JP2020027975A - 高周波モジュールおよび通信装置 - Google Patents

高周波モジュールおよび通信装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2020027975A
JP2020027975A JP2018150633A JP2018150633A JP2020027975A JP 2020027975 A JP2020027975 A JP 2020027975A JP 2018150633 A JP2018150633 A JP 2018150633A JP 2018150633 A JP2018150633 A JP 2018150633A JP 2020027975 A JP2020027975 A JP 2020027975A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
terminal
frequency module
bump electrode
ground
main surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018150633A
Other languages
English (en)
Inventor
克也 中澤
Katsuya Nakazawa
克也 中澤
孝紀 上嶋
Takanori Uejima
孝紀 上嶋
基嗣 津田
Mototsugu Tsuda
基嗣 津田
佑二 竹松
Yuji Takematsu
佑二 竹松
大 中川
Masaru Nakagawa
大 中川
原田 哲郎
Tetsuo Harada
哲郎 原田
正英 武部
Masahide Takebe
正英 武部
直也 松本
Naoya Matsumoto
直也 松本
義明 祐森
Yoshiaki Sukemori
義明 祐森
充則 佐俣
Mitsunori Samata
充則 佐俣
佐々木 豊
Yutaka Sasaki
豊 佐々木
裕基 福田
Yuki Fukuda
裕基 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2018150633A priority Critical patent/JP2020027975A/ja
Priority to US16/512,790 priority patent/US10964657B2/en
Priority to CN201910725013.8A priority patent/CN110830053B/zh
Publication of JP2020027975A publication Critical patent/JP2020027975A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/005Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges
    • H04B1/0053Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band
    • H04B1/0057Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band using diplexing or multiplexing filters for selecting the desired band
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F1/00Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H03F1/301Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters in MOSFET amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5385Assembly of a plurality of insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5386Geometry or layout of the interconnection structure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
    • H01L23/64Impedance arrangements
    • H01L23/66High-frequency adaptations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F1/00Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H03F1/302Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters in bipolar transistor amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/189High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers
    • H03F3/19High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers with semiconductor devices only
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/189High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers
    • H03F3/19High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F3/195High frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers with semiconductor devices only in integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/20Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F3/21Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F3/211Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/20Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F3/21Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F3/213Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only in integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/20Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F3/24Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers of transmitter output stages
    • H03F3/245Power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers of transmitter output stages with semiconductor devices only
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/005Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges
    • H04B1/0053Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band
    • H04B1/006Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission adapting radio receivers, transmitters andtransceivers for operation on two or more bands, i.e. frequency ranges with common antenna for more than one band using switches for selecting the desired band
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/02Transmitters
    • H04B1/04Circuits
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/38Transceivers, i.e. devices in which transmitter and receiver form a structural unit and in which at least one part is used for functions of transmitting and receiving
    • H04B1/40Circuits
    • H04B1/401Circuits for selecting or indicating operating mode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for
    • H01L2223/64Impedance arrangements
    • H01L2223/66High-frequency adaptations
    • H01L2223/6605High-frequency electrical connections
    • H01L2223/6616Vertical connections, e.g. vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for
    • H01L2223/64Impedance arrangements
