JP2019145683A - 電子回路基板、加速度センサー、傾斜計、慣性航法装置、構造物監視装置及び移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子回路基板に発振周波数が同じ又は近い複数の発振子を物理的に近い位置に搭載する場合であってもノイズ対策として有効な技術を提供すること。【解決手段】発振子20の信号端子21a,21bに最も近いグランド層は、平面視において信号端子21a,21bに重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第1のグランド電極構成であること。発振子20の信号端子21a,21bと増幅器30の入力部31とを接続する第1の配線に最も近いグランド層は、平面視において第1の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第2のグランド電極構成であること。発振子20の信号端子21a,21bと増幅器30の出力部32とを接続する第2の配線に最も近いグランド層は、平面視において第2の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第3のグランド電極構成であること。【選択図】図6
Description
本発明は、電子回路基板等に関する。
多層化した電子回路基板においては回路が相互に近接するためにノイズ対策が重要となる。例えば、特許文献1に記載されているように、発振子を搭載した電子回路基板において、「グランドベタ」或いは「ベタグランド」(以降、「グランドベタ」と称す)と呼ばれる広域を1つに塗りつぶしたような面状のグランド電極を用いることで、高周波ノイズの発生を低減させる技術が知られている。発振子とは、電圧を印加することで所定周波数の発振を出力する素子又は回路のことである。
しかしながら、特許文献1のノイズ対策技術が必ずしも有効とは限らない場合がある。例えば、1つの電子回路基板に複数の発振子を搭載する場合には、十分な効果が得られない場合がある。発振周波数が同じ又は近い複数の発振子を物理的に近い位置に搭載する場合には、グランドベタの面積を広くする等の対策は却って干渉ノイズが発生する等としてノイズの悪化につながり得る。
本発明は、こうした背景を元に考案されたものであって、その目的とするところは、電子回路基板に発振周波数が同じ又は近い複数の発振子を物理的に近い位置に搭載する場合であってもノイズ対策として有効な技術を提供することである。
以上の課題を解決するための第1の発明は、少なくとも1層のグランド層を含む多層構造の基板と、前記基板に設けられている発振回路とを備え、前記発振回路は、発振子と、前記発振子の信号端子に接続されている増幅器を含む回路と、を有し、前記多層構造のうち、前記信号端子に最も近い前記グランド層は、基板面に垂直な方向から見た平面視において前記信号端子に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第1のグランド電極構成であること、前記多層構造のうち、前記信号端子と前記増幅器の入力部とを接続する第1の配線に最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記第1の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第2のグランド電極構成であること、及び、前記多層構造のうち、前記信号端子と前記増幅器の出力部とを接続する第2の配線に最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記第2の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第3のグランド電極構成であること、のうちの少なくとも1つのグランド電極構成を備えている、電子回路基板である。
第1の発明によれば、発振子に物理的に近い位置にグランド電極を形成しないことで、当該発振子からの出力信号がグランド電極を介して他に及ぼす干渉ノイズを低減できる。よって、発振周波数が同じ又は近い複数の発振子を物理的に近い位置に搭載する場合であってもノイズ対策として有効な技術を提供することができる。
第2の発明は、第1の発明において、前記第1のグランド電極構成と、前記第2のグランド電極構成と、前記第3のグランド電極構成と、を備えている、電子回路基板である。
第2の発明によれば、第1のグランド電極構成と、第2のグランド電極構成と、第3のグランド電極構成とを備えているため、第1の発明よりも更に効果的にノイズを低減できる。
第3の発明は、第1又は第2の発明において、前記多層構造のうち、前記回路を構成する電子部品のパッドに最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記パッドに重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている、電子回路基板である。
「パッド」とは、基板上で電子部品間を繋ぐ薄膜状の配線において、電子部品を基板に半田付けするための部位である。「ランド」と同義である。第3の発明によれば、グランド電極の非形成領域をパッドに重畳する領域まで含めることで第1又は第2の発明よりも更にノイズを低減できる。
第4の発明は、第1乃至第3の発明の何れかにおいて、前記発振回路を複数備え、各前記発振子のグランド配線は、それぞれ独立して共通グランド部に接続されている、電子回路基板である。
第4の発明によれば、第1乃至第3の発明の何れかよりも、更に効果的にノイズを低減できる。
第5の発明は、第4の発明において、前記発振回路に電源を供給するレギュレーターを記発振回路別に備えている、電子回路基板である。
第5の発明によれば、第4の発明に比べてレギュレーターからの影響も低減することができる。
第6の発明は、第1乃至第5の発明の何れかにおいて、前記発振子は、所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサー素子である、電子回路基板である。
