JP2019139025A - 情報取得装置 - Google Patents
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- G02B6/0015—Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it
- G02B6/002—Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it by shaping at least a portion of the light guide, e.g. with collimating, focussing or diverging surfaces
Abstract
Description
照明部と、結像光学系と、撮像素子と、を有し、
照明部は、光源と、照明光学系と、を有し、
撮像素子の撮像面は、結像光学系の像面に位置し、
結像光学系は、物体側から順に、正屈折力の入射側レンズ群と、絞り部と、正屈折力の射出側レンズ群と、を有し、
入射側レンズ群、絞り部、及び射出側レンズ群によって、入射瞳と射出瞳とが形成され、
入射側レンズ群は、複数の正レンズと、少なくとも1つの負レンズと、を有し、
射出側レンズ群は、複数の正レンズと、少なくとも1つの負レンズと、を有し、
以下の条件式(1)から(9)を満足することを特徴とする。
−6<βd<−0.8 (1)
−0.5<TL/|ENPL|<3.0 (2)
−1.5<TL/|EXPL|<0.5 (3)
0.001<|ΔCd|/Sim1/2<0.05 (4)
0.04<|ΔdF|/Sim1/2<0.28 (5)
3.5<|ΔCF|/|ΔCd|<38.0 (6)
0≦|ΔSAd|/|ΔCF|<0.27 (7)
0≦|ΔSAC|/|ΔCF|<0.16 (8)
0≦|ΔSAF|/|ΔCF|<1.1 (9)
ここで、
βdは、結像光学系のd線での横倍率、
TLは、結像光学系の最も物体側に位置する光学面と像面との間隔、
ENPLは、結像光学系の最も物体側に位置するレンズ面から入射瞳までの距離、
EXPLは、結像光学系の最も像側に位置するレンズ面から射出瞳までの距離、
ΔCdは、d線での結像位置とC線での結像位置との差、
ΔdFは、d線での結像位置とF線での結像位置との差、
ΔCFは、C線での結像位置とF線での結像位置との差、
Simは、撮像面における有効撮像領域の面積、
ΔSAdは、d線での最大球面収差量、
ΔSACは、C線での最大球面収差量、
ΔSAFは、F線での最大球面収差量、
距離は、d線での距離、
結像位置は、近軸光線による像位置、
間隔、距離、及び差は、それぞれ、光軸上における間隔、光軸上における距離、及び光軸上における差、
である。
−6<βd<−0.8 (1)
−0.5<TL/|ENPL|<3.0 (2)
−1.5<TL/|EXPL|<0.5 (3)
0.001<|ΔCd|/Sim1/2<0.05 (4)
0.04<|ΔdF|/Sim1/2<0.28 (5)
3.5<|ΔCF|/|ΔCd|<38.0 (6)
0≦|ΔSAd|/|ΔCF|<0.27 (7)
0≦|ΔSAC|/|ΔCF|<0.16 (8)
0≦|ΔSAF|/|ΔCF|<1.1 (9)
ここで、
βdは、結像光学系のd線での横倍率、
TLは、結像光学系の最も物体側に位置する光学面と像面との間隔、
ENPLは、結像光学系の最も物体側に位置するレンズ面から入射瞳までの距離、
EXPLは、結像光学系の最も像側に位置するレンズ面から射出瞳までの距離、
ΔCdは、d線での結像位置とC線での結像位置との差、
ΔdFは、d線での結像位置とF線での結像位置との差、
ΔCFは、C線での結像位置とF線での結像位置との差、
Simは、撮像面における有効撮像領域の面積、
ΔSAdは、d線での最大球面収差量、
ΔSACは、C線での最大球面収差量、
ΔSAFは、F線での最大球面収差量、
距離は、d線での距離、
結像位置は、近軸光線による像位置、
間隔、距離、及び差は、それぞれ、光軸上における間隔、光軸上における距離、及び光軸上における差、
である。
1.6<Sco/Sen<20.0 (10)
ここで、
Scoは、照明部から射出される光束の断面積、
Senは、結像光学系の入射面の面積、
である。
(I)d線の波長の光と、d線の波長よりも短い波長の光と、を含む光。
(II)d線の波長の光と、d線の波長よりも長い波長の光と、を含む光。
(III)d線の波長の光と、d線の波長よりも短い波長の光と、及びd線の波長より長い波長の光と、を含む光。
600nm<λ1<650nm (11)