    • H01L2223/66High-frequency adaptations
    • H01L2223/6644Packaging aspects of high-frequency amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/1301Shape
    • H01L2224/13012Shape in top view
    • H01L2224/13014Shape in top view being circular or elliptic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/1301Shape
    • H01L2224/13016Shape in side view
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13075Plural core members
    • H01L2224/1308Plural core members being stacked
    • H01L2224/13082Two-layer arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1401Structure
    • H01L2224/1403Bump connectors having different sizes, e.g. different diameters, heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/14Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1405Shape
    • H01L2224/14051Bump connectors having different shapes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16235Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a via metallisation of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3677Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5383Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • H01L2924/141Analog devices
    • H01L2924/142HF devices
    • H01L2924/1421RF devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/171A filter circuit coupled to the output of an amplifier
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/222A circuit being added at the input of an amplifier to adapt the input impedance of the amplifier
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/294Indexing scheme relating to amplifiers the amplifier being a low noise amplifier [LNA]
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/387A circuit being added at the output of an amplifier to adapt the output impedance of the amplifier
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/451Indexing scheme relating to amplifiers the amplifier being a radio frequency amplifier
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2203/00Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/20Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F2203/21Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F2203/211Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • H03F2203/21103An impedance adaptation circuit being added at the input of a power amplifier stage
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2203/00Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/20Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F2203/21Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F2203/211Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • H03F2203/21139An impedance adaptation circuit being added at the output of a power amplifier stage
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2203/00Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/20Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers
    • H03F2203/21Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F2203/211Indexing scheme relating to power amplifiers, e.g. Class B amplifiers, Class C amplifiers with semiconductor devices only using a combination of several amplifiers
    • H03F2203/21157A filter circuit being added at the output of a power amplifier stage
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/02Transmitters
    • H04B1/04Circuits
    • H04B2001/0408Circuits with power amplifiers

Abstract

【課題】電力増幅器の増幅特性の劣化が抑制された高周波モジュールを提供する。【解決手段】高周波モジュール1は、縦続接続された増幅トランジスタ110Pおよび110Dからなる送信電力増幅器11と、互いに背向する主面90aおよび90bを有し、主面90aに送信電力増幅器11が実装された実装基板90とを備え、増幅トランジスタ110Pは最後段に配置され、エミッタ端子112Pを有し、増幅トランジスタ110Dは増幅トランジスタ110Pよりも前段に配置され、エミッタ端子112Dを有し、実装基板90は、主面90aに近い順にグランド電極層93g〜96gを有し、エミッタ端子112Pとエミッタ端子112Dとは、主面90a上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、グランド電極層93gを介して電気的に接続されていない。【選択図】図3B

Description

本発明は、高周波モジュールおよび通信装置に関する。
携帯電話などの移動体通信機器では、特に、マルチバンド化の進展に伴い、高周波フロントエンド回路を構成する回路素子が高密度に実装される必要がある。回路素子を高密度実装するにあたり、増幅回路、および、当該増幅回路から出力された高周波信号を通過させる受動素子の放熱対策が重要となる。
特許文献1には、電力増幅回路を含む半導体チップと、当該半導体チップが実装された配線基板とを有する電力増幅モジュールが開示されている。半導体チップのソースに接続されたバンプ電極は、複数の球状バンプが長尺状に繋げられた、いわゆるストライプ形状となっている。この構成により、電力増幅モジュールは、電力増幅回路からの発熱を、ソース接続のバンプ電極から、配線基板に設けられた複数のソース用ビア(VH1S〜VH3S)を介して配線基板の裏面端子に放熱することが可能となる。
特開2010−267944号公報
一般に、電力増幅回路のグランド強化および放熱性強化のためには、電力増幅回路のグランド端子を配線基板内のグランド電極層と接続することが有効である。
しかしながら、電力増幅器を、縦続接続された多段の増幅素子で構成した場合、特に、最後段(パワー段)の増幅素子から出力される大電力の高周波信号が、配線基板内のグランド電極層を介して前段(ドライブ段)の増幅素子に回り込むことが想定される。この場合、前段(ドライブ段)の増幅素子に回り込んだ高周波信号は雑音信号となるため、電力増幅器の増幅特性が劣化してしまう。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、電力増幅器の増幅特性の劣化が抑制された高周波モジュールおよび通信装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る高周波モジュールは、縦続接続された複数の増幅素子からなる電力増幅器と、互いに背向する第1主面および第2主面を有し、前記第1主面に前記電力増幅器が実装された実装基板と、を備え、前記複数の増幅素子は、前記複数の増幅素子の最後段に配置され、第1グランド端子を有する第1増幅素子と、前記第1増幅素子よりも前段に配置され、第2グランド端子を有する第2増幅素子と、を有し、前記実装基板は、内部に、前記第1主面に略平行な複数のグランド電極層であって前記第1主面に近い順に第1グランド電極層から第nグランド電極層(nは2以上の整数)を有し、前記第1グランド端子と前記第2グランド端子とは、前記実装基板において、前記第1主面上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、前記第1グランド電極層を介して電気的に接続されていない。