第6の発明によれば、第1乃至第5の発明の何れかと同様の効果が得られる、物理量センサーを搭載した電子回路基板を実現できる。
第7の発明は、第6の発明において、前記物理量は加速度である、電子回路基板である。
第7の発明によれば、第1乃至第5の発明の何れかと同様の効果が得られる、加速度を検出するセンサーを搭載した電子回路基板を実現できる。
第8の発明は、第7の発明の電子回路基板と、前記電子回路基板を収容している収容部と、を含む加速度センサーである。
第8の発明によれば、第7の発明と同様の効果が得られるパッケージ化された加速度センサーを実現して、従来よりも加速度の検出精度を高められる。
第9の発明は、第8の発明の加速度センサーと、前記加速度センサーの出力信号に基づいて傾斜角度を算出する算出部と、を含む傾斜計である。
第9の発明によれば、第8の発明の加速度センサーを用いた傾斜計を実現して、従来よりも傾斜角度の検出精度を高められる。
第10の発明は、移動体に取り付けられる慣性航法装置であって、第8の発明の加速度センサーと、角速度センサーと、前記加速度センサーの出力信号と前記角速度センサーの出力信号とに基づいて前記移動体の姿勢を算出する回路部と、を含む慣性航法装置である。
第10の発明によれば、第8の発明の加速度センサーを用いた慣性航法装置を実現し、従来よりも慣性航法の精度を高められる。
第11の発明は、構造物に取り付けられる第8の発明の加速度センサーと、前記構造物に取り付けられ、前記加速度センサーの検出信号を送信する送信部と、前記送信部からの送信信号を受信する受信部と、前記受信部の受信信号に基づいて前記構造物の傾斜角度を算出する算出部と、を含む構造物監視装置である。
第11の発明によれば、第8の発明の加速度センサーを用いた構造物監視装置を実現し、従来よりも精度良く構造物の傾斜角度を検出できる。
第12の発明は、第8の発明の加速度センサーと、前記加速度センサーの検出信号に基づいて、加速、制動及び操舵のうちの少なくとも1つを制御する制御部と、を含み、自動運転の実施或いは不実施を、前記加速度センサーの検出信号に基づいて切り替える、移動体である。
第12の発明によれば、自動運転の制御に第8の発明の加速度センサーを用いて、自動運転の品質を従来よりも高めることができる。
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施形態によって本発明が限定されるものではなく、本発明を適用可能な形態が以下の実施形態に限定されるものでもない。また、図面の記載において、同一要素には同一符号を付す。
〔原理の説明〕
先ず、本実施形態におけるノイズの低減を実現するための原理について説明する。
図1は、ノイズを低減するための要素である第1グランド電極構成について説明するための模式図である。分かり易くするために、絶縁層の厚さを大きく図示している。電子回路基板10Aは、第1層L1から第n層Ln(nは2以上の整数)を有する多層構造の電子回路基板である。
先ず、本実施形態におけるノイズの低減を実現するための原理について説明する。
図1は、ノイズを低減するための要素である第1グランド電極構成について説明するための模式図である。分かり易くするために、絶縁層の厚さを大きく図示している。電子回路基板10Aは、第1層L1から第n層Ln(nは2以上の整数)を有する多層構造の電子回路基板である。
電子回路基板10Aは、第n層Lnの基板面11すなわち当該電子回路基板の上面に発振回路12を実装し、第n−1層Ln−1に上部グランド層7を有する。
発振回路12は、発振子20と、増幅器30を有する回路13とを有する。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面11に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面11に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
そして、電子回路基板10Aでは、多層構造のうち、発振子20の信号端子21に最も近い上部グランド層7が、基板面11に垂直な方向から見た平面視において信号端子21に重畳する信号端子重畳領域Atが、グランド電極の非形成領域とされている。これを「第1グランド電極構成」と言う。
また、電子回路基板10Aでは、多層構造のうち、信号端子21のパッド42及び増幅器30を有する回路13を構成する電子部品のパッド43に最も近い上部グランド層7が、同平面視においてこれらと重畳するパッド重畳領域Apが、グランド電極の非形成領域とされている。
発振子20に最寄りとなる上部グランド層7に、いわば電極の「抜き領域」である非形成領域を作ることで、発振子20の動作によって生じる高周波が当該グランド電極を介して他の電子部品に及ぼす電磁的影響を低減することができる。よって、電子回路基板10Aは、グランド電極に非形成領域を設けない構成よりもノイズを低減できる。そして、本実施形態では、増幅器30を有する回路13を構成する電子部品のパッド43についても、最寄りとなる上部グランド層7に非形成領域を作っており、パッド42とパッド43の何れか一方についてのみ上部グランド層7に非形成領域を設けるよりも、よりノイズを低減できる。
なお、ノイズが小さいために問題にならないのであれば、パッド42とパッド43とのうちの何れか一方についてのみ上部グランド層7に非形成領域を設ける構成としてもよい。
図2は、ノイズを低減するための要素である第2グランド電極構成について説明するための模式図である。電子回路基板10Bは、電子回路基板10Aと同様の多層構造を有し、第n層Lnの基板面11すなわち当該電子回路基板の上面に発振回路12を実装し、第n−1層Ln−1に上部グランド層7を有する。
発振回路12は、発振子20と、増幅器30を有する回路13とを有する。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面11に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面11に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
