JP2021129194A - 高周波モジュール及び通信装置 - Google Patents

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孝紀 上嶋
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Abstract

【課題】高周波信号へのノイズの流入を抑制できる高周波モジュールを提供する。
【解決手段】高周波モジュール1は、互いに対向する主面91a及び主面91bを有するモジュール基板91と、主面91aに配置された第1電子部品(例えば電力増幅器11)と、主面91bに配置された第2電子部品(例えば低雑音増幅器21)と、主面91bに配置された複数のポスト電極150と、主面91bに配置され、グランド電位に設定されたメッキシールド壁82と、を備え、複数のポスト電極150は、第1高周波信号を入力又は出力する第1ポスト電極151と、電源信号を入力する第2ポスト電極152と、を含み、モジュール基板91の平面視において、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152のうちの一方は、メッキシールド壁82で囲まれており、メッキシールド壁82の少なくとも一部は、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152の間に配置されている。
【選択図】図2

Description

本発明は、高周波モジュール及び通信装置に関する。
携帯電話などの移動体通信機器では、特に、マルチバンド化の進展に伴い、高周波フロントエンド回路を構成する回路素子の配置構成が複雑化されている。
特許文献1には、システム部及び電源回路部の一方又は双方の実装領域と高周波処理部の実装領域とを区画するように形成されたシールド壁を備える通信モジュールが開示されている。これにより、システム部及び電源回路部から高周波処理部へのノイズの侵入を抑制して通信モジュールの小型化を図ることができる。
特開2015−111747号公報
しかしながら、上記従来技術では、高周波信号へのノイズの流入を十分に抑制することができない場合がある。
そこで、本発明は、高周波信号へのノイズの流入を抑制することができる高周波モジュール及び通信装置を提供する。
本発明の一態様に係る高周波モジュールは、互いに対向する第1主面及び第2主面を有するモジュール基板と、前記第1主面に配置された第1電子部品と、前記第2主面に配置された第2電子部品と、前記第2主面に配置された複数の外部接続端子と、前記第2主面に配置され、グランド電位に設定された第1金属壁と、を備え、前記複数の外部接続端子は、第1高周波信号を入力又は出力する第1外部接続端子と、電源信号、制御信号及び第2高周波信号のいずれかを入力又は出力する第2外部接続端子と、を含み、前記モジュール基板の平面視において、前記第1外部接続端子及び前記第2外部接続端子のうちの一方は、前記第1金属壁で囲まれており、前記第1金属壁の少なくとも一部は、前記第1外部接続端子及び前記第2外部接続端子の間に配置されている。
本発明によれば、高周波信号へのノイズの流入を抑制することができる。
実施の形態1に係る高周波モジュール及び通信装置の回路構成図 実施の形態1に係る高周波モジュールの平面図 実施の形態1に係る高周波モジュールの断面図 実施の形態2に係る高周波モジュールの平面図 実施の形態3に係る高周波モジュールの平面図 実施の形態3に係る高周波モジュールの断面図 実施の形態4に係る高周波モジュールの平面図 実施の形態5に係る高周波モジュールの平面図 実施の形態5に係る高周波モジュールの断面図
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。
なお、各図は、本発明を示すために適宜強調、省略、又は比率の調整を行った模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではなく、実際の形状、位置関係、及び比率とは異なる場合がある。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡素化される場合がある。
以下の各図において、x軸及びy軸は、モジュール基板の主面と平行な平面上で互いに直交する軸である。また、z軸は、モジュール基板の主面に垂直な軸であり、その正方向は上方向を示し、その負方向は下方向を示す。
本開示において、通信システムとは、標準化団体(例えば3GPP(3rd Generation Partnership Project)及びIEEE(Institute of Electrical and Electronics Engineers)等)などによって定義された無線アクセス技術(RAT:Radio Access Technology)を用いて構築される通信システムを意味する。通信システムとしては、例えば5GNR(5th Generation New Radio)システム、LTE(Long Term Evolution)システム及びWLAN(Wireless Local Area Network)システム等を用いることができるが、これらに限定されない。
また、通信バンドとは、通信システムのために標準化団体などによって予め定義された周波数バンドを意味する。通信バンドとしては、例えば5GNR周波数バンド、LTE周波数バンド及びWLANチャネル等を用いることができるが、これらに限定されない。
(実施の形態1)
[1.1 高周波モジュール1及び通信装置5の回路構成]
本実施の形態に係る高周波モジュール1及び通信装置5の回路構成について、図1を参照しながら説明する。図1は、実施の形態1に係る高周波モジュール1及び通信装置5の回路構成図である。
なお、以下の回路構成の説明において、「接続される」とは、配線導体、端子、コネクタ、スイッチ、又はそれらの任意の組み合わせを介して電気的に接続されることだけでなく、受動素子及び/又は能動素子を介して電気的に接続されることも含む。また、「AとBとの間に接続される」とは、A及びBを結ぶ経路上に配置されA及びBの両方に接続されることを意味する。
[1.1.1 通信装置5の回路構成]
通信装置5は、通信システムで用いられる装置であり、例えばスマートフォン及びタブレットコンピュータ等である。図1に示すように、通信装置5は、高周波モジュール1と、アンテナ2と、RFIC3と、BBIC4と、を備える。
アンテナ2は、高周波モジュール1のアンテナ接続端子100に接続され、高周波モジュール1から出力された高周波信号を送信し、また、外部からの高周波信号を受信して高周波モジュール1へ出力する。
RFIC3は、アンテナ2で送受信される高周波信号を処理する信号処理回路である。具体的には、RFIC3は、高周波モジュール1の受信信号経路を介して入力された高周波受信信号を、ダウンコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された受信信号をBBIC4へ出力する。また、RFIC3は、BBIC4から入力された送信信号をアップコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された高周波送信信号を、高周波モジュール1の送信信号経路に出力する。
