JP2020015152A

JP2020015152A - ロボットアーム

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Publication number: JP2020015152A
Application number: JP2018141031A
Authority: JP
Inventors: 友寿岩▲崎▼; Tomohisa Iwasaki; 豊荒川; Yutaka Arakawa; 満外山; Mitsuru Toyama
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2018-07-27
Filing date: 2018-07-27
Publication date: 2020-01-30
Anticipated expiration: 2038-07-27
Also published as: CN110774275A; JP7167522B2; US20200030969A1; CN110774275B; US11389952B2

Abstract

【課題】装置の複雑化を招くことなく、狭小エリアでの作業に適したロボットアームを提供すること。【解決手段】ロボットアームは、把持部と、前記把持部を支持する第１支持部と、を有する先端部と、前記把持部と前記第１支持部とが並ぶ方向に沿う軸を第１軸としたとき、前記第１支持部に対して前記把持部を前記第１軸に沿う第１回動軸まわりに回動させる第１駆動部と、前記第１支持部を支持する第２支持部と、前記第１軸に直交する軸を第２軸としたとき、前記第２支持部に対して前記先端部を前記第２軸に沿う第２回動軸まわりに回動させる第２駆動部と、を有し、前記第１駆動部は、圧電モーターを備え、前記第２回動軸は、前記先端部と交差している。【選択図】図２

Description

本発明は、ロボットアームに関するものである。

例えば、特許文献１に記載されているロボットシステムは、把持装置を備えた多関節ロボットと、この多関節ロボットの把持装置によって把持されるワークを不整列に収容するパレットと、を有する。また、パレットは、底面と、この底面から立設する壁面と、を有し、底面と壁面とが相対的に上下動するようになっている。そのため、パレットの形状を変更することができ、パレットと把持装置との干渉を抑えることができる。その結果、パレット内のワークが把持し易くなる。

特開２０１０−１０５０８１号公報

しかしながら、このような構成のロボットシステムでは、パレットの構成が複雑化するといった問題があった。

本発明のロボットアームは、把持部と、前記把持部を支持する第１支持部と、を有する先端部と、
前記把持部と前記第１支持部とが並ぶ方向に沿う軸を第１軸としたとき、前記第１支持部に対して前記把持部を前記第１軸に沿う第１回動軸まわりに回動させる第１駆動部と、
前記第１支持部を支持する第２支持部と、
前記第１軸に直交する軸を第２軸としたとき、前記第２支持部に対して前記先端部を前記第２軸に沿う第２回動軸まわりに回動させる第２駆動部と、を有し、
前記第１駆動部は、圧電モーターを備え、
前記第２回動軸は、前記先端部と交差していることを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。ロボットが備えるエンドエフェクターを示す平面図である。図２のエンドエフェクターが備える第１駆動部を示す断面図である。図３の第１駆動部が備える圧電アクチュエーターを示す平面図である。図２のエンドエフェクターが備える把持部を示す断面図である。図２のエンドエフェクターを第８回動軸に沿う方向から見た平面図である。図２のエンドエフェクターが備える第２駆動部を示す断面図である。本発明の第２実施形態に係るロボットが備えるエンドエフェクターを示す断面図である。

以下、本発明のロボットアームを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図２は、ロボットが備えるエンドエフェクターを示す平面図である。図３は、図２のエンドエフェクターが備える第１駆動部を示す断面図である。図４は、図３の第１駆動部が備える圧電アクチュエーターを示す平面図である。図５は、図２のエンドエフェクターが備える把持部を示す断面図である。図６は、図２のエンドエフェクターを第８回動軸に沿う方向から見た平面図である。図７は、図２のエンドエフェクターが備える第２駆動部を示す断面図である。

図１に示すロボット１は、例えば、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ただし、ロボット１の用途としては、これに限定されない。ロボット１は、垂直多関節ロボットであり、基台２と、ロボットアーム３と、を有している。また、ロボットアーム３は、第１アーム３１、第２アーム３２、第３アーム３３、第４アーム３４、第５アーム３５、第６アーム３６およびエンドエフェクター４を有している。なお、以下の説明では、ロボットアーム３の基台２側を「基端」または「基端側」とも言い、基台２と反対側すなわち基台２から遠ざかる側を「先端」または「先端側」とも言う。

