円弧槽に隔て、該上弁体の該圧迫部が複数の駆動気体ガイド孔を備え、該駆動気体ガイド孔の位置が該環状部の内周面の駆動気体環状槽に相対し、該駆動気体ガイド孔が該第2環状溝に連通され、かつ該下シリンダ室に連通できる、ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - 前記ダイヤフラムと該緊締部が相対して回動可能な状態を保持し、該空心軸棒を該軸孔部に挿通し、ボルトを該軸心孔の下側の該緊締部のボルト孔に挿通し、かつ該緊締部の下端部をナットに挿通し、該ボルトで該中心部を緊締した後該ナットで逆方向に緊締し、該ボルトの外径が該ボルト孔より小さく、該ダイヤフラムと該緊締部が相対して回動可能な状態に保持されるよう確約したことを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内ねじ山に該弁軸ユニット構造体を設置したとき、該ピストン部の下側に複数の下環状リブ板を有し、上側にも複数の上環状リブ板を有し、該下環状リブ板が該第2環状溝と相互に組み合わされ、該ピストン上方の該上環状リブ板にトルクを加えると、該上弁体の緊締ねじ山を該環状部内側の該内ねじ山に緊締させ、かつ該上弁体の該圧迫部が該ダイヤフラムの該円周部を押圧できることを特徴とする、請求項43に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルクローズ型ダイヤフラムバルブの該ピストン下側に防振リングが設置され、該防振リングが該第1環状溝に収容されることを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- ノーマルオープン型ダイヤフラムバルブの該第1環状溝がばねの設置に用いられることを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記環状部の該内周面に該内ねじ山を設けず、該上弁体が該内周面中に直接設置され、該上弁体の上縁に径方向凸環が設けられ、該弁上蓋と該環状部が該径方向凸環を密封面上に直接押圧し、同時に該上弁体の該圧迫部も該ダイヤフラムの該外環部を押圧し、かつ該ダイヤフラムの中心部が該弁軸の該緊締部のねじ山により直接緊締されることを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記空心軸棒の該軸心孔内に導電繊維が設置され、該弁軸ユニット構造体が該緊締部が相対して回動可能な状態を保持する該ダイヤフラムを備え、該空心軸棒を該軸孔部に挿通し、ボルトを該軸心孔の下側の該緊締部のボルト孔に挿通し、かつ該緊締部の下端部をナットに挿通し、該ボルトで該中心部を緊締した後該ナットで逆方向に緊締して該ボルトの緩みを防止し、該ボルトの外径が該ボルト孔より小さく、該ボルトと該ボルト孔の間に間隙空間が保たれ、該ダイヤフラムと該緊締部が相対して回動可能な状態を保持するよう確約され、該導電繊維が該軸心孔と該ボルト孔の間隙に挿通され、かつ該導電繊維が環状の曲線状に巻回されて該ダイヤフラム表面に貼着され、該軸心孔内の該軸導電繊維が弁軸に伴い相対的に回動せず、静電気を導き出すことができることを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記空心軸棒の該軸心孔内に導電繊維が設置され、該弁軸ユニットの該ダイヤフラムが該緊締部に固定され、かつ相対して回動できず、該空心軸棒を該軸孔部に挿通し、該緊締部で該ダイヤフラムの該中心部を緊締し、該緊締部のこの側の該空心軸棒上に複数の気体ガイド孔が設けられ、該導電繊維が該軸心孔及び該気体ガイド孔に挿通され、かつ該導電繊維が環状の曲線状に巻回されて該ダイヤフラム表面に貼着されることを特徴とする、請求項42に記載のダイヤフラムバルブ。
- ダイヤフラムバルブであって、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸を含み、該弁体が環状部と、方形部を含み、該方形部が第1側面と、第2側面と、底面と、入口管と、出口管と、弁室を含み、該弁室が弁座と、流路を含み、該ダイヤフラムが円周部と、弾性片と、中心部を備え、該上弁体が該環状部に設置され、該ダイヤフラムを圧迫し、該弁上蓋が気密に該弁体上を緊締してシリンダ構造体を形成し、該シリンダ構造体がシリンダ室を備え、該シリンダ室が該弁上蓋のピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、該弁軸が緊締部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締し、複数のリブ板が該第1側面と、該第2側面と、該底面中のいずれか1つ、いずれか2つまたは全部に設置され、格子状リブ板を形成し、該格子状リブ板が水平の開口を有する、ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。
- ダイヤフラムバルブであって、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸を含み、該弁体が環状部と、方形部を含み、該環状部が冷却気体孔を備え、該ダイヤフラムが円周部と、弾性片と、中心部を備え、
該上弁体がダイヤフラム室を含み、該上弁体が該環状部に設置され、該ダイヤフラムを圧迫し、
該弁上蓋が気密に該弁体上を緊締してシリンダ構造体が形成され、該シリンダ構造体がシリンダ室を備え、該シリンダ室が該弁上蓋のピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、該弁軸が緊締部と、空心軸棒と、軸心孔を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締し、該空心軸棒に気体ガイド孔が設けられ、該気体ガイド孔が該軸心孔に連通され、該気体ガイド孔と該冷却気体孔も該ダイヤフラム室に連通されて、気体冷却流路を形成する、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - ダイヤフラムバルブであって、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸を含み、該弁体が環状部と、方形部を含み、該ダイヤフラムが円周部と、弾性片と、中心部を備え、該上弁体が該環状部に設置され、該ダイヤフラムを圧迫し、該上弁体が第1環状溝を含み、