そして、電子回路基板10Bでは、多層構造のうち、信号端子21と増幅器30の入力部31とを接続する第1配線51に最も近い上部グランド層7は、平面視において第1配線51に重畳する第1配線重畳領域AL1が、上部グランド層7の非形成領域とされている。
また、電子回路基板10Aと同様に、多層構造のうち、信号端子21のパッド42及び増幅器30を有する回路13を構成する電子部品のパッド43に最も近い上部グランド層7が、同平面視においてこれらと重畳するパッド重畳領域Apが、グランド電極の非形成領域とされている。なお、ノイズが小さいために問題にならないのであれば、パッド42とパッド43とのうちの何れか一方についてのみ上部グランド層7に非形成領域を設ける構成としてもよい。
従って、電子回路基板10Bにおいても、電子回路基板10Aと同様のノイズ低減効果が得られる。更には、第1配線重畳領域AL1をグランド電極の非形成領域に含めている分、電子回路基板10Aよりもノイズ低減効果が大きくなる。
図3は、ノイズを低減するための要素である第3グランド電極構成について説明するための模式図である。電子回路基板10Cは、電子回路基板10Aと同様の多層構造を有し、第n層Lnの基板面11すなわち当該電子回路基板の上面に発振回路12を実装し、第n−1層Ln−1に上部グランド層7を有する。
発振回路12は、発振子20と、増幅器30を有する回路13とを有する。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
発振子20は、信号端子21で基板面11に設けられたパッド42にハンダ付けされている。また増幅器30も、入力部31と出力部32で基板面に設けられたパッド43に半田付けされている。勿論、発振回路12には、これら以外の電子部品を含むように構成してもよい。
そして、電子回路基板10Cでは、記多層構造のうち、信号端子21と増幅器30の出力部32とを接続する第2配線52に最も近い上部グランド層7は、平面視において第2配線52に重畳する第2配線重畳領域AL2が、上部グランド層7の非形成領域とされている。
また、電子回路基板10Aと同様に、多層構造のうち、信号端子21のパッド42及び増幅器30を有する回路13を構成する電子部品のパッド43に最も近い上部グランド層7が、同平面視においてこれらと重畳するパッド重畳領域Apが、グランド電極の非形成領域とされている。なお、ノイズが小さいために問題にならないのであれば、パッド42とパッド43とのうちの何れか一方についてのみ上部グランド層7に非形成領域を設ける構成としてもよい。
従って、電子回路基板10Cにおいても、電子回路基板10Aと同様のノイズ低減効果が得られる。更には、第2配線重畳領域AL2をグランド電極の非形成領域に含めている分、電子回路基板10Aよりもノイズ低減効果が大きくなる。
図4と図5は、第1グランド電極構成と、第2グランド電極構成と、第3グランド電極構成との全てのグランド電極構成を適用した第1の例について説明するための模式図であって、図4が正面図、図5が正面向かって右から見た側面図である。
電子回路基板10Dは、第1グランド電極構成と、第2グランド電極構成と、第3グランド電極構成との全構成を有している。よって、電子回路基板10Dにおいては、少なくとも電子回路基板10Aと同様のノイズ低減効果が得られる。更には、第1配線重畳領域AL1及び第2配線重畳領域AL2もグランド電極の非形成領域としている分、電子回路基板10A、電子回路基板10B、電子回路基板10C、のどれよりもノイズ低減効果が大きくなる。
図6は、第1グランド電極構成と、第2グランド電極構成と、第3グランド電極構成との全てのグランド電極構成を適用した第2の例について説明するための模式図である。
電子回路基板10Eは、第1グランド電極構成と、第2グランド電極構成と、第3グランド電極構成との全てのグランド電極構成を有している。但し、発振回路12の発振子20は、電子回路基板10Eの上面すなわち第n層Lnの基板面11に実装され、増幅器30及びそれを含む回路13は、電子回路基板10Eの下面すなわち第1層L1の基板面に実装されている。増幅器30及びそれを含む回路13にとって最も近いグランド層は、第2層L2の下部グランド層8となる。そして、発振子20と増幅器30とを接続する第1配線51と第2配線52とは、第1層L1から第n層Lnの間の層を貫通するビアとして作成されている。
電子回路基板10Eにおいては、少なくとも電子回路基板10Aと同様のノイズ低減効果が得られる。更には、第1配線重畳領域AL1及び第2配線重畳領域AL2もグランド電極の非形成領域としている分、電子回路基板10A、電子回路基板10B、電子回路基板10C、のどれよりもノイズ低減効果が大きくなる。
なお、図1乃至図6においては、発振回路12を1つのみ図示しているが、複数の発振回路12を実装する構成も可能である。また、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成、第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成のうち、任意の2つのグランド電極構成を採用した電子回路基板を構成することとしてもよい。
〔第1実施形態〕
次に、第1実施形態として、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成および第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成全てを有する電子回路基板を、所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサー素子として用いた加速度センサー100を例示する。
次に、第1実施形態として、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成および第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成全てを有する電子回路基板を、所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサー素子として用いた加速度センサー100を例示する。