50nm<λ2−λ1<300nm (12)
−200nm<λ3−λ1<−50nm (13)
−200nm<λ4−λ3<−50nm (14)
ここで、
λ1は、第1の光学像におけるピーク波長、
λ2は、第2の光学像におけるピーク波長、
λ3は、第3の光学像におけるピーク波長、
λ4は、第4の光学像におけるピーク波長、
ピーク波長は、光学像を形成する波長域のなかで、光強度が最も大きい波長、
である。
z=(y2/r)/[1+{1−(1+k)(y/r)2}1/2]
+A4y4+A6y6+A8y8+A10y10+A12y12+…
また、非球面係数において、「e−n」(nは整数)は、「10−n」を示している。なお、これら諸元値の記号は後述の実施例の数値データにおいても共通である。
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 ∞ 1.85 1.80100 34.97
6 -7.721 0.30
7 13.654 2.70 1.48749 70.23
8 -6.252 0.01 1.56444 43.79
9 -6.252 1.05 1.77250 49.60
10 -18.169 0.35
11 5.595 2.36 1.80610 40.92
12 -8.003 0.01 1.56444 43.79
13 -8.003 1.05 1.80000 29.84
14 3.127 1.10
15(絞り) ∞ 0.00
16 5.022 2.48 1.83481 42.73
17 -5.022 0.01 1.56444 43.79
18 -5.022 1.05 1.59270 35.31
19 3.348 2.00
20 -3.127 1.05 1.59551 39.24
21 ∞ 0.01 1.56444 43.79
22 ∞ 2.50 1.77250 49.60
23 -6.370 0.85
24 18.169 2.40 1.77250 49.60
25 -18.169 4.04
26 ∞ 1.00 1.51633 64.14
27 ∞ 6.00
28 ∞ 0.50 1.51633 64.14
29 ∞ 0.00
像面 ∞
各種データ
f 31.97
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 -111.215 1.85 1.78800 47.37
6 -7.371 0.30
7 13.254 2.70 1.48749 70.23
8 -6.137 1.05 1.77250 49.60
9 -21.783 0.25
10 6.010 2.83 1.80400 46.58
11 -4.373 1.05 1.80000 29.84
12 3.623 1.10
13(絞り) ∞ 0.00
14 5.799 1.70 2.00330 28.27
15 -9.657 1.05 1.59270 35.31
16 3.440 2.05
17 -2.922 1.05 1.59551 39.24
18 ∞ 2.35 1.77250 49.60
19 -6.044 1.47
20 19.103 2.25 1.75500 52.32
21 -19.103 4.38
22 ∞ 1.00 1.51633 64.14
23 ∞ 6.00
24 ∞ 0.50 1.51633 64.14
25 ∞ 0.02
像面 ∞
各種データ
f 26.03
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 5.28
5 -97.311 3.00 1.88300 40.76
6 -8.612 0.30
7 12.821 2.58 1.48749 70.23
8 -6.949 0.01 1.56444 43.79
9 -6.949 1.05 1.77250 49.60
10 -99.966 1.11
11(絞り) ∞ 0.86
12 7.295 2.93 1.81600 46.62
13 -4.098 0.01 1.56444 43.79
14 -4.098 1.05 1.80000 29.84
15 4.324 0.59
16 5.511 3.04 2.00100 29.13
17 695.145 0.01 1.56444 43.79
18 695.145 1.05 1.59270 35.31
19 3.573 2.53
20 -3.432 1.05 1.75211 25.05
21 -5.431 1.06
22 22.877 2.01 2.00100 29.13
23 -18.033 8.00
24 ∞ 0.30 1.51633 64.14