また、RFIC3は、高周波モジュール1を制御する制御部としての機能も有する。具体的には、制御部は、高周波モジュール1が有するスイッチの接続を切り替えるための制御信号を高周波モジュール1の制御回路77に伝達する。また、制御部は、高周波モジュール1の電力増幅器及び低雑音増幅器の利得などを調整するための制御信号を制御回路77に伝達する。なお、制御部は、RFIC3の外部に設けられていてもよく、例えば、BBIC4に設けられていてもよい。
BBIC4は、高周波モジュール1を伝搬する高周波信号よりも低周波の中間周波数帯域を用いて信号処理する回路である。BBIC4で処理された信号は、例えば、画像表示のための画像信号として使用され、又は、スピーカを介した通話のために音声信号として使用される。
なお、本実施の形態に係る通信装置5において、アンテナ2及びBBIC4は、必須の構成要素ではない。
[1.1.2 高周波モジュール1の回路構成]
次に、高周波モジュール1の詳細な構成について説明する。図1に示すように、高周波モジュール1は、電力増幅器11及び12と、低雑音増幅器21及び22と、送信フィルタ61T〜64Tと、受信フィルタ61R〜64Rと、整合回路31、32、41、42、及び71〜74と、スイッチ51〜55と、電源回路76と、制御回路77と、を備える。
電力増幅器11は、第1周波数帯域群に属する通信バンドA及び通信バンドBの高周波信号を増幅する。電力増幅器11の入力端子は送信入力端子111に接続され、電力増幅器11の出力端子は、整合回路31に接続されている。
電力増幅器12は、第1周波数帯域群よりも低周波側の第2周波数帯域群に属する通信バンドC及び通信バンドDの高周波信号を増幅する。電力増幅器12の入力端子は送信入力端子112に接続され、電力増幅器12の出力端子は、整合回路32に接続されている。
低雑音増幅器21は、通信バンドA及び通信バンドBの高周波信号を低雑音で増幅する。低雑音増幅器21の入力端子は整合回路41に接続され、低雑音増幅器21の出力端子は、受信出力端子121に接続されている。
低雑音増幅器22は、通信バンドC及び通信バンドDの高周波信号を低雑音で増幅する。低雑音増幅器22の入力端子は整合回路42に接続され、低雑音増幅器22の出力端子は、受信出力端子122に接続されている。
送信フィルタ61Tは、電力増幅器11とアンテナ接続端子100とを結ぶ送信経路ATに配置されている。送信フィルタ61Tは、電力増幅器11で増幅された高周波信号のうち、通信バンドAのアップリンク帯域の高周波信号を通過させる。
送信フィルタ62Tは、電力増幅器11とアンテナ接続端子100とを結ぶ送信経路BTに配置されている。送信フィルタ62Tは、電力増幅器11で増幅された高周波信号のうち、通信バンドBのアップリンク帯域の高周波信号を通過させる。
送信フィルタ63Tは、電力増幅器12とアンテナ接続端子100とを結ぶ送信経路CTに配置されている。送信フィルタ63Tは、電力増幅器12で増幅された高周波信号のうち、通信バンドCのアップリンク帯域の高周波信号を通過させる。
送信フィルタ64Tは、電力増幅器12とアンテナ接続端子100とを結ぶ送信経路DTに配置されている。送信フィルタ64Tは、電力増幅器12で増幅された高周波信号のうち、通信バンドDのアップリンク帯域の高周波信号を通過させる。
受信フィルタ61Rは、低雑音増幅器21とアンテナ接続端子100とを結ぶ受信経路ARに配置されている。受信フィルタ61Rは、アンテナ接続端子100から入力された高周波信号のうち、通信バンドAのダウンリンク帯域の高周波信号を通過させる。
受信フィルタ62Rは、低雑音増幅器21とアンテナ接続端子100とを結ぶ受信経路BRに配置されている。受信フィルタ62Rは、アンテナ接続端子100から入力された高周波信号のうち、通信バンドBのダウンリンク帯域の高周波信号を通過させる。
受信フィルタ63Rは、低雑音増幅器22とアンテナ接続端子100とを結ぶ受信経路CRに配置されている。受信フィルタ63Rは、アンテナ接続端子100から入力された高周波信号のうち、通信バンドCのダウンリンク帯域の高周波信号を通過させる。
受信フィルタ64Rは、低雑音増幅器22とアンテナ接続端子100とを結ぶ受信経路DRに配置されている。受信フィルタ64Rは、アンテナ接続端子100から入力された高周波信号のうち、通信バンドDのダウンリンク帯域の高周波信号を通過させる。
送信フィルタ61T及び受信フィルタ61Rは、通信バンドAを通過帯域とするデュプレクサ61を構成している。また、送信フィルタ62T及び受信フィルタ62Rは、通信バンドBを通過帯域とするデュプレクサ62を構成している。また、送信フィルタ63T及び受信フィルタ63Rは、通信バンドCを通過帯域とするデュプレクサ63を構成している。また、送信フィルタ64T及び受信フィルタ64Rは、通信バンドDを通過帯域とするデュプレクサ64を構成している。
なお、上記の送信フィルタ61T〜64T及び受信フィルタ61R〜64Rの各々は、例えば、弾性表面波フィルタ、BAW(Bulk Acoustic Wave)を用いた弾性波フィルタ、LC共振フィルタ、及び誘電体フィルタのいずれであってもよく、さらには、これらには限定されない。
整合回路31は、電力増幅器11と送信フィルタ61T及び62Tとの間に接続されている。整合回路31は、電力増幅器11と送信フィルタ61T及び62Tとのインピーダンス整合をとる。
整合回路32は、電力増幅器12と送信フィルタ63T及び64Tとの間に接続されている。整合回路32は、電力増幅器12と送信フィルタ63T及び64Tとのインピーダンス整合をとる。
整合回路41は、低雑音増幅器21と受信フィルタ61R及び62Rとの間に接続されている。整合回路41は、低雑音増幅器21と受信フィルタ61R及び62Rとのインピーダンス整合をとる。
整合回路42は、低雑音増幅器22と受信フィルタ63R及び64Rとの間に接続されている。整合回路42は、低雑音増幅器22と受信フィルタ63R及び64Rとのインピーダンス整合をとる。
スイッチ51は、整合回路31と送信フィルタ61T及び62Tとの間に接続されている。スイッチ51は、電力増幅器11及び送信フィルタ61Tの接続と、電力増幅器11及び送信フィルタ62Tの接続と、を切り替える。具体的には、スイッチ51は、例えば、整合回路31に接続された共通端子と、送信フィルタ61Tに接続された第1端子と、送信フィルタ62Tに接続された第2端子と、を備える。このような接続構成において、スイッチ51は、例えばRFIC3からの制御信号に基づいて、第1端子及び第2端子のいずれかを共通端子に接続することができる。これにより、電力増幅器11と送信フィルタ61Tとの接続と、電力増幅器11と送信フィルタ62Tとの接続と、が切り替えられる。スイッチ51は、例えば、SPDT(Single Pole Double Throw)型のスイッチ回路で構成される。