該弁上蓋が気密に該弁体上を緊締してシリンダ構造体が形成され、該シリンダ構造体がシリンダ室を備え、該シリンダ室が該弁上蓋のピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、該弁軸が緊締部と、空心軸棒と、防振リングを含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締し、該防振リングが該第1環状溝に対応して組み込まれる、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - ダイヤフラムバルブであって、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸を含み、
該弁体が環状部と、方形部を含み、該方形部が入口管と出口管を備え、該方形部と該環状部が相互に連接する箇所に最小直径箇所を有し、該最小直径箇所の内面及び外面がいずれも徐々に窄まる形態を呈し、かつその壁厚が該入口管の厚み以下で、かつ3mm未満であり、該環状部が内周面を含み、該内周面に密封溝が設けられ、該密封溝が該最小直径箇所に位置し、
該ダイヤフラムが円周部と、弾性片と、中心部を備え、該上弁体が該環状部に設置され、該上弁体が圧迫部を含み、該圧迫部が該円周部を該密封溝の位置に圧迫し、
該弁上蓋が気密に該弁体上を緊締してシリンダ構造体が形成され、該シリンダ構造体がシリンダ室を備え、該シリンダ室が該ピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、
該弁軸が緊締部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締する、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - ダイヤフラムバルブであって、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂のダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが、上弁体と、弁上蓋と、弁軸を含み、
該弁体が環状部と、方形部を含み、該方形部が弁室を含み、該環状部と該弁室が深いカップ状のカップ状構造体を構成し、該カップ状構造体の外縁高さが該上弁体の高さの80%〜160%の間であり、
該ダイヤフラムが円周部と、弾性片と、中心部を備え、
該上弁体が該環状部に設置され、該ダイヤフラムを圧迫し、
該弁上蓋が気密に該弁体上を緊締してシリンダ構造体が形成され、該シリンダ構造体がシリンダ室を備え、該シリンダ室が該ピストン部により上シリンダ室と下シリンダ室に隔てられ、
該弁軸が緊締部を含み、該緊締部が該ダイヤフラムの該中心部を緊締する、
ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - フッ素材質のダイヤフラムバルブに用いるダイヤフラムバルブの熱源隔離方法であって、熱伝導制限方法と放熱方法を含み、該熱伝導制限方法が、ダイヤフラムバルブ構造の複数の熱伝導制限エリアの壁厚を制限し、該壁厚が該ダイヤフラムバルブ構造の入口管の厚み以下で、かつ3mm未満であり、複数の熱源エリアから伝導される熱量を抑え、シリンダ構造体と複数の熱源エリアの熱源隔離効果を達成するために用いられ、該放熱方法が、自然冷却構造と内部冷却構造を通じて行われ、そのうち、自然冷却構造が、該ダイヤフラムバルブ構造の方形部の複数のリブ板と、環状部の複数のリブ板と、弁上蓋の複数のリブ板により自然対流冷却を行い、該内部冷却構造が、該環状部の気体冷却流路に外部の冷却気体を流入させ、かつダイヤフラムの非接液側と空心軸棒を通過させる、ことを特徴とする、ダイヤフラムバルブの熱源隔離方法。
- 前記ダイヤフラムバルブが、弁部と駆動シリンダを含み、該弁部がフッ素樹脂の弁体と、フッ素樹脂の該ダイヤフラムを含み、該駆動シリンダが上弁体と、該弁上蓋と、弁軸を含み、該弁体が該環状部と該方形部を含み、該方形部のリブ板が該方形部の外側表面で水平に開口した格子状リブ板を呈し、該気体冷却流路が該環状部上の1つ以上の冷却気体孔を含み、該冷却気体孔が冷却気体環状槽に連通され、該冷却気体環状槽がさらに該上弁体の複数の冷却気体ガイド孔に連通され、該冷却気体ガイド孔が該ダイヤフラムの非接液側に連通され、さらに該弁軸の複数の気体ガイド孔を経由して該弁軸の空心軸棒に連通され、外部へ気体を排出できることを特徴とする、請求項55に記載のダイヤフラムバルブの熱源隔離方法。
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10281053B2 (en) * | 2015-10-12 | 2019-05-07 | Emerson Process Management Regulator Technologies, Inc. | Lattice structure valve/regulator body |
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Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2823696A (en) * | 1954-01-04 | 1958-02-18 | Crane Co | Fluid cooled diaphragm valve |
GB969410A (en) * | 1962-08-20 | 1964-09-09 | Satchwell Controls Ltd | Fluid flow control valve |