25 ∞ 0.40
26 ∞ 0.50 1.51633 64.14
27 ∞ 0.53
像面 ∞
各種データ
f 10.60
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 -24.288 1.60 1.88300 40.76
6 -8.772 0.30
7 34.327 2.80 1.65844 50.88
8 -6.100 0.01 1.56444 43.79
9 -6.100 1.05 1.74320 49.34
10 -36.654 7.01
11 12.204 3.23 1.81600 46.62
12 ∞ 0.00
13(絞り) ∞ 0.90
14* 7.785 2.57 1.58233 59.30
15* -100.674 0.15
16 4.232 1.66 1.51633 64.14
17 ∞ 0.01 1.56444 43.79
18 ∞ 1.03 1.80610 40.92
19 2.406 2.00
20 -3.423 1.05 1.60562 43.70
21 ∞ 2.38
22 12.224 3.10 1.84666 23.78
23 -12.224 2.10
24 ∞ 0.50 1.51633 64.14
25 ∞ 0.00
像面 ∞
非球面データ
第14面
k=-0.310
A4=-7.53830e-05,A6=2.04460e-07,A8=8.44620e-09
第15面
k=0.000
A4=1.21680e-04,A6=1.26200e-07,A8=6.43890e-09
各種データ
f 16.86
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 23.088 1.71 1.88300 40.76
6 -14.941 0.30
7 25.077 1.37 1.65844 50.88
8 -380.487 0.01 1.56384 60.67
9 -380.487 1.05 1.74320 49.34
10 6.692 4.11
11 19.443 2.10 1.81600 46.62
12 -12.891 1.16
13(絞り) ∞ 0.45
14* 7.785 2.57 1.58233 59.30
15* -100.674 0.20
16 15.351 3.90 1.51633 64.14
17 -83681.098 0.01 1.56384 60.67
18 -83681.098 1.03 1.80440 39.59
19 3.873 4.43
20 -3.165 1.05 1.60562 43.70
21 16.514 0.01 1.56384 60.67
22 16.514 2.87 1.69680 55.53
23 -7.895 1.05
24 8.662 2.84 1.84666 23.78
25 116.129 2.43
26 ∞ 0.30 1.51633 64.14
27 ∞ 0.40
28 ∞ 0.50 1.51633 64.14
29 ∞ 0.53
像面 ∞
非球面データ
第14面
k=-0.310
A4=-7.53830e-05,A6=2.04460e-07,A8=8.44620e-09
第15面
k=0.000
A4=1.21680e-04,A6=1.26200e-07,A8=6.43890e-09
各種データ
f 90.54
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.07
5 243.729 1.55 1.88300 40.76
6 -9.112 0.30
7 9.365 2.20 1.48749 70.23
8 -6.752 0.01 1.56444 43.79
9 -6.752 1.05 1.77250 49.60
10 -12.637 0.15
11* 4.526 1.46 1.74320 49.29
12 4.739 0.01 1.56444 43.79
13 4.739 1.05 1.80000 29.84
14 3.050 1.00
15(絞り) ∞ 0.00
16 5.634 1.33 2.00100 29.13
17 -154.706 0.01 1.56444 43.79
18 -154.706 1.05 1.59270 35.31
19 3.357 2.73
20 -2.620 1.05 1.59270 35.31
21 -6.070 0.01 1.56444 43.79
22 -6.070 2.62 1.85135 40.10
23* -5.530 0.10
