JP2019125707A - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 第1磁性樹脂層
11a フィルム
12 第2磁性樹脂層
12a フィルム
20 コイル部
21 下部領域
22 内径領域
23 外周領域
24 上部領域
30 絶縁ギャップ層
30a 絶縁ギャップ層の表面(第1主面)
30b 絶縁ギャップ層の裏面(第2主面)
31 第1絶縁樹脂層
32 第2絶縁樹脂層
32a,32b 第1絶縁樹脂層の開口部
40a 下地金属膜(シードパターン)
41 1層目の導体層
42 2層目の導体層
43 3層目の導体層
44 4層目の導体層
41a スルーホール導体
42a スルーホール導体
43a スルーホール導体
50a,50b レジストパターン
50c 隙間(クラック)
51 1層目の層間絶縁層
52 2層目の層間絶縁層
53 3層目の層間絶縁層
54 4層目の層間絶縁層
60 キャリア基板
61 接着剤
62 サポート板
C,C1〜C4 コイルパターン
E1,E2 外部端子
S1 コイル部品の実装面
S2 コイル部品の側面
S3 コイル部品の側面
Claims (12)
- 第1主面とその反対側に第2主面を有する絶縁ギャップ層と
前記絶縁ギャップ層の前記第1主面上に形成された複数の導体層と層間絶縁層とが交互に積層されたコイル部と、
前記絶縁ギャップ層の前記第1主面側から前記コイル部及び前記絶縁ギャップ層を覆う第1磁性樹脂層と、
前記絶縁ギャップ層の前記第2主面側から前記絶縁ギャップ層を覆う第2磁性樹脂層とを備え、
前記絶縁ギャップ層は、弾性率が互いに異なる第1絶縁樹脂層及び第2絶縁樹脂層を含むことを特徴とするコイル部品。 - 前記第1絶縁樹脂層は、前記第2絶縁樹脂層よりも前記コイル部側に位置し、
前記第1絶縁樹脂層の弾性率は、前記第2絶縁樹脂層の弾性率よりも小さい、請求項1に記載のコイル部品。 - 前記第1絶縁樹脂層の熱膨張率は、前記第2絶縁樹脂層の熱膨張率よりも大きい、請求項1又は2に記載のコイル部品。
- 前記第2絶縁樹脂層は、イミド結合を有する絶縁樹脂である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記第1絶縁樹脂層は、前記層間絶縁層と同じ材料からなる、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記第1絶縁樹脂層の厚みは、前記第2絶縁樹脂層の厚みよりも厚い、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記第1絶縁樹脂層の厚みは7〜30μmであり、前記第2絶縁樹脂層の厚みは0.5〜6μmである、請求項6に記載のコイル部品。
- 前記第1絶縁樹脂層は、前記コイル部の少なくとも内径領域と平面視で重なる領域内の一部に開口部を有し、前記第1磁性樹脂層の一部は前記第1絶縁樹脂層の前記開口部内に埋め込まれている、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 一方の主面に第2絶縁樹脂層が形成されたキャリア基板を用意し、前記第2絶縁樹脂層上に前記第2絶縁樹脂層よりも弾性率が小さい第1絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記第1絶縁樹脂層上に複数の導体層と層間絶縁層とが交互に積層されたコイル部を形成する工程と、
前記キャリア基板の前記一方の主面側から前記コイル部を覆うように第1磁性樹脂層を形成する工程と、
前記第2絶縁樹脂層から前記キャリア基板を剥離する工程と、
前記第2絶縁樹脂層上に第2磁性樹脂層を形成する工程とを備えることを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 前記コイル部を形成する工程は、前記導体層の不要部分をエッチングにより除去する工程を含む、請求項9に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記キャリア基板が透明基板であり、前記第2絶縁樹脂層からキャリア基板を剥離する工程は、前記キャリア基板を通して前記第2絶縁樹脂層にレーザーを照射して前記キャリア基板を熱剥離する工程を含む、請求項9又は10に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記第1絶縁樹脂層を形成する工程は、前記コイル部の少なくとも内径領域と平面視で重なる前記第1絶縁樹脂層の一部を選択的に除去して開口部を形成する工程を含み、
前記第1磁性樹脂層を形成する工程は、前記第1絶縁樹脂層の前記開口部内に前記第1磁性樹脂層を埋め込む工程を含む、請求項9乃至11のいずれか一項に記載のコイル部品の製造方法。
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