図7は、本実施形態における加速度センサー100の構成例を示す縦断面図である。但し、図面が煩雑となるため、電子回路基板10F等、一部の部材については断面の様子を省略して示している。
加速度センサー100は、所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサーであって、X軸・Y軸・Z軸からなる直交3軸方向の加速度を測定し、各軸方向の加速度測定値に応じた出力信号を外部出力することができる。
具体的には、加速度センサー100は、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成および第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成全てを有する電子回路基板10Fと、当該電子回路基板を収容する収容部110と、を有する。
収容部110は、下部アウターケース111の上方に、下方に開口する上部アウターケース112を被せて密封することで内部空間を画成している。そして、収容部110は、当該内部空間にて、インナケース113やパッキン115を介して電子回路基板10Fを支持・固定している。
電子回路基板10Fは、図8に示す同じ仕様の3つの発振回路12を実装する。
電子回路基板10Fは、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成、第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成全てを有し、図6に示した第2の例の構成を具備する。このため、各発振回路12に含まれる発振子20(20x,20y,20z)を第n層Lnに実装し、各発振回路12に含まれる増幅器30(30x,30y,30z)を含む回路13を第1層L1に実装して備えている(図6参照)。
電子回路基板10Fは、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成、第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成全てを有し、図6に示した第2の例の構成を具備する。このため、各発振回路12に含まれる発振子20(20x,20y,20z)を第n層Lnに実装し、各発振回路12に含まれる増幅器30(30x,30y,30z)を含む回路13を第1層L1に実装して備えている(図6参照)。
実装されている3つの発振子であるX軸用発振子20x、Y軸用発振子20y、Z軸用発振子20zは、それぞれが本実施形態における所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサー素子であり、該当する測定方向についての加速度に応じた信号を出力することができる。そして、X軸用発振子20xと、Y軸用発振子20yと、Z軸用発振子20zとは、互いの測定方向が直交し、3つで直交3軸の方向の加速度を計測できる姿勢で実装されている。
X軸用発振子20x、Y軸用発振子20yおよびZ軸用発振子20zは、圧電振動子タイプの物理量検出デバイス23を有して構成されている。
具体的には、物理量検出デバイス23は、四方を支持部231で支持された基部232と、基部232より延設された継手部233で連結され、検出方向の加速度によって「しなる」可動部234と、物理量検出素子235と、を有する。可動部234には、適宜、質量体を取り付けるとしてもよい。
物理量検出素子235は、例えば、水晶原石等から所定の角度で切り出された水晶基板を、フォトリソグラフィー技術、及びエッチング技術によってパターニングすることにより形成されている双音叉型の振動素子である。勿論、当該素子の素材は水晶に限らず、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、ニオブ酸リチウム、チタン酸ジルコン酸鉛、酸化亜鉛、窒化アルミニウム等の圧電材料を用いることができる。また、酸化亜鉛、窒化アルミニウムなどの圧電材料皮膜を備えたシリコンなどの半導体材料を用いることができる。
物理量検出素子235は、継手部233を跨ぐようにした梁状に形成されており、その梁部の一端側が基部232に、他端側が可動部234に固定されている。物理量検出素子235の両端部には、信号線(図示略)が接続されて所定の電流電圧が印加されており、物理量検出素子235が所定周波数で振動するように構成されている。そして、測定方向に生じた加速度によって可動部234がしなることで物理量検出素子235の梁部に応力が作用すると、物理量検出素子235の振動周波数が変化する。この振動周波数の変化に基づいて加速度に応じた信号が生成されて、当該発振子20の出力信号として出力される。
電子回路基板10Fは、下部アウターケース111の開口部に露出する外部出力端子130を有しており、X軸用発振子20x・Y軸用発振子20y・Z軸用発振子20zの各発振子20からの出力信号を外部出力することができる。
図8は、本実施形態における発振回路12の構成例を示す回路図である。本実施形態の発振回路12は、発振子20と、増幅器30を含む回路13と、発振回路12に電源を供給するレギュレーター14と、を有する。増幅器30を含む回路13は、増幅器30と、第1コンデンサー61と、第2コンデンサー62と、帰還抵抗63と、振幅制限抵抗64と、を含む。このうち、発振子20は、第n層Lnに実装され、増幅器30を含む回路13及びレギュレーター14は、第1層L1に実装される。図6を参照して説明した第2の例の構成となる。
図9は、本実施形態における第1層L1での実装例と、第2層L2における下部グランド層の形成例と、を示す図であって、相互の位置関係を説明するための図である。
第1層L1には、X軸用発振子20xに対応するX軸用の増幅器30を含む回路13xと、Y軸用発振子20yに対応するY軸用の増幅器30を含む回路13yと、Z軸用発振子20zに対応するZ軸用の増幅器30を含む回路13zと、が実装されている。