24 21.919 2.59 2.00100 29.13
25 -19.005 6.93
26 ∞ 0.50 1.51633 64.14
27 ∞ 0.03
像面 ∞
非球面データ
第11面
k=0.000
A4=-2.04052e-04,A6=-1.74659e-05
第23面
k=0.000
A4=-1.89384e-05,A6=-2.62803e-07
各種データ
f 78.82
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 -17.116 1.45 1.88300 40.76
6 -9.467 0.30
7 -80.677 2.50 1.48749 70.23
8 -4.282 0.01 1.56444 43.79
9 -4.282 1.05 1.77250 49.60
10 -11.259 1.20
11* 7.039 2.42 1.74320 49.29
12* -11.266 0.54
13(絞り) ∞ 0.17
14 5.246 1.53 1.48749 70.23
15 10.457 0.01 1.56444 43.79
16 10.457 1.03 1.80518 25.42
17 2.683 1.80
18* -2.331 1.05 1.51633 64.14
19* -5.902 0.29
20 76.798 1.74 2.00100 29.13
21 -9.413 10.59
22 ∞ 0.30 1.51633 64.14
23 ∞ 0.40
24 ∞ 0.50 1.51633 64.14
25 ∞ 0.50
像面 ∞
非球面データ
第11面
k=0.000
A4=-4.05643e-04,A6=1.38859e-06
第12面
k=0.000
A4=4.96446e-04,A6=1.13439e-06
第18面
k=0.000
A4=1.24638e-02,A6=1.93545e-04
第19面
k=0.000
A4=5.80707e-03,A6=-4.19952e-04
各種データ
f 7.23
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 6.34
5 17.668 3.00 1.48749 70.23
6 -12.943 1.20
7* 6.989 2.93 1.74320 49.29
8* 78.924 0.10
9 6.777 2.61 1.77250 49.60
10 4.943 1.84
11(絞り) ∞ 1.40
12* -5.968 1.03 1.80610 40.92
13* 17.508 1.90
14 -4.004 1.48 1.77250 49.60
15 -5.207 0.30
16 89.963 2.25 2.00100 29.13
17 -10.187 9.99
18 ∞ 0.30 1.51633 64.14
19 ∞ 0.40
20 ∞ 0.50 1.51633 64.14
21 ∞ 0.50
像面 ∞
非球面データ
第7面
k=0.000
A4=2.35800e-05,A6=1.05549e-06
第8面
k=0.000
A4=5.10654e-04,A6=-2.06296e-06
第12面
k=0.000
A4=-5.37040e-03,A6=1.55899e-04
第13面
k=0.000
A4=-1.11504e-03,A6=2.63198e-04
各種データ
f 16.04
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 -28.604 1.60 1.88300 40.76
6 -7.975 0.30
7 19.120 2.80 1.65844 50.88
8 -6.260 1.05 1.74320 49.34
9 ∞ 5.16
10 12.240 1.50 1.77250 49.60
11 ∞ 0.30
12 ∞ 0.70 1.51633 64.14
13(絞り) ∞ 0.70 1.51633 64.14
14 ∞ 0.45
15* 7.785 2.57 1.58233 59.30
16* -100.674 0.20
17 4.315 1.76 1.51633 64.14
18 ∞ 1.04 1.80440 39.59
19 2.347 1.89
20 -3.099 1.05 1.60562 43.70
21 ∞ 1.94 1.69680 55.53
22 -15.194 2.85
23 17.970 4.31 1.84666 23.78
24 -12.226 0.80
25 ∞ 0.30 1.51633 64.14