スイッチ52は、整合回路32と送信フィルタ63T及び64Tとの間に接続されている。スイッチ52は、電力増幅器12及び送信フィルタ63Tの接続と、電力増幅器12及び送信フィルタ64Tの接続と、を切り替える。具体的には、スイッチ52は、例えば、整合回路32に接続された共通端子と、送信フィルタ63Tに接続された第1端子と、送信フィルタ64Tに接続された第2端子と、を備える。このような接続構成において、スイッチ52は、例えばRFIC3からの制御信号に基づいて、第1端子及び第2端子のいずれかを共通端子に接続することができる。これにより、電力増幅器12及び送信フィルタ63Tの接続と、電力増幅器12及び送信フィルタ64Tの接続と、が切り替えられる。スイッチ52は、例えば、SPDT型のスイッチ回路で構成される。
スイッチ53は、整合回路41と受信フィルタ61R及び62Rとの間に接続されている。スイッチ53は、低雑音増幅器21及び受信フィルタ61Rの接続と、低雑音増幅器21及び受信フィルタ62Rの接続と、を切り替える。具体的には、スイッチ53は、例えば、整合回路41に接続された共通端子と、受信フィルタ61Rに接続された第1端子と、受信フィルタ62Rに接続された第2端子と、を備える。このような接続構成において、スイッチ53は、例えばRFIC3からの制御信号に基づいて、第1端子及び第2端子のいずれかを共通端子に接続することができる。これにより、低雑音増幅器21及び受信フィルタ61Rの接続と、低雑音増幅器21及び受信フィルタ62Rの接続と、が切り替えられる。スイッチ53は、例えば、SPDT型のスイッチ回路で構成される。
スイッチ54は、整合回路42と受信フィルタ63R及び64Rとの間に接続されている。スイッチ54は、低雑音増幅器22及び受信フィルタ63Rの接続と、低雑音増幅器22及び受信フィルタ64Rの接続と、を切り替える。スイッチ54は、例えば、整合回路42に接続された共通端子と、受信フィルタ63Rに接続された第1端子と、受信フィルタ64Rに接続された第2端子と、を備える。このような接続構成において、スイッチ54は、例えばRFIC3からの制御信号に基づいて、第1端子及び第2端子のいずれかを共通端子に接続することができる。これにより、低雑音増幅器22及び受信フィルタ63Rの接続と、低雑音増幅器22及び受信フィルタ64Rの接続と、が切り替えられる。スイッチ54は、例えば、SPDT型のスイッチ回路で構成される。
スイッチ55は、アンテナ接続端子100と送信フィルタ61T〜64T及び受信フィルタ61R〜64Rとの間に接続されている。スイッチ55は、(1)アンテナ接続端子100と送信フィルタ61T及び受信フィルタ61Rとの接続、(2)アンテナ接続端子100と送信フィルタ62T及び受信フィルタ62Rとの接続、(3)アンテナ接続端子100と送信フィルタ63T及び受信フィルタ63Rとの接続、並びに、(4)アンテナ接続端子100と送信フィルタ64T及び受信フィルタ64Rとの接続、を切り替える。スイッチ55は、上記(1)〜(4)のうちの2以上の接続を同時に行うことが可能なマルチ接続型のスイッチ回路で構成される。
整合回路71は、スイッチ55と送信フィルタ61T及び受信フィルタ61Rとの間に接続されている。整合回路71は、アンテナ2及びスイッチ55と、送信フィルタ61T及び受信フィルタ61Rとのインピーダンス整合をとる。
整合回路72は、スイッチ55と送信フィルタ62T及び受信フィルタ62Rとの間に接続されている。整合回路72は、アンテナ2及びスイッチ55と、送信フィルタ62T及び受信フィルタ62Rとのインピーダンス整合をとる。
整合回路73は、スイッチ55と送信フィルタ63T及び受信フィルタ63Rとの間に接続されている。整合回路73は、アンテナ2及びスイッチ55と、送信フィルタ63T及び受信フィルタ63Rとのインピーダンス整合をとる。
整合回路74は、スイッチ55と送信フィルタ64T及び受信フィルタ64Rとの間に接続されている。整合回路74は、アンテナ2及びスイッチ55と、送信フィルタ64T及び受信フィルタ64Rとのインピーダンス整合をとる。
電源回路76は、電源端子131に接続されている。電源回路76は、電源端子131を介して電源(図示せず)から電力の供給を受けて、スイッチ51〜55、電力増幅器11及び12並びに低雑音増幅器21及び22の少なくとも1つに電源信号を出力する。なお、電源回路76は、他の電子部品に電源信号を出力してもよい。
電源信号とは、高周波モジュール1に含まれる電子部品に電力を供給するための信号である。例えば、電源信号は、電力増幅器11及び12に電源電圧及び/又はバイアス電流を供給するための信号である。また、電源信号は、例えば、スイッチ51〜55に駆動電力を供給するための信号であってもよい。
制御回路77は、制御端子132に接続されている。制御回路77は、制御端子132を介してRFIC3から制御信号を受けて、スイッチ51〜55、電力増幅器11及び12並びに低雑音増幅器21及び22の少なくとも1つに制御信号を出力する。なお、制御回路77は、他の電子部品に制御信号を出力してもよい。
制御信号とは、高周波モジュール1に含まれる電子部品を制御するための信号である。具体的には、制御信号は、例えば、電力増幅器11及び12と、低雑音増幅器21及び22と、スイッチ51〜55との少なくとも1つを制御するためのディジタル信号である。
上記高周波モジュール1の構成において、電力増幅器11、整合回路31、スイッチ51、並びに、送信フィルタ61T及び62Tは、アンテナ接続端子100に向けて通信バンドA及び通信バンドBの高周波送信信号を出力する第1送信回路を構成する。また、電力増幅器12、整合回路32、スイッチ52、並びに、送信フィルタ63T及び64Tは、アンテナ接続端子100に向けて通信バンドC及び通信バンドDの高周波信号を出力する第2送信回路を構成する。第1送信回路及び第2送信回路は、アンテナ接続端子100に向けて通信バンドA〜Dの高周波信号を出力する送信回路を構成する。
また、上記高周波モジュール1の構成において、低雑音増幅器21、整合回路41、スイッチ53、並びに、受信フィルタ61R及び62Rは、アンテナ2からアンテナ接続端子100を介して通信バンドA及び通信バンドBの高周波信号を入力する第1受信回路を構成する。また、低雑音増幅器22、整合回路42、スイッチ54、並びに、受信フィルタ63R及び64Rは、アンテナ2からアンテナ接続端子100を介して通信バンドC及び通信バンドDの高周波受信信号を入力する第2受信回路を構成する。第1受信回路及び第2受信回路は、アンテナ接続端子100から通信バンドA〜Dの高周波信号を入力する受信回路を構成する。