これらにとって最も近いグランド層は、第2層L2の下部グランド層8である。
下部グランド層8は、いわゆる「グランドベタ」とされるが、第1非形成領域81と、第2非形成領域82と、第3非形成領域83と、についてはグランド電極が非形成とされる。
下部グランド層8は、いわゆる「グランドベタ」とされるが、第1非形成領域81と、第2非形成領域82と、第3非形成領域83と、についてはグランド電極が非形成とされる。
第1非形成領域81は、基板面に垂直な方向から見た平面視において、X軸用の増幅器30を含む回路13xに重畳する領域である。すなわち、第1非形成領域81は、増幅器30を半田付けするパッド43を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域であり、且つ、当該パッドに半田付けされるX軸用の増幅器30の入力部及び出力部を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、X軸用の増幅器30にとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
第2非形成領域82は、基板面に垂直な方向から見た平面視において、Y軸用の増幅器30を含む回路13yに重畳する領域である。すなわち、第2非形成領域82は、増幅器30を半田付けするパッド43を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域であり、且つ、当該パッドに半田付けされるY軸用の増幅器30の入力部及び出力部を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、Y軸用の増幅器30にとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
第3非形成領域83は、基板面に垂直な方向から見た平面視において、Z軸用の増幅器30を含む回路13zに重畳する領域である。すなわち、第3非形成領域83は、増幅器30を半田付けするパッド43を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域であり、且つ、当該パッドに半田付けされるZ軸用の増幅器30の入力部及び出力部を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、Z軸用の増幅器30にとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
図10は、本実施形態における第n層Lnでのパッドの配置例と、第n−1層Ln−1における上部グランド層の形成例と、を示す図であって、相互の位置関係を説明するための図である。
第n層Lnには、X軸用発振子20xを半田付けするための複数のパッド(図10中の網掛けされた長方形)を含む第1パッド群91と、Y軸用発振子20yを半田付けするための複数のパッドを含む第2パッド群92と、Z軸用発振子20zを半田付けするため複数のパッドを含む第3パッド群93と、が設けられている。
これらのパッド群に含まれるパッド及び実装される各軸の発振子20にとって最も近いグランド層は、上部グランド層7である。そして、上部グランド層7は、第4非形成領域84と、第5非形成領域85と、第6非形成領域86と、第7非形成領域87と、第8非形成領域88と、第9非形成領域89と、において電極が非形成となっている。
第4非形成領域84及び第5非形成領域85は、第1パッド群91のパッドのうち信号端子21であるいわゆるホット端子を半田付けするパッド42を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域である。当然、当該パッドに半田付けされるX軸用発振子20xの信号端子21を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、X軸用発振子20xにとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
第6非形成領域86及び第7非形成領域87は、第2パッド群92のパッドのうち信号端子21であるいわゆるホット端子を半田付けするパッドを、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域である。当然、当該パッドに半田付けされるY軸用発振子20yの信号端子21を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、Y軸用発振子20yにとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
第8非形成領域88及び第9非形成領域89は、第3パッド群93のパッドのうち信号端子21であるいわゆるホット端子を半田付けするパッドを、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域である。当然、当該パッドに半田付けされるZ軸用発振子20zの信号端子21を基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ということになる。また、本実施形態では、Z軸用発振子20zにとっての第1配線51及び第2配線52を、基板面に垂直な方向から見た平面視において重畳する領域ともなる。
図11は、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成および第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成を有する本実施形態と、グランド電極の非形成領域を設けなかった場合の比較例とにおける、X軸方向加速度、Y軸方向加速度およびZ軸方向加速度のうちの2つを組み合わせた場合の干渉ノイズの大きさを示すグラフである。
図11から明らかなように、第1グランド電極構成、第2グランド電極構成および第3グランド電極構成の3つのグランド電極構成を設けることで、3つのグランド電極構成を設けない場合よりも遥かにノイズを低減できたことが分かる。このノイズ低減効果によって、発振子20の出力信号に含まれるノイズや、加速度センサー100の出力信号に含まれるノイズが低減されることになって、結果的に加速度センサー100は、従来に比べて加速度を高精度に検出することが可能となる。