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US4840347A (en) * | 1988-03-14 | 1989-06-20 | Fujikura Rubber, Ltd. | Pneumatically-operated valve |
US5007328A (en) * | 1989-07-24 | 1991-04-16 | Otteman John H | Linear actuator |
JPH04181079A (ja) | 1990-11-13 | 1992-06-29 | Hitachi Metals Ltd | 空気圧作動弁 |
JP2781526B2 (ja) | 1994-11-28 | 1998-07-30 | シーケーディ株式会社 | エアーオペレートバルブ |
JPH09217845A (ja) | 1996-02-13 | 1997-08-19 | Benkan Corp | ダイヤフラム弁 |
US5975118A (en) * | 1997-10-24 | 1999-11-02 | Johnson Controls Technology | Adapter for mounting an actuator to a valve |
US6123320A (en) * | 1998-10-09 | 2000-09-26 | Swagelok Co. | Sanitary diaphragm valve |
US6086039A (en) * | 1999-04-07 | 2000-07-11 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | High-efficiency poppet and seat assembly |
JP4418571B2 (ja) | 2000-04-11 | 2010-02-17 | シーケーディ株式会社 | 高温対応ガス制御バルブ |
JP3392813B2 (ja) | 2000-07-07 | 2003-03-31 | エスエムシー株式会社 | 二方弁 |
US20030042459A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-06 | Gregoire Roger J. | Unitary diaphragm and seat assembly |
JP4044776B2 (ja) * | 2002-03-26 | 2008-02-06 | 東北リコー株式会社 | 高温動作バルブ |
JP3825360B2 (ja) * | 2002-04-30 | 2006-09-27 | Smc株式会社 | インジケータ付流量調整弁 |
JP2004019792A (ja) | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Advance Denki Kogyo Kk | ダイヤフラム弁の透過ガス排出構造 |
JP4340119B2 (ja) * | 2003-10-02 | 2009-10-07 | シーケーディ株式会社 | 薬液弁 |
JP5064903B2 (ja) | 2007-06-21 | 2012-10-31 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
CN201263281Y (zh) * | 2008-09-22 | 2009-06-24 | 奇鋐科技股份有限公司 | 散热器 |
JP2010121689A (ja) | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Tokyo Electron Ltd | ダイヤフラム弁 |
JP5226059B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2013-07-03 | アドバンス電気工業株式会社 | エア操作弁 |
CN103717954A (zh) * | 2011-07-29 | 2014-04-09 | 喜开理株式会社 | 流体控制阀 |
JP5642760B2 (ja) * | 2011-12-02 | 2014-12-17 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
JP5891536B2 (ja) | 2013-11-11 | 2016-03-23 | Smc株式会社 | 弁装置 |
JP6564593B2 (ja) | 2015-03-25 | 2019-08-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
KR101703603B1 (ko) * | 2015-06-15 | 2017-02-07 | 현대자동차 주식회사 | 캔형 열교환기 |
JP6392716B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2018-09-19 | Ckd株式会社 | 配管接続構造 |
JP6437481B2 (ja) * | 2016-04-01 | 2018-12-12 | ミネベアミツミ株式会社 | 照明装置 |
US20170292633A1 (en) * | 2016-04-11 | 2017-10-12 | Mks Instruments, Inc. | Actively cooled vacuum isolation valve |
JP6914159B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2021-08-04 | 株式会社キッツエスシーティー | ダイヤフラムバルブの組立方法とその組立構造並びにダイヤフラムバルブ |
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Cited By (2)
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