本発明によれば、電力増幅器の増幅特性の劣化が抑制された高周波モジュールおよび通信装置を提供することが可能となる。
実施の形態に係る高周波モジュールの回路構成の一例を示す図である。 実施の形態に係る高周波モジュールが備える電力増幅器の回路構成図である。 実施の形態に係る高周波モジュールの回路配置を示す平面概略図である。 実施の形態に係る高周波モジュールの断面概略図である。 実施の形態に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の実装配置を示す断面概略図および平面概略図である。 実施の形態の変形例に係る高周波モジュールの断面概略図である。
以下、本発明の実施の形態およびその変形例について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態およびその変形例は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態およびその変形例で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態およびその変形例における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさまたは大きさの比は、必ずしも厳密ではない。
なお、以下の実施の形態およびその変形例において、「AとBとが接続されている」とは、(1)AとBとが直接、または、(2)導体膜を介して(AとBとがそれぞれ導体膜の表面および裏面に)、接していることを指すものと定義される。また、「AとBとが電気的に接続されている」とは、AとBとが直接接していなくてもよく、導電配線を介してAとBとが間接的に接続されていることを含むものと定義される。
また、以下の実施の形態およびその変形例において、基板上に実装されたA、BおよびCにおいて、「当該基板(または当該基板の主面)を平面視した場合に、AとBとの間にCが配置されている」とは、当該基板を平面視した場合に投影されるAの領域内の任意の点と、当該基板を平面視した場合に投影されるBの領域内の任意の点とを結ぶ線に、当該基板を平面視した場合に投影されるCの領域の少なくとも一部が重複していることを指すものと定義される。
(実施の形態)
[1 高周波モジュールおよび通信装置の回路構成]
図1は、実施の形態に係る高周波モジュール1の回路構成図である。同図に示すように、通信装置5は、高周波モジュール1と、アンテナ素子2と、RF信号処理回路(RFIC)3と、ベースバンド信号処理回路(BBIC)4と、を備える。
RFIC3は、アンテナ素子2で送受信される高周波信号を処理するRF信号処理回路である。具体的には、RFIC3は、高周波モジュール1の受信信号経路を介して入力された高周波受信信号を、ダウンコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された受信信号をBBIC4へ出力する。また、RFIC3は、BBIC4から入力された送信信号をアップコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された高周波送信信号を、高周波モジュール1の送信信号経路に出力する。
BBIC4は、高周波モジュール1を伝搬する高周波信号よりも低周波の中間周波数帯域を用いて信号処理する回路である。BBIC4で処理された信号は、例えば、画像表示のための画像信号として使用され、または、スピーカを介した通話のために音声信号として使用される。
また、RFIC3は、使用される通信バンド(周波数帯域)に基づいて、高周波モジュール1が有するスイッチ51、52、53、54、55および56の接続を制御する制御部としての機能も有する。具体的には、RFIC3は、制御信号(図示せず)によって、高周波モジュール1が有するスイッチ51〜56の接続を切り替える。なお、制御部は、RFIC3の外部に設けられていてもよく、例えば、高周波モジュール1またはBBIC4に設けられていてもよい。
アンテナ素子2は、高周波モジュール1の共通端子100に接続され高周波モジュール1から出力された高周波信号を放射し、また、外部からの高周波信号を受信して高周波モジュール1へ出力する。
なお、本実施の形態に係る通信装置5において、アンテナ素子2およびBBIC4は、必須の構成要素ではない。
次に、高周波モジュール1の詳細な構成について説明する。
図1に示すように、高周波モジュール1は、共通端子100と、送信電力増幅器11および12と、受信低雑音増幅器21および22と、送信フィルタ61T、62T、63Tおよび64Tと、受信フィルタ61R、62R、63Rおよび64Rと、送信出力整合回路30と、受信入力整合回路40と、整合回路71、72、73および74と、スイッチ51、52、53、54、55および56と、カプラ80と、カプラ出力端子180と、を備える。
共通端子100は、アンテナ素子2に接続される。
送信電力増幅器11は、第1周波数帯域群に属する通信バンドAおよび通信バンドBの高周波信号を増幅する電力増幅器である。また、送信電力増幅器12は、第1周波数帯域群よりも高周波側の第2周波数帯域群に属する通信バンドCおよび通信バンドDの高周波信号を増幅する電力増幅器である。
送信電力増幅器11は、入力端子114および出力端子111と、第1増幅器11Pおよび第2増幅器11Dとを有している。第1増幅器11Pおよび第2増幅器11Dは、入力端子114と出力端子111との間に接続され、互いに縦続接続(直列接続)されている。第1増幅器11Pは、最後段に配置されており、第2増幅器11Dは、第1増幅器11Pよりも前段に配置されている。
送信電力増幅器12は、入力端子124および出力端子121と、第1増幅器12Pおよび第2増幅器12Dとを有している。第1増幅器12Pおよび第2増幅器12Dは、入力端子124と出力端子121との間に接続され、互いに縦続接続(直列接続)されている。第1増幅器12Pは、最後段に配置されており、第2増幅器12Dは、第1増幅器12Pよりも前段に配置されている。
図2Aは、実施の形態に係る送信電力増幅器11の回路構成図である。送信電力増幅器11は、互いに縦続接続された2段の増幅トランジスタを含む構成となっている。図2Aに示すように、送信電力増幅器11は、第1増幅器11Pと、第2増幅器11Dと、を有している。
第1増幅器11Pは、増幅トランジスタ110Pと、キャパシタ115Pおよび116Pと、バイアス回路117Pと、コレクタ端子113Pと、エミッタ端子112Pと、入力端子114Pと、出力端子111と、を備える。
増幅トランジスタ110Pは、複数の増幅トランジスタの最後段(パワー段)に配置された第1増幅素子であり、例えば、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであり、ベースに入力された高周波電流を増幅してコレクタから出力する。なお、増幅トランジスタ110Pは、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
第2増幅器11Dは、増幅トランジスタ110Dと、キャパシタ115Dおよび116Dと、バイアス回路117Dと、コレクタ端子113Dと、エミッタ端子112Dと、入力端子114と、出力端子111Dと、を備える。
増幅トランジスタ110Dは、最後段に配置された増幅トランジスタ110Pよりも前段(ドライブ段)に配置された第2増幅素子であり、例えば、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであり、ベースに入力された高周波電流を増幅してコレクタから出力する。なお、増幅トランジスタ110Dは、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
キャパシタ115Pは、DCカット用の容量素子であり、バイアス回路117Pからベースに印加される直流バイアス電圧により、入力端子114Pに直流電流が漏洩するのを防止する機能を有する。キャパシタ115Dは、DCカット用の容量素子であり、バイアス回路117Dからベースに印加される直流バイアス電圧により、入力端子114に直流電流が漏洩するのを防止する機能を有する。
キャパシタ116Pは、DCカット用の容量素子であり、直流バイアス電圧が重畳された高周波増幅信号の直流成分を除去する機能を有し、当該直流成分が除去された高周波増幅信号が出力端子111から出力される。キャパシタ116Dは、DCカット用の容量素子であり、直流バイアス電圧が重畳された高周波増幅信号の直流成分を除去する機能を有し、当該直流成分が除去された高周波増幅信号が出力端子111Dから出力される。
バイアス回路117Pは、増幅トランジスタ110Pのベースに接続され、当該ベースにバイアス電圧を印加することで、増幅トランジスタ110Pの動作点を最適化する機能を有する。バイアス回路117Dは、増幅トランジスタ110Dのベースに接続され、当該ベースにバイアス電圧を印加することで、増幅トランジスタ110Dの動作点を最適化する機能を有する。
ここで、エミッタ端子112Pは、第1増幅器11Pをグランドに電気的に接続するための第1グランド端子である。エミッタ端子112Dは、第2増幅器11Dをグランドに電気的に接続するための第2グランド端子である。
つまり、増幅トランジスタ110Pは、複数の増幅トランジスタの最後段に配置され、第1グランド端子を有する第1増幅素子であり、増幅トランジスタ110Dは、増幅トランジスタ110Pよりも前段に配置され、第2グランド端子を有する第2増幅素子である。
本実施の形態に係る送信電力増幅器11の上記回路構成によれば、入力端子114から入力された高周波信号RFinは、増幅トランジスタ110Dのベースからエミッタに流れるベース電流Ib1となる。増幅トランジスタ110Dによりベース電流Ib1が増幅されてコレクタ電流Icc1となり、当該コレクタ電流Icc1に対応した高周波信号が出力端子111D(入力端子114P)から出力される。さらに、増幅トランジスタ110Dで増幅された高周波信号は、入力端子114Pを経由して増幅トランジスタ110Pのベースからエミッタに流れるベース電流Ib2となる。増幅トランジスタ110Pによりベース電流Ib2が増幅されてコレクタ電流Icc2となり、当該コレクタ電流Icc2に対応した高周波信号が出力端子111から出力される。このとき、エミッタ端子112Dからグランドには、ベース電流Ib1およびコレクタ電流Icc1が合算された電流が流れる。また、エミッタ端子112Pからグランドには、ベース電流Ib2およびコレクタ電流Icc2が合算された大電流が流れる。