なお、第2送信回路及び第2受信回路は、例えば、ローバンド群に属する通信バンドの高周波信号を伝送する回路である。ローバンド群は、4G及び5Gに対応した複数の通信バンドで構成された周波数帯域群であり、例えば、1GHz以下の周波数範囲を有している。ローバンド群は、例えば、LTEのためのバンドB5(アップリンク:824−849MHz、ダウンリンク:869−894MHz)、バンドB8(アップリンク:880−915MHz、ダウンリンク:925−960MHz)、及びバンドB28(アップリンク:703−748MHz、ダウンリンク:753−803MHz)等の通信バンドで構成される。
また、第1送信回路及び第1受信回路は、例えば、ミドルバンド群に属する通信バンドの高周波信号を伝送する回路である。ミドルバンド群は、4G及び5Gに対応した複数の通信バンドで構成された周波数帯域群であり、ローバンド群よりも高周波数側に位置しており、例えば、1.5−2.2GHzの周波数範囲を有している。ミドルバンド群は、例えば、LTEのためのバンドB1(アップリンク:1920−1980MHz、ダウンリンク:2110−2170MHz)、バンドB39(1880−1920MHz)、及びバンドB66(アップリンク:1710−1780MHz、ダウンリンク:2110−2200MHz)等の通信バンドで構成される。
また、第1送信回路及び第1受信回路は、例えば、ハイバンド群に属する通信バンドの送信信号及び受信信号を伝送する回路であってもよい。ハイバンド群は、4G及び5Gに対応した複数の通信バンドで構成された周波数帯域群であり、ミドルバンド群よりも高周波数側に位置しており、例えば、2.4−2.8GHzの周波数範囲を有している。ハイバンド群は、例えば、LTEのためのバンドB7(アップリンク:2500−2570MHz、ダウンリンク:2620−2690MHz)、及びバンドB41(2496−2690MHz)等の通信バンドで構成される。
上記回路構成によれば、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、通信バンドA及び通信バンドBのいずれかの通信バンドの高周波信号と、通信バンドC及び通信バンドDのいずれかの通信バンドの高周波信号とを、同時送信、同時受信、及び同時送受信の少なくともいずれかを実行することが可能である。
なお、送信回路及び受信回路は、スイッチ55を介してアンテナ接続端子100に接続されていなくてもよい。例えば、送信回路及び受信回路は、互いに異なるアンテナ接続端子を介して互いに異なるアンテナに接続されていてもよい。
また、本発明に係る高周波モジュールは、回路構成として、少なくとも2つの回路素子(例えば、電力増幅器11及び低雑音増幅器21)を有していればよく、他の回路素子を有しなくてもよい。
[1.2 高周波モジュール1の部品配置]
次に、以上のように構成された高周波モジュール1の部品配置について、図2及び図3を参照しながら具体的に説明する。
なお、以下の部品配置の説明において、「モジュール基板の平面視」とは、z方向からxy平面に物体を正投影して見ることを意味する。また、「部品がモジュール基板の主面に配置される」とは、部品がモジュール基板の主面と接触した状態で主面上に配置されることだけでなく、部品が主面と接触せずに主面の上方に配置されること、及び、部品の一部が主面側から基板内に埋め込まれて配置されることを含む。また、「AがB及びCの間に配置されている」とは、B内の任意の点とC内の任意の点とを結ぶ線分の少なくとも1つがA内を通ることを意味する。
図2は、実施の形態1に係る高周波モジュール1の平面図である。図2において、(a)はz軸正側からモジュール基板91の主面91aを見た図を示し、(b)は、z軸正側からモジュール基板91の主面91bを透視した図を示す。図3は、実施の形態1に係る高周波モジュール1の断面図である。図3における高周波モジュール1の断面は、図2のiii−iii線における断面である。
本実施の形態では、高周波モジュール1は、樹脂部材92及び93によりパッケージ化されているが、図2では、部品を図示するために樹脂部材92及び93の記載が省略されている。
図2及び図3に示すように、高周波モジュール1は、図1に示された回路素子を内蔵する電子部品に加えて、さらに、メッキシールド壁82及び83と、モジュール基板91と、樹脂部材92及び93と、複数のポスト電極150と、を備える。
モジュール基板91は、互いに対向する主面91a及び91bを有する。主面91a及び91bには、上記送信回路及び上記受信回路を構成する部品が配置される。モジュール基板91としては、例えば、複数の誘電体層の積層構造を有する低温同時焼成セラミックス(LTCC:Low Temperature Co-fired Ceramics)基板、高温同時焼成セラミックス(HTCC:High Temperature Co-fired Ceramics)基板、部品内蔵基板、再配線層(RDL:Redistribution Layer)を有する基板、又は、プリント基板等を用いることができるが、これらに限定されない。
モジュール基板91の主面91aは、第1主面の一例であり、上面又は表面と呼ばれる場合がある。主面91aには、図2の(a)に示すように、電力増幅器11及び12と、整合回路31、32、41、42、71及び72と、デュプレクサ61〜64と、が配置されている。これらの主面91a上の部品は、いずれも第1電子部品の一例であり、図3に示すように樹脂部材92で封止されている。
整合回路31、32、41、42、71及び72の各々は、インダクタ、及び/又は、キャパシタを含む。図2では、整合回路31、32、41及び42の各々は、インダクタ及びキャパシタの両方を含む。一方、整合回路71及び72の各々は、インダクタを含むが、キャパシタを含まない。なお、整合回路31、32、41、42、71及び72の各々の構成は、これに限定されない。例えば、整合回路31、32、41及び42の各々は、キャパシタを含まなくてもよく、整合回路71及び72の各々は、キャパシタを含んでもよい。
モジュール基板91の主面91bは、第2主面の一例であり、下面又は裏面と呼ばれる場合がある。主面91bには、図2の(b)に示すように、低雑音増幅器21及び22と、スイッチ51、52及び55と、メッキシールド壁82及び83と、複数のポスト電極150と、が配置されている。これらの主面91b上の部品は、いずれも第2電子部品の一例であり、図3に示すように樹脂部材93で封止されている。
図2の(b)では、スイッチ51及び52は、1つの部品に含まれ、低雑音増幅器21及び22並びにスイッチ55は、別々の部品に含まれる。なお、低雑音増幅器21及び22とスイッチ51、52及び55とは、1つの半導体集積回路に含まれてもよい。この場合、半導体集積回路は、例えば、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)で構成され、具体的にはSOI(Silicon on Insulator)プロセスにより構成されてもよい。これにより、半導体集積回路を安価に製造することが可能となる。なお、半導体集積回路は、GaAs、SiGe及びGaNのうちの少なくとも1つで構成されてもよい。これにより、高品質な増幅性能及び雑音性能を有する低雑音増幅器を実現することが可能となる。
