JP2019140253A5 - - Google Patents
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Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018022399A JP7353729B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
| US16/269,054 US10957732B2 (en) | 2018-02-09 | 2019-02-06 | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device |
| US17/175,447 US11742373B2 (en) | 2018-02-09 | 2021-02-12 | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018022399A JP7353729B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019140253A JP2019140253A (ja) | 2019-08-22 |
| JP2019140253A5 true JP2019140253A5 (https=) | 2021-04-01 |
| JP7353729B2 JP7353729B2 (ja) | 2023-10-02 |
Family
ID=67541112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018022399A Active JP7353729B2 (ja) | 2018-02-09 | 2018-02-09 | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10957732B2 (https=) |
| JP (1) | JP7353729B2 (https=) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11424205B2 (en) * | 2018-06-29 | 2022-08-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor interconnect structure and method |
| US12501733B2 (en) * | 2019-03-07 | 2025-12-16 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Semiconductor device and imaging unit |
| JP7365925B2 (ja) * | 2020-02-17 | 2023-10-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
| US12604554B2 (en) * | 2020-03-31 | 2026-04-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus, photoelectric conversion system, and moving object |
| JP2022007971A (ja) * | 2020-03-31 | 2022-01-13 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換システム、および移動体 |
| US11233088B2 (en) * | 2020-06-12 | 2022-01-25 | Omnivision Technologies, Inc. | Metal routing in image sensor using hybrid bonding |
| JP7562306B2 (ja) | 2020-06-23 | 2024-10-07 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換システム、および移動体 |
| JP2022018705A (ja) | 2020-07-16 | 2022-01-27 | キヤノン株式会社 | 半導体装置 |
| JP2022040579A (ja) * | 2020-08-31 | 2022-03-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
| US12147083B2 (en) * | 2020-12-16 | 2024-11-19 | Intel Corporation | Hybrid manufacturing for integrating photonic and electronic components |
| JP7690308B2 (ja) | 2021-03-31 | 2025-06-10 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換システム、および移動体 |
| WO2022255286A1 (ja) * | 2021-05-30 | 2022-12-08 | 唯知 須賀 | 半導体基板接合体及びその製造方法 |
| CN113555352B (zh) * | 2021-07-20 | 2022-08-26 | 长江存储科技有限责任公司 | 三维存储器 |
| JP7844128B2 (ja) * | 2021-10-12 | 2026-04-13 | キヤノン株式会社 | 半導体装置 |
| CN115985886A (zh) * | 2021-10-15 | 2023-04-18 | 西安紫光国芯半导体有限公司 | 一种三维芯片 |
| EP4447116A4 (en) * | 2021-12-10 | 2025-05-21 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Light-receiving device |
| US20230317653A1 (en) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | Intel Corporation | Hybrid bonding a die to a substrate with vias connecting metal pads on both sides of the die |
| JP2024000909A (ja) * | 2022-06-21 | 2024-01-09 | キオクシア株式会社 | 半導体装置及び半導体記憶装置 |
| KR20240002437A (ko) | 2022-06-29 | 2024-01-05 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
| US12457733B2 (en) | 2022-08-26 | 2025-10-28 | Nanya Technology Corporation | Semiconductor device having bonding structure and method of manufacturing the same |
| WO2024252866A1 (ja) * | 2023-06-06 | 2024-12-12 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置 |
| JPWO2025075180A1 (https=) * | 2023-10-06 | 2025-04-10 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3908148B2 (ja) | 2002-10-28 | 2007-04-25 | シャープ株式会社 | 積層型半導体装置 |
| JP4794218B2 (ja) | 2004-06-25 | 2011-10-19 | パナソニック株式会社 | スレーブ装置、マスタ装置及び積層装置 |
| TWI429066B (zh) | 2005-06-02 | 2014-03-01 | 新力股份有限公司 | Semiconductor image sensor module and manufacturing method thereof |
| JP5746167B2 (ja) | 2009-07-30 | 2015-07-08 | クゥアルコム・インコーポレイテッドQualcomm Incorporated | システムインパッケージ |
| JP5853351B2 (ja) | 2010-03-25 | 2016-02-09 | ソニー株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び電子機器 |
| JP5693060B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2015-04-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置、及び撮像システム |
| JP5709418B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP5451547B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
| KR101690487B1 (ko) | 2010-11-08 | 2016-12-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 제조 방법 |
| JP5778453B2 (ja) | 2011-03-25 | 2015-09-16 | 大日本印刷株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
| JP5802432B2 (ja) | 2011-05-18 | 2015-10-28 | オリンパス株式会社 | 固体撮像装置、撮像装置および信号読み出し方法 |
| JP5919653B2 (ja) | 2011-06-09 | 2016-05-18 | ソニー株式会社 | 半導体装置 |
| WO2013052411A1 (en) | 2011-10-03 | 2013-04-11 | Invensas Corporation | Stub minimization for wirebond assemblies without windows |
| JP6018376B2 (ja) | 2011-12-05 | 2016-11-02 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP2014022561A (ja) | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Sony Corp | 固体撮像装置、及び、電子機器 |
| JP2015032687A (ja) | 2013-08-02 | 2015-02-16 | ソニー株式会社 | 撮像素子、電子機器、および撮像素子の製造方法 |
| KR102136845B1 (ko) * | 2013-09-16 | 2020-07-23 | 삼성전자 주식회사 | 적층형 이미지 센서 및 그 제조방법 |
| JP2015170702A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
| JP6541347B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2019-07-10 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
| JP2015195235A (ja) | 2014-03-31 | 2015-11-05 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、電子機器、および撮像方法 |
| WO2016009832A1 (ja) * | 2014-07-14 | 2016-01-21 | ソニー株式会社 | 比較器、ad変換器、固体撮像装置、電子機器、および比較器の制御方法 |
| JP6389685B2 (ja) * | 2014-07-30 | 2018-09-12 | キヤノン株式会社 | 撮像装置、および、撮像システム |
| JP6677909B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2020-04-08 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および電子機器 |
| JP6532265B2 (ja) | 2015-04-02 | 2019-06-19 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
| JP6233376B2 (ja) | 2015-09-28 | 2017-11-22 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
| JP2017117828A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および電子装置 |
| JP6856983B2 (ja) | 2016-06-30 | 2021-04-14 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びカメラ |
| JP6257726B2 (ja) | 2016-09-30 | 2018-01-10 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
| JP6256562B2 (ja) | 2016-10-13 | 2018-01-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
| JP6526159B2 (ja) | 2017-11-21 | 2019-06-05 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
-
2018
- 2018-02-09 JP JP2018022399A patent/JP7353729B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-06 US US16/269,054 patent/US10957732B2/en active Active
-
2021
- 2021-02-12 US US17/175,447 patent/US11742373B2/en active Active
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