基台２は、床、壁または天井等に対して固定されている。第１アーム３１は、その基端側において基台２に対して第１アーム回動軸Ｏ１まわりに回動可能に接続されている。また、第２アーム３２は、その基端側において第１アーム３１に対して第１アーム回動軸Ｏ１に直交する第２アーム回動軸Ｏ２まわりに回動可能に接続されている。また、第３アーム３３は、その基端側において第２アーム３２に対して第２アーム回動軸Ｏ２に平行な第３アーム回動軸Ｏ３まわりに回動可能に接続されている。また、第４アーム３４は、その基端側において第３アーム３３に対して第３アーム回動軸Ｏ３と直交する第４アーム回動軸Ｏ４まわりに回動可能に接続されている。また、第５アーム３５は、その基端側において第４アーム３４に対して第４アーム回動軸Ｏ４と直交する第５アーム回動軸Ｏ５まわりに回動可能に接続されている。また、第６アーム３６は、その基端側において第５アーム３５に対して第５アーム回動軸Ｏ５と直交する第６アーム回動軸Ｏ６まわりに回動可能に接続されている。エンドエフェクター４は、第６アーム３６の先端部に着脱自在に装着されている。なお、本実施形態では、上述した第６アーム３６が本発明の第３支持部を構成している。

なお、第１アーム回動軸Ｏ１〜第６アーム回動軸Ｏ６および後述する第１、第２回動軸Ｏ７、Ｏ８について、「直交」とは、２つの軸のなす角度が９０°から±５°の範囲内でずれている場合も含み、また、「平行」とは、２つの軸の一方が他方に対して±５°の範囲内で傾斜している場合も含む。

また、ロボット１は、基台２と第１アーム３１との連結部に設けられ、基台２に対して第１アーム３１を回動させる第１アーム駆動部５１と、第１アーム３１と第２アーム３２との連結部に設けられ、第１アーム３１に対して第２アーム３２を回動させる第２アーム駆動部５２と、第２アーム３２と第３アーム３３との連結部に設けられ、第２アーム３２に対して第３アーム３３を回動させる第３アーム駆動部５３と、第３アーム３３と第４アーム３４との連結部に設けられ、第３アーム３３に対して第４アーム３４を回動させる第４アーム駆動部５４と、第４アーム３４と第５アーム３５との連結部に設けられ、第４アーム３４に対して第５アーム３５を回動させる第５アーム駆動部５５と、第５アーム３５と第６アーム３６との連結部に設けられ、第５アーム３５に対して第６アーム３６を回動させる第６アーム駆動部５６と、を有する。なお、本実施形態では、上述した第６アーム駆動部５６が本発明の第３駆動部を構成している。

第１アーム駆動部５１〜第６アーム駆動部５６は、それぞれ、例えば、アームの駆動源となるモーターＭ、モーターＭの駆動を制御するコントローラー、減速機、エンコーダー等を備えている。なお、モーターＭとしては、特に限定されないが、通電による圧電素子の伸縮を利用した圧電モーターを用いることが好ましい。これにより、例えば、モーターＭとして電磁モーター等を用いた場合と比べて、モーターＭの小型化を図ることができる。また、圧電モーターは、例えば、電磁モーターと比べて低速・高トルクでの駆動が得意であり、このような特性上、ロボット１の駆動に適している。なお、圧電モーターの構成としては、特に限定されないが、例えば、後述する圧電モーター７０、８０と同様の構成とすることができる。

図２に示すように、エンドエフェクター４は、ワークを把持する把持部６１および把持部６１を支持する第１支持部６２を備える先端部６と、第１支持部６２に対して把持部６１を第１回動軸Ｏ７まわりに回動させる第１駆動部７と、第１支持部６２を支持する第２支持部６３と、先端部６と第２支持部６３とを連結する連結部６４と、第２支持部６３に対して先端部６を第１回動軸Ｏ７に直交する第２回動軸Ｏ８まわりに回動させる第２駆動部８と、を有している。