複数のポスト電極150は、複数の外部接続端子の一例であり、モジュール基板91の主面91bの外縁に沿って並んでいる。複数のポスト電極150の各々は、主面91bからz軸負側に突出して、樹脂部材93を貫通している。複数のポスト電極150の各々の一端は、樹脂部材93から露出して、高周波モジュール1のz軸負側に配置されたマザー基板上の入出力端子及び/又はグランド電極等に接続される。複数のポスト電極150は、第1ポスト電極151と、第2ポスト電極152と、第3ポスト電極153と、第4ポスト電極154と、を含む。
第1ポスト電極151は、第1高周波信号を入力又は出力する第1外部接続端子の一例である。つまり、第1ポスト電極151は、第1高周波信号を伝送するための端子(例えば、図1のアンテナ接続端子100)として機能する。なお、第1ポスト電極151は、アンテナ接続端子100に限定されず、他の端子(例えば、送信入力端子111若しくは112、又は、受信出力端子121若しくは122)として機能してもよい。
第2ポスト電極152は、電源信号を入力する第2外部接続端子の一例である。つまり、第2ポスト電極152は、電源信号を伝送するための端子(例えば、図1の電源端子131)として機能する。図2の(b)に示すように、モジュール基板91の平面視において、第2ポスト電極152は、メッキシールド壁82で囲まれている。
第3ポスト電極153は、制御信号を入力する第2外部接続端子又は第3外部接続端子の一例である。つまり、第3ポスト電極153は、制御信号を伝送するための端子(例えば、図1の制御端子132)として機能する。図2の(b)に示すように、モジュール基板91の平面視において、第3ポスト電極153は、メッキシールド壁83で囲まれている。
第4ポスト電極154は、第2高周波信号を入力又は出力する第2外部接続端子の一例である。つまり、第4ポスト電極154は、第2高周波信号を伝送するための端子(例えば、図1の送信入力端子111若しくは112、又は、受信出力端子121若しくは122)として機能する。
メッキシールド壁82は、第1金属壁の一例であり、グランド電位に設定されている。本実施の形態では、メッキシールド壁82は、図3に示すように、ビア導体を介してモジュール基板91内のグランド導体93Gと接続されることで、グランド電位に設定されている。メッキシールド壁82は、モジュール基板91の主面91bからz軸負側に突出している。メッキシールド壁82の主面91bからの高さは、第2ポスト電極152の主面91bからの高さ以上である。
また、図2の(b)に示すように、モジュール基板91の平面視において、メッキシールド壁82は、第2ポスト電極152を囲っている。第2ポスト電極152は、矩形筒状のメッキシールド壁82の内部に、メッキシールド壁82と非接触で配置されている。これにより、メッキシールド壁82の一部は、第1ポスト電極151と第2ポスト電極152との間に配置されている。さらに、メッキシールド壁82の他の一部は、第2ポスト電極152と第4ポスト電極154との間に配置されている。
メッキシールド壁83は、第2金属壁の一例であり、グランド電位に設定されている。本実施の形態では、メッキシールド壁83は、図3に示すように、ビア導体を介してモジュール基板91内のグランド導体93Gと接続されることで、グランド電位に設定されている。メッキシールド壁83は、モジュール基板91の主面91bからz軸負側に突出している。メッキシールド壁83の主面91bからの高さは、第3ポスト電極153の主面91bからの高さ以上である。
また、図2の(b)に示すように、モジュール基板91の平面視において、メッキシールド壁83は、第3ポスト電極153を囲っている。第3ポスト電極153は、矩形筒状のメッキシールド壁83の内部に、メッキシールド壁83と非接触で配置されている。これにより、メッキシールド壁83の一部は、第1ポスト電極151と第3ポスト電極153との間に配置されている。さらに、メッキシールド壁83の他の一部は、第3ポスト電極153と第4ポスト電極154との間に配置されている。
なお、図2及び図3の例では、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153の両方が個別にメッキシールド壁82及び83で囲まれているが、これに限定されない。例えば、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153の一方のみがメッキシールド壁82又は83で囲まれてもよい。また、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153の両方が1つのメッキシールド壁で囲まれてもよい。
本実施の形態では、複数のポスト電極150とメッキシールド壁82及び83とは、メッキ金属からなる。言い換えると、複数のポスト電極150とメッキシールド壁82及び83とは、メッキ法によりメッキ成長した金属体である。複数のポスト電極150とメッキシールド壁82及び83とは、例えば、次のような工程により形成することができる。
まず、モジュール基板91の主面91b上の所定領域に、感光性レジストなどで凹部を形成することでメッキの下地となるシード層が露出される。次に、露出されたシード層上に金又は銅等の金属を電界メッキにて成長させることで、複数のポスト電極150とメッキシールド壁82及び83とが同時に形成される。
なお、スイッチ53及び54、整合回路73及び74、電源回路76、並びに、制御回路77は、図2及び図3に示されていないが、モジュール基板91の主面91a及び91bのどちらに配置されてもよいし、モジュール基板91内に配置されてもよい。
また、本発明に係る高周波モジュールは、モジュール基板91と、モジュール基板91の主面91aに配置された電子部品のいずれか(例えば、電力増幅器11)と、モジュール基板91の主面91bに配置された電子部品のいずれか(例えば、低雑音増幅器21)と、複数のポスト電極150と、メッキシールド壁82又は83と、を少なくとも有していればよく、他の部品を有しなくてもよい。
[1.3 効果など]
以上のように、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、互いに対向する主面91a及び主面91bを有するモジュール基板91と、主面91aに配置された第1電子部品(例えば電力増幅器11又は12)と、主面91bに配置された第2電子部品(例えば低雑音増幅器21又は22)と、主面91bに配置された複数のポスト電極150と、主面91bに配置され、グランド電位に設定されたメッキシールド壁82と、を備え、複数のポスト電極150は、第1高周波信号を入力又は出力する第1ポスト電極151と、電源信号を入力する第2ポスト電極152と、を含み、モジュール基板91の平面視において、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152の一方は、メッキシールド壁82で囲まれており、メッキシールド壁82の少なくとも一部は、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152の間に配置されている。