なお、本実施形態の加速度センサー100の電子回路基板10Fは、第1グランド電極構成と、第2グランド電極構成と、第3グランド電極構成との3つの構成を有するとしているが、このうち、1つ又は2つの電極構成を省略した電子回路基板に変更することができる。
〔第2実施形態〕
次に、第2実施形態について説明する。なお、以降では、第1実施形態との差異について主に述べることとし、第1実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
次に、第2実施形態について説明する。なお、以降では、第1実施形態との差異について主に述べることとし、第1実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
図12は、傾斜計の構成例を示す図であって、一部断面表示された側面図である。
傾斜計200は、設置された位置の傾斜角度に応じた信号を出力する装置である。具体的には、傾斜計200は、アンダーケース201と、アッパーケース202とで画成された内部空間に、第1実施形態の加速度センサー100と、加速度センサー100の出力信号に基づいて傾斜角度を算出する算出部210と、算出部210で算出された傾斜角度に応じた信号を外部出力する外部出力端子212と、を有する。勿論、これら以外の要素を適宜含めることができる。例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
傾斜計200は、設置された位置の傾斜角度に応じた信号を出力する装置である。具体的には、傾斜計200は、アンダーケース201と、アッパーケース202とで画成された内部空間に、第1実施形態の加速度センサー100と、加速度センサー100の出力信号に基づいて傾斜角度を算出する算出部210と、算出部210で算出された傾斜角度に応じた信号を外部出力する外部出力端子212と、を有する。勿論、これら以外の要素を適宜含めることができる。例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
算出部210は、加速度センサー100の出力信号から傾斜角度を演算して、傾斜角度に応じた信号を出力する回路であって、例えば汎用IC(Integrated Circuit)やFPGA(Field Programmable Gate Array)などにより実現することができる。
本実施形態の傾斜計200によれば、第1実施形態の加速度センサー100を利用しているため、加速度センサー100の内部信号や出力信号に含まれるノイズ成分が従来に比べて低減されるため、傾斜の計測精度を従来の傾斜計よりも向上させることができる。
〔第3実施形態〕
次に、第3実施形態について説明する。なお、以降では、第1及び第2実施形態との差異について主に述べることとし、第1及び第2実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
次に、第3実施形態について説明する。なお、以降では、第1及び第2実施形態との差異について主に述べることとし、第1及び第2実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
図13は、慣性航法装置の構成例を示す図であって、一部断面表示された側面図である。
慣性航法装置300は、移動体に取り付けられる慣性航法装置であって、アンダーケース301と、アッパーケース302とで画成された内部空間に、第1実施形態の加速度センサー100と、角速度センサー304と、加速度センサー100の出力信号および角速度センサー304の出力信号に基づいて移動体の姿勢を算出する回路部310と、回路部310で算出された姿勢に応じた信号を外部出力する外部出力端子312と、を有する。勿論、これら以外の要素を適宜含めることができる。例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
慣性航法装置300は、移動体に取り付けられる慣性航法装置であって、アンダーケース301と、アッパーケース302とで画成された内部空間に、第1実施形態の加速度センサー100と、角速度センサー304と、加速度センサー100の出力信号および角速度センサー304の出力信号に基づいて移動体の姿勢を算出する回路部310と、回路部310で算出された姿勢に応じた信号を外部出力する外部出力端子312と、を有する。勿論、これら以外の要素を適宜含めることができる。例えば、内蔵バッテリーや、電源回路、無線装置、などを含めることができる。
角速度センサー304は、基本的には第1実施形態の加速度センサー100と同様の構成を有し、第1実施形態の電子回路基板10Fを用いて、角速度に応じた信号を出力することができる。
回路部310は、例えば、汎用IC(Integrated Circuit)やFPGA(Field Programmable Gate Array)により実現され、加速度センサー100の出力信号と、角速度センサー304の出力信号とから慣性航法装置300が取り付けられている移動体の姿勢を算出し、姿勢に応じた信号を出力する。
本実施形態の慣性航法装置300によれば、第1実施形態の加速度センサー100を利用しているため、加速度センサー100の内部信号や出力信号に含まれるノイズ成分が従来に比べて低減されるため、移動体の姿勢の計測精度を従来の慣性航法装置よりも向上させることができる。
〔第4実施形態〕
次に、第4実施形態について説明する。なお、以降では、第1乃至第3実施形態との差異について主に述べることとし、第1乃至第3実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
次に、第4実施形態について説明する。なお、以降では、第1乃至第3実施形態との差異について主に述べることとし、第1乃至第3実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