増幅トランジスタ110Pおよび110Dのそれぞれは、例えば、Siを含むCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)の電界効果型トランジスタ、または、GaAsを材料とする電界効果型トランジスタあるいは上記のようなバイポーラトランジスタで構成されている。なお、パワーハンドリングを必要としない増幅トランジスタ110Dを、Siを含むCMOSで構成することで、高周波モジュール1を安価に製造することが可能となる。一方、高周波送信信号のパワーレベルが高い増幅トランジスタ110Pは、GaAs系材料で構成することで、高品質な増幅特性および雑音特性を有する高周波送信信号を出力することが可能となる。
さらに、パワーハンドリングを必要としない増幅トランジスタ110Dを、スイッチ51〜55と、スイッチ51〜55の接続ならびに送信電力増幅器11および受信低雑音増幅器21の増幅率を制御する制御部とともに、Siを含むCMOSで1チップ化してもよい。これにより、高周波モジュール1の小型化が可能となる。
なお、本実施の形態において、送信電力増幅器11および12のそれぞれは、2段の増幅素子で構成されているものとしたが、3段以上の増幅素子で構成されていてもよい。この場合、上記複数の増幅トランジスタのうち最後段に配置された増幅トランジスタが第1増幅素子であり、第1増幅素子よりも前段に配置された増幅トランジスタが第2増幅素子である。
なお、送信電力増幅器12についても、送信電力増幅器11と同様の回路構成を有し、送信電力増幅器11と同様の機能を有する。
受信低雑音増幅器21は、通信バンドAおよび通信バンドBの高周波信号を低雑音で増幅する低雑音増幅器である。また、受信低雑音増幅器22は、通信バンドCおよび通信バンドDの高周波信号を低雑音で増幅する低雑音増幅器である。
受信低雑音増幅器21および22は、例えば、CMOS、または、GaAsを材料とする電界効果型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどで構成されている。
送信フィルタ61Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ51を介して送信電力増幅器11の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器11で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドAの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ62Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ51を介して送信電力増幅器11の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器11で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドBの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ63Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ52を介して送信電力増幅器12の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器12で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドCの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ64Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ52を介して送信電力増幅器12の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器12で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドDの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。
受信フィルタ61Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ53を介して受信低雑音増幅器21の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドAの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ62Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ53を介して受信低雑音増幅器21の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドBの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ63Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ54を介して受信低雑音増幅器22の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドCの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ64Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ54を介して受信低雑音増幅器22の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドDの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。
なお、上記の送信フィルタ61T〜64Tおよび受信フィルタ61R〜64Rは、例えば、弾性表面波フィルタ、BAW(Bulk Acoustic Wave)を用いた弾性波フィルタ、LC共振フィルタ、および誘電体フィルタのいずれであってもよく、さらには、これらには限定されない。
送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rは、通信バンドAを通過帯域とするデュプレクサ61を構成している。また、送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rは、通信バンドBを通過帯域とするデュプレクサ62を構成している。また、送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rは、通信バンドCを通過帯域とするデュプレクサ63を構成している。また、送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rは、通信バンドDを通過帯域とするデュプレクサ64を構成している。
送信出力整合回路30は、整合回路31および32を有する。整合回路31は、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tおよび62Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tおよび62Tとのインピーダンス整合をとる。整合回路32は、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tおよび64Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tおよび64Tとのインピーダンス整合をとる。
受信入力整合回路40は、整合回路41および42を有する。整合回路41は、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rおよび62Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rおよび62Rとのインピーダンス整合をとる。整合回路42は、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rおよび64Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rおよび64Rとのインピーダンス整合をとる。
スイッチ51は、整合回路31と送信フィルタ61Tおよび62Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tとの電気的な接続、および、送信電力増幅器11と送信フィルタ62Tとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ52は、整合回路32と送信フィルタ63Tおよび64Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tとの電気的な接続、および、送信電力増幅器12と送信フィルタ64Tとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ53は、整合回路41と受信フィルタ61Rおよび62Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rとの電気的な接続、および、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ62Rとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ54は、整合回路42と受信フィルタ63Rおよび64Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rとの電気的な接続、および、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ64Rとの電気的な接続、を切り替える。
スイッチ55は、共通端子100と送信フィルタ61T〜64Tおよび受信フィルタ61R〜64Rとを結ぶ信号経路に配置され、(1)共通端子100と送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rとの電気的な接続、(2)共通端子100と送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rとの電気的な接続、(3)共通端子100と送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rとの電気的な接続、ならびに、(4)共通端子100と送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rとの電気的な接続、を切り替える。なお、スイッチ55は、上記(1)〜(4)のうちの2以上の接続を同時に行うことが可能なマルチ接続型のスイッチ回路で構成される。