把持部６１と第１支持部６２とは、第１軸Ｏ７’に沿って配置されており、第１支持部６２が把持部６１の基端側（連結部６４と接続している側）に位置している。また、把持部６１は、第１支持部６２に対して第１軸Ｏ７’に沿う軸すなわち第１軸Ｏ７’と一致するかまたは平行な軸である第１回動軸Ｏ７まわりに回動可能に連結されている。また、第１支持部６２は、その先端部に把持部６１を着脱自在に装着可能な装着部６２１を有している。このように、第１支持部６２に対して把持部６１を着脱自在とすることにより、作業内容に合わせて把持部６１を容易に交換することができる。また、把持部６１のメンテナンスも容易となる。なお、装着部６２１への把持部６１の装着方法としては、特に限定されず、例えば、凹凸嵌合、螺合、ねじ止め、磁気的な吸着等いかなる方法であってもよい。

図３に示すように、第１駆動部７は、圧電モーター７０を備えている。圧電モーター７０は、筐体７２と、筐体７２に対して回転可能なローター７３と、ローター７３の主面７３１に当接する凸部７４４を備える圧電アクチュエーター７４と、を有している。また、筐体７２は、第１支持部６２に固定されている。また、ローター７３は、ベアリング７６を介して筐体７２に支持され、筐体７２に対して第１回動軸Ｏ７まわりに回転可能となっている。そして、このローター７３に、装着部６２１が設けられている。また、圧電アクチュエーター７４は、図示しない付勢部材によって凸部７４４がローター７３の主面７３１に押し付けられた状態で筐体７２に固定されている。

また、図４に示すように、圧電アクチュエーター７４は、振動体７４１と、振動体７４１を支持する支持部７４２と、振動体７４１と支持部７４２とを接続する接続部７４３と、振動体７４１に設けられ、振動体７４１の振動をローター７３に伝達する凸部７４４と、を有している。このような圧電アクチュエーター７４は、第１回動軸Ｏ７から偏心した位置すなわち第１回動軸Ｏ７からずれた位置に配置されており、図示の構成では、第１回動軸Ｏ７に対して紙面奥側にずれて配置されている。また、振動体７４１には、５つの圧電素子７４５Ａ〜７４５Ｅが配置されている。これら５つの圧電素子７４５Ａ〜７４５Ｅは、それぞれ、振動体７４１の長手方向に伸縮するようになっており、圧電素子７４５Ａ〜７４５Ｅを所定のタイミングで伸縮させることにより、圧電アクチュエーター７４がＳ字状に屈曲振動し、この屈曲振動がローター７３に伝達されることにより、ローター７３が筐体７２に対して第１回動軸Ｏ７まわりに回転する。

以上のような圧電モーター７０は、例えば、電磁モーター等の他のモーターと比べて小型化が可能である。そのため、エンドエフェクター４の小型化を図ることができる。また、圧電モーター７０は、電磁モーターと比べて、低速・高トルクの特性を有し、このような特性は、エンドエフェクター４の駆動に適している。そのため、より安定した駆動が可能なエンドエフェクター４となる。

図５に示すように、把持部６１は、第１支持部６２の装着部６２１に着脱自在に装着された基部６１１と、基部６１１に対してスライド可能に支持された一対のラックギア６１２、６１３と、ラックギア６１２、６１３の間に位置し、これらに噛合するピニオンギア６１４と、ピニオンギア６１４をその中心軸まわりに回転させるピニオンギア駆動部６１５と、ラックギア６１２、６１３に固定されている一対の指部６１６、６１７と、を有している。なお、本実施形態では、ピニオンギア６１４の中心軸は、第１回動軸Ｏ７と一致している。

ピニオンギア駆動部６１５によってピニオンギア６１４を回転させると、基部６１１に対してラックギア６１２、６１３が相反方向にスライドし、これにより、一対の指部６１６、６１７が開閉し、対象物を把持、リリースすることができる。ピニオンギア駆動部６１５としては、特に限定されず、例えば、圧電モーター、電磁モーター等を用いることができる。圧電モーターを用いる場合は、前述した圧電モーター７０と同様の構成とすることができる。本実施形態では、ピニオンギア駆動部６１５は、基部６１１に対しベアリング６１８を介して回転可能に支持されたローター６１５１と、ローター６１５１を回転させる圧電アクチュエーター６１５２と、を有している。なお、圧電アクチュエーター６１５２は、前述した圧電アクチュエーター７４と同様の構成であり、圧電アクチュエーター６１５２が有する凸部６１５３は、ローター６１５１の主面６１５４の回動軸から偏心した位置に当接している。