図14は、構造物監視装置の構成例を示す図である。
構造物監視装置400は、監視対象とされる構造物490に取り付けられる第1実施形態の加速度センサー100と、構造物490に取り付けられた加速度センサー100の検出信号を送信する送信部410と、送信部410からの送信信号を受信する受信部420と、受信部420の受信信号に基づいて構造物490の傾斜角度を算出する算出部430と、を有する。通信網9は、有線、無線の何れであってもよい。
構造物監視装置400は、監視対象とされる構造物490に取り付けられる第1実施形態の加速度センサー100と、構造物490に取り付けられた加速度センサー100の検出信号を送信する送信部410と、送信部410からの送信信号を受信する受信部420と、受信部420の受信信号に基づいて構造物490の傾斜角度を算出する算出部430と、を有する。通信網9は、有線、無線の何れであってもよい。
送信部410は、例えば、通信網9に接続する有線通信装置或いは無線通信装置によって実現される。本実施形態では、加速度センサーユニット450は、アンダーケース451とアッパーケース452とで画成する内部空間に、加速度センサー100と、小型の通信端末としての機能を実現する通信モジュール412およびアンテナ414を含む送信部410とを搭載して構成されている。勿論、送信部410は、加速度センサー100とは別体の通信モジュール及びアンテナとして実現するとしてもよい。
算出部430は、本実施形態では監視コンピューター460に搭載されたASIC(Application Specific Integrated Circuit)やFPGA(Field Programmable Gate Array)等で実現することとする。ただし、算出部430をCPU(Central Processing Unit)等のプロセッサーとして、当該プロセッサーがICメモリー462に記憶されたプログラムを演算処理することによりソフトウェア的に実現する構成としてもよい。監視コンピューター460は、キーボード463によりオペレーターの各種操作入力を受け付け、演算処理の結果をタッチパネル464に表示することができる。
受信部420は、通信網9に接続する有線通信装置或いは無線通信装置によって実現される。本実施形態では、送信部410と無線通信する無線モジュール及びアンテナによって実現するが、監視コンピューター460とは別体の通信モジュール及びアンテナとして実現するとしてもよい。
本実施形態の構造物監視装置400によれば、第1実施形態の加速度センサー100を利用して構造物490の傾斜を監視している。そのため、第1実施形態の加速度センサー100の作用効果である高精度な加速度の検出を利用することができ、監視対象である構造物490の傾斜を精度良く検出することが可能となって、構造物490の監視品質を向上させることができる。
〔第5実施形態〕
次に、第5実施形態について説明する。なお、以降では、第1乃至第4実施形態との差異について主に述べることとし、第1乃至第4実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
次に、第5実施形態について説明する。なお、以降では、第1乃至第4実施形態との差異について主に述べることとし、第1乃至第4実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付与して重複する説明を省略する。
図15は、移動体の構成例を示す図である。本実施形態では移動体500を、乗用車として例示するが車種は適宜変更可能である。また、移動体500は、小型船舶や自動運搬装置、構内用の運搬車、フォークリフトなどでもよい。
移動体500は、第1実施形態の加速度センサー100と、加速度センサー100の検出信号に基づいて、加速、制動及び操舵のうちの少なくとも1つを制御する制御部510と、を有し、自動運転の実施或いは不実施を、加速度センサー100の検出信号に基づいて切り替えることができる。
制御部510は、車載用のコンピューターにより実現される。制御部510は車内LAN(Local Area Network)等の通信網によって、加速度センサー100、スロットルコントローラー503、ブレーキコントローラー505、ステアリングコントローラー507、などの各種のセンサーおよびコントローラーと信号送受可能に接続されている。ここで、スロットルコントローラー503はエンジン502の出力を制御する装置である。ブレーキコントローラー505はブレーキ504の作動を制御する装置である。ステアリングコントローラー507はパワーステアリング506の作動を制御する装置である。なお、制御部510に接続されるセンサーやコントローラーの種類はこれらに限らず適宜設定できる。
そして、制御部510は、内蔵する演算装置で、加速度センサー100の検出信号に基づいて演算処理を行って、自動運転の実施或いは不実施を判定し、自動運転を実施する場合には、スロットルコントローラー503、ブレーキコントローラー505、ステアリングコントローラー507の少なくとも何れか1つに制御命令信号を送信して、加速、制動及び操舵のうちの少なくとも1つを制御する。
自動制御の内容は、適宜設定可能である。例えば、コーナリング中に、加速度センサー100で検出される加速度が、スピンやコーナーアウトを生じる恐れが高いとされる閾値に達した場合に、スピンやコーナーアウトを防止するような制御を行うとしてもよい。また、停止中に、加速度センサー100で検出される加速度が、操作を誤って急激な前進又は後進が生じた可能性が高いとされる閾値に達した場合に、スロットルを強制全閉させて急ブレーキを強制発動させるような制御を行うとしてもよい。
本実施形態の移動体500によれば、第1実施形態の加速度センサー100の検出信号に基づいて自動運転の実施或いは不実施を切り替えることができる。そのため、第1実施形態の加速度センサー100の作用効果である高精度な加速度の検出を利用することができることとなり、自動運転の実施或いは不実施の切り替えをより適確に判断することが可能となる。
〔変形例〕