整合回路71は、スイッチ55と送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路72は、スイッチ55と送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路73は、スイッチ55と送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路74は、スイッチ55と送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rとを結ぶ経路に配置されている。
カプラ80およびスイッチ56は、共通端子100とスイッチ55との間を伝送する高周波信号の電力強度をモニタする回路であり、モニタした電力強度を、カプラ出力端子180を介してRFIC3などに出力する。
上記回路構成によれば、高周波モジュール1は、通信バンドAおよび通信バンドBのいずれかの通信バンドの高周波信号と、通信バンドCおよび通信バンドDのいずれかの通信バンドの高周波信号とを、同時送信、同時受信、および同時送受信の少なくともいずれかを実行することが可能である。
なお、送信フィルタ61T〜64T、受信フィルタ61R〜64R、送信電力増幅器12、受信低雑音増幅器21および22、整合回路31、32、41、42、71〜74、カプラ80、スイッチ51〜56、ならびにカプラ出力端子180は、本発明に係る高周波モジュールに必須の構成要素ではない。つまり、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、通信バンドAの高周波信号を送信する回路であればよく、送信電力増幅器11と、送信電力増幅器11を実装する実装基板(図3Aおよび図3Bにて図示)との接続構造に特徴を有している。
[2 高周波モジュール1の回路素子配置構成]
図2Bは、実施の形態に係る高周波モジュール1の回路配置を示す平面構成概略図である。また、図3Aは、実施の形態に係る高周波モジュール1の断面概略図である。また、図3Bは、実施の形態に係る高周波モジュール1が有する送信電力増幅器11の実装配置を示す断面概略図および平面概略図である。より具体的には、図3Aは、図2BのIIIA−IIIA線における断面図であり、図3Bの(b)は、図2Bにおける送信電力増幅器11が実装された領域Apの主面90aにおける平面図であり、図3Bの(a)は、図3Bの(b)のIIIB−IIIB線における断面図である。
図2Bおよび図3Aに示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、図1に示された回路構成に加えて、さらに、実装基板90と、樹脂部材70と、を有している。
実装基板90は、互いに背向する主面90a(第1主面)および主面90b(第2主面)を有し、図1に示された回路素子を実装する基板である。実装基板90としては、例えば、樹脂からなる多層基板、または、複数の誘電体層からなる低温同時焼成セラミックス(Low Temperature Co−fired Ceramics:LTCC)多層基板等が用いられる。
樹脂部材70は、実装基板90の主面90aに配置され、主面90aに実装された回路素子および実装基板90の主面90aを覆っており、上記回路素子の機械強度および耐湿性などの信頼性を確保する機能を有している。なお、樹脂部材70は、本発明に係る高周波モジュールに必須の構成要素ではない。
図2Bおよび図3Aに示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1では、送信電力増幅器11および12、受信低雑音増幅器21および22、デュプレクサ61〜64、整合回路31、32、41および42、ならびに、スイッチ51、52および55は、実装基板90の主面90aに表面実装されている。なお、送信電力増幅器12、受信低雑音増幅器21および22、デュプレクサ61〜64、整合回路31、32、41および42、ならびに、スイッチ51、52および55は、実装基板90の主面90bに実装されていてもよい。また、スイッチ56、整合回路71〜74、ならびに、カプラ80は、図2Bには図示されていないが、実装基板90の主面90aおよび90bのいずれに表面実装されていてもよいし、また実装基板90に内蔵されていてもよい。
整合回路31は、インダクタ31Lおよびキャパシタ31Cを含む。整合回路32は、インダクタ32Lおよびキャパシタ32Cを含む。整合回路41は、インダクタ41Lおよびキャパシタ41Cを含む。整合回路42は、インダクタ42Lおよびキャパシタ42Cを含む。
図2Bに示すように、実装基板90を平面視した場合、送信電力増幅器11(第1増幅器11Pおよび第2増幅器11D)および送信電力増幅器12(第1増幅器12Pおよび第2増幅器12D)、整合回路31および32、ならびに、スイッチ51および52の送信回路素子は、実装基板90の左側領域に配置されている。一方、受信低雑音増幅器21および22、ならびに、整合回路41および42の受信回路素子は、実装基板90の右側領域に配置されている。そして、デュプレクサ61〜64が、実装基板90の主面90aを平面視した場合、送信回路素子と受信回路素子との間(の中央領域)に配置されている。これにより、高周波モジュール1の送信系回路と受信系回路とが、デュプレクサを挟んで離間配置されるので、送信系回路と受信系回路とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
高周波モジュール1は、さらに、図3Aおよび図3Bに示すように、送信電力増幅器11に接続され、当該表面を平面視した場合に長尺形状であるバンプ電極13P(第1バンプ電極)およびバンプ電極13Dを備える。送信電力増幅器11(第1増幅器11Pおよび第2増幅器11D)は、実装基板90の主面90aに実装されている。第1増幅器11Pおよび第2増幅器11Dは、図2Aに示すように、それぞれ、エミッタ端子112P(第1グランド端子)および112D(第2グランド端子)を有している。また、図3Bの(b)に示すように、第1増幅器11Pのエミッタ端子112Pは、バンプ電極13Pに接続され、第2増幅器11Dのエミッタ端子112Dは、バンプ電極13Dに接続されている。
実装基板90は、実装基板90を平面視した場合に長尺形状であるビア導体91Pおよび91Dを有している。バンプ電極13Pはビア導体91Pに接続され、バンプ電極13Dはビア導体91Dに接続されている。
さらに、実装基板90は、図3Aに示すように、内部に、主面90aに略平行な複数のグランド電極層であって、主面90aに近い順に、グランド電極層93g(第1グランド電極増)、グランド電極層94g(第2グランド電極増)、グランド電極層95g(第3グランド電極増)、およびグランド電極層96g(第4グランド電極増)を有している。さらに、実装基板90は、主面90bに形成されたグランド電極層93を有している。なお、実装基板90は、その内部に、グランド電極層を2層以上有していればよい。
ここで、図3Bの(a)に示すように、ビア導体91Dは、グランド電極層93gおよび94gと接続されているのに対して、ビア導体91Pは、1層目のグランド電極層93gには接続されておらず、2層目のグランド電極層94gと接続されている。
つまり、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、縦続接続された複数の増幅トランジスタ110P(第1増幅素子)および110D(第2増幅素子)からなる送信電力増幅器11と、主面90a(第1主面)および90b(第2主面)を有し、主面90aに送信電力増幅器11が実装された実装基板90とを備える。増幅トランジスタ110Pは、最後段に配置され、エミッタ端子112P(第1グランド端子)を有する。増幅トランジスタ110Dは、増幅トランジスタ110Pよりも前段に配置され、エミッタ端子112D(第2グランド端子)を有する。実装基板90は、その内部に、主面90aに近い順に、グランド電極層93g(第1グランド電極層)、グランド電極層94g(第2グランド電極層)、グランド電極層95g(第3グランド電極層)、およびグランド電極層96g(第4グランド電極層)を有する。ここで、エミッタ端子112Pとエミッタ端子112Dとは、主面90a上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、第1層目のグランド電極層93gを介して電気的に接続されていない。
一般に、送信電力増幅回路のグランド強化および放熱性強化のためには、送信電力増幅回路のグランド端子を実装基板内のグランド電極層と接続することが有効である。しかしながら、大電力出力を実現するため、送信電力増幅器を、縦続接続された多段の増幅トランジスタで構成した場合、特に、最後段(パワー段)の増幅トランジスタで生成される大電力の高周波信号が、実装基板内のグランド電極層を介して前段(ドライブ段)の増幅トランジスタに回り込むことが想定される。この場合、前段(ドライブ段)の増幅トランジスタに回り込んだ高周波信号は、前段(ドライブ段)の増幅トランジスタでの雑音となるため、送信電力増幅器の増幅特性が劣化してしまう。
これに対して、本実施の形態に係る高周波モジュール1の上記構成によれば、増幅トランジスタ110Pのグランド端子であるエミッタ端子112Pと、増幅トランジスタ110Dのグランド端子であるエミッタ端子112Dとは、実装基板90において、主面90a上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、第1層目のグランド電極層93gを介して電気的に接続されていない。このため、増幅トランジスタ110Pのグランド端子と、増幅トランジスタ110Dのグランド端子とが、実装基板90を経由した経路のうち実装基板90の主面90aの表層付近に形成される最短経路で電気的に接続されていないので、双方のグランド端子間の電気経路を長くできる。よって、最後段(パワー段)の増幅トランジスタ110Pから出力される大電力の高周波信号は、グランド配線を伝搬する場合であっても十分減衰されてドライブ段の増幅トランジスタ110Dに流入する。よって、パワー段の第1増幅器11Pからドライブ段の第2増幅器11Dへの雑音信号の侵入を抑制できるので、送信電力増幅器11および高周波モジュール1の増幅特性の劣化を抑制できる。