以上、把持部６１について説明したが、把持部６１の構成としては、図示のものに限定されない。例えば、指部の数は、特に限定されず、例えば、３本以上であってもよい。また、指部６１６、６１７を開閉する機構についても、特に限定されず、例えば、指部６１６をスライドさせる駆動部と、指部６１７をスライドさせる駆動部と、を別々に設けてもよい。また、本実施形態の把持部６１は、一対の指部６１６、６１７で対象物を把持する構成となっているが、これに限定されず、例えば、対象物を負圧によって吸着する吸着部を有する構成となっていてもよい。

また、第２支持部６３は、第６アーム３６に支持されている基部６３１と、基部６３１から延出し、先端部６を支持する先端部支持部６３２と、を有している。また、先端部支持部６３２と先端部６とは、第１軸Ｏ７’と直交する第２軸Ｏ８’に沿う軸すなわち第２軸Ｏ８’と一致するかまたは平行な軸である第２回動軸Ｏ８に沿って配置されている。言い換えると、図６に示すように、第２回動軸Ｏ８に沿う方向からの平面視で、先端部支持部６３２と先端部６とが重なっている。

図７に示すように、第２駆動部８は、先端部支持部６３２に配置されている。また、第２駆動部８は、圧電モーター８０を備えている。また、圧電モーター８０は、圧電アクチュエーター８４を有し、この圧電アクチュエーター８４は、前述した圧電モーター７０の圧電アクチュエーター７４と同様の構成である。

すなわち、圧電モーター８０は、筐体８２と、筐体８２に対して回転可能なローター８３と、ローター８３の主面８３１に当接する凸部８４４を備える圧電アクチュエーター８４と、を有している。また、筐体８２は、先端部支持部６３２の先端部に固定されている。また、ローター８３は、ベアリング８５を介して筐体８２に支持され、筐体８２に対して第２回動軸Ｏ８まわりに回転可能となっている。また、圧電アクチュエーター８４は、図示しない付勢部材によって凸部８４４がローター８３の主面８３１に押し付けられた状態で筐体８２に固定されている。このような圧電アクチュエーター８４は、第２回動軸Ｏ８から偏心した位置すなわち第２回動軸Ｏ８からずれた位置に配置されており、図示の構成では、第２回動軸Ｏ８に対して紙面奥側にずれて配置されている。そして、圧電アクチュエーター８４をＳ字状に屈曲振動させると、その振動がローター８３に伝達され、ローター８３が第２回動軸Ｏ８まわりに回転する。

連結部６４は、途中で直角に屈曲したＬ字状をなしている。具体的には、連結部６４は、第１回動軸Ｏ７に沿う方向に延在する第１部分６４１と、第１部分６４１の一端部に接続され、第２回動軸Ｏ８に沿う方向に延在する第２部分６４２と、を有する。そして、第１部分６４１にローター８３が固定されており、第２部分６４２に第１支持部６２が固定されている。そのため、圧電アクチュエーター８４の作動によりローター８３が回転すると、連結部６４および先端部６が第２回動軸Ｏ８まわりに回動する。なお、第２部分６４２と基部６３１との間には、連結部６４および先端部６が第２回動軸Ｏ８まわりに回動したときにこれらが接触しない程度の隙間６６が形成されている。

図２および図６に示すように、第２回動軸Ｏ８は、先端部６と交差している。言い換えると、第２回動軸Ｏ８に沿う方向からの平面視で、第２回動軸Ｏ８と先端部６とが重なっている。このように、第２回動軸Ｏ８と先端部６とが交差することにより、第２回動軸Ｏ８から把持部６１の先端までの距離Ｄが短くなり、より小さい領域内で先端部６を第２回動軸Ｏ８まわりに回動させることができる。そのため、狭小エリアにおける作業が行い易くなる。特に、本実施形態では、第２回動軸Ｏ８と第１回動軸Ｏ７とが交差している。これにより、上述した効果をより顕著に発揮することができる。ただし、これに限定されず、第２回動軸Ｏ８と第１回動軸Ｏ７とが交差しておらずねじれの関係にあってもよい。