26 ∞ 0.40
27 ∞ 0.50 1.51633 64.14
28 ∞ 0.53
像面 ∞
非球面データ
第15面
k=-0.310
A4=-7.53830e-05,A6=2.04460e-07,A8=8.44620e-09
第16面
k=0.000
A4=1.21680e-04,A6=1.26200e-07,A8=6.43890e-09
各種データ
f 1275.99
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 ∞ 1.00 1.52287 59.89
2 ∞ 1.00
3 ∞ 2.00 1.52287 59.89
4 ∞ 3.30
5 -14.459 3.00 1.88300 40.76
6 -6.765 0.30
7 16.543 2.60 1.48749 70.23
8 -6.041 0.01 1.56444 43.79
9 -6.041 1.05 1.77250 49.60
10 -26.610 1.12
11(絞り) ∞ 0.85
12 7.577 2.76 1.81600 46.62
13 -4.107 0.01 1.56444 43.79
14 -4.107 1.05 1.80000 29.84
15 4.336 0.20
16 4.853 3.11 2.00100 29.13
17 -49.621 0.01 1.56444 43.79
18 -49.621 1.05 1.59270 35.31
19 3.422 2.71
20 -3.301 1.05 1.80810 22.76
21 -4.977 0.20
22 26.146 1.97 2.00100 29.13
23 -14.953 10.81
24 ∞ 0.30 1.51633 64.14
25 ∞ 0.40
26 ∞ 0.50 1.51633 64.14
27 ∞ 0.50
像面 ∞
各種データ
f 9.50
NA 0.25
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1 14.783 4.00 1.73400 51.47
2 ∞ 3.26
3 -23.267 1.05 1.51633 64.14
4 ∞
各種データ
f 29.910
DDIF 21.04
θ 14.0
DAPX 0.19
DAX 13.35
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1* 43.550 5.00 1.52542 55.78
2* 12.000
非球面データ
第1面
k=0.000
A4=3.52190e-05,A6=2.28100e-06
第2面
k=0.000
A4=-6.35150e-05,A6=2.94430e-06,A8=-3.32750e-08,
A10=2.25200e-10
各種データ
f 30.00
DDIF 25.71
θ 14.0
DAPX 0.835
DAX 13.75
単位 mm
面データ
面番号 r d nd νd
1# ∞ 2.00 1.49 58.00
2 ∞
各種データ
f 10.00
DLS0 10
DLS1 19.5
DAPX 0.935
DAX 17
実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
(1)βd -2.20 -2.20 -2.26 -2.17
(2)TL/|ENPL| -0.02 -0.05 2.08 -0.02
(3)TL/|EXPL| -0.49 -0.61 -1.00 -0.89
(4)|ΔCd|/Sim1/2 0.004 0.001 0.009 0.020
(5)|ΔdF|/Sim1/2 0.050 0.050 0.057 0.151
(6)|ΔCF|/|ΔCd| 13.56 37.68 7.52 8.36
(7)|ΔSAd|/|ΔCF| 0.07 0.09 0.26 0.03
(8)|ΔSAC|/|ΔCF| 0.06 0.15 0.12 0.06
(9)|ΔSAF|/|ΔCF| 0.07 0.22 1.05 0.07
実施例5 実施例6 実施例7 実施例8
(1)βd -2.21 -2.19 -2.17 -2.18
(2)TL/|ENPL| 1.37 0.35 2.07 -0.28
(3)TL/|EXPL| 0.13 -0.07 -1.42 -0.95
(4)|ΔCd|/Sim1/2 0.041 0.007 0.028 0.040
(5)|ΔdF|/Sim1/2 0.212 0.133 0.112 0.205
(6)|ΔCF|/|ΔCd| 6.24 20.31 4.98 6.08