なお、本実施の形態では、図3Bの(a)に示すように、第1増幅器11Pのエミッタ端子112Pと第2増幅器11Dのエミッタ端子112Dとは、実装基板90において、主面90a上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、第1層目のグランド電極層93gを介して電気的に接続されていないが、第2層目のグランド電極層94gを介して電気的に接続されている。これに対して、エミッタ端子112Pとエミッタ端子112Dとが、実装基板90のいずれのグランド電極層を介しても電気的に接続されていなくてもよい。この場合、エミッタ端子112Pとエミッタ端子112Dとは、例えば、実装基板90の主面90bに対向して配置された外部基板において電気的に接続される。これによれば、パワー段の第1増幅器11Pからドライブ段の第2増幅器11Dへの雑音信号の侵入を高周波モジュール1内で最大に抑制できるので、送信電力増幅器11および高周波モジュール1の増幅特性の劣化を最も抑制できる。
なお、バンプ電極13Pおよび13D、ならびに、ビア導体91Pおよび91Dは、長尺形状でなくてもよく、例えば、略円形状であってもよい。また、バンプ電極13Pおよび13Dは、バンプでなくてもよく、送信電力増幅器11の表面に配置された接続電極であってもよい。
また、バンプ電極13Pおよび13Dはなくてもよく、エミッタ端子112Pとビア導体91Pとが直接接続されていてもよく、また、エミッタ端子112Dとビア導体91Dとが直接接続されていてもよい。つまり、エミッタ端子112Pとビア導体91Pとが、主面90aにおいて接続されていてもよく、また、エミッタ端子112Dとビア導体91Dとが、主面90aにおいて接続されていてもよい。
また、本実施の形態では、図3Bの(b)に示すように、バンプ電極13Pとビア導体91Pとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Pとビア導体91Pとの重複領域で接続されている。ここで、長尺方向同士が揃っているとは、ビア導体91Pの長尺方向とバンプ電極13Pの長尺方向とが平行である状態に限定されず、ビア導体91Pの長尺方向とバンプ電極13Pの長尺方向とのなす角度が45度以下である状態を含む。また、上記長尺方向に長い重複領域とは、上記平面視におけるバンプ電極13Pの領域のうち上記長尺方向に長い領域と、上記平面視におけるビア導体91Pの領域のうち上記長尺方向に長い領域とが重複している領域である。また、バンプ電極13Dとビア導体91Dとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Dとビア導体91Dとの重複領域で接続されている。
なお、長尺形状とは、一方向に長い形状であり、長尺方向とは、当該一方向を指す。
これによれば、長尺形状のバンプ電極13Pと長尺形状のビア導体91Pとが、上記平面視において長尺方向にわたって重複するように接続されるので、従来に比べて、バンプ電極13Pとビア導体91Pとの接触面積が大きくなり、また、バンプ電極13Pおよびビア導体91Pの体積も大きくなる。また、長尺形状のバンプ電極13Dと長尺形状のビア導体91Dとが、上記平面視において長尺方向にわたって重複するように接続されるので、従来に比べて、バンプ電極13Dとビア導体91Dとの接触面積が大きくなり、また、バンプ電極13Dおよびビア導体91Dが長尺形状を有するので、バンプ電極13Dおよびビア導体91Dの体積も大きくなる。よって、高周波モジュール1の放熱性を高めることが可能となる。
なお、バンプ電極13Pおよび13Dは、それぞれ、例えば、銅(Cu)を主成分とする柱状電極である。これによれば、バンプ電極13Pおよび13Dを、電解または無電解メッキ法などにより容易に上記長尺形状に形成でき、また、他の金属材料と比較して熱抵抗を低くすることができる。よって、製造工程の簡素化およびさらなる放熱性の向上を達成できる。
また、図2Aに示したように、第1増幅器11Pは、増幅トランジスタ110Pと、キャパシタ115Pおよび116Pと、バイアス回路117Pと、コレクタ端子113Pと、エミッタ端子112Pと、入力端子114Pと、出力端子111と、を備える。なお、増幅トランジスタ110Pは、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであるが、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
第2増幅器11Dは、増幅トランジスタ110Dと、キャパシタ115Dおよび116Dと、バイアス回路117Dと、コレクタ端子113Dと、エミッタ端子112Dと、入力端子114と、出力端子111Dと、を備える。なお、増幅トランジスタ110Dは、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであるが、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
なお、本実施の形態では、エミッタ端子112Pに接続されたバンプ電極13P、ビア導体91P、エミッタ端子112Dに接続されたバンプ電極13D、および、ビア導体91Dは、全て、上記平面視において長尺形状を有しているものとした。これらのうち、バンプ電極13Pおよびビア導体91Pは、バンプ電極13Dおよびビア導体91Dよりも、優先的に長尺形状であることが望ましい。これにより、大電力を出力する第1増幅器11Pの放熱性を優先的に向上させることができ、高周波モジュール1を効果的に放熱できる。
また、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、さらに、図3Aおよび図3Bに示すように、第1増幅器11Pに接続されたバンプ電極14P(第2バンプ電極)、および、第2増幅器11Dに接続されたバンプ電極14Dを備える。バンプ電極14Pは、第1増幅器11Pの出力端子111またはコレクタ端子113Pの少なくとも1つと接続され、バンプ電極14Dは、第2増幅器11Dの出力端子111Dまたはコレクタ端子113Dの少なくとも1つと接続されている。また、バンプ電極14Pは、実装基板90に設けられた略円形状のビア導体92Pと接続され、バンプ電極14Dは、実装基板90に設けられた略円形状のビア導体92Dと接続されている。ここで、上記平面視において、バンプ電極13P(第1バンプ電極)の面積は、バンプ電極14P(第2バンプ電極)の面積よりも大きい。これによれば、大電流が流れるバンプ電極13Pの上記平面視における面積が、高周波信号または電源電圧Vccが印加されるバンプ電極14Pの上記平面視における面積よりも大きいので、第1増幅器11Pの放熱性を最適化できる。
ここで、上記平面視において、バンプ電極13Dの面積は、バンプ電極14Dの面積よりも大きい。これによれば、バンプ電極13Dの上記平面視における面積が、高周波信号または電源電圧Vccが印加されるバンプ電極14Dの上記平面視における面積よりも大きいので、第2増幅器11Dの放熱性を最適化できる。
なお、本実施の形態に係る高周波モジュール1では、バンプ電極13Pとビア導体91Pとが上記平面視において完全に重複(上記平面視においてビア導体91Pがバンプ電極13Pを包含)し、バンプ電極13Dとビア導体91Dとが上記平面視において完全に重複(上記平面視においてビア導体91Dがバンプ電極13Dを包含)している。これに対して、バンプ電極13Pとビア導体91Pとが、上記平面視において長尺方向が揃っており、かつ、バンプ電極13Pの一部領域がビア導体91Pと重複し、かつ、バンプ電極13Pのその他の領域が実装基板90の非導体部と重複していてもよい。また、バンプ電極13Dとビア導体91Dとが、上記平面視において長尺方向が揃っており、かつ、バンプ電極13Dの一部領域がビア導体91Dと重複し、かつ、バンプ電極13Dのその他の領域が実装基板90の非導体部と重複していてもよい。
なお、実装基板90の非導体部とは、上記平面視においてビア導体の外周と接する実装基板90の本体である。実装基板90の非導体部は、例えば、実装基板90が樹脂からなる多層基板の場合、当該多層基板の本体を構成する樹脂部材のことである。また、実装基板90がLTCC基板の場合、非導体部とは、当該LTCC基板の本体を構成するセラミック部材のことである。
つまり、バンプ電極13Pは、上記平面視において、ビア導体91Pと重複せず非導体部と重複する領域を含んでもよい。また、バンプ電極13Dは、上記平面視において、ビア導体91Dと重複せず非導体部と重複する領域を含んでもよい。
長尺形状のビア導体91Pおよび91Dは、例えば、まず、実装基板90にレーザなどで穴開けした後、銀(Ag)または銅(Cu)などの導体部材(例えば導電性ペースト)を充填するなどして形成される。長尺形状のビア導体91Pおよび91Dは、上記平面視において真円形状ではないため、ビア導体91Pおよび91Dの形成にあたり導体部材を充填する場合、ビア外周領域に比べてビア内周領域の導体充填量が少なくなることがある。このため、ビア外周領域に比べてビア内周領域のほうが実装基板90の主面90aにおいて凹部が発生し易いことが想定され、実装基板90の主面90aにおいてビア導体91Pおよび91Dの平坦性を確保することが困難となる。一方、上記平面視においてビア導体91Pおよび91Dを囲む非導体部は、実装基板90の主面90aにおいて平坦性が確保されている。
これにより、バンプ電極13Pとビア導体91Pとの接続により高周波モジュールの放熱性を向上させつつ、バンプ電極13Pおよびバンプ電極13Dと非導体部との接続により実装基板90上における送信電力増幅器11の平坦性を確保することが可能となる。
さらに、バンプ電極とビア導体とを完全に重ねる必要がないので、実装基板90におけるビア導体91Pおよび91Dの配置位置を、ある程度自由に選択することができ、実装基板90内での放熱領域を変えることができる。特に、ビア導体91Pおよび91Dを、熱による特性変化の大きい部品などから離して配置することも可能となり、高周波モジュールの電気特性を安定化させることができる。
なお、主面90aにおけるビア導体91Pおよび91Dの面積を、バンプ電極13Pおよび13Dの面積よりも小さくしてもよい。これにより、ビア導体91Pおよび91Dを小型化できるため、実装基板90内部の配線設計の自由度を向上できる。
図4は、実施の形態の変形例に係る高周波モジュール1Aの断面概略図である。本変形例に係る高周波モジュール1Aは、実施の形態に係る高周波モジュール1と比較して、第1増幅器11Pに接続されたバンプ電極および当該バンプ電極に接続されたビア導体の構造のみが異なる。以下、本変形例に係る高周波モジュール1Aについて、実施の形態に係る高周波モジュール1と同じ点は説明を省略し、異なる点を中心に説明する。