これによれば、第1電子部品及び第2電子部品をモジュール基板91の両面に配置することができ、高周波モジュール1の小型化を図ることができる。そして、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152をメッキシールド壁82で隔てることで、第1ポスト電極151で伝送される第1高周波信号に、第2ポスト電極152で伝送される電源信号がノイズとして流入することを抑制することができる。つまり、両面実装型の高周波モジュール1において、外部接続端子を流れる高周波信号へのノイズの流入を抑制することができ、高周波モジュール1の電気特性(例えば雑音指数(NF)など)を改善することができる。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1において、メッキシールド壁82の少なくとも一部は、メッキ金属からなってもよい。
これによれば、メッキ工程によりメッキシールド壁82を形成することができ、スパッタ工程などに比べて高周波モジュール1に対する熱負荷を抑えることできる。したがって、熱による電子部品の特性変化及びモジュール基板91の変形などを抑制することができる。さらに、比較的高密度なメッキ金属を壁に用いることができ、第2ポスト電極152から第1ポスト電極151へのノイズの流入をさらに抑制することができる。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1において、複数のポスト電極150は、メッキ金属からなってもよい。
これによれば、メッキシールド壁82を複数のポスト電極150と同じ工程で形成することができ、高周波モジュール1の製造工程を簡素化することができる。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1では、メッキシールド壁82の主面91bからの高さは、第2ポスト電極152の主面91bからの高さ以上であってもよい。
これによれば、第2ポスト電極152の両端を除いて第2ポスト電極152をメッキシールド壁82で包囲することができ、メッキシールド壁82によるシールド効果を向上させることができる。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、さらに、主面91bに配置され、グランド電位に設定されたメッキシールド壁83を備えてもよい。このとき、複数のポスト電極150は、さらに、制御信号を入力する第3ポスト電極153を含み、モジュール基板91の平面視において、第3ポスト電極153は、メッキシールド壁83で囲まれており、メッキシールド壁83の少なくとも一部は、第1ポスト電極151及び第3ポスト電極153の間に位置してもよい。
これによれば、第1ポスト電極151で伝送される第1高周波信号に、第3ポスト電極153で伝送される制御信号がノイズとして流入することを抑制することができる。つまり、第1ポスト電極151を流れる信号と第3ポスト電極153を流れる信号との間の干渉を抑制することができる。特に、制御信号がディジタル信号である場合に、第1高周波信号へのディジタルノイズの流入を低減することができ、高周波モジュール1の電気特性をより改善することができる。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1において、第1電子部品は、電力増幅器11を含み、第2電子部品は、低雑音増幅器21を含んでもよい。
これによれば、電力増幅器11及び低雑音増幅器21をモジュール基板91の逆面に配置することができ、高周波モジュール1の小型化を図るとともに、電力増幅器11及び低雑音増幅器21の間のアイソレーション特性を向上させることができる。
本実施の形態に係る通信装置5は、高周波信号を処理するRFIC3と、RFIC3で処理された高周波信号を伝送する高周波モジュール1と、を備える。
これによれば、通信装置5において、上記高周波モジュール1と同様の効果を実現することができる。
(実施の形態2)
次に、実施の形態2について説明する。本実施の形態では、高周波信号を入力又は出力する第1ポスト電極がメッキシールド壁で囲まれている点が上記実施の形態1と主として異なる。以下に、本実施の形態について、上記実施の形態1と異なる点を中心に図面を参照しながら説明する。
[2.1 高周波モジュール1Aの部品配置]
本実施の形態に係る高周波モジュール1Aの回路構成は実施の形態1と同様であるので、図示及び説明を省略し、高周波モジュール1の部品配置について、図4を参照しながら具体的に説明する。
図4は、実施の形態2に係る高周波モジュール1Aの平面図である。具体的には、図4は、z軸正側からモジュール基板91の主面91bを透視した図を示す。なお、上記実施の形態1と同様に、図4では、樹脂部材93の記載が省略されている。
図4に示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Aは、メッキシールド壁82及び83の代わりにメッキシールド壁81を備える。
メッキシールド壁81は、グランド電位に設定された第1金属壁の一例である。モジュール基板91の平面視において、メッキシールド壁81は、第1ポスト電極151を囲っている。そして、メッキシールド壁81の主面91bからの高さは、第1ポスト電極151の主面91bからの高さ以上である。その結果、メッキシールド壁81は、第1ポスト電極151と、他のポスト電極(例えば、第2ポスト電極152、第3ポスト電極153及び第4ポスト電極154等)との間に配置されている。
[2.2 効果など]
以上のように、本実施の形態に係る高周波モジュール1では、モジュール基板91の平面視において、第1ポスト電極151は、メッキシールド壁81で囲まれてもよい。
これによれば、第1高周波信号を入力又は出力する第1ポスト電極151をメッキシールド壁81で囲むことができ、他のポスト電極(例えば、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153等)から第1ポスト電極151へのノイズの流入を抑制することができる。さらに、他のポスト電極以外から第1ポスト電極151に流入するノイズも抑制することができ、高周波モジュール1の電気特性を改善することができる。
(実施の形態3)
次に、実施の形態3について説明する。本実施の形態では、高周波モジュールがシールド膜を備える点が、上記実施の形態1と主として異なる。以下に、本実施の形態について、上記実施の形態1と異なる点を中心に図面を参照しながら説明する。
[3.1 高周波モジュール1Bの部品配置]
本実施の形態に係る高周波モジュール1Bの回路構成は実施の形態1と同様であるので、図示及び説明を省略し、高周波モジュール1Bの部品配置について、図5及び図6を参照しながら具体的に説明する。
