JP2019204728A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
Description
このエキシマランプにおいては、一対の電極が例えばスクリーン印刷によって形成されることが記載されており、また、電極構成用材料として、例えば金、銀、銅、ニッケル、クロムなどの金属材料が用いられることが記載されている。
また、上記のような、いわゆる外部電極型のエキシマランプにおいては、電極は、真空紫外光や、当該真空紫外光の照射により生成されるオゾンに晒されることとなる。このため、実際上は、電極構成材料としては、酸化に強く、紫外線に対する耐性も高く、また電気抵抗も低いという特性を有する金を用いざるを得ないのが実情であり、所期のエキシマランプをコスト的に有利に製造することができないという問題があった。
前記外部電極は、当該外部電極の単位体積当たりの入力が所定の範囲内の大きさとなるようパターン形成された複数本の導電ラインにより構成されており、アルミニウムを主成分とする材料よりなることを特徴とする。
このエキシマランプ10は、例えば波長200nm以下の紫外線(真空紫外線)を透過する材料により構成された放電容器11を備えている。この例の放電容器11は、全体が扁平な直方体形状に構成されており、内部に放電空間Vが形成されている。
放電容器11を構成する材料としては、例えば、合成石英ガラスなどのシリカガラス、サファイアガラスなどを用いることができる。
発光ガスとしては、例えば、具体的には、キセノンガス、アルゴンガス、クリプトンガスなどの希ガス、または、希ガスと、臭素、塩素、ヨウ素、フッ素などのハロゲンガスとを混合した混合ガスなどを用いることができる。例えば、発光ガスとしてキセノンガスを用いた場合には、中心波長が172nmである真空紫外線が得られる。また、クリプトンと塩素との混合ガスを用いた場合には、中心波長が222nmである真空紫外線が得られる。さらにまた、アルゴンとフッ素との混合ガスを用いた場合には、中心波長が193nmである真空紫外線が得られる。
発光ガスの封入圧は、例えば1〜100kPaである。
この例における外部電極20は、図2(a)に示すように、例えば格子状の電極パターンをなすように同一平面上において互いに交差する複数本の導電ライン21により構成されたメッシュ状のものであって、導電ライン21が形成されていない開口22によって透光部が形成されている。この例においては、互いに交差する導電ライン21は直交した状態(開口22の形状が例えば正方形状)とされているが、導電ライン21の交差角度は特に限定されるものではない。
また、外部電極20は、図2(b)に示すように、ライン状の電極パターンをなすように互いに平行に延びる複数本の導電ライン21により構成されていてもよい。
具体的には例えば、外部電極20の厚さが0.08mm以下の範囲内で、単位体積当たりの入力が22W/mm3 以下の大きさとなるように、外部電極20の開口率Rの大きさおよび電極面積Sの大きさが設定されている。
また、外部電極20の単位体積当たりの入力PE は、0〜22W/mm3 とされることが好ましく、より好ましくは0.1〜10W/mm3 とされる。
外部電極20がこのような条件でパターン形成されることにより、後述する実験例の結果に示されるように、外部電極20がアルミニウムを主成分とする材料を用いて印刷形成されたものであっても、ランプ点灯時における外部電極20の電気抵抗が経時的に急激に増大することがなく、外部電極20が破損することを確実に回避することができる。
数式(1) R=〔a/(a+b)〕2 ×100
また、外部電極の電極パターンが、図2(b)に示すようなライン状である場合には、外部電極の開口率R〔%〕は、下記数式(2)で示される。下記数式(2)において、aは開口幅、bは導電ライン21の線幅である。
数式(2) R=〔a/(a+b)〕×100
開口幅aの大きさおよび導電ライン21の線幅bの大きさは、開口率Rが上記数値範囲内となるように適宜設定することができるが、均一な電極パターンを形成して安定した放電を得るために、開口幅aは、例えば1〜4mmの範囲内の大きさとされ、導電ライン21の線幅bは、例えば0.4mm以下、好ましくは、0.1〜0.3mmの範囲内の大きさとされることが好ましい。
数式(2) S=WE ×LE ×(100−R)/100
例えば、外部電極を印刷形成する方法としては、スクリーン印刷法に限定されるものではない。また、外部電極は、電極構成材料を描画塗布して形成されたものであってもよい。
また、本発明のエキシマランプは、上記のような扁平な放電容器の外面に一対の外部電極が設けられた構成のものに限定されるものではない。
図1に示す構成を参照して、下記表1に示す電極パターンを有する外部電極(20)を備えた15種類のエキシマランプを作製した(以下、「ランプ1」〜「ランプ15」とする。)。放電容器(11)は、材質を石英ガラスとし、幅方向寸法を36mm、管軸方向寸法(全長)を350mm、肉厚を1.6mm、放電ギャップ(G)を11mmとした。また、発光ガスとしては、クリプトンガス(封入圧10kPa)と塩素ガス(封入圧0.6kPa)との混合ガスを用いた。
外部電極(20)は、アルミニウムを主成分とし、銀、シリカ、酸化亜鉛、ホウ砂を主成分とする低融点ガラスを含むアルミニウムペーストを用いて、スクリーン印刷法によって形成した。
外部電極(20)の厚みは、レーザー顕微鏡(キーエンス社製:VK−X150)を用いて測定した。
外部電極(20)の電気抵抗は、デジタルマルチメーター(横河電機社製「デジタルマルチメーター7562」)、プローブ(日置電機製「ピン形リード9770」)を用い、4端子法にて測定した。
100時間経過時点での電気抵抗値(r1)をランプ点灯初期時の電気抵抗値(r0)で除算した値を百分率で表した電気抵抗値上昇率[(r1/r0)×100]が、300%未満である場合を「○」、300%以上である場合を「×」として評価を行った。結果を下記表2に示す。
一方、電極入力PE が22W/mm3 よりも大きくなるように、パターン形成された外部電極(20)を備えたランプ1〜ランプ2およびランプ10並びにランプ15においては、いずれも、電気抵抗値が急上昇することによって外部電極(20)を構成する導電ラインが断線し、ランプが不点灯となることが確認された。この原因は、以下のように考えられる。
11 放電容器
12 周壁部
20 外部電極
21 導電ライン
22 開口
30 オシロスコープ
31 電圧プローブ
32 電流プローブ
33 点灯電源
G 放電ギャップ
V 放電空間
Claims (3)
- 紫外線を透過する材料より構成された放電容器を備えており、当該放電容器の外面に外部電極が設けられたエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、当該外部電極の単位体積当たりの入力が所定の範囲内の大きさとなるようパターン形成された複数本の導電ラインにより構成されており、アルミニウムを主成分とする材料よりなることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記外部電極の厚さが0.08mm以下であって、かつ、前記外部電極の単位体積あたりの入力の大きさが22W/mm3 以下となるように、前記外部電極の開口率の大きさおよび前記外部電極の電極面積が設定されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記外部電極の開口率が40%以上であることを特徴とする請求項2に記載のエキシマランプ。
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