図4に示すように、第1増幅器11Pは、実装基板90の主面90aに実装されている。第1増幅器11Pは、それぞれ、エミッタ端子112Pを有しており、エミッタ端子112Pは、バンプ電極13a、13b、13cおよび13dに接続されている。バンプ電極13a〜13dは、それぞれ、上記平面視において、略円形状を有し、x軸方向に沿って離散的に配置されている。
実装基板90は、ビア導体91a、91b、91cおよび91dを有している。ビア導体91a〜91dは、それぞれ、実装基板90を貫通し、上記平面視において、略円形状を有し、x軸方向に沿って離散的に配置されている。
ここで、バンプ電極13aはビア導体91aに接続され、バンプ電極13bはビア導体91bに接続され、バンプ電極13cはビア導体91cに接続され、バンプ電極13dはビア導体91dに接続されている。
ここで、本変形例に係る高周波モジュール1Aでは、エミッタ端子112Pとエミッタ端子112Dとは、実装基板90において、主面90a上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、第1層目のグランド電極層93gを介して電気的に接続されていない。これにより、パワー段の第1増幅器11Pからドライブ段の第2増幅器11Dへの雑音信号の侵入を抑制できるので、送信電力増幅器11および高周波モジュール1Aの増幅特性の劣化を抑制できる。
なお、ビア導体91a〜91dは、実装基板90の内部において、上記平面視において長尺形状を有する1つのビア導体となってもよい。つまり、高周波モジュール1Aに必要とされる放熱性およびグランド強化性に応じて、実装基板90の各層で、離散的に配置されたビア導体91a〜91dと、長尺形状のビア導体とを個別に設定してもよい。
なお、上記実施の形態およびその変形例に係る高周波モジュールでは、長尺形状のバンプ電極13Pおよび13D)は、送信電力増幅器11に接続されたバンプ電極であるとしたが、長尺形状のバンプ電極13Pおよび13Dは、送信電力増幅器12に接続されたバンプ電極であってもよい。
(その他の実施の形態など)
以上、本実施の形態に係る高周波モジュールおよび通信装置について、実施の形態およびその変形例を挙げて説明したが、本発明に係る高周波モジュールおよび通信装置は、上記実施の形態およびその変形例に限定されるものではない。上記実施の形態およびその変形例における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態およびその変形例に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、上記高周波モジュールおよび通信装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
例えば、上記実施の形態およびその変形例に係る高周波モジュールおよび通信装置において、図面に開示された各回路素子および信号経路を接続する経路の間に、別の回路素子および配線などが挿入されていてもよい。
本発明は、マルチバンド対応のフロントエンド部に配置される高周波モジュールとして、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
1、1A 高周波モジュール
2 アンテナ素子
3 RF信号処理回路(RFIC)
4 ベースバンド信号処理回路(BBIC)
5 通信装置
11、11A、12 送信電力増幅器
11D、12D 第2増幅器
11P、12P 第1増幅器
13a、13b、13c、13d、13D、13P、14D、14P バンプ電極
21、22 受信低雑音増幅器
30 送信出力整合回路
31、32、41、42、71、72、73、74 整合回路
31C、32C、41C、42C キャパシタ
31L、32L、41L、42L インダクタ
40 受信入力整合回路
51、52、53、54、55、56 スイッチ
61、62、63、64 デュプレクサ
61R、62R、63R、64R 受信フィルタ
61T、62T、63T、64T 送信フィルタ
70 樹脂部材
80 カプラ
90 実装基板
90a、90b 主面
91a、91b、91c、91d、91D、91P、92、92D、92P ビア導体
93 裏面グランド電極層
93g、94g、95g、96g グランド電極層
100 共通端子
110D、110P 増幅トランジスタ
111、111D、121 出力端子
112D、112P エミッタ端子
113D、113P コレクタ端子
114、114P、124 入力端子
115D、115P、116、116D、116P キャパシタ
117D、117P バイアス回路
180 カプラ出力端子

Claims (12)

  1. 縦続接続された複数の増幅素子からなる電力増幅器と、
    互いに背向する第1主面および第2主面を有し、前記第1主面に前記電力増幅器が実装された実装基板と、を備え、
    前記複数の増幅素子は、
    前記複数の増幅素子の最後段に配置され、第1グランド端子を有する第1増幅素子と、
    前記第1増幅素子よりも前段に配置され、第2グランド端子を有する第2増幅素子と、を有し、
    前記実装基板は、内部に、前記第1主面に略平行な複数のグランド電極層であって前記第1主面に近い順に第1グランド電極層から第nグランド電極層(nは2以上の整数)を有し、
    前記第1グランド端子と前記第2グランド端子とは、前記実装基板において、前記第1主面上の電極を介して電気的に接続されておらず、かつ、前記第1グランド電極層を介して電気的に接続されていない、
    高周波モジュール。
  2. 前記第1グランド端子と前記第2グランド端子とは、前記実装基板が有する前記複数のグランド電極層を介して接続されていない、
    請求項1に記載の高周波モジュール。
  3. 前記実装基板は、前記実装基板を平面視した場合に長尺形状であるビア導体を有し、
    前記第1グランド端子と前記ビア導体とは、前記第1主面において接続されている、
    請求項1または2に記載の高周波モジュール。
  4. 前記高周波モジュールは、さらに、前記電力増幅器の表面に接続された接続電極を備え、
    前記実装基板は、前記実装基板を平面視した場合に長尺形状であるビア導体を有し、
    前記接続電極と前記ビア導体とは、前記第1主面において接続されている、
    請求項1または2に記載の高周波モジュール。
  5. 前記接続電極は、前記平面視において、長尺形状を有する第1バンプ電極であり、
    前記第1バンプ電極と前記ビア導体とは、前記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、前記平面視において少なくとも前記長尺方向に長い、前記第1バンプ電極と前記ビア導体との重複領域で接続されている、
    請求項4に記載の高周波モジュール。
  6. 前記第1増幅素子は、ベース端子、コレクタ端子およびエミッタ端子を有し、前記コレクタ端子から前記エミッタ端子へ向けて駆動電流を流すバイポーラトランジスタを有し、
    前記エミッタ端子は、前記第1グランド端子である、
    請求項5に記載の高周波モジュール。
  7. さらに、
    前記電力増幅器の前記表面に接続された第2バンプ電極を備え、
    前記第2バンプ電極は、前記ベース端子および前記コレクタ端子の少なくとも1つと接続され、
    前記平面視において、前記第1バンプ電極の面積は、前記第2バンプ電極の面積よりも大きい、
    請求項6に記載の高周波モジュール。
  8. 前記第1増幅素子は、ゲート端子、ドレイン端子およびソース端子を有し、前記ドレイン端子から前記ソース端子へ向けて駆動電流を流す電界効果型トランジスタを有し、
    前記ソース端子は、前記第1グランド端子である、
    請求項5に記載の高周波モジュール。
  9. さらに、
    前記電力増幅器の前記表面に接続された第2バンプ電極を備え、
    前記第2バンプ電極は、前記ゲート端子および前記ドレイン端子の少なくとも1つと接続され、
    前記平面視において、前記第1バンプ電極の面積は、前記第2バンプ電極の面積よりも大きい、
    請求項8に記載の高周波モジュール。
  10. 前記第1バンプ電極は、銅を主成分とする柱状電極である、
    請求項5〜9のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  11. 前記実装基板は、さらに、前記実装基板の本体であり、前記ビア導体の外周と接する非導体部を有し、
    前記第1バンプ電極は、前記平面視において、前記ビア導体と重複せず前記非導体部と重複する領域を含む、
    請求項5〜10のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  12. アンテナ素子で送受信される高周波信号を処理するRF信号処理回路と、
    前記アンテナ素子と前記RF信号処理回路との間で前記高周波信号を伝達する請求項1〜11のいずれか1項に記載の高周波モジュールと、を備える、
    通信装置。
JP2018150633A 2018-08-09 2018-08-09 高周波モジュールおよび通信装置 Pending JP2020027975A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018150633A JP2020027975A (ja) 2018-08-09 2018-08-09 高周波モジュールおよび通信装置
US16/512,790 US10964657B2 (en) 2018-08-09 2019-07-16 Radio-frequency module and communication device
CN201910725013.8A CN110830053B (zh) 2018-08-09 2019-08-07 高频模块以及通信装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018150633A JP2020027975A (ja) 2018-08-09 2018-08-09 高周波モジュールおよび通信装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020027975A true JP2020027975A (ja) 2020-02-20

Family

ID=69407101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018150633A Pending JP2020027975A (ja) 2018-08-09 2018-08-09 高周波モジュールおよび通信装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10964657B2 (ja)
JP (1) JP2020027975A (ja)