図5は、実施の形態3に係る高周波モジュール1Bの平面図である。具体的には、図5は、z軸正側からモジュール基板91の主面91bを透視した図を示す。なお、上記実施の形態1と同様に、図5では、樹脂部材93の記載が省略されている。図6は、実施の形態3に係る高周波モジュール1Bの断面図である。図6における高周波モジュール1Bの断面は、図5のvi−vi線における断面である。
図5及び図6に示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Bは、メッキシールド壁82及び83の代わりに、メッキシールド壁82B及び83Bを備え、さらに、シールド膜94Gを備える。
シールド膜94Gは、例えば、スパッタ法により形成された金属薄膜であり、モジュール基板91の主面91a及び側面を覆っている。シールド膜94Gは、例えば、モジュール基板91の側面においてグランド導体93Gと接続される。
図5に示すように、モジュール基板91の平面視において、第2ポスト電極152は、シールド膜94G及びメッキシールド壁82Bで囲まれている。また、モジュール基板91の平面視において、第3ポスト電極153は、シールド膜94G及びメッキシールド壁83Bで囲まれている。つまり、シールド膜94Gは、第2ポスト電極152を囲う第1金属壁の一部を構成し、第3ポスト電極153を囲う第2金属壁の一部を構成している。
[3.2 効果など]
以上のように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Bは、さらに、モジュール基板91の主面91a及び側面を覆うシールド膜94Gを備えてもよく、第1金属壁の一部は、シールド膜94Gによって構成されていてもよい。
これによれば、シールド膜94Gで金属壁の一部を構成することができ、上記実施の形態1と同様の効果を実現することができる。
(実施の形態4)
次に、実施の形態4について説明する。本実施の形態では、メッキシールド壁が、複数のポスト電極を囲う点が、上記実施の形態1と主として異なる。以下に、本実施の形態について、上記実施の形態1と異なる点を中心に図面を参照しながら説明する。
[4.1 高周波モジュール1Cの部品配置]
本実施の形態に係る高周波モジュール1Cの回路構成は実施の形態1と同様であるので、図示及び説明を省略し、高周波モジュール1Cの部品配置について、図7を参照しながら具体的に説明する。
図7は、実施の形態4に係る高周波モジュール1Cの平面図である。具体的には、図7は、z軸正側からモジュール基板91の主面91bを透視した図を示す。なお、上記実施の形態1と同様に、図7では、樹脂部材93の記載が省略されている。
図7に示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Cは、メッキシールド壁82及び83の代わりに、メッキシールド壁82C及び83Cを備える。
メッキシールド壁82Cは、第1金属壁の一例であり、モジュール基板91の平面視において、第2ポスト電極152を含む3つのポスト電極150を囲んでいる。3つのポスト電極150は、第1ポスト電極151を含まず、例えばグランド電極及び/又は他の電源信号の入出力電極を含んでもよい。メッキシールド壁82Cは、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152の間に配置されている。
メッキシールド壁83Cは、第2金属壁の一例であり、モジュール基板91の平面視において、複数のポスト電極150のうちの、第3ポスト電極153を含む5つのポスト電極を囲んでいる。5つのポスト電極は、第1ポスト電極151を含まなければよく、例えばグランド電極及び/又は他の制御信号の入出力電極を含んでもよい。メッキシールド壁83Cは、第1ポスト電極151及び第3ポスト電極153の間に配置されている。
[4.2 効果など]
以上のように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Cにおいて、複数のポスト電極150のうちのいくつかは、メッキシールド壁82Cで囲まれており、第1ポスト電極151及び第2ポスト電極152のうちの一方を含み、他方を含まない。
また例えば、本実施の形態に係る高周波モジュール1Cにおいて、複数のポスト電極150のうちのいくつかは、メッキシールド壁83Cで囲まれており、第1ポスト電極151及び第3ポスト電極153のうちの一方を含み、他方を含まなくてもよい。
このような場合でも、高周波モジュール1Cは、上記実施の形態1と同様の効果を実現することができる。
(実施の形態5)
次に、実施の形態5について説明する。本実施の形態では、高周波モジュールが、複数のポスト電極の代わりに、複数のバンプ電極を備える点が、上記実施の形態1と主として異なる。以下に、本実施の形態について、上記実施の形態1と異なる点を中心に図面を参照しながら説明する。
[5.1 高周波モジュール1Dの部品配置]
本実施の形態に係る高周波モジュール1Dの回路構成は実施の形態1と同様であるので、図示及び説明を省略し、高周波モジュール1Dの部品配置について、図8及び図9を参照しながら具体的に説明する。
図8は、実施の形態5に係る高周波モジュール1Dの平面図である。具体的には、図8は、z軸正側からモジュール基板91の主面91bを透視した図を示す。図9は、実施の形態5に係る高周波モジュール1Dの断面図である。図9における高周波モジュール1Dの断面は、図8のix−ix線における断面である。
図8及び図9に示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Dは、第1ポスト電極151〜第4ポスト電極154を含む複数のポスト電極150の代わりに、第1バンプ電極161〜第4バンプ電極164を含む複数のバンプ電極160を備える。本実施の形態では、高周波モジュール1Dは、主面91b側に樹脂部材93を備えなくてもよい。
[5.2 効果など]
以上のように、本実施の形態に係る高周波モジュール1Dにおいて、複数の外部接続端子として、複数のバンプ電極160を備えてもよい。
この場合であっても、高周波モジュール1Dは、上記実施の形態1と同様の効果を実現することができる。
(他の実施の形態)
以上、本発明に係る高周波モジュール及び通信装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明に係る高周波モジュール及び通信装置は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、上記高周波モジュール及び通信装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
例えば、上記各実施の形態に係る高周波モジュール及び通信装置の回路構成において、図面に開示された各回路素子及び信号経路を接続する経路の間に、別の回路素子及び配線などが挿入されてもよい。