また、第２回動軸Ｏ８（第２軸Ｏ８’）に沿った方向からの平面視で、第２駆動部８と先端部６とが重なっている。言い換えると、第２駆動部８と先端部６とが第２回動軸Ｏ８に沿って配置されている。これにより、エンドエフェクター４の全長を短くすることができ、ロボットアーム３の小型化を図ることができる。特に、本実施形態では、第２回動軸Ｏ８に沿った方向からの平面視で、第２駆動部８と把持部６１とが重なっている。これにより、エンドエフェクター４の全長をさらに短くすることができ、ロボットアーム３のさらなる小型化を図ることができる。なお、第２駆動部８と先端部６とが重なるとは、例えば、第２回動軸Ｏ８に沿った方向からの平面視で、先端部６の少なくとも一部が第２駆動部８の筐体８２およびローター８３の少なくとも一方と重なっていることを意味する。また、第２駆動部８と把持部６１とが重なるとは、例えば、第２回動軸Ｏ８に沿った方向からの平面視で、把持部６１を第１回動軸Ｏ７まわりに回転させた回転面の少なくとも一部が、第２駆動部８の筐体８２およびローター８３の少なくとも一方と重なっていることを意味する。

また、第２回動軸Ｏ８（第２軸Ｏ８’）に沿った方向からの平面視で、第２駆動部８と装着部６２１とが重なっている。これにより、先端部６の全長方向のほぼ中央部において、第２回動軸Ｏ８と先端部６とを交差させることができ、より小さい領域内で先端部６を第２回動軸Ｏ８まわりに回動させることができる。なお、第２駆動部８と装着部６２１とが重なるとは、例えば、第２回動軸Ｏ８に沿った方向からの平面視で、装着部６２１の少なくとも一部が第２駆動部８の筐体８２およびローター８３の少なくとも一方と重なっていることを意味する。

以上、ロボット１について説明した。このようなロボット１が有するロボットアーム３は、前述したように、把持部６１と、把持部６１を支持する第１支持部６２と、を有する先端部６と、把持部６１と第１支持部６２とが並ぶ方向に沿う軸を第１軸Ｏ７’としたとき、第１支持部６２に対して把持部６１を第１軸Ｏ７’に沿う第１回動軸Ｏ７まわりに回動させる第１駆動部７と、第１支持部６２を支持する第２支持部６３と、第１回動軸Ｏ７に直交する軸を第２軸Ｏ８’としたとき、第２支持部６３に対して先端部６を第２軸Ｏ８’に沿う第２回動軸Ｏ８まわりに回動させる第２駆動部８と、を有している。また、第１駆動部７は、圧電モーター７０を備えている。また、第２回動軸Ｏ８は、先端部６と交差している。このように、第２回動軸Ｏ８と先端部６とが交差することにより、第２回動軸Ｏ８から把持部６１の先端までの距離Ｄが短くなり、より小さい領域内で先端部６を第２回動軸Ｏ８まわりに回動させることができる。また、第１駆動部７が圧電モーター７０を備えることにより、例えば、第１駆動部７が電磁モーターを備える場合と比べて、ロボットアーム３の小型化を図ることができる。そのため、狭小エリアにおける作業が行い易いロボットアーム３となる。

また、前述したように、第２回動軸Ｏ８は、第１回動軸Ｏ７と交差している。これにより、さらに小さい領域内で先端部６を第２回動軸Ｏ８まわりに回動させることができる。そのため、狭小エリアにおける作業が行い易いロボットアーム３となる。

また、前述したように、第２駆動部８は、圧電モーター８０を備えている。これにより、例えば、第２駆動部８を電磁モーターとした場合と比べて、ロボットアーム３の小型化を図ることができる。

また、前述したように、ロボットアーム３は、第２支持部６３を支持する第３支持部としての第６アーム３６と、第２回動軸Ｏ８に直交する軸を第３軸Ｏ６’としたとき、第２支持部６３を第６アーム３６に対して第３軸Ｏ６’に沿う第３回動軸としての第６アーム回動軸Ｏ６まわりに回動させる第３駆動部としての第６アーム駆動部５６と、を有する。これにより、把持部６１の姿勢をより自由に変化させることができ、利便性の高いロボットアーム３となる。

＜第２実施形態＞
図８は、本発明の第２実施形態に係るロボットが備えるエンドエフェクターを示す断面図である。

本実施形態に係るロボット１は、エンドエフェクター４が備える第１駆動部７の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。以下の説明では、第２実施形態のロボット１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８では、前述した第１実施形態と同様の構成について同一符号を付している。