CN (1) CN110830053B (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210116233A (ko) * 2020-03-13 2021-09-27 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
KR20210116236A (ko) * 2020-03-13 2021-09-27 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
WO2021205702A1 (ja) * 2020-04-10 2021-10-14 株式会社村田製作所 高周波回路、高周波モジュール及び通信装置
KR20210130636A (ko) * 2020-04-22 2021-11-01 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
WO2022130740A1 (ja) * 2020-12-14 2022-06-23 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018168653A1 (ja) * 2017-03-14 2018-09-20 株式会社村田製作所 高周波モジュール
KR20210087299A (ko) * 2020-01-02 2021-07-12 삼성전기주식회사 고주파 모듈 및 이를 포함하는 전자기기
JP2021129194A (ja) * 2020-02-13 2021-09-02 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
US11502652B2 (en) * 2020-05-08 2022-11-15 Qualcomm Incorporated Substrate comprising capacitor configured for power amplifier output match
JP2022024343A (ja) * 2020-07-16 2022-02-09 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3733783B2 (ja) * 1999-05-20 2006-01-11 株式会社村田製作所 発熱素子の放熱構造を有するモジュール
US6788171B2 (en) * 2002-03-05 2004-09-07 Xytrans, Inc. Millimeter wave (MMW) radio frequency transceiver module and method of forming same
US7087977B2 (en) * 2002-09-27 2006-08-08 Renesas Technology Corp. Semiconductor device including multiple wiring layers and circuits operating in different frequency bands
JP2004214249A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Renesas Technology Corp 半導体モジュール
JP2005033350A (ja) * 2003-07-09 2005-02-03 Renesas Technology Corp 高周波電力増幅モジュールおよび半導体集積回路装置
JP3973624B2 (ja) * 2003-12-24 2007-09-12 富士通株式会社 高周波デバイス
KR100543729B1 (ko) * 2004-03-24 2006-01-20 아바고테크놀로지스코리아 주식회사 열 방출 효율이 높고 두께는 물론 크기를 감소시킨 고주파모듈 패키지 및 그 조립 방법
JP2006121147A (ja) * 2004-10-19 2006-05-11 Alps Electric Co Ltd 携帯電話機用高周波モジュール
JP4524454B2 (ja) * 2004-11-19 2010-08-18 ルネサスエレクトロニクス株式会社 電子装置およびその製造方法
JP5011549B2 (ja) * 2004-12-28 2012-08-29 株式会社村田製作所 半導体装置
US7473999B2 (en) * 2005-09-23 2009-01-06 Megica Corporation Semiconductor chip and process for forming the same
JP5407667B2 (ja) 2008-11-05 2014-02-05 株式会社村田製作所 半導体装置
US8836433B2 (en) * 2011-05-10 2014-09-16 Skyworks Solutions, Inc. Apparatus and methods for electronic amplification
KR101348267B1 (ko) * 2012-10-09 2014-01-09 주식회사 아이엠텍 초소형 cmos 전력 증폭기
CN104737452B (zh) * 2012-10-17 2017-05-24 株式会社村田制作所 高频模块
WO2014145623A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Rf Micro Devices, Inc. Transformer-based power amplifier stabilization and reference distortion reduction
CN105187014A (zh) * 2015-06-29 2015-12-23 苏州英诺迅科技股份有限公司 一种基于BT基板的GaAs和LDMOS/GaN混合集成微波功率放大器
CN205265630U (zh) * 2015-12-29 2016-05-25 成都创吉科技有限责任公司 一种双面集成级联放大电路
JP6702083B2 (ja) * 2016-08-23 2020-05-27 株式会社村田製作所 高周波増幅器モジュール

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210116233A (ko) * 2020-03-13 2021-09-27 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
KR20210116236A (ko) * 2020-03-13 2021-09-27 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
KR102576367B1 (ko) * 2020-03-13 2023-09-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
KR102584792B1 (ko) * 2020-03-13 2023-10-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
US11881878B2 (en) 2020-03-13 2024-01-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio frequency module and communication device
WO2021205702A1 (ja) * 2020-04-10 2021-10-14 株式会社村田製作所 高周波回路、高周波モジュール及び通信装置
KR20210130636A (ko) * 2020-04-22 2021-11-01 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
KR102611705B1 (ko) * 2020-04-22 2023-12-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 고주파 모듈 및 통신 장치
WO2022130740A1 (ja) * 2020-12-14 2022-06-23 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110830053A (zh) 2020-02-21
US10964657B2 (en) 2021-03-30
CN110830053B (zh) 2021-11-19
US20200051942A1 (en) 2020-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020027975A (ja) 高周波モジュールおよび通信装置
CN214069915U (zh) 高频模块和通信装置
CN110830054B (zh) 高频模块以及通信装置
CN110868233B (zh) 高频模块以及通信装置
US11394817B2 (en) Radio frequency module and communication device
WO2019244816A1 (ja) 高周波モジュールおよび通信装置
CN213213459U (zh) 高频模块和通信装置
US11152961B2 (en) Radio frequency module and communication device
CN112910482B (zh) 高频模块和通信装置
CN213879810U (zh) 高频模块和通信装置
KR102543348B1 (ko) 고주파 모듈 및 통신 장치
JP2021048565A (ja) 高周波モジュールおよび通信装置
KR102417481B1 (ko) 고주파 모듈 및 통신 장치
KR102415533B1 (ko) 고주파 모듈 및 통신 장치
US20210306017A1 (en) Radio frequency module and communication device
US11483023B2 (en) Radio-frequency module and communication device
US11418225B2 (en) Radio frequency module and communication device
KR102455844B1 (ko) 고주파 모듈 및 통신장치
WO2022209728A1 (ja) 高周波モジュール及び通信装置
WO2023022047A1 (ja) 高周波モジュール
CN117941273A (en) High frequency module
JP2021164018A (ja) 高周波モジュール及び通信装置
CN117882299A (zh) 高频模块