なお、上記実施の形態1と上記実施の形態2とが組み合わされてもよい。この場合、第1ポスト電極151、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153の各々がメッキシールド壁で囲まれる。また、上記実施の形態2と上記実施の形態3、4又は5とが組み合わされてもよい。なお、これらの組み合わせに限定されず、実施の形態1〜5は、任意に組み合わせることができる。
なお、上記各実施の形態では、メッキシールド壁は、モジュール基板内のグランド導体と接続されていたが、これに限定されない。例えば、メッキシールド壁は、モジュール基板のz軸負側に配置されるマザー基板上のグランド導体と接続されてもよい。
また、メッキシールド壁の形状は、上記各実施の形態に限定されない。メッキシールド壁は、曲面を有してもよく、例えば円筒状又は楕円筒状を有してもよい。
なお、上記各実施の形態では、金属壁の少なくとも一部がメッキ金属からなっていたが、これに限定されない。例えば、金属壁は、金属ペーストの塗布により形成されてもよい。また、金属壁は、予め成形された金属部材をモジュール基板91の主面91bに接着することに形成されてもよい。
なお、上記実施の形態1〜4では、第1ポスト電極151、又は、第2ポスト電極152及び第3ポスト電極153が、メッキシールド壁で囲まれていたが、これに限定されない。例えば、第1ポスト電極151〜第3ポスト電極153の各々がメッキシールド壁で囲まれてもよい。さらに、第4ポスト電極154がメッキシールド壁で囲まれてもよい。つまり、第1ポスト電極151〜第4ポスト電極154のいずれか、又は、それらの任意の組み合わせがメッキシールド壁で囲まれてもよい。
なお、上記各実施の形態では、高周波モジュールは、1つの制御端子及び1つの電源端子を備えていたが、制御端子の数及び電源端子の数はこれに限定されない。例えば、高周波モジュールは、制御信号及び電源信号が供給される部品ごとに制御端子及び電源端子を備えてもよい。この場合、高周波モジュールは、制御回路及び電源回路を備えなくてもよい。
本発明は、フロントエンド部に配置される高周波モジュールとして、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
1、1A、1B、1C、1D 高周波モジュール
2 アンテナ
3 RFIC
4 BBIC
5 通信装置
11、12 電力増幅器
21、22 低雑音増幅器
31、32、41、42、71、72、73、74 整合回路
51、52、53、54、55 スイッチ
61、62、63、64 デュプレクサ
61R、62R、63R、64R 受信フィルタ
61T、62T、63T、64T 送信フィルタ
76 電源回路
77 制御回路
81、82、82B、82C、83、83B、83C メッキシールド壁
91 モジュール基板
91a、91b 主面
92、93 樹脂部材
93G グランド導体
94G シールド膜
100 アンテナ接続端子
111、112 送信入力端子
121、122 受信出力端子
131 電源端子
132 制御端子
150 ポスト電極
151 第1ポスト電極
152 第2ポスト電極
153 第3ポスト電極
154 第4ポスト電極
160 バンプ電極
161 第1バンプ電極
162 第2バンプ電極
163 第3バンプ電極
164 第4バンプ電極

Claims (10)

  1. 互いに対向する第1主面及び第2主面を有するモジュール基板と、
    前記第1主面に配置された第1電子部品と、
    前記第2主面に配置された第2電子部品と、
    前記第2主面に配置された複数の外部接続端子と、
    前記第2主面に配置され、グランド電位に設定された第1金属壁と、を備え、
    前記複数の外部接続端子は、第1高周波信号を入力又は出力する第1外部接続端子と、電源信号、制御信号及び第2高周波信号のいずれかを入力又は出力する第2外部接続端子と、を含み、
    前記モジュール基板の平面視において、前記第1外部接続端子及び前記第2外部接続端子のうちの一方は、前記第1金属壁で囲まれており、
    前記第1金属壁の少なくとも一部は、前記第1外部接続端子及び前記第2外部接続端子の間に配置されている、
    高周波モジュール。
  2. 前記第1金属壁の少なくとも一部は、メッキ金属からなる、
    請求項1に記載の高周波モジュール。
  3. 前記複数の外部接続端子は、メッキ金属からなる、
    請求項2に記載の高周波モジュール。
  4. 前記第1金属壁の前記第2主面からの高さは、前記第1外部接続端子及び前記第2外部接続端子のうちの前記一方の前記第2主面からの高さ以上である、
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  5. 前記モジュール基板の平面視において、前記第2外部接続端子は、前記第1金属壁で囲まれている、
    請求項1〜4のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  6. さらに、前記第2主面に配置され、グランド電位に設定された第2金属壁を備え、
    前記第2外部接続端子は、前記電源信号を入力する端子であり、
    前記複数の外部接続端子は、さらに、前記制御信号を入力する第3外部接続端子を含み、
    前記モジュール基板の平面視において、前記第3外部接続端子は、前記第2金属壁で囲まれており、
    前記第2金属壁の少なくとも一部は、前記第1外部接続端子及び前記第3外部接続端子の間に配置されている、
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  7. 前記モジュール基板の平面視において、前記第1外部接続端子は、前記第1金属壁で囲まれている、
    請求項1〜6のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  8. さらに、前記モジュール基板の前記第1主面及び側面を覆うシールド膜を備え、
    前記第1金属壁の一部は、前記シールド膜によって構成されている、
    請求項1〜7のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  9. 前記第1電子部品は、電力増幅器を含み、
    前記第2電子部品は、低雑音増幅器を含む、
    請求項1〜8のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  10. 高周波信号を処理する信号処理回路と、
    前記信号処理回路で処理された前記高周波信号を伝送する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の高周波モジュールと、を備える、
    通信装置。
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