(7)|ΔSAd|/|ΔCF| 0.05 0.05 0.10 0.03
(8)|ΔSAC|/|ΔCF| 0.05 0.04 0.09 0.05
(9)|ΔSAF|/|ΔCF| 0.19 0.10 0.44 0.15
実施例9 実施例10
(1)βd -2.91 -2.30
(2)TL/|ENPL| 0.00 2.83
(3)TL/|EXPL| 0.02 -1.08
(4)|ΔCd|/Sim1/2 0.030 0.020
(5)|ΔdF|/Sim1/2 0.225 0.052
(6)|ΔCF|/|ΔCd| 8.51 3.56
(7)|ΔSAd|/|ΔCF| 0.02 0.22
(8)|ΔSAC|/|ΔCF| 0.01 0.10
(9)|ΔSAF|/|ΔCF| 0.09 0.91
実施例1 実施例2 実施例3 実施例4
TL 34.68 34.85 33.95 33.46
ENPL -2179.92 -769.63 16.34 -1561.98
EXPL -71.37 -57.25 -33.82 -37.49
Sim1/2 5.425 5.425 5.425 5.425
ΔCd 0.022 0.007 0.048 0.111
ΔdF 0.273 0.271 0.311 0.818
ΔCF 0.294 0.279 0.358 0.929
ΔSAd 0.021 0.024 0.095 0.025
ΔSAC 0.019 0.042 0.044 0.052
ΔSAF 0.020 0.062 0.377 0.062
λ1 630 630 630 630
λ2 700 700 700 700
λ3 570 570 570 570
λ4 500 500 500 500
実施例5 実施例6 実施例7 実施例8
TL 36.02 27.72 29.38 31.71
ENPL 26.31 78.57 14.19 -111.70
EXPL 286.77 -411.98 -20.69 -33.44
Sim1/2 5.425 5.425 5.425 5.425
ΔCd 0.220 0.037 0.152 0.219
ΔdF 1.152 0.720 0.606 1.113
ΔCF 1.372 0.758 0.758 1.331
ΔSAd 0.068 0.041 0.075 0.036
ΔSAC 0.064 0.030 0.070 0.065
ΔSAF 0.266 0.073 0.337 0.205
λ1 630 630 630 630
λ2 700 700 700 700
λ3 570 570 570 570
λ4 500 500 500 500
実施例9 実施例10
TL 34.35 35.47
ENPL 26858.01 12.54
EXPL 2258.46 -32.80
Sim1/2 5.425 5.425
ΔCd 0.162 0.110
ΔdF 1.220 0.280
ΔCF 1.382 0.390
ΔSAd 0.027 0.087
ΔSAC 0.019 0.040
ΔSAF 0.127 0.353
λ1 630 630
λ2 700 700
λ3 570 570
λ4 500 500
GR 射出側レンズ群
L1〜L10 レンズ
S 開口絞り(明るさ絞り)
I 像面
PL1、PL2、PL3、PL4 平行平板
CG、CG1、CG2 カバーガラス
LS 光源
DIF 拡散板
ILL 照明光学系
OBJ 結像光学系
APXILL、APXOBJ レンズ面の面頂
AXILL、AXOBJ 光軸
CONT 制御装置
IM 撮像素子
IP 画像処理装置
OPF 波長選択部
1 情報取得装置
2 容器
2a 天板
3 ステージ
4、10 照明部
5 結像光学系
6 撮像素子
7 LED
8 集光レンズ
9 拡散板
11a、11b、11c、11d LED群
14 反射部材
X 試料
Claims (10)
- 照明部と、結像光学系と、撮像素子と、を有し、
前記照明部は、光源と、照明光学系と、を有し、
前記撮像素子の撮像面は、前記結像光学系の像面に位置し、
前記結像光学系は、物体側から順に、正屈折力の入射側レンズ群と、絞り部と、正屈折力の射出側レンズ群と、を有し、
前記入射側レンズ群、前記絞り部、及び前記射出側レンズ群によって、入射瞳と射出瞳とが形成され、
前記入射側レンズ群は、複数の正レンズと、少なくとも1つの負レンズと、を有し、
前記射出側レンズ群は、複数の正レンズと、少なくとも1つの負レンズと、を有し、
以下の条件式(1)から(9)を満足することを特徴とする情報取得装置。
−6<βd<−0.8 (1)
−0.5<TL/|ENPL|<3.0 (2)