なお、本発明の適用可能な実施形態は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能なのは勿論である。
なお、本発明の適用可能な実施形態は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能なのは勿論である。
[変形例その1]
例えば、上記実施形態の電子回路基板において、搭載されている複数の発振子20について、各発振子20のグランド配線を、それぞれに独立して設けて、それぞれが共通グランド部に別個に接続される配線構成とすることができる。
例えば、上記実施形態の電子回路基板において、搭載されている複数の発振子20について、各発振子20のグランド配線を、それぞれに独立して設けて、それぞれが共通グランド部に別個に接続される配線構成とすることができる。
図9の例をベースに具体的な例を示すと、例えば図16に示すように、第1非形成領域81を取り囲むようにしてX軸用グランド配線95を形成して、共通グランド部99に接続する。また、第2非形成領域82を取り囲むようにしてY軸用グランド配線96を形成して、共通グランド部99に接続する。また、第3非形成領域83を取り囲むようにしてZ軸用グランド配線97を形成して、共通グランド部99に接続する。
7…上部グランド層、8…下部グランド層、10A〜10F…電子回路基板、11…基板面、12…発振回路、13…回路、14…レギュレーター、20…発振子、21…信号端子、30…増幅器、31…入力部、32…出力部、51…第1配線、52…第2配線、81…第1非形成領域、82…第2非形成領域、83…第3非形成領域、84…第4非形成領域、85…第5非形成領域、86…第6非形成領域、87…第7非形成領域、88…第8非形成領域、89…第9非形成領域、95…X軸用グランド配線、96…Y軸用グランド配線、97…Z軸用グランド配線、99…共通グランド部、100…加速度センサー、110…収容部、200…傾斜計、210…算出部、300…慣性航法装置、304…角速度センサー、310…回路部、400…構造物監視装置、410…送信部、420…受信部、430…算出部、450…加速度センサーユニット、460…監視コンピューター、500…移動体、510…制御部、AL1…第1配線重畳領域、AL2…第2配線重畳領域、Ap…パッド重畳領域、At…信号端子重畳領域
Claims (12)
- 少なくとも1層のグランド層を含む多層構造の基板と、
前記基板に設けられている発振回路と、
を備え、
前記発振回路は、発振子と、前記発振子の信号端子に接続されている増幅器を含む回路と、を有し、
前記多層構造のうち、前記信号端子に最も近い前記グランド層は、基板面に垂直な方向から見た平面視において前記信号端子に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第1のグランド電極構成であること、
前記多層構造のうち、前記信号端子と前記増幅器の入力部とを接続する第1の配線に最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記第1の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第2のグランド電極構成であること、
及び、前記多層構造のうち、前記信号端子と前記増幅器の出力部とを接続する第2の配線に最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記第2の配線に重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている第3のグランド電極構成であること、
のうちの少なくとも1つのグランド電極構成を備えている、
電子回路基板。 - 請求項1において、
前記第1のグランド電極構成と、
前記第2のグランド電極構成と、
前記第3のグランド電極構成と、
を備えている、
電子回路基板。 - 請求項1又は2において、
前記多層構造のうち、前記回路を構成する電子部品のパッドに最も近い前記グランド層は、前記平面視において前記パッドに重畳する領域が、グランド電極の非形成領域とされている、
電子回路基板。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記発振回路を複数備え、
各前記発振子のグランド配線は、それぞれ独立して共通グランド部に接続されている、
電子回路基板。 - 請求項4において、
前記発振回路に電源を供給するレギュレーターを前記発振回路別に備えている、
電子回路基板。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記発振子は、所定の物理量に応じた信号を出力する物理量センサー素子である、
電子回路基板。 - 請求項6において、
前記物理量は加速度である、
電子回路基板。 - 請求項7に記載の電子回路基板と、
前記電子回路基板を収容している収容部と、
を含む加速度センサー。 - 請求項8に記載の加速度センサーと、
前記加速度センサーの出力信号に基づいて傾斜角度を算出する算出部と、
を含む傾斜計。 - 移動体に取り付けられる慣性航法装置であって、
請求項8に記載の加速度センサーと、
角速度センサーと、
前記加速度センサーの出力信号と前記角速度センサーの出力信号とに基づいて前記移動体の姿勢を算出する回路部と、
を含む慣性航法装置。 - 構造物に取り付けられる請求項8に記載の加速度センサーと、
前記構造物に取り付けられ、前記加速度センサーの検出信号を送信する送信部と、
前記送信部からの送信信号を受信する受信部と、
前記受信部の受信信号に基づいて前記構造物の傾斜角度を算出する算出部と、
を含む構造物監視装置。 - 請求項8に記載の加速度センサーと、
前記加速度センサーの検出信号に基づいて、加速、制動及び操舵のうちの少なくとも1つを制御する制御部と、
を含み、
自動運転の実施或いは不実施を、前記加速度センサーの検出信号に基づいて切り替える、
移動体。
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