図８に示すように、本実施形態の第１駆動部７が有する圧電モーター７０では、圧電アクチュエーター７４が、ローター７３の外周面である側面７３２に当接している。圧電アクチュエーター７４は、振動を伝達する凸部７４４を有し、この凸部７４４が側面７３２に押し付けられるようにして付勢部材を介して筐体７２に固定されている。このような構成によれば、例えば、前述した第１実施形態のように、圧電アクチュエーター７４がローター７３の主面７３１に当接している場合と比べて、圧電モーター７０の薄型化を図ることができる。そのため、先端部６の全長（第１回動軸Ｏ７に沿う長さ）をより短くでき、より小さい領域内で先端部６を第２回動軸Ｏ８まわりに回動させることができる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上、本発明のロボットアームを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。

また、前述した実施形態では、ロボット１が６軸ロボットである構成について説明したが、ロボット１としては、特に限定されず、例えば、双腕ロボット、スカラロボット等であってもよい。

１…ロボット、２…基台、３…ロボットアーム、３１…第１アーム、３２…第２アーム、３３…第３アーム、３４…第４アーム、３５…第５アーム、３６…第６アーム、４…エンドエフェクター、５１…第１アーム駆動部、５２…第２アーム駆動部、５３…第３アーム駆動部、５４…第４アーム駆動部、５５…第５アーム駆動部、５６…第６アーム駆動部、６…先端部、６１…把持部、６１１…基部、６１２、６１３…ラックギア、６１４…ピニオンギア、６１５…ピニオンギア駆動部、６１５１…ローター、６１５２…圧電アクチュエーター、６１５３…凸部、６１５４…主面、６１６、６１７…指部、６１８…ベアリング、６２…第１支持部、６２１…装着部、６３…第２支持部、６３１…基部、６３２…先端部支持部、６４…連結部、６４１…第１部分、６４２…第２部分、６６…隙間、７…第１駆動部、７０…圧電モーター、７２…筐体、７３…ローター、７３１…主面、７３２…側面、７４…圧電アクチュエーター、７４１…振動体、７４２…支持部、７４３…接続部、７４４…凸部、７４５Ａ〜７４５Ｅ…圧電素子、７６…ベアリング、８…第２駆動部、８０…圧電モーター、８２…筐体、８３…ローター、８３１…主面、８４…圧電アクチュエーター、８４４…凸部、８５…ベアリング、Ｄ…距離、Ｍ…モーター、Ｏ１…第１アーム回動軸、Ｏ２…第２アーム回動軸、Ｏ３…第３アーム回動軸、Ｏ４…第４アーム回動軸、Ｏ５…第５アーム回動軸、Ｏ６…第６アーム回動軸、Ｏ６’…第３軸、Ｏ７…第１回動軸、Ｏ７’…第１軸、Ｏ８…第２回動軸、Ｏ８’…第２軸

Claims

把持部と、前記把持部を支持する第１支持部と、を有する先端部と、
前記把持部と前記第１支持部とが並ぶ方向に沿う軸を第１軸としたとき、前記第１支持部に対して前記把持部を前記第１軸に沿う第１回動軸まわりに回動させる第１駆動部と、
前記第１支持部を支持する第２支持部と、
前記第１軸に直交する軸を第２軸としたとき、前記第２支持部に対して前記先端部を前記第２軸に沿う第２回動軸まわりに回動させる第２駆動部と、を有し、
前記第１駆動部は、圧電モーターを備え、
前記第２回動軸は、前記先端部と交差していることを特徴とするロボットアーム。
前記第２回動軸は、前記第１回動軸と交差している請求項１に記載のロボットアーム。
前記第２駆動部は、圧電モーターを備えている請求項１または２に記載のロボットアーム。
前記第２軸に沿った方向からの平面視で、前記第２駆動部と前記先端部とが重なっている請求項１ないし３のいずれか１項に記載のロボットアーム。
前記第２軸に沿った方向からの平面視で、前記第２駆動部と前記把持部とが重なっている請求項４に記載のロボットアーム。
前記第２支持部を支持する第３支持部と、
前記第２軸に直交する軸を第３軸としたとき、前記第２支持部を前記第３支持部に対して前記第３軸に沿う第３回動軸まわりに回動させる第３駆動部と、を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のロボットアーム。
前記第１支持部は、前記把持部を装着する装着部を有し、
前記第２軸に沿った方向からの平面視で、前記第２駆動部と前記装着部とが重なっている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のロボットアーム。