−1.5<TL/|EXPL|<0.5 (3)
0.001<|ΔCd|/Sim1/2<0.05 (4)
0.04<|ΔdF|/Sim1/2<0.28 (5)
3.5<|ΔCF|/|ΔCd|<38.0 (6)
0≦|ΔSAd|/|ΔCF|<0.27 (7)
0≦|ΔSAC|/|ΔCF|<0.16 (8)
0≦|ΔSAF|/|ΔCF|<1.1 (9)
ここで、
βdは、前記結像光学系のd線での横倍率、
TLは、前記結像光学系の最も物体側に位置する光学面と像面との間隔、
ENPLは、前記結像光学系の最も物体側に位置するレンズ面から前記入射瞳までの距離、
EXPLは、前記結像光学系の最も像側に位置するレンズ面から前記射出瞳までの距離、
ΔCdは、d線での結像位置とC線での結像位置との差、
ΔdFは、d線での結像位置とF線での結像位置との差、
ΔCFは、C線での結像位置とF線での結像位置との差、
Simは、前記撮像面における有効撮像領域の面積、
ΔSAdは、d線での最大球面収差量、
ΔSACは、C線での最大球面収差量、
ΔSAFは、F線での最大球面収差量、
前記距離は、d線での距離、
前記結像位置は、近軸光線による像位置、
前記間隔、前記距離、及び前記差は、それぞれ、光軸上における間隔、光軸上における距離、及び光軸上における差、
である。 - 透明なステージを有し、
前記ステージを挟んで、一方の側に対象物が位置し、
前記ステージを挟んで、他方の側に、前記照明部、前記結像光学系、及び前記撮像素子が配置され、
前記照明光学系は、コリメート光学系を有し、
前記コリメート光学系でコリメート光が生成され、
前記照明光学系の光軸は、前記結像光学系の光軸に対して偏心していることを特徴とする請求項1に記載の情報取得装置。 - 前記照明部に、拡散作用を有する光学面が配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の情報取得装置。
- 以下の条件式(10)を満足することを特徴とする請求項2に記載の情報取得装置。
1.6<Sco/Sen<20.0 (10)
ここで、
Scoは、前記照明部から射出される光束の断面積、
Senは、前記結像光学系の入射面の面積、
である。 - 前記撮像面に、複数の光学像が、時間のずれを伴って形成され、
前記複数の光学像の各々は、限られた波長域の光で形成され、
前記波長域のなかで光強度が最も大きい波長は、前記複数の光学像の各々で異なることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の情報取得装置。 - 制御装置と、前記光源を複数有し、
前記制御装置は、点灯と消灯の制御を、前記複数の光源の各々について行い、
前記光源の数は、前記複数の光学像の倍数と同じであり、
前記複数の光源の各々は、限られた波長域の光を射出し、
前記光学像を形成する光の波長域と、前記光源から射出される光の波長域とが、一対一で対応していることを特徴とする請求項5に記載の情報取得装置。 - 前記制御装置と、複数の光学フィルタと、を有し、
前記制御装置は、光路中への出し入れを、前記複数の光学フィルタの各々について行い、
前記光源から射出される光は、前記複数の光学像を形成する波長域の光を全て含み、
前記複数の光学フィルタの各々は、限られた波長域の光を透過し、
前記光学像を形成する光の波長域と、前記光学フィルタから射出される光の波長域とが、一対一で対応していることを特徴とする請求項5に記載の情報取得装置。 - 4つの前記光学像が形成されることを特徴とする請求項5から7の何れか一項に記載の情報取得装置。
- 第1の光学像と、第2の光学像と、第3の光学像と、第4の光学像と、が形成され、
以下の条件式(11)、(12)、(13)、(14)を満足することを特徴とする請求項8に記載の情報取得装置。
600nm<λ1<650nm (11)
50nm<λ2−λ1<300nm (12)
−200nm<λ3−λ1<−50nm (13)
−200nm<λ4−λ3<−50nm (14)
ここで、
λ1は、前記第1の光学像におけるピーク波長、
λ2は、前記第2の光学像におけるピーク波長、
λ3は、前記第3の光学像におけるピーク波長、
λ4は、前記第4の光学像におけるピーク波長、
前記ピーク波長は、前記光学像を形成する前記波長域のなかで、光強度が最も大きい波長、
である。 - 前記撮像素子は、カラーフィルターを有さないモノクロ画像を取得する撮像素子であることを特徴とする請求項1から9の何れか一項に記載の情報取得装置。
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